JPH065100A - Semiconductor memory device - Google Patents
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- JPH065100A JPH065100A JP4159604A JP15960492A JPH065100A JP H065100 A JPH065100 A JP H065100A JP 4159604 A JP4159604 A JP 4159604A JP 15960492 A JP15960492 A JP 15960492A JP H065100 A JPH065100 A JP H065100A
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- input
- reference clock
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ウエハ状態のままで高精度のスピード選別を行
うことができる半導体記憶装置を提供する。
【構成】半導体記憶装置に、情報を記憶するメモリセル
アレイ14と、外部から入力した基準クロックに基いて
所定のタイミングでデ−タ出力制御信号をオンからオフ
にする制御回路18と、この制御回路18から入力した
デ−タ出力制御信号がオンであるときのみメモリセルア
レイ14から読み出した記憶情報を出力するセンス増幅
回路15と、このセンス増幅回路15から入力した記憶
情報をラッチする出力デ−タラッチ回路19とを備え
る。
【効果】ラッチ回路から記憶情報が出力されたか否かに
よってスピード選別を行うことができるので、このスピ
ード選別の精度を向上させることができる。
(57) [Summary] [Object] To provide a semiconductor memory device capable of performing highly accurate speed selection in a wafer state. A semiconductor memory device includes a memory cell array 14 for storing information, a control circuit 18 for turning a data output control signal from on to off at a predetermined timing based on a reference clock input from the outside, and this control circuit. A sense amplifier circuit 15 that outputs the storage information read from the memory cell array 14 only when the data output control signal input from 18 is ON, and an output data latch that latches the storage information input from the sense amplification circuit 15. And a circuit 19. [Effect] Since speed selection can be performed depending on whether or not stored information is output from the latch circuit, the accuracy of this speed selection can be improved.
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、メモリセルから記憶情
報を読み出す際の読み出し速度等が所望の仕様を満たし
ているか否かを検査するためのスピード選別回路を内蔵
する半導体記憶装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device containing a speed selection circuit for inspecting whether or not a read speed at the time of reading stored information from a memory cell meets a desired specification. is there.
【0002】[0002]
【従来の技術】通常、半導体記憶装置の製造に際して
は、その集積回路の製造工程を終了した後、ウエハ状態
のままで、動作確認テスト等の種々の特性検査が行わ
れ、これによって、良品と不良品との選別や仕様を満た
しているものと満たしていないものとの選別が行われて
いる。2. Description of the Related Art Generally, in manufacturing a semiconductor memory device, after the manufacturing process of the integrated circuit is completed, various characteristic tests such as an operation confirmation test are carried out in a wafer state, which results in a non-defective product. We are sorting out defective products and those that meet specifications and those that do not meet specifications.
【0003】かかる特性検査の一つとして、「スピード
選別」と称される検査が知られている。これは、半導体
記憶装置の読み出し系のアクセス時間(すなわち半導体
記憶装置内のメモリセルから記憶情報を読み出すために
要する時間)を測定し、このアクセス時間が予め仕様と
して定められた時間内であるか否かを検査するものであ
る。As one of the characteristic inspections, an inspection called "speed selection" is known. This is done by measuring the access time of the read system of the semiconductor memory device (that is, the time required to read the stored information from the memory cell in the semiconductor memory device) and confirming that this access time is within the time set in advance as a specification. It is to inspect whether or not.
【0004】以下、従来の半導体記憶装置の読み出し系
およびこの読み出し系で「スピード選別」を行う方法に
ついて、図9および図10を用いて説明する。図9は、
従来の半導体記憶装置における読み出し系60の構成を
概念的に示すブロック図である。同図において、アドレ
スバッファとしてのアドレス回路62は、入力したアド
レス信号をアドレスデコーダ63に対して出力する。ア
ドレスデコーダ63は入力したアドレス信号に応じた読
出制御信号を出力し、メモリセルアレイ64内のメモリ
セルから記憶情報を出力させる。この記憶情報は、セン
ス増幅回路65で増幅された後、出力回路66を介して
デ−タ出力端子67から出力される。A read system of a conventional semiconductor memory device and a method of performing "speed selection" in this read system will be described below with reference to FIGS. 9 and 10. Figure 9
It is a block diagram which shows notionally the structure of the read system 60 in the conventional semiconductor memory device. In the figure, the address circuit 62 as an address buffer outputs the input address signal to the address decoder 63. The address decoder 63 outputs a read control signal according to the input address signal, and causes the memory cells in the memory cell array 64 to output stored information. This stored information is amplified by the sense amplifier circuit 65 and then output from the data output terminal 67 via the output circuit 66.
【0005】また、図10は、この読み出し系60の動
作を示すタイミングチャートである。同図に示したよう
に、アドレス回路62にアドレス信号が入力されると
(時刻tA )、アドレスデコーダ63からメモリセルア
レイ64への制御信号の出力、センス増幅回路65から
の記憶情報の出力、この記憶情報のデ−タ出力端子67
からの出力(時刻tB )は、それぞれ、所定時間ずつ遅
延して行われる。このときの、時刻tA から時刻tB ま
での経過時間T0 が、この読み出し系60のアクセス時
間である。FIG. 10 is a timing chart showing the operation of the read system 60. As shown in the figure, when an address signal is input to the address circuit 62 (time t A ), a control signal is output from the address decoder 63 to the memory cell array 64, and stored information is output from the sense amplifier circuit 65. This memory information data output terminal 67
Output (time t B ) is delayed by a predetermined time. At this time, the elapsed time T 0 from time t A to time t B is the access time of the read system 60.
