JPH0650682B2 - レ−ザトリミング装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はＶＴＲなどに使われている厚膜モジュールを対
象としてトリミング工程の高能率化、自動化に好適なレ
ーザトリミング装置に関するものである。

〔発明の背景〕

従来のトリミング装置においては、たとえば特開昭57-1
57506号公報に記載されているように、トリミング基板
を位置決めする載物台と、この載物台を２次元に移動可
能なＸＹテーブルユニット、プローブピンを備えてプロ
ービング状態を再現するプロービングユニット、レーザ
光を走査させるビームポジションなどから構成されてい
る。

これらの装置でトリミングを行う場合には、作業者がト
リミング基板を、別に備えたトリミング基板収納箱から
取り出して、載物台上に設置したのち、操作盤のスター
ト釦を押してトリミングを行ない、それが終了すると、
載物台上のトリミング基板を取り外して収納箱に収納す
ることにより１枚のトリミング基板のトリミングが終了
し、以下上記の作業を順次繰返して所定枚数のトリミン
グ基板のトリミングを行なうものである。

そのため、上記の場合にはいわゆるオペレータとしての
作業者を必要とする半自動方式である。

またトリミング装置はたとえば第16図に示す如き構成を
している。すなわち、Ｑスイッチ２を内蔵するＹＡＧレ
ーザ発振器１から出力されたパルス状のレーザ光３がミ
ラー４で反射されて光学スキャナ５に入力すると、レー
ザ光３が微小スポットに集光され、かつトリミング基板
７上の抵抗体６上を二次元に走査されて位置決めする。
ついで上記抵抗体６を含む電気回路からの検出信号９が
計測・制御部８で計測され、この計測結果に基いて計測
・制御部８から制御信号10,11か出力されると、一方の
制御信号10が光学スキャナ５を操作してレーザ光の走
査，位置決め制御を行い、他方の制御信号11がレーザ発
振器１のＱスイッチ２を操作してレーザ光３のオン・オ
フ制御を行うように構成され、トリミングステーション
は１個所である。

上記装置によりたとえばＶＴＲ用厚膜モジュールのトリ
ミングを行った場合、ファンクショントリミング時間の
内訳は、(イ)条件設定時間、(ロ)回路安定時間、(ハ)計測
時間、(ニ)計算時間、(ホ)レーザ光走査時間などがある。
これらの内で一般的に上記(ロ)回路安定時間の占める割
合がファンクショントリミング時間全体の50％以上に達
するものがあり、平均した場合、約50％程度とみなすこ
とができる。

そのため、１個所のトリミングステーションでＶＴＲ用
厚膜モジュールのファンクショントリミングをする場
合、約50％は回路が安定するまでの待ち時間で、何らの
仕事もしない時間であり、この時間はトリミング処理能
力を小さくさせる要因の１つであり、かつオペレータと
しての作業者が作業を行なっている時間もすべて従来の
トリマにおいては、トリミング処理能力を低下させる要
因の１つである。

〔発明の目的〕

本発明は前記従来の問題点を解決し、厚膜モジュールの
供給からリード切断、搬送治具への挿入、初期検査、フ
ァンクショントリミング、完了品の良否判定、仕分け、
スティックへの収納までを全自動化可能にしたレーザト
リミング装置を提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明は前記の目的を達成するため、搬入された被加工
物のリードを所望長さに切断するリード切断ユニット
と、リードの切断された被加工物を搭載し、かつ被加工
物の初期検査及びトリミング後の検査の良否を記録し得
るメモリ機構を有する搬送治具と、該搬送治具を搬送経
路に沿って搬送する搬送ユニットと、この搬送ユニット
に沿って設置され、上記搬送治具上の被加工物の電気的
特性があらかじめ設定された範囲に入っているか否かを
検査する初期検査ステーションと、搬送ユニットの前記
初期検査ステーションより下流側に複数組配置され、か
つ夫々が初期検査ステーションの検査によって良品とな
った被加工物をレーザ光線によってトリミングすると共
に、トリミング後の電気的特性を検査するトリミングス
テーションと、上記初期検査ステーションによる初期検
査結果及びトリミングステーションの検査結果に応じ夫
々の検査の良否を搬送治具内のメモリ機構に支持する手
段と、搬送ユニットの搬出側に設置され、かつ上記搬送
治具のメモリ機構に基づいて被加工物の初期検査結果の
良否及びトリミング後の検査結果の良否を判別し、該判
別した内容に応じ初期検査結果の不良品とトリミング後
の検査結果の良品及び不良品とを振るい分ける搬送治具
検査ステーションとを備え、これにより、被加工物を供
給からリード切断、初期検査、ファンクショントリミン
グ、加工物の良否判定、仕分け、スティックへの収納ま
でを自動的に行いうるようにしたことを特徴とするもの
である。

