JPH06504129A - ノイズ棄却型の渦流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ノイズ棄却型の渦流量計 本発明は流体の容積流量を渦発散の周波数の関数として決定する渦流量計に関し 、この渦流量計は、流体の質量流量を渦発散の周波数、並びに、渦発散現象によ って生ずる流体の変動する運動力の振幅の関数として決定すると共に、流体の密 度をその流体の容積流量に対する質量流量の比として決定するという追加の特徴 を有している。

流量計の本体の構造的な振動によって生ずる複音すなわちノイズを最小レベルに 維持し、渦発散現象によって生ずる流体の運動力を最大レベルまで増幅するとい う注意深く制御された実験室の条件においては、うまく設計した渦流量計は、最 低１メ一トル／秒の空気の流れ、並びに最低０．０５メ一トル／秒の水の流れを 測定することができる。産業用の渦流量計の性能は、その渦流量計に最適化され たノイズ棄却型の渦センサを装着し、渦発散現象によって生ずる流体の運動力を 大きく増幅した形態で検知する場合には、注意深く制御された実験室の条件にお ける標準的な性能に近づけることができる。本発明は、そのような高性能の渦流 量計を教示するものである。

本発明の基本的な目的は、２つの薄く平坦な部材すなわち隔膜の間の相対的な曲 げ撓みを検知することにより、流体の流れを横断するように配列された細長い円 筒形の形状を何する切り立った本体からの渦発散を検知する渦流量計を提供する ことであり、上記２つの薄く平坦な部材は、これら両部材の間の第１の圧力隔室 を、上記２つの薄く平坦な部材並びに上記第１の圧力隔室を跨ぐ第２の圧力隔室 から分離しており、上記第１の圧力隔室は、上記切り立った本体の第１の側面に 存在する流体圧を受け、また、上記第２の圧力隔室は、上記第１の側面とは反対 側の上記切り立った本体の第２の側面に存在する流体圧を受ける。

本発明の他の目的は、上に述べた本発明の基本的な目的において説明した渦流量 計を提供することであり、この渦流量計においては、上記２つの薄く平坦な部材 の曲げ振動を圧電型のディスク要素にそれぞれ伝達する２つの細長い振動検出部 材を有する圧電型の相対運動センサが、上記２つの薄く平坦な部材の間の相対的 な曲げ振動を、切り立った本体からの渦発散を表す交流電気信号に変換する。

本発明の別の目的は、本発明の上記基本的な目的において説明した渦流量計を提 供することであり、この渦流量計においては、上記２つの薄く平坦な部材の間の 静電容量に関係する変動する電気信号を発生する容量性の相対運動センサが、上 記２つの薄く平坦な部材の間の相対的な曲げ振動を、上記切り立った本体からの 渦発散を表す交流電気信号に変換する。

本発明の更に別の目的は、上記圧電型の又は容量性の相対運動センサによって発 生された交流電気信号の同波数の関数として、流体の容積流量を決定する渦流量 計を提供することである。

本発明の更に他の目的は、上記圧電型の又は容量性の相対運動センサによって発 生された交流電気信号の周波数及び振幅の関数として、流体の質量流量を決定す ると共に、流体の上記容積流量に対する上記質量流量の比として、流体の密度を 決定する渦流量計を提供することである。

本発明の上記及び他の目的は、以下の記載から明らかとなろう。

本発明は、図面を参照して詳細に且つ特定して説明する。

図１は、２つの圧力隔室の端壁部を構成する２つの薄く平坦な部材と、これら２ つの薄く平坦な部材の間の相対的な曲げ振動を検知する圧電型の相対運動センサ とを備えた本発明の渦流量計の実施例を示している。

図２は、圧電型の相対運動センサに含まれる圧電型のディスク要素及びノイズ解 消型の電気回路の実施例を示している。

図３は、上記２つの圧力隔室の端壁部を構成する２つの薄く平坦な部材と、これ ら２つの薄く平坦な部材の間の相対的な曲げ振動を検知する圧電型の相対運動セ ンサとを組み合わせた他の実施例を示している。

図４は、上記２つの圧力隔室の端壁部を構成する２つの薄く平坦な部材と、これ ら２つの薄く平坦な部材の間の相対的な曲げ振動を検知する容量性の相対運動セ ンサとを組み合わせた実施例を示している。

