JPH0712948Y2 - 部品試験装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この考案は例えば半導体集積回路素子のような部品の良
否を試験する部品試験装置に関し、特に不良と判定され
た部品の再テストを自動的に行なわせることができる機
能を付加した部品試験装置を提供しようとするものであ
る。

「従来の技術」 従来の半導体集積回路素子（以下単にICと称す）を試験
する部品試験装置では被試験ICを筒状のマガジンに整列
させて収納し、このマガジンをIC試験装置の部品供給側
のマガジンストッカに装着し、マガジンから先頭と後尾
の方向の向が規定された部品を順次試験装置に供給す
る。

試験装置はマガジンから排出されたICを順次試験し、そ
の試験結果によって良品を不良品に選別し、良品と不良
品を別々にマガジンに仕分けして収納し、試験を終了す
る。

「考案が解決しようとする課題」 試験結果において不良品が多量に発生した場合次の２通
りの原因が考えられる。素子の製造工程のミス。試
験装置の不具合。

不良発生原因がかかを判定するには再テストが必要
となる。

従来は不良と判定されたICを収納したマガジンは人手に
よって試験装置の供給側マガジンストッカに移し替え再
テストを実行している。

このために人手が掛ることと、試験部門における省力
化、強いては無人化の障害となっている。

この考案の目的は不良品が発生すると、その不良品を自
動的に再テストさせることができる機能を付加した部品
試験装置を提供しようとするものである。

「課題を解決するための手段」 この考案では、部品供給部から繰出される部品を受取っ
て一列に整列させる部品整列装置と、 この部品整列装置によって整列された複数の部品を装置
内で循環するトレーに移載する第１部品移載装置と、 第１部品移載装置によって部品が移載されたトレーが移
送され、搭載された部品の良否を試験する試験装置と、 この試験装置によって試験された部品を搭載して到来す
るトレーから、このトレーに搭載されている部品を直線
搬送装置に移載する第２部品移載装置と、 直線搬送装置によって搬送される部品の中の良品と判定
された部品を直線搬送装置から排出する良品選別装置
と、 この良品選別装置によって直線搬送装置から排出された
部品を収納する良品収納部と、 直線搬送装置の終端と、部品整列装置との間に設けら
れ、良品選別装置によって選別されずに直線搬送装置の
終端に運ばれた不良品を部品整列装置に帰還させる不良
品搬送装置と、 によって部品試験装置を構成する。

この考案の構成によれば試験の結果、不良と判定された
部品は良品選別装置によって選択されずに直線搬送装置
の終端に運ばれる。

直線搬送装置の終端と部品供給側に設けた部品整列装置
との間に不良品搬送装置を設けたので不良品が良品選別
装置によって選別されずに直線搬送装置の終端まで運ば
れると、不良品搬送装置が動作して不良品を部品供給側
に設けた部品整列装置に帰還させることができる。

従ってこの考案によれば不良品が発生しても、その不良
品を自動的に部品供給側に帰還させることができ、不良
品を自動的に再テストすることができる。よって人手を
掛けることなく不良品を所定回以上繰返し試験すること
ができる利点が得られる。

「実施例」 第１図にこの考案の一実施例を示す。第１図に示す100
は試験装置を示す。この試験装置100はテストヘッド101
に電気的に接続され、テストヘッド101に装着される部
品10の動作を試験し、良、不良を判定する。

尚この例ではテストヘッド101を恒温槽102の内部に設
け、部品10を所望の温度環境下において動作させ、所定
の動作を行なうか否かを試験することができるように構
成した場合を示す。

恒温槽102の内側と外側にわたって室内レール103が環状
に設けられる。この案内レール103にトレー104が案内さ
れて恒温槽102の内部と外部とをＡ−Ｂ−Ｃ−Ｄ−Ｅ−
Ｆの順に移動し、部品10を搬送する。

これから試験しようとする部品10は図の左下に位置した
部品供給部200に収納されており、この部品供給部200か
ら部品10が整列装置300に繰出される。

整列装置300は例えばベルト式の搬送装置によって構成
することができ、例えばパルスモータによって移動量が
制御でき、正逆何れの方向にも部品10を移動させること
ができる。通常の部品供給状態では部品を一方向にのみ
移動させるが、後述する不良品搬送装置400が不良品を
搬送して来たときは逆向に駆動され不良品を任意の位置
に搬送することができる。

整列装置300と対向して第１部品移載装置500を設ける。
第１部品移載装置500はＹ軸方向に移動できるように支
持された可動台501と、この可動台501に支持された空気
の吸引力によって部品10を吸着する複数の吸着ヘッド50
2とによって構成することができる。この例では可動台5
01に８個の吸着ヘッド502を取付けた場合を示す。

第１部品移載装置500は整列装置300によって一列に並べ
られた部品10を一度に８個、吸着ヘッド502に吸着し、
トレー104に移し替える。

トレー104には一列に８個の部品収納用凹部104Aを有
し、この部品収納用凹部104Aに吸着ヘッド502から８個
の部品10を落し込む。

この移載作業をトレー104に形成された凹部104Aの列の
数だけ繰返すとトレー104は満杯となり、順路Ａ−Ｂを
通ってテストヘッド101の位置に運ばれる。

テストヘッド101の位置ではトレー104から部品10が１個
ずつ取出され、この取出された部品がテストヘッド101
の部品装着部に装着され、試験装置100によって部品の
動作が試験される。