〔発明の実施例〕

以下本発明の実施例を示す第１図乃至第15図について説
明する。第１図は本発明によるトリミング装置を示す概
略図、第２図は第１図の光シャッタを示す斜視図、第３
図は第２図のスキャナ本体の作動説明図、第４図はトリ
ミング装置全体を示す平面図、第５図は搬送治具を示す
斜視図、第６図は第５図の一部断面斜視図、第７図は第
５図のｃ−ｃ′断面正面図、第８図は第６図のｄ−ｄ′
断面側面図、第９図はトリマ本体部を示す斜視図、第10
図はレーザユニットの内部構成を示す斜視図、第11図は
トリミングステーションのプロービング前の状態を示す
縦断面側面図、第12図は第11図のトリミングステーショ
ンのプロービング状態を示す縦断面側面図、第13図は検
査治具ボックスのセンタープレートの斜視図、第14図は
検査治具ボックスを示す斜視図、第15図は第14図のｂ−
ｂ′断面正面図である。なお従来と同一部品は前記第16
図と同一符号をもって示す。

先づ第１図に示す如くＱスイッチ２を内蔵するＹＡＧレ
ーザ発振器１から出力されたパルス状のレーザ光３はビ
ームスプリッタ4aにより、これを反射したレーザ光3a
と、ビームスプリッタ4aを通過し、ミラー4bを反射した
レーザ光3bとに等分割される。この一方のレーザ光3aは
光シャッタ12aを、他方のレーザ光3bは光シャッタ12bを
それぞれ通過したのち、光学スキャナ5a,5bに入力する
と、レーザ光3a,3bは微小スポットに集光されて基板7a,
7b上面の抵抗体6a,6b上をそれぞれ二次的に走査・位置
決めされる。

また計測・制御部８は上記抵抗体6a,6bを含む各電気回
路からの検査信号9a,9bをそれぞれ計測し、これらの計
測結果に基いて制御信号10a,10bを出力して、光学スキ
ャナ5a,5bをそれぞれ走査・位置決めすると同時に光シ
ャッタ12a,12bを開閉してレーザ光3a,3bの通過，遮断制
御を行うとともに制御信号11によりＱスイッチ２を操作
してレーザ光３のオン，オフ制御を行う。

つぎに上記光シャッタ12a,12bは第２図に示す如く、角
筒形状をして上下方向に積重され内周面に黒染め処理を
施したスキャナケース14と、アルミ材にて形成されたカ
バー15とを設け、下方のスキャナケース14内にはスキャ
ナ本体16を内蔵し、上方のカバー15内にはアルミ材にて
形成されたミラー17と、出力端子18とを有するセンサ19
を固定支持している。上記スキャナ本体16は回転軸20に
一体に結合された可動片21と、この可動片21を中心とし
て円形状に取りかこむように配置されたヨーク22a,22b
および磁石23a,23bからなり、ヨーク22a,22bには第３図
に示すように、コイル24a,24bがそれぞれ巻回されてい
る。ヨーク22a,22bは磁極25a,25bおよび25c,25dをそれ
ぞれ備え、可動片21と対向して狭い間隙を形成してい
る。前記磁石23aの磁力線26aは前記間隙を通過し、ヨー
ク22a，磁極25a，可動片21，磁極25b，ヨーク22bおよび
磁石23aを順次に連結する磁路を形成し、これと同様
に、磁石23bの磁力線26bは、ヨーク22b，磁極25d，可動
片21，磁極25cおよび磁石23bを順次に連結する磁路を形
成している。

一方、コイル24aにより発生する磁力線27aはヨーク22
a，磁極25d，可動片21および磁極25aを順次、連結する
磁路を形成し、またコイル24bにより発生する磁力線27b
は、ヨーク22b，磁極25c，可動片21および磁極25bを連
結する磁路を形成している。したがってコイル24a,24b
に電流ｉを通電しないときには、磁力線27a,27bが発生
しないため、可動片21は磁力線26a,26bにより、磁極25a
と25bおよび磁極25cと25dにそれぞれ均等に吸引されて
力学的安定位置を確立し上記コイル24a,24bに電流ｉを
通電すると、磁力線27a,27bがそれぞれ発生し、磁極25a
では磁力線26aと27dが逆方向となり、可動片21との吸引
力を弱め、逆に磁極25dでは磁力線26b,27aが同方向とな
り、可動片21との吸引力を強める。

上記と同様にして磁極25cでは可動弁21との吸引力を弱
め、磁極25bでは可動片21との吸引力を強める。このた
め可動片21は矢印Ｋ方向に回転し、可動片21と磁極25a,
25d,25c,25bの各磁極との間に働らく吸引力が釣り合っ
た回転位置で静止する。

前記スキャナ本体16の回転軸20の一端とコイル24a,24b
とを接続する回転軸駆動信号用の入力端子28は、スキャ
ナーケース14を貫通して導出されている。その入力端子
28に直流電圧の＋５Ｖ〜−５Ｖを印加すると、回転軸20
は、中立位置から前記電圧値に比例した角度（＋15°〜
−15°）だけ回転するようにセットされてる。前記ミラ
ー17は円柱状に形成され、その上部に回転中心線を含む
切欠平面から成り、かつ梨地加工を施したレーザ光反射
面17a（以下、反射面を称す）が設けられ、かつ止めね
じ17bを介して、回転軸20に固定されている。前記反射
面17aは、入力端子28への印加電圧が零Ｖの場合には第
２図の実線で示すようにレーザ光３の光路をしゃ断する
回転位置にあるので、カバー15に設けた開口29を通過し
たレーザ光３は反射面17aで反射され、レーザ光３Ｒと
なってレーザ光検出用センサ19に入力する。このように
センサ19にレーザ光３Ｒが入力すると、レーザ光検出用
の出力端子18には電流出力が得られる。