【0006】このような従来の読み出し系60における
スピード選別は、アドレス入力端子61およびデ−タ出
力端子67を評価装置に接続し、この評価装置でアクセ
ス時間T0 を測定することにより行われていた。この評
価装置は、アドレス入力端子61に対してアドレス信号
を出力すると同時にタイマをスタートさせ、デ−タ出力
端子67から記憶情報を出力すると、このときのタイマ
の値を読み取るように構成されている。すなわち、この
装置によりアクセス時間T0 を測定し、このアクセス時
間T0 が予め仕様として定められた時間内であるか否か
によってスピード選別を行う。The speed selection in the conventional read system 60 is performed by connecting the address input terminal 61 and the data output terminal 67 to the evaluation device and measuring the access time T 0 by the evaluation device. It was This evaluation device is configured to output the address signal to the address input terminal 61, start the timer at the same time, and output the stored information from the data output terminal 67 to read the value of the timer at this time. . That is, the access time T 0 is measured by this device, and the speed selection is performed depending on whether or not the access time T 0 is within a predetermined time.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】このようにしてスピー
ド選別を行う場合、上述の評価装置の寄生インダクタン
スや静電容量や電気抵抗等によって、アクセス時間T0
の測定値に誤差が生じる。また、この測定誤差は、アド
レス入力端子61やデ−タ出力端子67のパッド部に針
を当接させる際のこの針の当て具合や、評価装置とを繋
ぐ配線の引き回し等によっても変化する。これらの要因
により、アドレス入力端子61に供給されるテストクロ
ックの波形のなまり方や、出力の負荷条件、測定精度が
変化するからである。When performing speed selection in this way, the access time T 0 is determined by the parasitic inductance, electrostatic capacity, electric resistance, etc. of the evaluation device described above.
There is an error in the measured value of. Further, this measurement error also changes depending on how the needle is brought into contact with the pad portions of the address input terminal 61 and the data output terminal 67, the wiring of the wiring connecting to the evaluation device, and the like. This is because these factors change the rounding of the waveform of the test clock supplied to the address input terminal 61, the output load condition, and the measurement accuracy.
【0008】このため、従来は、これらの測定誤差の要
因や評価装置の精度等を考慮して、十分にマージンをと
った状態でスピード選別を行い、さらに、ウエハのダイ
シングを行ってパッケージ化した後に、高性能の評価装
置で二回目の検査を行うこととしていた。Therefore, conventionally, in consideration of the factors of these measurement errors and the accuracy of the evaluation device, speed selection is performed with a sufficient margin, and further dicing of the wafer is performed for packaging. Later, it was decided to perform a second inspection with a high-performance evaluation device.
【0009】しかしながら、近年は半導体記憶装置の処
理時間が高速化しているため、仕様値としてのアクセス
時間T0 はその分だけ短時間になる傾向にある。このた
め、上述のごとき測定誤差の影響はますます大きくなっ
ており、十分な測定精度を得ることができなくなってい
る。However, since the processing time of the semiconductor memory device has been increased in recent years, the access time T 0 as a specification value tends to be shortened accordingly. For this reason, the influence of the measurement error as described above is increasing, and it becomes impossible to obtain sufficient measurement accuracy.
【0010】また、近年では、かかる半導体記憶装置を
ウエハ状態のままでユーザに出荷する場合が生じてい
る。このような場合には、ウエハ状態のままで高精度の
スピード選別を行うことが望ましい。In recent years, there has been a case where such a semiconductor memory device is shipped to a user in a wafer state. In such a case, it is desirable to perform high-accuracy speed selection in the wafer state.
【0011】本発明は、このような従来技術の欠点に鑑
みてなされたものであり、ウエハ状態のままで高精度の
スピード選別を行うことができる半導体記憶装置を提供
することを目的とする。The present invention has been made in view of the above drawbacks of the prior art, and an object of the present invention is to provide a semiconductor memory device capable of performing highly accurate speed selection in a wafer state.
【0012】[0012]
(1) 第1の発明に係わる半導体記憶装置は、情報を記憶
する記憶部と、外部から入力した基準クロックに基い
て、読み出し基準時間経過後にデ−タ出力制御信号をオ
ンからオフに切り換える制御回路と、この制御回路から
入力した前記デ−タ出力制御信号がオンであるときの
み、前記記憶部から読み出した記憶情報を出力するセン
ス増幅回路と、このセンス増幅回路から入力した前記記
憶情報をラッチするラッチ回路と、を具備する。 (2) 第2の発明に係わる半導体記憶装置は、情報を記憶
する記憶部と、この記憶部から前記記憶情報を読み出す
ための所定の読出制御信号或いはイネーブル信号の少な
くとも一方を入力し、この読出制御信号或いはイネーブ
ル信号のタイミングに基いて基準クロックを生成する基
準クロック生成回路と、入力した前記基準クロックに基
いて、読み出し基準時間経過後にデ−タ出力制御信号を
オンからオフにする制御回路と、この制御回路から入力
した前記デ−タ出力制御信号がオンであるときのみ、前
記記憶部から読み出した記憶情報を出力するセンス増幅
回路と、このセンス増幅回路から入力した前記記憶情報
をラッチするラッチ回路と、を具備する。(1) A semiconductor memory device according to a first aspect of the invention is a control unit that switches a data output control signal from ON to OFF after a read reference time has elapsed, based on a storage unit that stores information and a reference clock input from the outside. A circuit, a sense amplifier circuit that outputs the storage information read from the storage unit only when the data output control signal input from the control circuit is ON, and the storage information input from the sense amplification circuit. And a latch circuit for latching. (2) A semiconductor memory device according to a second aspect of the present invention inputs a storage unit for storing information and at least one of a predetermined read control signal and an enable signal for reading the stored information from the storage unit, and performs the read operation. A reference clock generation circuit that generates a reference clock based on the timing of a control signal or an enable signal; and a control circuit that turns the data output control signal from ON to OFF after the read reference time has elapsed, based on the input reference clock. , A sense amplifier circuit which outputs the storage information read from the storage section only when the data output control signal input from the control circuit is ON, and the storage information input from the sense amplification circuit is latched And a latch circuit.