図１には本発明の渦流量計の実施例が示されており、この渦流量計は、導管２を 通る流体の流れを少なくとも部分的に横断するように配列されて渦を発生する細 長い円筒形の形状を有する切り立った本体（ブラフ・ボディ以下においてはボデ ィと呼ぶ）１と、トランスジューサ３とを備えており、該トランスジューサは、 ２つの圧力隔室の端壁部を構成する２つの薄く平坦な部材４．５と、これら２つ の薄く平坦な部材４．５の間の相対的な曲げ振動を検知する圧電型の相対運動セ ンサ６とを有している。ボディ１は、このボディを長手方向に貫通する２つの圧 力伝達穴７．８を有しており、第１の穴７は、ボディ１の第１の側面ｌＯに開口 する１又はそれ以上の開口９を何しており、第２の穴８は、上記第１の側面１０ とは反対側のボディｌの第２の側面１２に開口する１又はそれ以上の開口１１を 何している。トランスジューサ３は、２つの薄く平坦な部材４．５の間に配列さ れてこれら２つの薄く平坦な部材の２つの対向する端壁部をそれぞれ形成する第 １の圧力隔室１３と、上記２つの薄く平坦な部材４．５並びに第１の圧力隔室１ ３を跨ぐ第２の圧力隔室１４とを有している。ボディ１の第１の側面１０に開口 する一端部を有する第１の圧力伝達穴７は、第１の圧力隔室１３に開口する他端 部を有しており、一方、ボディ１の第２の側面１２に開口する一端部を有する第 ２の圧力伝達穴８は、第２の圧力隔室１４に開口する他端部を有している。圧電 型の相対運動センサ６は圧電型のディスク要素１５を備えており、該圧電型のデ ィスク要素は、このディスク要素１５の２つの対向する側部にそれぞれ設けられ た２ｗｉの分割型のｔｅＭ１６．１７を有しており、これら圧電型のディスク要 素及び１！極の複合体は、トランスジューサ収容容器１８の閉止された空所の中 で、２つの薄く東坦な部材４．５の間の対称面に対して平行な関係に配列されて いる。

圧電型のディスク要素１５は、上記対称面に対して直交する基準面を横断し、圧 を型のディスク要素１５の２つの対向する側部に各々設けられた２組の電極１６ ．１７は各々、上記基準面に沿って分割されている。電気絶縁性の誘電体ラップ １９によって巻かれ且つ積み重ねられた圧電型のディスク要素１５及び２組の分 割型の電極１６．１７の複合体は、トランスジューサ収容容器１８の上記閉止さ れた空所の２つの対向する薄い壁部２０．２１の間で圧縮された関係で配列され ている。同じ方向に伸長する一対の細長い振動検出部材２２．２３は、上記閉止 された空所の２つの対向する薄い壁部に隣接してそれぞれ設けられており、２つ の細長い振動検出部材２２．２３の各々の第１の曲がった端部は、上記基準面に 沿って２つの対向する薄い壁部２０．２１の各々を横断する補強リブ２４に係止 され、また、その上に延在する第２の端部２５．２６は、２つの薄く平坦な部材 ４．５にそれぞれ圧接されている。２組の分割型の電極１６．１７に含まれる種 々の電極から伸びるリード線が、トランスジューサ収容容器１８から伸長してい る。

ボディ１の２つの対向する側面１０．１２にそれぞれ存在する流体圧は、ボディ １の２つの対向する側面１０．１２から交互に渦が発生するので、そん間で交互 に変動する。第２の圧力隔室１３．１４にそれぞれ伝達される交互に変動する２ つの流体圧は、２つの薄く平坦な部材４．５の間で相対的な曲げ振動を発生し、 この相対的な曲げ振動は、圧電型のディスク要素１５の２つの対向する半部を交 互に圧縮並びに収縮させる。上記２つの対向する半部はそれぞれ、トランスジュ ーサ要素を収容する上記閉止された空所の２つの対向する薄い壁部にそれやれ含 まれる２つの補強リブ２４によって形成される上記基準面の両側に設けられてい る。基準面の両側にそれぞれ設けられた圧電型のディスク要素工５の２つの対向 する半部によって発生された起電力は、３つのリード線２７．２８．２９の中の ２つを介して伝達され、第３のリード線は、上記２つのリード線に接続されてい ない電極を接地する。トランスジューサ３の幾何学的な構造は、２つの薄く平坦 な部材４．５の間に位置する対称面に関して対称であり、従って、トランスジュ ーサ３の構造的な振動によって生じ、トランスジューサ３の総ての構成要素が受 ける慣性力は、上記対称面に関して対称であり、一方、ボディ１からの渦発散に よって生じる２つの薄く平坦な部材４．５の前後の差圧は、上記対称面に関して 非対称であることに注意する必要がある。図２に示す実施例によって例示される 簡単な電気回路を用いることにより、上記対称な分力によって生ずる電気信号を 棄却することができ、また、上記非対称な分力によって生ずる電気信号をトラン スジューサ３から選択的に抽出することができる。結局、トランスジューサ３は 、ボディ１から発生される渦によってのみ生ずる交流電気信号をもたらし、この 交流電気信号は、トランスジューサ３の構造的な振動によって生ずるノイズを実 質的に含まない。上述の如き電気信号の周波数は、ボディ１から発生される渦の 周波数と同一であり、その振幅は、流体の密度に流体の速度の零関数（ボディに 含まれる良好に設計された圧力開口に対しては一般に二次関数すなわち２乗であ る）を掛けたものに比例する。データプロセッサ３ｏが、トランスジューサ３に よってもたらされる交流電気信号の周波数ｆの関数として、流体の速度Ｕ又は流 体の気信号の周波数ｆ及び振幅Ａの関数として、流体の質量流量向を決定する。