一方、入力端子28への印加電圧が＋５Ｖの時の反射面17
aは、第２図の破線で示すようにレーザ光光路と平行な
回転位置にあるので、カバー15の開口29を経て入射した
レーザ光３は、反射面17aの側部を通過して開口30より
レーザ光３Ｐとなって出て行く。したがって、センサ19
はレーザ光３Ｐを検出することができないから出力端子
18には電流出力は得られない。そのため、上記レーザ光
３Ｐは光学スキャナ5a,5bに入射される。

つぎに本発明によるトリミング装置について第４図によ
り説明する。同図において、31はテーブルにして、上面
には破線に示す部分を境界してローディイグ部32a、ト
リマ本体33およびアンローディング部32bを搭載してい
る。上記ローデンィグ部32aはリードフレーム半田付お
よび乾燥工程などの前工程（図示せず）からの厚膜モジ
ュール34を搬送する搬送ベルトユニット35に接続する第
１ベルトユニット36aと、位置決めステーション37と、
２組のチャックユニット38a,38bを有する第１移載ユニ
ット38と、リード切断ユニット39とモジュール挿入ステ
ーション40と、第２ベルトユニット36bとローダ42a，ア
ンローダ42bを有する第２移載ユニット41と、初期検査
用回転テーブル43と、上記アンローダ42bの接続位置か
らトリマ本体部33まで延びる第３ベルトユニット36cと
上記アンローど42bの接続位置から搬送治具検査ステー
ション97まで延びる第４ベルトユニット36dとで形成さ
れている。上記位置決めステーション37は第１ベルトユ
ニット36aにて搬送された厚膜モジュール34を位置決め
して図の右側のチャックユニット38aによるチャッキン
グを容易にする如く形成されている。上記右側のチャッ
クユニット38aは位置決めステーション37上に位置決め
された厚膜モジュール34をチャックにて保持し第１ベル
トユニット36aの搬送と同一方向に搬送してリード切断
ユニット39上に搬送する如く形成されている。上記リー
ド切断ユニット39は厚膜モジュール34の基板34aを固定
し、複数個のリード34bの先端部と、これを１体に連結
する連結片（図示せず）とをカッタ（図示せず）にて切
断する如く形成されている。上記左側のチャックユニッ
ト38bはリード切断ユニット39にて連結片を切断された
厚膜モジュール34をチャックで保持し第１ベルトユニッ
ト36aの搬送と同一方向に移動してモジュール挿入ステ
ーション40上にあらかじめ位置決めされた搬送治具42上
に挿入する如くしている。上記第２ベルトユニット36b
は搬送治具42およびこれの上面に挿入された厚膜モジュ
ール34を第２移載ユニット42のローダ42aに接続する位
置まで搬送する如くしている。ローダ42aは第２ベルト
ユニット36b上の搬送治具42および厚膜モジュール34を
咥えて初期検査用回転テーブル43の供給ステーション43
aまで搬送する如くしている。上記初期検査用回転テー
ブル43はインデックス機構44（第11図および第12図参
照）により90°づつ間欠的に旋回して供給ステーション
43a上の搬送治具42および厚膜モジュール34を予備ステ
ーション43bを介して初期検査ステーション43c上に回送
したとき、初期検査を行ない、その結果をアンローダ42
bおよびプッシャユニット45aに指令を与えたのち、90°
旋回して搬送治具42および厚膜モジュール34を排出ステ
ーション43dまで回送させる如くしている。なお上記初
期検査ステーション43c上における初期検査は厚膜モジ
ュール34の電流，電圧および抵抗が予じめ設定された範
囲内に入っているか否かを検査する如く形成されてい
る。アンローダ42bは排出ステーション43d上の搬送治具
42および厚膜モジュール34を上記初期検出結果に基づき
良品のときには第３ベルトユニット36c上に移載し、不
良品のときには第４ベルトユニット36d上に移載する如
くしている。上記プッシャピン45′ａが突出し搬送治具
42の第５図に示す右側の穴54に挿入してスライドピース
51を第６図に示す位置より左方に移動させ、これにより
搬送治具42のスライドピース51からなるメモリ機構46に
指示を与え、以後トリマ本体部33によるトリミングを行
なわないで、直接搬送治具検出ステーション97まで搬送
させる如くしている。上記搬送治具42は第５図乃至第８
図に示す如く、上方のメインフレーム47と、下方のＴ形
状をしたＴ形ガイド48と、これらメインフレーム47およ
びＴ形ガイド48間を水平方向に摺動自在に嵌挿され、圧
縮コイルばね49の弾性力にて互いに外方反対方向に押圧
された２個のスライダ50と、第６図に示す矢印方向に摺
動自在に嵌挿されたスライドピース51と、このスライド
ピース51を弾性力にて摺動方向と直角な内方向の側壁47
aに軽く押圧する板ばね52とで形成されかつ両側面には
溝58′を形成している。上記メインフレーム47は小穴53
a,53bと、上記スライドピース51を摺動させるプッシャ
ピン45′ａ，45′ｂ，45′ｃを挿入する穴54と、搬送治
具42を位置決めするための位置決め穴55と、上記スライ
ダ50を摺動させるためのプッシュロッド（図示せず）を
挿入する穴56とを形成し、かつ４隅に外方に行くに伴な
って下方に傾斜するテーパ面57と、上面中央部に厚膜モ
ジュール34の高さを一定位置に保持するため、上面を厚
膜モジュール34の基板34aの回路のない部分に接触する
突起部58を形成し、かつ上記厚膜モジュール34のリード
34bを挿入するためスリット状の長穴59を形成してい
る。なおこの長穴59は円形状であってもよい。上記２個
のスライダ50はその外方端面にゴムまたはプラスチック
などで形成され、厚膜モジュール34をプロービングした
とき、搬送治具42から浮上がるのを防止するための絶縁
材60を固嵌支持している。なお、上記厚膜モジュール34
のリード34bを搬送治具42に挿入したときにはメインフ
レーム47の穴56内にプッシュロッドを嵌挿して圧縮コイ
ルばね49の弾性力に打ちかって２個のスライダ50を中央
部に位置させ、これにより長穴59の端部と厚膜モジュー
ル34のリード34bとの間にｅ矢印にて示す如く隙間を形
成して厚膜モジュール34のリード34bの挿入を容易に行
ないうるようにしている。また第７図に示す如く厚膜モ
ジュール34が搬送治具42上に挿入位置決めされたとき、
圧縮コイルばね49の弾性力により厚膜モジュール34のリ
ード34bが絶縁材60およびメインフレーム47の側壁に固
定される如くしている。後述の搬送治具検査ステーショ
ン97には上記小穴53a,53bの対向位置に２組の発光素子6
1aおよび受光素子61bからなるセンサ61を設け、このセ
ンサ61がＯＮ，ＯＦＦかをチェックして良品と不良品と
を判別するように形成されている。すなわち、初期検査
またはトリミング作業などの調整工程終了後、初期検査
工程での良品か不良品かの情報またはトリミング作業で
の合格か不合格かの情報を得るように形成されているの
で、メモリ機構46としてのスライドピース51が第６図ま
たは第８図に示すように右方に位置している場合には良
品、左方に位置している場合には不良品と仮定したと
き、不良品または不合格品のときのみ、上記プッシャユ
ニット45a,45b,45cのプッシュピン45′ａ，45′ｂ，4
5′ｃを作動させてスライドピース51を左方に移動さ
せ、後述の搬送治具検査ステーション97において搬送治
具42の左側の小穴53aの対向位置にセンサ61aを配置して
センサ61のＯＮ，ＯＦＦにより良品と不良品とを判別す
る如く形成している。