【0013】[0013]
【作用】第1の発明によれば、基準クロックによって決
定される読み出し基準時間内にメモリセルの記憶情報が
読み出されたときにのみセンス増幅回路から記憶情報が
出力されるように、制御回路で制御することができる。
これにより、この記憶情報がラッチ回路から出力された
か否かによって、記憶情報の読み出しが読み出し基準時
間内になされたか否かを判断することができる。したが
って、この読み出し基準時間をアクセス時間の仕様とし
て定められた時間に対応させておけば、ラッチ回路から
記憶情報が出力されたか否かによってスピード選別を行
うことができる。According to the first aspect of the invention, the control circuit is configured so that the stored information is output from the sense amplifier circuit only when the stored information in the memory cell is read within the read reference time determined by the reference clock. Can be controlled with.
As a result, it is possible to determine whether or not the stored information is read within the read reference time, depending on whether or not the stored information is output from the latch circuit. Therefore, if this read reference time is made to correspond to the time defined as the specification of the access time, the speed selection can be performed depending on whether or not the stored information is output from the latch circuit.
【0014】さらに、第2の発明によれば、記憶情報を
読み出すための所定の読出制御信号或いはイネーブル信
号の少なくとも一方を基準クロック生成回路に入力さ
せ、これらの信号のタイミングに基いて基準クロック生
成回路内で基準クロックを生成することとしたので、評
価装置から基準クロックを入力させる必要がない。した
がって、さらに高精度のスピード選別を行うことができ
る。Further, according to the second invention, at least one of the predetermined read control signal and the enable signal for reading the stored information is input to the reference clock generating circuit, and the reference clock is generated based on the timing of these signals. Since the reference clock is generated in the circuit, it is not necessary to input the reference clock from the evaluation device. Therefore, more accurate speed selection can be performed.
【0015】[0015]
【実施例】以下、本発明の実施例について、図面を用い
て説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0016】(実施例1)まず、第1の発明の一実施例
について説明する。図1は、本実施例に係わる半導体記
憶装置における読み出し系10の構成を概念的に示すブ
ロック図である。(Embodiment 1) First, an embodiment of the first invention will be described. FIG. 1 is a block diagram conceptually showing the structure of a read system 10 in a semiconductor memory device according to this embodiment.
【0017】同図において、アドレス入力端子11に
は、図示しない評価装置からアドレス信号が入力され
る。また、アドレス回路12は、入力したアドレス信号
を所定のコードのアドレス信号に変換する。アドレスデ
コーダ13は、入力したアドレス信号を、メモリセルア
レイ14を制御するための制御信号に変換する。メモリ
セルアレイ14には、2値情報を記憶するメモリセルが
マトリクス状に配置されており、アドレスデコーダ13
で選択されたメモリセルについての情報の記憶或いは読
み出しを行う。In the figure, an address signal is input to an address input terminal 11 from an evaluation device (not shown). The address circuit 12 also converts the input address signal into an address signal of a predetermined code. The address decoder 13 converts the input address signal into a control signal for controlling the memory cell array 14. In the memory cell array 14, memory cells that store binary information are arranged in a matrix, and the address decoder 13
Information about the memory cell selected in is stored or read.
【0018】センス増幅回路15は、制御回路18から
入力した制御信号がオン(ここでは「ハイ」の場合とす
る)のときはメモリセルアレイ14から読み出された記
憶情報を増幅して出力するが、この制御信号がオフ(こ
こでは「ロー」の場合とする)のときは記憶情報を出力
しない。出力デ−タラッチ回路19は、センス増幅回路
15から入力した記憶情報をラッチして、出力回路20
を介してデ−タ出力端子21から出力する。The sense amplifier circuit 15 amplifies and outputs the stored information read from the memory cell array 14 when the control signal input from the control circuit 18 is on (here, "high"). When the control signal is off (here, "low"), the stored information is not output. The output data latch circuit 19 latches the stored information input from the sense amplifier circuit 15, and outputs the output circuit 20.
Is output from the data output terminal 21 via.
【0019】入力バッファ17は、テスト入力端子16
から入力した基準クロックを制御回路18に送る。制御
回路18は、通常のセンスアンプコントロール端子22
から入力されたセンスアンプ制御信号が読み出しモード
であるときは、この基準クロックを入力したタイミング
から所定時間だけ遅延させて、デ−タ出力制御信号をオ
ン・オフさせる。The input buffer 17 has a test input terminal 16
The reference clock input from is sent to the control circuit 18. The control circuit 18 has a normal sense amplifier control terminal 22.
When the sense amplifier control signal input from is in the read mode, the data output control signal is turned on / off by delaying the reference clock input timing by a predetermined time.
【0020】図2に、このような読み出し系10の要部
であるセンス増幅回路15、入力バッファ17および制
御回路18の具体的な電気回路構成の一例を示す。同図
において、入力バッファ17は、2段のNOT回路3
5,36から構成されている。また、pMOSトランジ
スタ37は、プルアップ用のトランジスタである。FIG. 2 shows an example of a specific electric circuit configuration of the sense amplifier circuit 15, the input buffer 17, and the control circuit 18, which are the main parts of the read system 10. In the figure, the input buffer 17 is a two-stage NOT circuit 3
It is composed of 5, 36. The pMOS transistor 37 is a pull-up transistor.
【0021】制御回路18は2端子のNAND回路23
と、NOT回路24と、pMOSトランジスタ25とに
よって構成されている。NAND回路23は、入力バッ
ファ17からは基準クロックを、センスアンプコントロ
ール端子22からはセンスアンプ制御信号を、それぞれ
入力する。NOT回路24は、NAND回路23からの
入力値を反転して出力する。また、pMOSトランジス
タ25は、ゲートにNOT回路24の出力端子が、ソー
スに電源VCCが接続されている。The control circuit 18 is a 2-terminal NAND circuit 23.
And a NOT circuit 24 and a pMOS transistor 25. The NAND circuit 23 inputs the reference clock from the input buffer 17 and the sense amplifier control signal from the sense amplifier control terminal 22, respectively. The NOT circuit 24 inverts the input value from the NAND circuit 23 and outputs it. Further, the pMOS transistor 25 has a gate connected to the output terminal of the NOT circuit 24 and a source connected to the power supply V CC .