デ一度を決定する１：ともできる。代替的な設計においては、圧電型のディスク 要素１５を収容する上記閉止された空所の２つの対向する薄い壁部２ｏ、２１に 含まれる補強リブ２４を省略し、２つの細長い振動検出部材２２．２３の曲がっ た第１の端部を２つの対向する薄い壁部２０．２１に直接係止することができる ことを理解する必要がある。トランスジューサ３及びボディ１は、単一の一体構 造として構成することができ、また、機械的な接続又は溶接により、互いに堅固 に接続することもできる。勿論、トランスジューサ３及びボディ１は、構造的に 別個で独立した構造として構成し、ボディ１の２つの対向する側面１ｏ、１２に 存在する流体圧を第２の圧力隔室１３．１４へ伝達する可撓性又は剛性の一対の 管によってそれぞれ相互に接続することもできる。図１に示す例示的な実施例並 びに図３及び図４に示す他の実施例を用いて、インライン型のすなわち挿入型の 渦流量計を構成することができる。

図２には、圧電型のディスク要素１５と、該圧電型のディスク要素１５の対向す る側部にそれぞれ設けられる２組の分割型の電極１６．１７とを積み重ねたすな わち積層した複合体の実施例が示されている。特定の実施例においては、圧電型 のディスク要素１５の一方の側部において第１の組の分割型の電極１６の間の境 界線を含む基準面の一方の側に設けられる第１の組の分割型の電極１６の一方は 、リード線２７によって第１の増幅器３１に接続されており、一方、圧電型のデ ィスク要素１５の他方の側部において上記基準面の他方の側に設けられる第２の 組の分割型の電極１７の一方は、リード線２８によって第２の増幅器３２に接続 されており、上記２つの増幅器３Ｌ３２は、１又はそれ以上の可変抵抗器等の信 号レベルバランス手段３３を備えている。増幅器３１．３２に接続されていない 電極は、リード線２９によって接地されている。トランスジューサ３の構成要素 が受ける非対称の分力は、基準面の２つの対向する側にそれぞれ設けられる圧電 型のディスク要素１５の２つの対向する半部を交互に圧縮及び収縮させ、一方、 トランスジューサの構成要素が受ける対称の分力は、圧電型のディスク要素１５ の２つの対向する半部を共に圧縮又は収縮させる。圧電型のディスク要素１５が その２つの対向する半部の両方の上で同一方向の極性を有する場合には、ボディ １から発生される渦によって生ずる非勾称の分力が、２つの増幅器３１．３２に 接続された２つの電極からそれぞれ生ずる同一の位相（同一の符号）の２つの交 流電気信号を発生し、その２つの交流電気信号が加え合わされて、ボディ１から 発生される渦を表す交流出力信号３４をもたらし、一方、トランスジューサ３の 構造的な振動によって発生される対称の分力は、増幅器３１．３２に接続された ２つの電極からそれぞれ、位相角が１８００異なった（符号が反対の）２つの交 流電気信号を発生させ、これら反対の符号の２つの交流電気信号は加算的な組み 合わせプロセスにおいて相殺され、そのプロセスにおいては、信号バランス手段 ３３は、２つの増幅器３１．３２によってそれぞれ増幅された上記反対符号の２ つの交流電気信号の振幅を正確にバランスさせるような値に設定される。交流出 力電気信号３４は、図１に示す実施例に含まれるデータプロセッサ３ｏへ供給さ れ、該データプロセッサは、流体の容積流量及び／又は質量流量、並びに流体の 密度を決定する。代替的な設計においては、圧電型のディスク要素の同一の側に おいて基準面の２つの対向する側にそれぞれ設けられる２つの分割型の電極は、 インバート型の増幅器並びに非インバート型の増幅器に並列に接続し、それらの 間のノイズを、２つの増幅器の間の信号レベルバランス手段によって解消するよ うにするか、あるいは、２つの分割型の電極を電気回路の両端に直列に接続し、 交流出力電気信号をその差によって得て、ノイズを加算的な結合によって解消す るようにすることができることを注記しておく。他の代替的な設計においては、 それぞれ反対方向の極性を有する２つの対向する半部を備えた圧電型のディスク 要素を種々の構成の電極と組み合わせて交流出力電気信号を得、並列な回路を用 いる加算的な結合プロセスによって、あるいは、直列な回路を用いる減算的な結 合によって、ノイズを解消することができる。