また搬送治具42が第５図に示す如く右上方から左下方に
向って矢印方向に搬送されると仮定したとき、２個の小
穴53a,53′ａは２種類の検査または調整作業結果の情報
を記憶することが可能である。すなわち最初の初期検査
結果を右側の小穴53aでつぎのトリミング作業結果は左
側の小穴53′ａにより記憶させることが可能である。そ
の結果小穴53a,53′ａをセンサ61でチェックすることに
より良品と不良品との別および作業別を判定することが
できる。なお上記小穴53a,53′ａは２個以上Ｎ個とする
ことも可能である。

つぎにトリマ本体部33は第９図乃至第12図に示す如く２
組のトリマ用回転テーブル62a,62bと、これら２組のト
リミングステーション62g,62hのそれぞれの上方位置に
配置された２組の光学スキャナ5a,5bと、１組のＹＡＧ
レーザ発信器１と２組のローダ64aおよびアンローダ64b
を有する第３，第４移載ユニット64から形成されてい
る。上記２組のトリマ用回転テーブル62a,62bはテーブ
ル31上に固定支持されたインデックス機構44により90°
づつ間欠的に旋回して供給ステーション62c,62d上の搬
送治具42および厚膜モジュール34を予備ステーション62
e,62fおよびトリミングステーション62g,62hを介して排
出ステーション62i,62jまで回送する如くしている。上
記トリミングステーション62g,62hにはテーブル31上に
固定された直立状のフレーム65の内側端面の下方部に固
定支持されたエアシリンダ66とその上方位置に固定支持
されたスライドユニット67と、このスライドユニット67
に上記エアシリンダ66により上下方向に摺動自在に支持
されたＴ形状のアーム68と、このアーム68の上面に安全
カバ69を介して搭載された前記光学スキャナ５と、上記
アーム68に下方に突出して下面で厚膜モジュール34の基
板34aの上面を押圧する如く固定支持されたディスタン
トピース70と、このディスタントピース70の下面に支持
され、プラスチックまたはゴムにて形成されたブロック
71とを設けている。また上記回転テーブル62a,62bのト
リミングステーション62g,62hには上方に摺動自在に嵌
挿するガイドバー72と、このガイドバー72の上下両端に
フランジ部73a,73bを固定支持され胴部73cを上記回転テ
ーブル62a,62bに上下方向に摺動自在に嵌挿するパケッ
トホルダ73と、このパケットホルダ73を弾性力にて常に
上方に押圧する如くパケットホルダ73のフランジ部73a,
73bの下面と上記回転テーブル62a,62bの上面との間のガ
イドバー72に嵌挿するばね73dとを設けている。上記下
方のフランジ部73bの中央部には厚膜モジュール34が上
下方向に移動自在に嵌挿する穴73eを形成し、上面には
搬送治具42を搭載支持している。さらに上記下方のフラ
ンジ部73bの下方位置にはテーブル31上に固定支持され
たスライダユニット74と、このスライダユニット74上に
ローラ軸受を介して第11図に対して前後方向に摺動自在
に支持されたスライドベース76と、このスライドベース
76上に固定支持された検査治具ボックス77と、この検査
治具ボッスク77に上方に突出して厚膜モジュール34のリ
ード34bの先端部に接触するプローブピン78とを設けて
いる。