【0022】かかる構成によれば、基準クロックおよび
モード制御信号がともに「ハイ」のときはNAND回路
23の出力は「ロー」、したがってNOT回路24の出
力は「ハイ」となるので、センスアンプは活性化する。
逆に基準クロック或いはセンスアンプ制御信号の少なく
とも一方が「ロー」のときは、センスアンプは非活性化
される。According to this structure, when both the reference clock and the mode control signal are "high", the output of the NAND circuit 23 is "low" and the output of the NOT circuit 24 is "high". Activate.
On the contrary, when at least one of the reference clock and the sense amplifier control signal is "low", the sense amplifier is inactivated.
【0023】センス増幅回路15は、pMOSトランジ
スタ26,27およびnMOSトランジスタ28〜32
によって構成されている。pMOSトランジスタ26,
27は、それぞれ、ソースに電源VCCが接続され、ゲー
トにpMOSトランジスタ25のドレイン(すなわち、
ND )が接続されている。また、nMOSトランジスタ
28,29は、ドレインにそれぞれpMOSトランジス
タ26,27のドレインが接続され、ゲートにNOT回
路24の出力(すなわち、NC )が接続されている。さ
らに、pMOSトランジスタ26のドレインおよびnM
OSトランジスタ28のドレインには、pMOSトラン
ジスタ25のドレイン(すなわち、ND)も接続されて
いる。nMOSトランジスタ30,31は、ドレインが
それぞれnMOSトランジスタ28,29のソースに接
続され、ソースがともにnMOSトランジスタ32のド
レインに接続されている。また、ゲートは、それぞれ、
メモリセルアレイ14の出力D,/Dに接続されてい
る。nMOSトランジスタ32は、ゲートが所定の電位
に保持され、ソースは接地されている。The sense amplifier circuit 15 includes pMOS transistors 26 and 27 and nMOS transistors 28 to 32.
It is composed by. pMOS transistor 26,
27, the power source V CC is connected to the source, and the drain of the pMOS transistor 25 (that is,
N D ) is connected. The drains of the nMOS transistors 28 and 29 are connected to the drains of the pMOS transistors 26 and 27, respectively, and the gates thereof are connected to the output (that is, N C ) of the NOT circuit 24. Furthermore, the drain of the pMOS transistor 26 and nM
The drain of the pMOS transistor 25 (that is, N D ) is also connected to the drain of the OS transistor 28. The drains of the nMOS transistors 30 and 31 are connected to the sources of the nMOS transistors 28 and 29, respectively, and the sources thereof are both connected to the drain of the nMOS transistor 32. Also, the gates are
It is connected to the outputs D and / D of the memory cell array 14. The nMOS transistor 32 has a gate held at a predetermined potential and a source grounded.
【0024】かかる構成によれば、NC が「ハイ」、N
D が「ロー」のとき(すなわち、基準クロックおよびモ
ード制御信号がともに「ハイ」のとき)は、センスアン
プ増幅回路15は活性化状態となり、メモリセルアレイ
14の出力D,/Dを増幅する。一方、NC が「ロ
ー」、ND が「ハイ」のとき(すなわち、基準クロック
或いはモード制御信号の少なくとも一方が「ロー」のと
き)はpMOSトランジスタ26,27およびnMOS
トランジスタ28,29はそれぞれオフとなり、センス
増幅回路15は非活性化され、出力は行われない。According to such a configuration, N C is "high", N
When D is "low" (that is, when both the reference clock and the mode control signal are "high"), the sense amplifier amplifying circuit 15 is activated and amplifies the outputs D and / D of the memory cell array 14. On the other hand, when N C is “low” and N D is “high” (that is, when at least one of the reference clock and the mode control signal is “low”), the pMOS transistors 26 and 27 and the nMOS are
The transistors 28 and 29 are turned off, the sense amplifier circuit 15 is deactivated, and no output is performed.
【0025】出力デ−タラッチ回路19は、NOT回路
33,34によって構成されている。NOT回路33
は、上述のセンス増幅回路15から入力した信号を反転
させて出力する。また、NOT回路34は、入力端子が
NOT回路33の出力端子に接続され、且つ、出力端子
がNOT回路33の入力端子に接続されている。このよ
うな構成によれば、センス増幅回路15から入力した信
号をラッチするとともに、その反転値を出力することが
できる。すなわち、出力デ−タラッチ回路19の出力値
は、そのときのメモリセルアレイ14の出力デ−タDと
同値となる。The output data latch circuit 19 is composed of NOT circuits 33 and 34. NOT circuit 33
Outputs the inverted signal input from the sense amplifier circuit 15 described above. In addition, the NOT circuit 34 has an input terminal connected to the output terminal of the NOT circuit 33, and an output terminal connected to the input terminal of the NOT circuit 33. According to such a configuration, the signal input from the sense amplifier circuit 15 can be latched and the inverted value thereof can be output. That is, the output value of the output data latch circuit 19 becomes the same value as the output data D of the memory cell array 14 at that time.
【0026】次に、このような読み出し系10を用いて
スピード選別を行う方法について、図3を用いて説明す
る。図3は、この読み出し系10の動作を説明するため
のタイミングチャートである。Next, a method of performing speed selection using such a reading system 10 will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a timing chart for explaining the operation of the read system 10.
【0027】メモリセルアレイ14内の各メモリセルに
は、予め「0」または「1」の情報を記憶させておく。
本実施例では、メモリセルに予め「1」を記憶させてお
いたメモリセルを用いてスピード選別を行う場合につい
て説明する。なお、出力デ−タラッチ回路19は予め
「0」をラッチしているものとする。The information "0" or "1" is stored in advance in each memory cell in the memory cell array 14.
In this embodiment, a case will be described in which speed selection is performed using a memory cell in which "1" is stored in advance in the memory cell. The output data latch circuit 19 is assumed to latch "0" in advance.
【0028】アドレス入力端子11からアドレス信号が
入力されると(図3(A)参照)、アドレス回路12は
このアドレス信号を取り込んで所定のコードのアドレス
信号に変換し、このアドレス信号をアドレスデコーダ1
3に対して出力する。When an address signal is input from the address input terminal 11 (see FIG. 3A), the address circuit 12 takes in this address signal and converts it into an address signal of a predetermined code, and this address signal is decoded by the address decoder. 1
Output to 3.
