JPH06509054A - フッ化マグネシウム膜の付着法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 フッ化マグネシウム膜の付着法 本発明はフッ化マグネシウム膜（Ｆｉｌｍ、被覆、被膜）及びフッ化マグネシウ ム膜の熱ガラス基体表面への付着（［１ｅｐｏｓｉｔ　、析出）法に係わる。

フッ化マグネシウムは光学製品及び透過ガラス（ｖｉｓｉｏｎ　ｇｌａｚｉｎｇ ｓ　）に対し反射防止性を与え、可視光透過率を増加する被覆材料として周知で ある。フッ化マグネシウム膜は、単独または他の金属及び誘電層と組み合わされ て、例えば噴霧熱分解（ｓｐｒａｙ　ｐｙｒｏｌｙｓｉｓ　）　、化学蒸着、真 空蒸着、スパッタリングなどの慣用の方法により適宜透明な基体上に付着される 。

噴霧熱分解または化学蒸着によるフッ化マグネシウムの付着では、被覆される基 体の加熱された表面に施される適当な反応前駆体（ｒｅａｃｔｉｖｅ　ｐｒｅｃ ｕｒｓｏｒ）を調製することか必要である。噴霧熱分解ては熱い基体の表面に噴 霧される液体反応前駆体か用いられ、ここで前駆体は熱分解し膜を形成するよう に反応する。化学蒸着では熱い基体表面に運はれる気体反応前駆体が用いられ、 ここで前駆体は膜を形成するように反応する。フロート式ガラス製造法により製 造される連続するガラスリボンは、適宜表面に膜を形成するための噴霧熱分解及 び化学蒸着前駆体を活性化し、反応させるのに十分な熱を有する。

ラングリ−（Ｌａｎｇｌｅｙ　）に対する米国特許第３．４７５．．１９２号は ガラス表面を被覆し焼成してフッ化マグネシウム膜を形成する液体反応前駆体を 開示する。

この前駆体は有機溶媒と膜形成材料、例えば油との混合物中に溶解したフッ化マ グネシウムからなる。

ジョーステン（Ｊｏｏｓｔｅｎ　）らに対する米国特許第４，４９２，７２１号 はマグネシウムｌ原子当たりフッ素６原子を含有するフッ素含有有機マグネシウ ム化合物の不均化による、基体上にフッ化マグネシウム層を与える方法を開示す る。例えばトリフルオロ酢酸マグネシウム、マグネシウムトリフルオロアセチル アセトナート、マグネシウムヘキサフルオロアセチルアセトナートなとのフッ素 含存化合物と有機溶媒とから成る反応前駆体を、使用されるフッ素含存化合物の 気化温度に応して噴霧熱分解法または化学蒸着法を用いて熱いガラス基体に接触 させる。

しかしながら、この様な前駆体は種々の有機溶媒における限られた溶解性のため 一般に取り扱うのか難ｔべ、そのうえ、比較的限られた反射防止特性を持つガラ ス上の被覆を生じる。

優れた溶解性故に取り扱い易い反応前駆体を用いる、高い反射防止性フッ化マグ ネシウム被覆をガラス上に付着させる方法を考案することが望ましい。

本発明により、噴霧熱分解法または化学蒸着法によるフッ化マグネシウム膜（Ｆ ｉｌｍ、被覆、被膜）の調製用の反応前駆体が、驚くべきことに発見された。こ の前駆体は・ Ａ）マグネシウムアセチルアセトナート：Ｂ）トリフルオロ酢酸；及び Ｃ）随意に、溶媒 からなる。

本発明の反応前駆体は、（噴霧熱分解法においては）液体、（化学蒸着法におい ては）気体の形で加熱されたガラス基体の表面に運ばれる。

本発明の反応前駆体はフッ化マグネシウム反射防止膜を自動車用及び建築用ガラ ス上に配置するのに特に適している。

フッ化マグネシウム膜は、マグネシウムアセチルアセトナートとトリフルオロ酢 酸との混合物からなる反応前駆体を使用することにより、公知の熱分解法または 化学蒸着法により熱いガラス基体上に付着（Ｄｅｐｏｓｉｔ　、析出）する。適 宜反応前駆体は溶媒を含む。本発明の方法により付着するフッ化マグネシウム膜 は、更に反応温度か上昇したときに減少する少量の酸化マグネシウムを含む。