レーザユニット81は第９図に示す如く、テーブル31のト
リミング本体部32上に固定されたスペースブロック79上
のアルミベース80上に固定され、その内部には、第10図
に示す如く、ＹＡＧレーザ発信器１からのレーザ光３が
エキスパンダ82を通過後ビームスプリッタ4aまたはミラ
ー4b、光シャッタ12a,12bを介して、光学スキャナ5a,5b
のｙ軸用ガルバノメータ83a，ｘ軸用ガルバノメータ83b
を通り、ミラー84a,84bで下方に反射され、トリミング
基板7a,7b内の抵抗体6a,6bを焼き切る如く形成されてい
る。上記光シャッタ12a,12bは光学スキャナ5a,5bの各入
口部に固定され、レーザ光3a,3bはミラー84a,84bで下方
に向って照射されている。上記検査治具ボックス77は第
13図および第14図に示す如く、ベースプレート85の上面
に角筒を形成する如く側板86a、前板86bおよび後板86c
を固定し、その上面に中央部のセンタプレート87と、そ
の両側にトッププレート88とを固定している。上記セン
タプレート87は予じめ位置決めされた状態でペースプレ
ート85上に固定された側板86aの上面に位置決めピン89
で位置決めされたのち、ボルト90にて固定され、その中
央部には外形と類似形状をした逃げ穴87aを形成し、こ
の逃げ穴87aの対向する２個の側壁面にそれぞれフラン
ジ部87bを形成し、このフランジ部87b上に逃げ穴87aを
覆うカバプレート91を搭載し、このフランジ部87bの外
方位置に上面を厚膜モジュール34のリード34bの先端部
に対接する如くプローブピン78を嵌挿し、このプローグ
ピン92の下端部を第14図に鎖線で示す如く検査基板93に
半田付けしている。この検査基板93は第15図に示す如く
上面にはチップコンデンサ、トランジスタおよび抵抗な
どの電子部品93aを支持し、下面には信号切換回路94お
よび信号発生回路ユニット95などを互いに接続した状態
で支持している。上記前板86bおよび後板86cには検査治
具ボックス77の持ち運びに便なるように取手96を固定し
ている。

前記テーブル31のアンローディング部32bは搬送治具検
査ステーション97と、アンロックユニット98と、３組の
ストッカ99a,99b,99cと、第５移載ユニット100と第５ベ
ルトユニット101とから形成されている。上記搬送治具
検査ステーション97は厚膜モジュール34および搬送治具
42が所定位置に達して停止したとき、第５図に示す如く
搬送治具42の両端部に形成された２個の小穴53a,53′ａ
内に向って第８図に示す発光素子61aから光を照射し、
この光が両小穴53a,53′ａ内を貫通して下方の受光素子
61bに達したとき厚膜モジュール34を良品として判定
し、第５図に示す右側の小穴53aがスライドピース51に
より遮断され受光素子61bに達しないときには初期検査
の結果不良になったものと判定し、第５図に示す左側の
小穴53a,53′ａがスライドピース51により遮断され受光
素子61bに達しないときにはトリミング後の検査の結果
不良になったものと判定し、これらを第５移載ユニット
100に指令を与える如くしている。上記第５ベルトユニ
ット101は搬送治具検査ステーション97とアンロックユ
ニット98との間およびアンロックユニット98とリフタ10
2との間を接続している。上記第５移載ユニット100は上
記搬送治具検査テスーション97からの指令に基づきアン
ロックユニット98上に達した搬送治具42上の厚膜モジュ
ール34のうち初期検査で不良のものを第４図に示す右側
のストッカ99aに搬送し、トリミング後不良のものを中
央のストッカ99bに搬送し、良品のものを左側のストッ
カ99cに搬送して夫々のストッカ99a,99b,99cに収納空に
なった搬送治具42を再び第５ベルトユニット101により
リフタ102まで搬送させる如くしている。上記リフタ102
は図示していないが、上記搬送治具42が達したとき、搬
送治具42を下降してテーブル31の下面に設けたリターン
コンベヤにて上記モジュール挿入ステーション40の下方
位置まで搬送したのち、上昇してモジュール挿入ステー
ション40内所定高さに位置決めする如くしている。

本発明によるトリミング装置は前記の如く構成している
から、搬送ベルトユニット35が前工程を終了した厚膜モ
ジュール34を搬送して第１ベルトユニット36aに移載さ
せると、第１ベルトユニット36aが厚膜モジュール34を
位置決めステーション37上まで搬送して位置決めステー
ション37で厚膜モジュール34を第１移載ユニット38の第
４図に示す右側チャックユニット38aにチャッキングさ
れ位置決めする。