試験が終了すると部品10はトレー104の元の位置に戻さ
れる。テストヘッド101とトレー104との間において部品
10を運ぶ搬送装置としては空気による吸着ヘッドと、Ｘ
−Ｙの２方向に移動する移動台とによって、構成するこ
とができる。

このＸ及びＹ方向に移動する搬送装置が試験を終了した
部品10をトレー104に戻すとき、試験装置100はトレー10
4上の凹部104Aの位置に対応した記憶位置にその凹部104
Aに収納される部品10の良否を記憶する。

トレー104上の全ての部品10が試験を終了すると、トレ
ー104は順路Ｃ−Ｄを通って第２部品移載装置600の下部
に移動する。

第２部品移載装置600は第１部品移載装置500と同様にＹ
軸方向に移動自在に支持された移動台601と、この移動
台601に支持された吸着ヘッド602とによって構成され、
吸着ヘッド602がトレー104上の部品を吸着すると移動台
601が直線搬送装置700に向って移動する。

吸着ヘッド602が直線搬送装置700の上に到達すると、吸
着ヘッド602は部品10を吸着から解放し、部品10を直線
搬送装置700に移載する。

直線搬送装置700は部品供給側に設けた部品整列装置300
と同様にベルト式の搬送機構によって構成することがで
きる。

直線搬送装置700の両側に良品選別装置720と部品収納部
740とが設けられる。良品選別装置720は例えば複数のエ
アシリンダによって構成することができ直線搬送装置70
0によって運ばれて来る部品10の中から良品と判定され
た部品10を直線搬送装置700の上から排出し、対向して
設けた部品収納部740に収納させる。

良品選別装置720はトレー104上の部品の位置に対応して
記憶した良否の判定結果に基づいて動作し、良品だけを
選択して部品収納部740に収納する。

不良と判定された部品10は良品収納部740によって排出
されることなく直線搬送装置700の終端701に到達する。

この考案においては、直線搬送装置700の終端701と整列
装置300との間に不良品を直線搬送装置700から整列装置
300に帰還させる不良品搬送装置400を設けた構造を特徴
とするものである。

不良品搬送装置400はＸ軸方向に移動できるように支持
した可動台401と、可動台401に取付けた吸着ヘッド402
とによって構成することができる。

直線搬送装置700の終端701に部品10が到来すると、その
状態を光学式スイッチ等によって検出する。終端701に
部品が到来すると、不良品搬送装置400が動作を始め、
終端701に到来した部品10を吸着ヘッド402に吸着して整
列装置300に搬送する。

整列装置300に不良品が搬送されると、不良品の数に応
じて試験装置100はトレー104に移載する不良品の位置を
指定し、不良品の再テストを認識する。

試験装置100は不良品の再テスト回数を計数し、同一の
部品が規定の回数以上再テストを繰返したか否かを判定
し、同一部品が規定回数以上再テストを繰返したとき眞
に不良と判定する。

「考案の効果」 以上説明したように、この考案によれば試験した部品に
不良が発生しても、その不良部品を自動的に再テストさ
せることができる。

この結果仮にテストヘッド101でたまたま接触不良によ
り不良判定結果が出された場合でも、その不良と判定さ
れた部品は再テストに自動的に帰還されるから、人手を
掛けることなく再テストによって正しい試験を行なうこ
とができる。

またテストヘッド101が故障して接触不良が発生した場
合には試験される部品の全てが不良と判定され多量の不
良品が発生するが、この不良品は自動的に再テストさ
れ、人手を掛けることなく再テストを繰返すことができ
る。

またこの場合再テストされる部品の数が異常に多く、再
テストの回数も規定回数に達したとき、試験装置は試験
を停止し、この状態で初めて人為的に試験装置の故障
か、部品が眞に不良であるのかの判定を行なえばよい。

従ってこの考案によればときどき発生する接触不良等に
よる不良判定故事を自動的に救済することができ試験の
自動化を達することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す平面図である。 10:部品、100:試験装置、101:テストヘッド、102:恒温
槽、103:案内レール、104:トレー、200:部品供給部、30
0:整列装置、400:不良品搬送装置、500:第１部品移載装
置、501:可動台、502:吸着ヘッド、600:第２部品移載装
置、601:可動台、602:吸着ヘッド、700:直線搬送装置、
720:良品選別装置、740:良品収納部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】A.部品供給部から繰出される部品を受取っ
   て一例に整列させる部品整列装置と、 B.この部品整列装置によって整列された複数の部品を装
   置内で循環するトレーに移載する第１部品移載装置と、 C.第１部品移載装置によって部品が移載されたトレーが
   移送され、搭載された部品の良否を試験する試験装置
   と、 D.この試験装置によって試験された部品を搭載して到来
   するトレーから、このトレーに搭載されている部品を直
   線搬送装置に移載する第２部品移載装置と、 E.上記直線搬送装置によって搬送される部品の中の良品
   と判定された部品を上記直線搬送装置から排出する良品
   選別装置と、 F.この良品選別装置によって上記直線搬送装置から排出
   された部品を収納する良品収納部と、 G.上記直線搬送装置の終端と、上記部品整列装置との間
   に設けられ、上記良品選別装置によって選別されずに上
   記直線搬送装置の終端に運ばれた不良品を上記部品整列
   装置に帰還させる不良品搬送装置と、 によって構成した部品試験装置。