フッ化マグネシウム膜か付着するガラスは、公知のフロートガラス製造法により 製造される連続するガラスリボンの形態でも個々のガラスシートの形態ても良い 。本発明で使用するための適当なガラス基体は、自動車用または建築用ガラスを 調製するのに有用であることか当業者に知られているいかなる慣用のガラス組成 物を含む。種々のガラス基体、例えばホウケイ酸ガラスまたはソーダ石灰シリカ ガラスを製造する種々の化学組成物は、一般に構造的にも化学的にもフッ化マグ ネシウムの付着層に影響を与えない。好ましいガラスはソーダ石灰シリカガラス どして当業者に良く知られており、フッ化マグネシウムのような被覆の支持体を 与えるのに有用であると一般に知られているいかなる厚さでも良い。

フッ化マグネシウムで被覆されるガラスがフロートガラス法により製造されてい るときには、ガラスの温度は、既に液体噴無を熱分解するのに、または本発明の 化学蒸着反応前駆体の気化した成分が互いに反応するのに十分なくらい高くなっ ている。本発明の反応前駆体を用いる熱分解または化学蒸着は、一般に約９０Ｏ ″Ｆ〜約１２００”Ｆ（約４８２°Ｃ〜約６４９℃）の温度て行われる。フッ化 マグネシウムの被覆を受ける個々のガラスシートは、熱分解または化学蒸着を成 し遂げるためにほぼこの特定の温度範囲に加熱されなくてはならない。

マグネシウムアセチルアセトナートは、ニューシャーシー州グロウセスターシテ ィーのアムスペック社より得られる公知の市販の化学試薬である。トリフルオロ 酢酸も同様に公知の市販の試薬であり、一般に約９７％〜約９８．５％の濃度で ペンシルバニア州ビッッパーグのフィッシャーサイエンティフィク社のような業 者から得られる。

適宜本発明の反応前駆体に含まれる溶媒には、例えばメタノール、ジメチルホル ムアミド、ベンゼン、トルエン、キシレスヘキサン、ヘプタン、エタノール、メ チレンクロリド（塩化メチレン）、ペルクロロエチレン、クロロホルム、四塩化 炭素、ジメチルアセトアミド、アセトニトリル、ニトロベンゼン、酢酸、エチレ ンジアミン、プロパツール、ブタノールなどの多岐にわたる有機物及び水、そし てそれらの混合物がある。好ましい溶媒はメタノールと水との混合物である。

各成分はいかなる慣用の混合器で、いかなる順て混合されても良い。一般に、溶 媒を、もし−の溶媒か使用されるときには、トリフルオロ酢酸と混合し、それか らマグネシウムアセチルアセトナートをこの混合物に加える。マグネシウムアセ チルアセトナートとトリフルオロ酢酸とは、噴霧熱分解または化学蒸着法を用い て熱いガラス基体の表面にフッ化マグネシウムの膜を形成するのに十分な量存在 する。一般に、マグネシウムアセチルアセトナートは反応前駆体の約４〜約２０ 重量９６の濃度で存在する。好ましくは、マグネシウムアセチルアセトナートの 濃度は約８〜約１８重量９６である。一般にトリフルオロ酢酸は反応前駆体の約 ５〜約９５９６の濃度で存在する。好ましくは、トリフルオロ酢酸の濃度は約８ 〜約１４重量％てあり、溶媒と一緒に使用される。適宜存在するときには、溶媒 は反応前駆体の約６０〜約８０重量９６の濃度で含有される。好ましい反応前駆 体は約７０〜約８０重量％の濃度で溶媒を含有する。反応前駆体は、噴霧熱分解 法では、液体で熱いガラス基体の表面に運ばれる。しかしながら、化学蒸着法て は、１　反応前駆体は慣用の方法により気化され、ガラス基体の熱い表面に運ば れる蒸気を形成する。

生成したフッ化マグネシウム膜は、反応時間、反応条件、ガラス温度などに応じ て事実上いかなる厚さを持つ層でも形成するように付着する。一般に、フ・フッ マグネシウム膜の意図される使用目的に応じて、約５０〜約５０００オンダスト ・　ロームの膜の厚さが種々の自動車用及び建築用ガラスへの適用（塗布、被膜 形成、被覆）に有用であることがわかった。

本発明の方法はフッ化マグネシウムの膜を直接ガラス表面に形成するのに有用で あるばかりか、ガラス表面に被着した、予め付着した被覆上にフッ化マグネシウ ムの膜を形成するのにも有用である。従って、本発明はフッ化マグネシウム膜を 予め適用された誘電または金属の層の上に施すときにも使用できる。従って、本 明細書中で使用される「ガラス基体Ｊという語は、被着したーまたはそれ以上の 前記誘電または金属の層を持つガラスを含むことが意図される。フッ化マグネシ ウム膜か付着する誘電層には、これらに限定するわけてはないか、ＺｎＯ。