しかるのち、上記右側チャックユニット38aが厚膜モジ
ュール34をチャッキングしてリード切断ユニット39上に
搬送すると、リード切断ユニット39が厚膜モジュール34
のリード34bの先端部をカッタで切断し、これが終了す
ると、左側のチャックユニット38bが厚膜モジュール34
をチャッキングしてモジュール挿入ステーション40上に
予じめ位置決めされて待機している搬送治具42上まで搬
送して搬送治具42のスリット状の長穴59内に厚膜モジュ
ール34のリード34bを挿入して基板34aの下面を突起部58
上に搭載する。

ついで第２ベルトユニット36bが上記厚膜モジュール34
を搭載した搬送治具42を第２移載ユニット42のローダ42
aに接続する位置に達すると、ローダ42aが厚膜モジュー
ル34および搬送治具42を初期検査用回転テーブル43の供
給ステーション43aまで搬送したのち、初期検査用回転
テーブル43の旋回により厚膜モジュール34および搬送治
具42を予備ステーション43bを介して初期検査ステーシ
ョン43cまで回送して厚膜モジュール34の電流，電圧お
よび抵抗などが予じめ設定された範囲内に入っているか
否かの初期検査を行ない、その結果厚膜モジュール34が
良品か不良品かをアンローダ42bおよびプッシュユニッ
ト45に指令を与える。

初期検査が完了して初期検査用回転テーブル43が90°旋
回し厚膜モジュール34および搬送治具42を排出ステーシ
ョン43dまで回送すると、良品のときにはアンローダ42b
で第３ベルトユニット36c上に移載し、不良品のときに
は第４ベルトユニット36d上に移載する。

上記第３ベルトユニット36cが良品の厚膜モジュール34
および搬送治具42を第３移載ユニット64のローダ64aに
接続する位置もしくは第４移載ユニット64のローダ64a
に接続する位置まで交互に搬送すると、夫々のローダ64
aが厚膜モジュール34および搬送治具42をトリマ用回転
テーブル62a,62bの供給ステーション62c,62d上にパケッ
トホルダ73上に搭載する。

同時に第４ベルトユニット36dが不良品の厚膜モジュー
ル34および搬送治具42をプッシャユニット45まで搬送す
ると、プッシャユニット45のプッシャピン45aの先端部
が突出して搬送治具42の第６図に示す右側のスライドピ
ース51を第８図に示す位置より左方向に移動させたの
ち、第４ベルトユニット36dが搬送治具検査ステーショ
ン97まで搬送する。

しかる後、トリマ用回転テーブル62a,62bが90°づつ間
欠的に旋回して厚膜モジュール34および搬送治具42を予
備ステーション62e,62fを介して第11図に示すトリミン
グステーション62g,62hまで回送すると、上方のアーム6
8がエアシリンダ66の駆動により下降してディスタンス
ピース70の下面のブロック71が厚膜モジュール34の基板
34aの端部の回路のない部分を下方に押下げ、これによ
って厚膜モジュール34が搬送治具42を介してパケットホ
ルダ73をばね73dの弾性力に打ちかって下方に押下げ
る。

ついで第12図に示す如くアーム68が最下端位置に達する
と、予じめスライダユニット74上を摺動してトリミング
ステーション62g,62h上に達しているスライドヘース76
上の検査ボックス77上に支持されているプローブピン78
の上端部に厚膜モジュール34のリード34bの先端部が接
触する。この状態で搬送治具42の突起部58とブロック71
との間で厚膜モジュール34を固定する。

したがってアーム68上の光学スキャナ5a,5bは一定の高
さ位置に保持され、厚膜モジュール34が一定の高さ位置
に保持されるので、トリミング効率を向上し、確実にト
リミングすることができる。

すなわち、従来のトリミング装置においては回転テーブ
ル内に位置決め固定された厚膜モジュールを上下動させ
ないで下方から検査ボックスを上昇させ厚膜モジュール
のリード先端にプローグピンを接触させてプロービング
状態を保持させ、その後にトリミングを行なっているた
め、上下動する検査ボックス上下ユニットなどの形状が
大形化し重量が増大して大きな容量のモータまたはシリ
ンダなどが必要となるので、装置全体が大形化する問題
がある。これに対して本発明は厚膜モジュール34および
搬送治具42を上下動して検査ボッスク77を上下動させな
いので、従来の問題点を解決することができる。

しかるのち、レーザユニット81のＹＡＧレーザ発信器１
からレーザ光３が照射すると、レーザ光３はエキスパン
ダ82を通過後ビームスプリッタ4aまたはミラー4b、光シ
ャッタ12a,12bを介して光学スキャナ5a,5bのｙ軸用ガル
バノメータ83a、Ｘ軸用ガルバノメータ83bを通ってミラ
ー84a,84bで下方に反射してトリミング基板7a,7bの抵抗
体6a,6bを焼き切る。

ついで検査ボックス77の信号発生回路ユニット95から厚
膜モジュール34に電流を送ってそのときの電流量が予じ
め設定された範囲内に入っているか否かをトリミングス
テーション62g,62hで検査し、しかるのち信号切換回路9
4で電流の流れを遮断して残存電流を除去して以下電
圧、抵抗が予じめ設定された範囲内に入っているか否か
を初期検査ステーション43cで検査し、その結果をプッ
シャユニット45a,45b,45cに指令を与える。