【0029】アドレスデコーダ13は、入力したアドレ
ス信号に応じた制御信号を出力し、メモリセルアレイ1
4内のこのアドレス信号に対応するメモリセル14から
記憶情報を出力させる(図3(B)参照)。なお、上述
のように、この記憶情報の値は「1」である。The address decoder 13 outputs a control signal according to the input address signal, and the memory cell array 1
Stored information is output from the memory cell 14 corresponding to this address signal in 4 (see FIG. 3B). As described above, the value of this stored information is "1".
【0030】この記憶情報は、センス増幅回路15に送
られる。ここで、アドレス入力端子11がアドレス信号
を入力してからセンス増幅回路15が記憶情報を出力す
るまでの遅延時間は、TS である(図3(C)参照)。This stored information is sent to the sense amplifier circuit 15. Here, the delay time from the input of the address signal at the address input terminal 11 to the output of the stored information by the sense amplifier circuit 15 is T S (see FIG. 3C).
【0031】一方、評価装置(図示せず)は、テスト入
力端子16に対して出力する基準クロックを、アドレス
信号の出力タイミングから所定時間TC だけ遅延させ
て、ハイからローに変化させる(図3(a)参照)。こ
の基準クロックは、入力バッファ17を介して制御回路
18に取り込まれる。On the other hand, the evaluation device (not shown) changes the reference clock output to the test input terminal 16 from high to low by delaying it from the output timing of the address signal by a predetermined time T C (FIG. 3 (a)). This reference clock is taken into the control circuit 18 via the input buffer 17.
【0032】制御回路18は、基準クロックがローにな
ると、さらに所定時間だけ遅延させて、センス増幅回路
15に送るデ−タ出力制御信号をハイからロー(すなわ
ちオンからオフ)に変化させる。ここで、アドレス入力
端子11がアドレス信号を入力してからセンス増幅回路
16が入力するデ−タ出力制御信号がオフになるまでの
遅延時間(読み出し基準時間)は、TC1である(図3
(b)参照)。When the reference clock becomes low, the control circuit 18 further delays by a predetermined time to change the data output control signal sent to the sense amplifier circuit 15 from high to low (that is, from on to off). Here, the delay time (reading reference time) from the input of the address signal from the address input terminal 11 to the turning off of the data output control signal input to the sense amplifier circuit 16 is T C1 (see FIG. 3).
(See (b)).
【0033】センス増幅回路15は、上述のようにメモ
リセルアレイ14から記憶情報を取り込むが、このとき
制御回路18から入力した制御信号がオンであれば(す
なわちTS ≦TC1のとき)、この記憶情報を出力デ−タ
ラッチ回路19に対して出力する。そして、出力デ−タ
ラッチ回路19から出力された記憶情報は出力回路20
を介してデ−タ出力端子21から出力される(図3
(D),(E)参照)。また、このとき制御信号がオフ
であれば(すなわちTS >TC1のとき)、記憶情報を出
力しない。上述のように、この記憶情報の値は「1」で
あるので、TS ≦TC1であればセンス増幅回路15から
は「1」が出力される。また、TS >TC1のときは、出
力デ−タラッチ回路19の出力値は「0」(前の出力デ
−タ)のままとなるので、デ−タ出力端子21の出力値
も「0」のままとなる。The sense amplifier circuit 15 fetches stored information from the memory cell array 14 as described above, but if the control signal input from the control circuit 18 at this time is ON (that is, when T S ≤T C1 ), this The stored information is output to the output data latch circuit 19. The stored information output from the output data latch circuit 19 is output to the output circuit 20.
Is output from the data output terminal 21 via
(See (D) and (E)). If the control signal is off at this time (that is, when T S > T C1 ), the stored information is not output. As described above, since the value of this stored information is "1", "1" is output from the sense amplifier circuit 15 if T S ≤T C1 . When T S > T C1 , the output value of the output data latch circuit 19 remains “0” (previous output data), so the output value of the data output terminal 21 also becomes “0”. Will remain as is.
【0034】ここで、TS ≦TC1のときは、アクセス時
間T0 は仕様を満たしている。すなわち、アクセス時間
T0 が仕様を満たしているときにTS ≦TC1となるよう
に、上述の所定時間TC が予め定められている。一方、
TS >TC1のときは、アクセス時間T0 は仕様を満たし
ていない。Here, when T S ≦ T C1 , the access time T 0 satisfies the specifications. That is, the above-mentioned predetermined time T C is set in advance so that T S ≦ T C1 when the access time T 0 satisfies the specifications. on the other hand,
When T S > T C1 , the access time T 0 does not meet the specifications.
【0035】したがって、評価装置(図示せず)は、デ
−タ出力端子21から出力された記憶情報を入力し、こ
の値が「1」であればスピード選別を「良」とし、この
記憶情報の値が「0」であればスピード選別を「不良」
とする。Therefore, the evaluation device (not shown) inputs the stored information output from the data output terminal 21, and if this value is "1", the speed selection is determined to be "good", and the stored information is stored. If the value of is "0", the speed selection is "defective"
And
【0036】このように、本実施例の半導体記憶装置に
よれば、ラッチ回路から記憶情報が出力されたか否かに
よってスピード選別を行うことができる。すなわち、従
来のように評価装置がタイマを用いてアクセス時間を測
定する必要がない。したがって、評価装置はデ−タ出力
端子21から出力されたデ−タの値のみを判断すればよ
く、デ−タ出力端子21と評価装置との間の配線やパッ
ド部の針の当接具合等に起因してデ−タ転送の遅延等が
生じても測定誤差の原因とはならないので、スピード選
別をウエハ状態のままでも高精度で行うことができる。As described above, according to the semiconductor memory device of the present embodiment, the speed selection can be performed depending on whether the storage information is output from the latch circuit. That is, it is not necessary for the evaluation device to measure the access time using a timer as in the conventional case. Therefore, the evaluation device only needs to determine the value of the data output from the data output terminal 21, and the contact between the wiring between the data output terminal 21 and the evaluation device and the needle abutment of the pad portion. Even if a data transfer delay or the like occurs due to the above, it does not cause a measurement error, so that speed selection can be performed with high accuracy even in the wafer state.
