JPH0649976U - 赤外線センサ - Google Patents
赤外線センサInfo
- Publication number
- JPH0649976U JPH0649976U JP6195992U JP6195992U JPH0649976U JP H0649976 U JPH0649976 U JP H0649976U JP 6195992 U JP6195992 U JP 6195992U JP 6195992 U JP6195992 U JP 6195992U JP H0649976 U JPH0649976 U JP H0649976U
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- JP
- Japan
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- infrared
- thermal expansion
- force sensor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 各エネルギ変換部分の最適化を容易に行うこ
とのできる赤外線センサの構造を提供する。 【構成】 熱膨張係数の小さな基板上に、一端が固定さ
れている熱膨張係数の大きな橋部と一端が固定されてい
る力センサとを有し、それぞれの固定されていない一端
を接するようにして赤外線センサを構成することであ
る。 【効果】 赤外線検知部における各エネルギ変換の最適
化を容易に行うことのできる赤外線センサの構造を提供
することできる。
とのできる赤外線センサの構造を提供する。 【構成】 熱膨張係数の小さな基板上に、一端が固定さ
れている熱膨張係数の大きな橋部と一端が固定されてい
る力センサとを有し、それぞれの固定されていない一端
を接するようにして赤外線センサを構成することであ
る。 【効果】 赤外線検知部における各エネルギ変換の最適
化を容易に行うことのできる赤外線センサの構造を提供
することできる。
Description
【０００１】
本考案は、赤外線センサの関するものである。
【０００２】
一般に、赤外線センサには量子型と熱型とがあり、さらに熱型は熱電型と焦電 型とがある。従来の熱型の赤外線センサは入射した赤外線を熱に変え、その熱を 電気信号に変換しているため、赤外線センサの特性を向上させるためには、入射 する赤外線を熱的エネルギに変換する部分（以下、受光部と呼ぶことにする）と その熱を電気的エネルギに変換する部分（以下、感熱部と呼ぶことにする）とを 熱的に近い位置に配置する必要があった。従って、通常受光部と感熱部とは同じ 材質で構成されることが多かった。このため各変換の全てを最適にすることは困 難であった。
【０００３】
上記のように、各エネルギ変換部分の最適化を容易に行うことのできる赤外線 センサの構造を提供することが本考案が解決しようとする課題である。
【０００４】
本考案は、上記の課題を解決するためになされたものである。その手段とする ところは、熱膨張係数の小さな基板上に、一端が固定されている熱膨張係数の大 きな橋部と一端が固定されている力センサとを有し、それぞれの固定されていな い一端を接するようにして赤外線センサを構成することである。
【０００５】
上記のように構成されている本考案において、赤外線検知の原理は以下のよう なものである。センサに赤外線が入射した場合、センサの温度が変化する。この とき橋部の熱膨張係数は基板よりも大きいため力センサは橋部によって押される ことになる。この力を力センサにより電気信号に変換するというものである。こ の場合、エネルギの変換は橋部での光学的エネルギから熱的エネルギへの変換、 さらに熱的エネルギから力学的エネルギへの変換、力センサによる力学的エネル ギから電気的エネルギへの変換と分けることができる。このため従来の方法によ るものと比べて変換プロセスが多くなるため、全体としてみた場合の変換効率は 低下するように思われる。しかし、従来の熱型の赤外線センサは熱的エネルギを 電気的エネルギに直接変換しているため、これらを分離することが不可能であり 、各変換プロセスでの変換効率を最適にすることは非常に困難である。これに対 し本考案は、その変換プロセス中に力学的エネルギを介しているので、各変換部 を物理的に分離することができ、各プロセスの変換効率を極限にまで向上させる ことが容易であり、全体としてみた場合、結局は変換効率の向上を行うことがで きる。
【０００６】
【実施例１】 以下、本考案による赤外線センサの実施例を図面を用いて詳細に説明する。図 １は本考案の一実施例を示す赤外線センサの断面図である。熱膨張係数の小さな 基板（３）に図のような溝を形成し、その上に熱膨張係数の大きな材料からなる 橋部（２）と圧電型力センサ（１）とを設けることにより赤外線センサを構成す る。ここでは基板（３）は熱膨張係数が小さい材質のものであればよく、橋部（ ２）は熱膨張係数の大きな材料であればよい。基板（３）の溝の形成方法はダイ シング法等の機械的加工によるものでも、エッチング法等のような化学的加工に よるものでも良い。圧電型力センサ（１）の材料としてはＰｂＴｉＯ3系、（Ｐ ｂＴｉＯ3−ＰｂＺｒＯ3）系、ポリフッ化ビニリデン等の圧電材料であればよく 、また結晶状態は、単結晶体、多結晶体のどちらでもよく、さらにポリマとの複 合体でもよい。また、静電容量型力センサ等の他の方式による力センサを用いて も良い。また、橋部（２）と圧電型力センサ（１）との形成方法は貼り付けによ るものでも、基板（３）の溝に回転塗布法によりガラス質の犠牲層を形成し、そ の上に橋部（２）と圧電型力センサ（１）とを形成した後に、前記犠牲層を除去 するといった方法を用いても良い。
【０００７】
赤外線検知部における各エネルギ変換の最適化を容易に行うことのできる赤外 線センサの構造を提供することできる。
【０００８】
【図１】本考案の一実施例を示すの赤外線センサの断面
図である。
図である。
１ 力センサ ２ 橋部 ３ 基板
Claims (4)
- 【請求項１】 熱膨張係数の小さな基板上に、一端が固
定されている熱膨張係数の大きな橋部と一端が固定され
ている力センサとを有し、それぞれの固定されていない
一端が接していることを特徴とする赤外線センサ。 - 【請求項２】 前記橋部を赤外線の受光面として使用す
ることを特徴とする請求項１の赤外線センサ。 - 【請求項３】 前記橋部の熱容量が小さいことを特徴と
する，請求項２の赤外線センサ。 - 【請求項４】 前記力センサが圧電素子により構成され
ていることを特徴とする請求項１，請求項２，請求項３
の赤外線センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6195992U JPH0649976U (ja) | 1992-06-30 | 1992-06-30 | 赤外線センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6195992U JPH0649976U (ja) | 1992-06-30 | 1992-06-30 | 赤外線センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0649976U true JPH0649976U (ja) | 1994-07-08 |
Family
ID=13186239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6195992U Pending JPH0649976U (ja) | 1992-06-30 | 1992-06-30 | 赤外線センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0649976U (ja) |
-
1992
- 1992-06-30 JP JP6195992U patent/JPH0649976U/ja active Pending
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