なお、上記検査ボッスク77の調整方法は、回路を動作状
態にして行なうことが必要であるので、トッププレート
88およびセンタプレート87の穴87aよりカバプレート91
を取外して検査基板93の大部分が外部よりみられる状態
にしたのち、別の検査用プローブ（図示せず）をブロー
ブピン78に接触して回路特性をチェックしつつ抵抗、ト
ランジスタなどを交換したりして調整を行うことができ
るので、調整作業を極めて簡単に行うことができる。

上記トリミング後の検査が完了し、トリマ用回転テーブ
ル62a,62bが90°旋回して厚膜モジュール34および搬送
治具42を排出ステーション62i,62jまで回送すると、第
３移載ユニット64のアンローダ64bが厚膜モジュール34
および搬送治具42を保持して第４ベルトユニット36dま
で搬送したのち、第４ベルトユニット36dが厚膜モジュ
ール34および搬送治具42をプッシャユニット45b,45cま
で搬送する。

しかる後厚膜モジュール34および搬送治具42がプッシャ
ユニット45b,45c位置まで達して一旦停止すると、厚膜
モジュール34が不合格品のときには、プッシャユニット
45b,45cのプッシャピン45′ｂ，45′ｃが突出し穴54内
を摺動して第６図に示す左側のスライドピース51を第６
図および第８図に示す位置より左方向に移動する。

ついで第４ベルトユニット36dが厚膜モジュール34およ
び搬送治具42を搬送治具検査ステーション97まで搬送す
ると、搬送治具検査ステーション97は２組の発光素子61
aから両小穴53a,53′ａに向って光を照射し、この光が
両小穴53a,53′ａ内を貫通して下方の受光素子61bに達
したとき厚膜モジュール34と良品と判定し、第５図に示
す右側の小穴53aがスライドピース51により遮断され受
光素子61bに達しないときには初期検査の結果不良と判
定し、第５図に示す左側の小後53′ａがスライドピース
51により遮断され受光素子61bに達しないときにはトリ
ミング後の検査の結果不良と判定し、これらを第５移載
ユニット100に指令を与える。

搬送治具検査ステーション97における検査が完了して第
５ベルトユニット101が搬送治具検査ステーション97上
の厚膜モジュール34および搬送治具42をアンロックユニ
ット98上まで搬送すると、第５移載ユニット100が上記
搬送治具検査ステーション97からの指令に基づき良品の
厚膜モジュール34を第４図に示す左側のストッカ99cに
搬送し初期検査の結果不良の厚膜モジュール34を右側の
ストッカ99aに搬送し、トリミング後の検査結果不良の
厚膜モジュール34を中央のストッカ99bに搬送して収容
する。また空になった搬送治具42は第５ベルトユニット
101によりリフタ102まで搬送したのち、再びモジュール
搬入ステーション40まで戻って、以下上記の作用を繰返
す。

上述の如く、厚膜モジュール34が搬入されると、そのリ
ード34bが所定の長さに切断された後、その厚膜モジュ
ール34を搬送治具42に搭載された状態で搬送し、その搬
送時、厚膜モジュール34を初期検査ステーション43cに
送ることによって初期検査を行い、その結果、良品の厚
膜モジュール34のみをトリミングステーション62g,62h
に送り、該ステーションにてトリミングされると共にそ
の検査が行われ、その結果、厚膜モジュール34のトリミ
ング後の良品と不良品とを搬送治具検査ステーション97
によって判定されることにより、夫々のストッカ99cと9
9bとに振るい分け、また初期検査結果の不良品も搬送治
具検査ステーション97により判定されてストッカ99aに
振るい分けるので、厚膜モジュール34のリード切断から
検査結果内容に応じた仕分けを連続的に行うことができ
る。しかも、厚膜モジュール34の初期検査結果の内容及
びトリミング後の検査結果の内容に応じ、プッシュユニ
ット45a〜45cにより搬送治具42に設けたスライドピース
51の位置を変えるので、搬送治具検査ステーション97が
搬送治具42に搭載された厚膜モジュール34の検査結果を
正確に判定することができる。