【0037】なお、本実施例では、上述のように、アク
セス時間T0 の仕様値を所定時間TC によって設定する
こととしたが、この所定時間TC を零として、遅延時間
TC1のすべてを制御回路18で発生させることとしても
よい。[0037] In the present embodiment, as described above, it was decided to set the specified value of the access time T 0 by a predetermined time T C, as zero the predetermined time T C, all of the delay time T C1 May be generated by the control circuit 18.
【0038】また、本実施例では、第1の発明をアドレ
ス信号が入力されてからのアクセス時間についてのスピ
ード選別に適用した場合について説明したが、イネーブ
ル信号が入力されてからのアクセス時間についてのスピ
ード選別にも適用することができる。In this embodiment, the case where the first invention is applied to the speed selection for the access time after the input of the address signal has been described, but the access time after the input of the enable signal is described. It can also be applied to speed sorting.
【0039】(実施例2)次に、第2の発明の一実施例
について説明する。(Embodiment 2) Next, an embodiment of the second invention will be described.
【0040】図4は、本実施例に係わる半導体記憶装置
における読み出し系40の構成を概念的に示すブロック
図である。同図において、図1と同じ符号を付した構成
部分は、それぞれ図1の場合と同じものを示すので、説
明を省略する。FIG. 4 is a block diagram conceptually showing the structure of the read system 40 in the semiconductor memory device according to the present embodiment. In the figure, the components denoted by the same reference numerals as those in FIG. 1 are the same as those in the case of FIG.
【0041】アドレス遷移検知回路41は、アドレス回
路12からアドレス信号を入力して、このアドレス信号
の変化を検知する。そして、図6(a)に示したよう
に、アドレス信号が変化したときは、アドレス遷移信号
φATD を出力する。本実施例ではこのアドレス遷移信号
φATD を基準クロック生成信号として使用する(以下、
基準クロック生成信号φATD と記す)。The address transition detection circuit 41 inputs an address signal from the address circuit 12 and detects a change in this address signal. Then, as shown in FIG. 6A , when the address signal changes, the address transition signal φ ATD is output. In this embodiment, this address transition signal φ ATD is used as a reference clock generation signal (hereinafter,
Reference clock generation signal φ ATD ).
【0042】/CE入力端子42からは、チップイネー
ブル信号(/CE信号)が入力される。そして、図6
(b)に示したように、/CE遷移検知回路43は、こ
の/CE信号の立ち下がりを検出して、基準クロック生
成信号φCEを出力する。A chip enable signal (/ CE signal) is input from the / CE input terminal 42. And FIG.
As shown in (b), the / CE transition detection circuit 43 detects the falling edge of the / CE signal and outputs the reference clock generation signal φ CE .
【0043】基準クロック生成回路44は、基準クロッ
ク生成信号φCE,φATD を入力して、基準クロックφ1
〜φn を生成する。図5に、この基準クロック生成回路
44の電気回路構成の一例を示す。図に示したように、
NOR回路47の2個の入力端子には、それぞれ基準ク
ロック生成信号φCE,φATD が入力される。The reference clock generation circuit 44 inputs the reference clock generation signals φ CE and φ ATD and outputs the reference clock φ 1
Generate ~ φ n . FIG. 5 shows an example of an electric circuit configuration of the reference clock generation circuit 44. As shown in the figure,
The reference clock generation signals φ CE and φ ATD are input to the two input terminals of the NOR circuit 47, respectively.
【0044】NAND回路N1 の2個の入力端子のう
ち、一方の入力端子AにはNOR回路47の出力端子が
直接接続され、他方の入力端子BにはNOR回路47の
出力端子がNOT回路48−1,48−1′を介して接
続されている。ここで、NOT回路48−1,48−
1′は遅延素子として使用されている。Of the two input terminals of the NAND circuit N 1 , one output terminal of the NOR circuit 47 is directly connected to one input terminal A, and the other input terminal B is connected to the output terminal of the NOR circuit 47. They are connected via 48-1 and 48-1 '. Here, the NOT circuits 48-1, 48-
1'is used as a delay element.
【0045】NAND回路N2 の2個の入力端子は、一
方の入力端子AがNOR回路47の出力端子と直接接続
され、他方の入力端子BがNOT回路48−2を介して
NAND回路N1 の出力端子と接続されている。ここ
で、このNAND回路N1 およびNOT回路48−2
は、遅延回路として作用する。One of the two input terminals of the NAND circuit N 2 is directly connected to the output terminal of the NOR circuit 47, and the other input terminal B is connected to the NAND circuit N 1 via the NOT circuit 48-2. Is connected to the output terminal of. Here, the NAND circuit N 1 and the NOT circuit 48-2
Acts as a delay circuit.
【0046】以下、同様に、各NAND回路N1 〜Nn
の入力端子AにはNOR回路47の出力端子が直接接続
され、入力端子BにはNOT回路を介して前段のNAN
D回路の出力端子が接続されている。Similarly, the NAND circuits N 1 to N n will be described below.
Is connected directly to the output terminal of the NOR circuit 47, and the input terminal B is connected to the NAN of the preceding stage via the NOT circuit.
The output terminal of the D circuit is connected.
【0047】なお、かかる基準クロック生成回路44に
おいては、製造ばらつきによる各構成部分の遅延時間の
ばらつきを小さくするために、チャネル長の長いトラン
ジスタを用いて構成することが望ましい。It should be noted that the reference clock generation circuit 44 is preferably configured by using a transistor having a long channel length in order to reduce variations in delay time of each component due to manufacturing variations.