図３には、図１及び図２に関して説明したのと同様な原理で動作する圧電トラン スジューサの他の実施例が示されている。この例示的な実施例においては、図１ に示す実施例に含まれていた単一の圧電型の相対運動センサ６の代わりに、一対 の圧電型の運動センサ３５．３６が設けられている。２つの圧電型の運動センサ ３５．３６は各々、２組の分割型の電極３８．３９の間に挟まれた圧電型のディ スク要素３７の積み重ねられたすなわち層状の複合体を備え、この複合体は、２ つの絶縁ディスクすなわち［４０，４１の間に挟まれている。トランスジューサ 要素のこの積み重ね型のすなわち層状の複合体は、トランスジューサ要素を収容 する閉止された空所の薄い端壁部４３に圧接された状態で、トランスジューサ収 容容器４２の閉止された空所の中に設けられる。２つの薄く平坦な部材４５．４ ７の間に位置する対称面に平行な基準面に設けられている補強リブ４５に係止さ れた一端部を有する細長い振動検出部材４４が、閉止された空所の薄い端壁部４ ３から伸長している。２つの圧電型の運動センサ３５．３６の各々の細長い振動 検出部材４４の他端部は、２つの圧力隔室４８．４９の端壁部を構成する２つの 薄く平坦な部材４６．４７に圧接されている。圧電型のディスク要素３７は、閉 止された空所の薄い端壁部４３に平行な平面に設けられ、その平面は、補強リブ ４５によって画成される基準面に直交することに注意する必要がある。図２に示 すトランスジューサのディスク要素の積み重ね型すなわち層状の複合体、又は、 図２に関して説明した他の変更例を用いて、圧電型の運動センサ３５．３６を構 成することができる。基準面の２つの対向する側にそれぞれ設けられた圧電型の ディスク要素の２つの対向する半部によってそれぞれ発生される２つの電気信号 は、２つの圧電型の運動センサ３５．３６の各々に対して設けられる図２に示す 如きノイズ解消電気回路によって組合わされ、次に、２つの圧電型の運動センサ ３５．３６によってそれぞれもたらされる２つの出力電気信号を、２つの増幅器 ５０．５１から成る第２のノイズ解消電気回路並びに信号レベルバランス手段５ ２を用いて再度組み合わせ、その組み合わせによって、ボディから発生される渦 を表す交流出力電気信号を与えることを理解する必要がある。ボディから発生さ れる渦を表す交流出力電気信号をもたらすトランスジューサの経済的なタイプは 、２つの圧電型の運動センサ３５．３６の一方、２つの薄く平坦な部材４６．４ ７の一方、及び、第１の圧力隔室４８を跨ぐ第２の圧力隔室４９の２つの半部の 一方を省略することにより、図３に示す実施例から誘導することができることは 容易に理解されよう。そのような経済的なタイプのトランスジューサを備える渦 流量計は、請求の範囲に別個に記載されている。