５ｎｏ２．ＭｇＦ２．Ａ１２　Ｃｈ　、ＴｉＮ、５ｆｏｘ、ＭｇＯ１Ｔｉｌｔ等 、及びそれらの混合物がある。フッ化マグネシウム膜か付着する、同じ操作性と 作動性とを持つ、意図される金属層には、これらに限定するわけではないが、Ａ ｇ。

Ａｕ、Ｃｕ、Ｔｉ、Ａ１．Ｓｎ等、及びそれらの合金がある。例えば、銀及び酸 化亜鉛の多数の被覆を持ち、最後にフッ化マグネシウムの反射防止層を含有する ガラス基体からなる、反射防止、赤外排除（ｉｎｆｒａｒｅｄ　ｒｅｊｅｃｔｉ ｏｎ）及び／または電気抵抗加熱特性（ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ　ｒｅｓｉｓｔａ ｎｃｅ　ｈｅａｔａｂｉｌｉｔｙ　）を持つ高性能な自動車用または建築用ガラ スを製造することは良く知られている。

実施例 １５６重量９６のマグネシウムアセチルアセトナート、８．９重量９６のトリフ ルオロ酢酸、３０．３重量％の水及び４５．１重量％メタノールを混合し、反応 前駆体を調製した。生成した反応前駆体溶液を、約１０００”Ｆ（約５４０″Ｃ ）の温度で、フッ素をトープした酸化スズ（ｆｌｕｏｒｉｎｅ−ｄｏｐｅｄ　ｔ ｉｎ　ｏｘｉｄｅ）の予め適用（塗布、被膜形成、被覆）された層を有するソー ダ石灰シリカガラスシート上に噴霧し、約１４００オングストロームの厚さの、 少量の酸化マグネシウムを含有するフッ化マグネシウム膜（Ｆｉｌｍ、被覆、被 膜）を生成した。

フン化マグネシウムで被覆した基体のフィルムサイド（ｆｉｌｍ−ｓｉｄｅ　） 反射率は５．６％てあり、これに対し、フッ素をドープした酸化スズで被覆した ガラス基体のフィルムサイト反射率は９．４％であった。

池の例でも、本例で具体的に用いられる反応物及び／または反応条件を、ここで 一般的にまたは特定的に記載された反応物及び／または反応条件に換えることに より同様に調製できる。

国際調査報告　。ｒＴ／。。。つ／、、１Ｃ４゜ＰＣＴ／ＥＰ　９２１０１６４ ９ 国際調査報告

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. １．Ａ）マグネシウムアセチルアセトナート；Ｂ）トリフルオロ酢酸；及び Ｃ）適宜に溶媒 からなるフッ化マグネシウム膜を形成する反応前駆体。
2. ２．マグネシウムアセチルアセトナートが反応前駆体の約４〜約２０重量％であ る、請求項１に記載のフッ化マグネシウム膜を形成する反応前駆体。
3. ３．トリフルオロ酢酸が反応前駆体の約５〜約９５重量％である、請求項１また は２に記載のフッ化マグネシウム膜を形成する反応前駆体。
4. ４．溶媒が反応前駆体の約６０〜約８０重量％である、請求項１〜３の何れか１ 項に記載のフッ化マグネシウム膜を形成する反応前駆体。
5. ５．Ａ）約１０〜約１８重量％のマグネシウムアセチルアセトナート；Ｂ）約８ 〜約１４重量％のトリフルオロ酢酸；及びＣ）約７０〜約８０重量％の溶媒 からなるフッ化マグネシウム膜を形成する反応前駆体。
6. ６．Ａ）ガラス基体を加熱し、そして Ｂ）この加熱したガラス基体の表面に、請求項１〜５の何れか１項に記載の反応 前駆体をフッ化マグネシウム膜を形成するのに十分な量を施すことからなる、ガ ラス基体上にフッ化マグネシウム膜を付着する方法。
7. ７．噴霧熱分解法において、反応前駆体が液体の形態で加熱されたガラス基体の 表面に運ばれる、請求項６に記載のガラス基体上にフッ化マグネシウム膜を付着 する方法。
8. ８．化学蒸着法において、反応前駆体が気体の形態で加熱されたガラス基体の表 面に運ばれる、請求項６に記載のガラス基体上にフッ化マグネシウム膜を付着す る方法。
9. ９．ガラス基体が約４８２℃（９００°Ｆ）〜約６４９℃（１２００°Ｆ）の温 度に加熱されている請求項６、７または８項に記載のガラス基体上にフッ化マグ ネシウム膜を付着する方法。