【0048】このような構成によれば、各NAND回路
N1 〜Nn の出力として、以下のようにして、基準クロ
ックφ1 〜φn を得ることができる。図6(a)に示し
たように、アドレス遷移検知回路41に入力されるアド
レス信号が変化すると、基準クロック生成信号φATD が
ハイになる。これによりNOR回路47の出力はローに
なるので各NAND回路N1 〜Nn の入力端子Aの入力
はローとなり、したがって、出力(すなわち基準クロッ
クφ1 〜φn )はハイになる。その後、所定時間遅延し
て各NAND回路N1 〜Nn の入力端子Bの入力も順次
ローとなるが、このときは各NAND回路N1 〜Nn の
出力は変化しない。According to this structure, the reference clocks φ 1 to φ n can be obtained as the outputs of the NAND circuits N 1 to N n as follows. As shown in FIG. 6A, when the address signal input to the address transition detection circuit 41 changes, the reference clock generation signal φ ATD becomes high. As a result, the output of the NOR circuit 47 becomes low, so that the input of the input terminal A of each NAND circuit N 1 to N n becomes low, and therefore the output (that is, the reference clocks φ 1 to φ n ) becomes high. After that, the inputs of the input terminals B of the NAND circuits N 1 to N n also become low sequentially with a delay of a predetermined time, but at this time, the outputs of the NAND circuits N 1 to N n do not change.
【0049】次に、基準クロック生成信号φATD がロー
になる。これにより、NOR回路47の出力(すなわち
各NAND回路N1 〜Nn の入力端子Aの入力)はハイ
になるが、入力端子Bの入力がローのままなので、各N
AND回路N1 〜Nn の出力はハイのままである。その
後、所定時間遅延してNAND回路N1 の入力端子Bの
入力がハイとなり、これによってNAND回路N1 の出
力(すなわち基準クロックφ1 )がローとなる。これに
より、さらに所定時間遅延して、NAND回路N2 の入
力端子Bの入力がハイとなるので、NAND回路N2 の
出力(すなわち基準クロックφ2 )がローとなる。Next, the reference clock generation signal φ ATD goes low. As a result, the output of the NOR circuit 47 (that is, the input of the input terminal A of each of the NAND circuits N 1 to N n ) becomes high, but the input of the input terminal B remains low, so that each N
The output of the AND circuit N 1 ~N n remains high. Then, the input of the input terminal B of the NAND circuit N 1 goes high after a delay predetermined time, whereby the output of the NAND circuit N 1 (ie, the reference clock phi 1) becomes low. Thus, further by a predetermined time delay, the input of the input terminal B of the NAND circuit N 2 becomes high, the output of the NAND circuit N 2 (or reference clock phi 2) it becomes low.
【0050】以下同様にしてNAND回路N3 〜Nn の
出力が所定時間ずつ遅延して順次ローとなり、図6
(a)に示したような基準クロックφ1 〜φn を得る。
このようにして生成した基準クロックφ1 〜φn を使用
することにより、アドレス信号が入力されてからのアク
セス時間についてのスピード選別を行うことができる。Similarly, the outputs of the NAND circuits N 3 to N n are delayed by a predetermined time and sequentially become low, as shown in FIG.
The reference clocks φ 1 to φ n as shown in (a) are obtained.
By using the reference clocks φ 1 to φ n generated in this way, it is possible to perform speed selection for the access time after the address signal is input.
【0051】また、/CE遷移検知回路43が/CE信
号の立ち下がりを検出すると、図6(b)に示したよう
に基準クロック生成信号φCEがハイとなり、所定時間経
過後にローとなる。この場合も、基準クロック生成信号
φATD の場合と同様の動作によって、基準クロックφ1
〜φn を得ることができる。このようにして生成した基
準クロックφ1 〜φn を使用することにより、イネーブ
ル信号が入力されてからのアクセス時間についてのスピ
ード選別を行うことができる。When the / CE transition detection circuit 43 detects the falling edge of the / CE signal, the reference clock generation signal φ CE becomes high as shown in FIG. 6 (b) and becomes low after a lapse of a predetermined time. In this case as well, the reference clock φ 1 is generated by the same operation as in the case of the reference clock generation signal φ ATD.
~ Φ n can be obtained. By using the reference clocks φ 1 to φ n generated in this way, it is possible to perform speed selection for the access time after the enable signal is input.
【0052】基準クロック切換回路45は、これらの基
準クロックφ1 〜φn を入力するとともに、選択信号入
力端子46−1〜46−nを介して選択信号S1 〜Sn
を入力する。そして、かかる選択信号S1 〜Sn にした
がって、基準クロックφ1 〜φn のうちの1種類の基準
クロックのみを制御回路18に対して出力する。The reference clock switching circuit 45 is adapted to enter these reference clocks phi 1 to [phi] n, selection signals S 1 to S n through the selection signal input terminal 46-1 to 46-n
Enter. Then, according to the selection signals S 1 to S n , only one type of reference clock among the reference clocks φ 1 to φ n is output to the control circuit 18.
【0053】図7に、この基準クロック切換回路45の
電気回路構成の一例を示す。図に示したように、各切換
回路C1 〜Cn は、それぞれ、nMOSトランジスタ4
9、pMOSトランジスタ50およびNOT回路51に
よって構成されている。なお、nMOSトランジスタ5
2は、プルダウン用トランジスタである。FIG. 7 shows an example of the electric circuit configuration of the reference clock switching circuit 45. As shown in the figure, each of the switching circuits C 1 to C n includes an nMOS transistor 4 respectively.
9, a pMOS transistor 50 and a NOT circuit 51. The nMOS transistor 5
Reference numeral 2 is a pull-down transistor.
【0054】各切換回路C1 〜Cn において、nMOS
トランジスタ49のソースとpMOSトランジスタ50
のドレインとが接続され、また、nMOSトランジスタ
49のドレインとpMOSトランジスタ50のソースと
が接続されている。そして、nMOSトランジスタ49
のドレインおよびpMOSトランジスタ50のソースに
は、対応する基準クロックが入力される。また、nMO
Sトランジスタ49のゲートには、それぞれ対応する選
択信号が直接入力され、pMOSトランジスタ50のゲ
ートには当該信号がNOT回路51を介して入力され
る。In each switching circuit C 1 -C n
Source of transistor 49 and pMOS transistor 50
, And the drain of the nMOS transistor 49 and the source of the pMOS transistor 50 are connected. Then, the nMOS transistor 49
A corresponding reference clock is input to the drain of each of the above and the source of the pMOS transistor 50. Also, nMO
The corresponding selection signal is directly input to the gate of the S transistor 49, and the signal is input to the gate of the pMOS transistor 50 via the NOT circuit 51.