また図示実施例では、トリミングステーション62g,62h
が２組設置され、これらが１個のレーザ発振器１から発
振されるレーザビームを、２個の光学スキャナ5a,5bを
介し二系統に分けることによって夫々トリミングするの
で、レーザ発振器１を有効に使用することができ、従っ
て、１個のレーザ発振器を用いて２個以上のステーショ
ンでトリミングすれば、レーザ発振器のレーザビームの
発振効率を飛躍的に向上させることが可能となる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、厚膜モジュールのリード切断ユニット
とメモリ機構を有する搬送治具と搬送ユニットと初期検
査ステーションと複数組のトリミングステーションと搬
送治具内のメモリ機構の支持手段と搬送治具検査ステー
ションとを備えて構成し、搬入された厚膜モジュールの
リード切断，初期検査，トリミング，該トリミング後の
検査を夫々行うと共に、これら各検査結果の内容に応じ
て厚膜モジュールを振るい分けることができる結果、自
動化を達成し得る効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示すトリミング装置の概略
図、第２図は第１図の光シャッタを示す斜視図、第３図
は第２図のスキャナ本体の作動説明図、第４図はトリミ
ング装置全体を示す平面図、第５図は搬送治具を示す斜
視図、第６図は第５図の一部断面斜視図、第７図は第５
図のｃーｃ′断面正面図、第８図は第６図のｄ−ｄ′断
面側面図、第９図はトリマ本体部を示す斜視図、第10図
はレーザユニットの内部構成を示す斜視図、第11図はト
リミングステーションのプロービング前の状態を示す縦
断面側面図、第12図はトリミングステーションのプロー
ビング状態を示す縦断面側面図、第13図は検査治具ボッ
クスのセンタプレートの斜視図、第14図は検査治具ボッ
クスを示す斜視図、第15図は第14図のｂ−ｂ′断面正面
図、第16図は従来のトリミング装置の概略図である。 １…レーザ発振器、２…Ｑスイッチ、３…レーザ光、
４，15…ミラー、５…光学スキャナ、６…抵抗体、７…
トリミング基板、８…計測・制御部、９…検査信号、1
0,11…制御信号、12a,12b…光シャッタ、13…スキャナ
本体、16…出力端子、17,19…センサ、20…回転軸、21
…可動片、22…ヨーク、23,25…磁石、31…テーブル、3
4…厚膜モジュール、36a,36b,36c,36d,101…ベルトユニ
ット、37…位置決めステーション、39…リード切断ユニ
ット、38a,38b…チャックユニット、39…リード切断ユ
ニット、40…モジュール挿入ステーション、42…搬送治
具、43…初期検査回転テーブル、44…インデックス機
構、45…プッシャユニット、50…スライダ、51…スライ
ドピース、61…センサ、62g,62h…トリミングステーシ
ョン、77…検査治具ボックス、97…搬送治具検査ステー
ション、99…ストッカ、102…リフタ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 細貝 利夫 茨城県勝田市大字稲田1410番地 株式会社 日立製作所東海工場内 (56)参考文献 実開 昭51−103656（ＪＰ，Ｕ)

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】混成集積回路部品の抵抗体などの被加工物
   の一部をレーザ光線により切断して電子回路の特性を所
   定の値に調整するレーザトリミング装置において、搬入
   された被加工物のリードを所望長さに切断するリード切
   断ユニットと、リードの切断された被加工物を搭載し、
   かつ被加工物の初期検査及びトリミング後の検査の良否
   を記録し得るメモリ機構を有する搬送治具と、該搬送治
   具を搬送経路に沿って搬送する搬送ユニットと、この搬
   送ユニットに沿って設置され、上記搬送治具上の被加工
   物の電気的特性があらかじめ設定された範囲に入ってい
   るか否かを検査する初期検査ステーションと、搬送ユニ
   ットの前記初期検査ステーションより下流側に複数組配
   置され、かつ夫々が初期検査ステーションの検査によっ
   て良品となった被加工物をレーザ光線によってトリミン
   グすると共に、トリミング後の電気的特性を検査するト
   リミングステーションと、上記初期検査ステーションに
   よる初期検査結果及びトリミングステーションの検査結
   果に応じ夫々の検査の良否を搬送治具内のメモリ機構に
   支持する手段と、搬送ユニットの搬出側に設置され、か
   つ上記搬送治具のメモリ機構に基づいて被加工物の初期
   検査結果の良否及びトリミング後の検査結果の良否を判
   別し、該判別した内容に応じ初期検査結果の不良品とト
   リミング後の検査結果の良品及び不良品とを振るい分け
   る搬送治具検査ステーションとを備えたことを特徴とす
   るレーザトリミング装置。
2. 【請求項２】前記搬送治具のメモリ機構は、搬送治具の
   搬送方向における前部と後部とに夫々摺動自在に支持さ
   れたスライドピースを有し、搬送治具の前部におけるス
   ライドピースの位置に応じ、初期検査結果の良否とトリ
   ミング後の検査結果の良否との何れか一方を区別すると
   共に、搬送治具の後部におけるスライドピースの位置に
   応じ、初期検査結果の良否とトリミング後の検査結果の
   良否との他方を区別することを特徴とする請求項１記載
   のレーザトリミング装置。
3. 【請求項３】前記トリミング検査ステーションは、軸周
   りに回転可能に支持された回転テーブルと、該回転テー
   ブルに上方に付勢して取付られ、かつ搬送治具を保持す
   ると共に、底部が搬送治具内の被加工物のリード端子を
   開放した形状をなすパケットホルダと、回転テーブルの
   前記パケットホルダと対向する下方位置に設置され、か
   つプローブピンを立設した検査治具ボックスと、回転テ
   ーブルのパケットホルダと該パケットホルダ内の被加工
   物を上記付勢力に抗し検査治具ボックス方向に押圧し、
   被加工物のリード端子を検査治具ボックスのプローブピ
   ンと接続させる押下げユニットとを有することを特徴と
   する請求項１記載のレーザトリミング装置。
4. 【請求項４】前記検査治具ボックスは、その上面の中央
   部にプローブピンを突出させるセンタープレートを固定
   し、上面のセンタープレートを除く両側位置にトッププ
   レートを取り外し可能に取付けると共に、センタープレ
   ートの中央にカバープレートを取り外し可能に取り付け
   ていることを特徴とする請求項３記載のレーザトリミン
   グ装置。