図４には、図１に示す実施例に含まれる圧電トランスジューサ３の代わりに採用 することのできる容量性のトランスジューサの実施例が示されている。この特定 の実施例においては、２つの圧力隔室５５．５６の端壁部を形成する２つの薄く 平坦な部材５３．５４が、平行な関係で互いに近接して設けられ、その間に大き な静電容量を生ずる。２つの薄く平坦な部材の間の静電容量、又は静電容量に関 係する他の電気的な変数を測定する装置５７が、ボディから発生される渦を表す 交互のすなわち変動する出力電気信号５８をもたらす。装置５７は、静電容量を 測定する機器、又は、２つの薄く平坦な部材５３．５４から成るコンデンサを含 む電気回路に供給される高周波数の交流電気信号の範囲を表す電気信号をもたら す検知器又は復調器とし、上記高周波の交流電気信号が、その間の相対的な撓み がゼロである２つの薄く平坦な部材を有する電気回路の共鳴周波数で励起するよ うにすることができる。高周波数の交流電気信号の振幅が、２つの薄く平坦な部 材５３．５４の間の相対的な距離の関数として非常に敏感に変化するので、高周 波数の交流電気信号の範囲は、ボディから発生される渦を表す変動する出力電気 信号５８を与える。勿論、図４に示すトランスジューサによって発生された変動 する出力電気信号５８は、それから直流の成分を取り出すことによって、ボディ から発生される渦を表す交流出力電気信号に容易に変換することができる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．流体の流量を測定するための装置において、（ａ）流体の流れを少なくとも 部分的に横断するように配列された細長い円筒形の渦発生体であって、該渦発生 体の第１の側面に開口する少なくとも１つの開口を有する一端部を持つ第１の穴 と、前記第１の側面とは反対側の該渦発生体の第２の側面に開口する少なくとも １つの開口を有する一端部を持つ第２の穴とを具備する渦発生体と、 （ｂ）２つの薄く平坦な部材によってもたらされる２つの対向する端壁部を有す る第１の圧力隔室と、前記２つの薄く平坦な部材並びに前記第１の圧力隔室を跨 ぐ第２の圧力隔室とを具備し、前記渦発生体に含まれる前記第１の穴の他端部が 前記第１の圧力隔室に開口し、前記渦発生体に含まれる前記第２の穴の他端部が 前記第２の圧力隔室に開口しているトランスジューサ本体と、（ｃ）前記２つの 薄く平坦な部材の間の相対的な曲げ振動を前記渦発生体から発生される渦を表す 変動する電気信号に変換するためのトランスジューサ手段とを備える流体の流量 を測定するための装置。 ２．請求項１の装置において、前記変動する電気信号の周波数の関数として流体 の容積流量を決定するための手段を備えることを特徴とする装置。 ３．請求項１の装置において、前記変動する電気信号の変動の周波数及び振幅の 関数として流体の質量流量を決定するための手段を備えることを特徴とする装置 。 ４．請求項１の装置において、前記トランスジューサ手段は圧電型の相対運動セ ンサを備え、該相対運動センサは、 （ａ）前記トランスジューサ本体に取り付けられると共に、前記２つの薄く平坦 な部材の間に平行な関係で位置する対称面に概ね平行な２つの対向する薄い壁部 を有する閉止された空所を具備するトランスジューサ収容容器と、（ｂ）前記ト ランスジューサ収容容器の前記閉止された空所の中において、該閉止された空所 の２つの対向する薄い壁部の間の前記対称面に概ね平行な平面に前記壁部の間で 圧縮された関係で配設される圧電型のディスク要素であって、前記対称面に直交 する基準面を横断して伸長すると共に、前記閉止された空所の２つの対向する薄 い壁部と直角な関係で交差し、前記基準面の対向する２つの側にそれぞれ設けら れた少なくとも２つの電極を具備する圧電型のディスク要素と、（ｃ）前記閉止 された空所の前記２つの対向する薄い壁部の次にそれぞれ配設された２つの細長 い振動検出部材であって、前記基準面に位置して前記閉止された空所の２つの対 向する薄い壁部の各々に固定される曲がつた第１の端部、及び前記２つの薄く平 坦な部材の各々に圧接する張り出した第２の端部を各々具備する２つの細長い振 動検出部材と、 （ｄ）前記少なくとも２つの電極によってそれぞれもたらされる２つの電気信号 を組み合わせ、前記２つの電気信号の間のノイズを相殺すると共に、渦発生体か ら発生される渦を表す精製された出力電気信号を得るための手段とを備えること を特徴とする装置。 ５．請求項１の装置において、前記トランスジューサ手段は、２つの圧電型の運 動センサを備え、これら２つの圧電型の運動センサは各々、（ａ）前記トランス ジューサ本体に取り付けられると共に、前記２つの薄く平坦な部材の間に平行な 関係で位置する対称面に概ね直交する薄い端壁部を有する閉止された空所を具備 するトランスジューサ収容容器と、（ｂ）前記トランスジューサ収容容器の前記 閉止された空所の中において、前記対称面に概ね直交する平面に前記閉止された 空所の薄い端壁部に圧接した関係で設けられる圧電型のディスク要素であって、 前記対称面に平行な基準面を横断して伸長すると共に、前記閉止された空所の薄 い端壁部と直角な関係で交差し、前記基準面の対向する２つの側にそれぞれ設け られた少なくとも２つの電極を具備する圧電型のディスク要素と、 （ｃ）前記閉止された空所の薄い壁部から伸長する細長い振動検出部材であって 、前記基準面に設けられて前記閉止された空所の薄い壁部に取り付けられる第１ の端部、及び前記２つの薄く平坦な部材に圧接する張り出した第２の端部を具備 する細長い振動検出部材と、 （ｄ）少なくとも前記２つの電極によってそれぞれ供給される２つの電気信号を 組み合わせ、前記２つの電気信号の間のノイズを相殺すると共に、前記２つの薄 く平坦な部材の各々の曲げ振動を表す単一の電気信号を得るための手段とを備え 、 更に、前記２つの圧電型の運動センサの一方によりもたらされる単一の電気信号 、並びに前記２つの圧電型の運動センサの他方によりもたらされる単一の電気信 号を組み合わせる手段を備え、前記２つの単一の電気信号の間のノイズが相殺さ れると共に、前記渦発生体から発生された渦を表す精製された出力電気信号が得 られることを特徴とする装置。 ６．請求項１の装置において、前記トランスジューサ手段は、前記渦発生体から 発生される渦を目安として、前記２つの薄く平坦な部材の間の静電容量の値を表 す出力電気信号を発生する手段を備えることを特徴とする装置。 ７．流体の流量を測定するための装置において、（ａ）流体の流れを少なくとも 部分的に横断するように配列された細長い円筒形の渦発生体であって、該渦発生 体の第１の側面に開口する少なくとも１つの開口を有する一端部を持つ第１の穴 と、前記第１の側面とは反対側の該渦発生体の第２の側面に開口する少なくとも １つの開口を有する一端部を持つ第２の穴とを具備する渦発生体と、 （ｂ）第１及び第２の圧力隔室を有するトランスジューサ本体であって、前記第 １及び第２の圧力隔室は、これら圧力隔室の共通の端壁部を形成する薄く平坦な 部材によって分離され、前記渦発生体に含まれる前記第１の穴の前記他端部は前 記第１の圧力隔室に開口し、前記渦発生体に含まれる前記第２の穴の前記他端部 は前記第２の圧力隔室に開口しているトランスジューサ本体と、（ｃ）圧電型の 運動センサとを備え、該運動センサが、（１）前記トランスジューサ本体に固定 されると共に、前記薄く平坦な部材に概ね直交する薄い端壁部を有する閉止され た空所を具備するトランスジューサ収容容器と、 （２）前記トランスジューサ収容容器の前記閉止された空所の中で、前記空所の 薄い端壁部に平行な面に設けられる圧電型のディスク要素であって、前記薄く平 坦な部材に概ね平行な基準面を横断して伸長して前記閉止された空所の薄い端壁 部と直角に交差すると共に、前記基準面の２つの対向する側にそれぞれ設けられ る少なくとも２つの電極を具備する圧電型のディスク要素と、（３）前記閉止さ れた空所の薄い端壁部から伸長する細長い振動検出部材であって、前記基準面に 設けられて前記閉止された空所の薄い端壁部に取り付けられる第１の端部、及び 前記薄く平坦な部材に圧接した状態で張り出した第２の端部を具備する細長い振 動検出部材と、 （４）少なくとも前記２つの電極によってそれぞれ供給される２つの電気信号を 組み合わせ、前記２つの電気信号の間のノイズを解消すると共に、前記渦発生体 から発生された渦を表す変動する出力電気信号を得るための手段とを備えること を特徴とする流体の流量を測定するための装置。 ８．請求項７の装置において、前記変動する出力電気信号の周波数の関数として 流体の容積流量を決定する手段を備えることを特徴とする装置。 ９．請求項７の装置において、前記変動する出力電気信号の周波数及び変動の振 幅の関数として流体の質量流量を決定する手段を備えることを特徴とする装置。