【0055】かかる構成によれば、入力した選択信号が
ハイのときは、nMOSトランジスタ49およびpMO
Sトランジスタ50はともにオンになるので、入力した
基準クロックがそのまま出力される。一方、入力した選
択信号がローのときは、nMOSトランジスタ49およ
びpMOSトランジスタ50はともにオフとなり、基準
クロックは出力されない。したがって、選択信号S1 〜
Sn のうちの1種類の信号をオンにして他の信号をオフ
とすることにより、所望の基準クロックを制御回路18
に供給することができる。According to this structure, when the input selection signal is high, the nMOS transistor 49 and pMO are formed.
Since both S transistors 50 are turned on, the input reference clock is output as it is. On the other hand, when the input selection signal is low, both the nMOS transistor 49 and the pMOS transistor 50 are turned off and the reference clock is not output. Therefore, the selection signals S 1 ~
By turning on one of the signals of S n and turning off the other signals, a desired reference clock is supplied to the control circuit 18
Can be supplied to.
【0056】次に、このような読み出し系40を用いて
スピード選別を行う方法について、図8を用いて説明す
る。図8は、この読み出し系40の動作を説明するため
のタイミングチャートである。Next, a method of performing speed selection using such a reading system 40 will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a timing chart for explaining the operation of the read system 40.
【0057】メモリセルアレイ14内のメモリセルに
は、予め「0」または「1」の情報を記憶させておく。
本実施例でも、上述の実施例1と同様、メモリセルに予
め「1」を記憶させておくものとし、出力デ−タラッチ
回路19は予め「0」をラッチしているものとする。Information "0" or "1" is stored in advance in the memory cells in the memory cell array 14.
Also in the present embodiment, it is assumed that "1" is stored in the memory cell in advance and the output data latch circuit 19 latches "0" in advance, as in the first embodiment.
【0058】上述の実施例1の場合と同様、アドレス入
力端子11から入力されたアドレス信号(図8(A)参
照)は、アドレス回路12で所定のコードのアドレス信
号に変換され、さらにアドレスデコーダ13で制御信号
に変換されて、メモリセルアレイ14に入力される。こ
れにより、メモリセルアレイ14内のこのアドレス信号
に対応するメモリセルからは、記憶情報が出力される
(同(b)参照)。As in the case of the above-described first embodiment, the address signal input from the address input terminal 11 (see FIG. 8A) is converted into an address signal of a predetermined code by the address circuit 12, and further the address decoder. It is converted into a control signal in 13 and input to the memory cell array 14. As a result, the storage information is output from the memory cell corresponding to this address signal in the memory cell array 14 (see (b) of the same).
【0059】この記憶情報は、センス増幅回路15に送
られる。ここで、アドレス入力端子11がアドレス信号
を入力してからセンス増幅回路15が記憶情報を出力す
るまでの遅延時間は、TS である(同(C)参照)。This stored information is sent to the sense amplifier circuit 15. Here, the delay time from the input of the address signal from the address input terminal 11 to the output of the stored information by the sense amplifier circuit 15 is T S (see the same (C)).
【0060】一方、制御回路18には、上述のようにし
て基準クロック生成回路44で生成された基準クロック
φ1 〜φn (図5,図6参照)のうち、選択信号S1 〜
Snによって基準クロック切換回路(図7参照)で選択
されたものが取り込まれる。制御回路18がこの基準ク
ロックを入力すると、この基準クロックから所定時間だ
け遅延させて、センス増幅回路15に送るデ−タ出力制
御信号を変化させる。ここで、アドレス入力端子11が
アドレス信号を入力した時からセンス増幅回路16が入
力するデ−タ出力制御信号がオンからオフになる時まで
の遅延時間(読み出し基準時間)は、TC1である(図8
(a)参照)。On the other hand, in the control circuit 18, among the reference clocks φ 1 to φ n (see FIGS. 5 and 6) generated by the reference clock generation circuit 44 as described above, the selection signals S 1 to S n are selected.
The one selected by the reference clock switching circuit (see FIG. 7) is taken in by S n . When the control circuit 18 receives the reference clock, it delays the reference clock by a predetermined time to change the data output control signal sent to the sense amplifier circuit 15. Here, the delay time (read-out reference time) from when the address input terminal 11 inputs the address signal to when the data output control signal input to the sense amplifier circuit 16 turns from ON to OFF is T C1 . (Fig. 8
(See (a)).
【0061】センス増幅回路15は、上述のようにメモ
リセルアレイ14から記憶情報を取り込むが、このとき
制御回路18から入力した制御信号がオンであれば(す
なわちTS ≦TC1のとき)、この記憶情報を出力デ−タ
ラッチ回路19に対して出力する。また、このとき制御
信号がオフであれば(すなわちTS >TC1のとき)、記
憶情報を出力しない。上述のように、この記憶情報の値
は「1」であるので、TS <TC1であればセンス増幅回
路15からは「1」が出力される。そして、出力デ−タ
ラッチ回路19から出力された記憶情報は出力回路20
を介してデ−タ出力端子21から出力される(図8
(D),(E)参照)。また、TS ≧TC1のときは、出
力デ−タラッチ回路19の出力値は「0」(前の出力デ
−タ)のままとなるので、デ−タ出力端子21の出力値
も「0」のままとなる。The sense amplifier circuit 15 fetches the stored information from the memory cell array 14 as described above, but if the control signal input from the control circuit 18 at this time is ON (that is, when T S ≤T C1 ), this The stored information is output to the output data latch circuit 19. If the control signal is off at this time (that is, when T S > T C1 ), the stored information is not output. As described above, since the value of this stored information is "1", if T S <T C1 , the sense amplifier circuit 15 outputs "1". The stored information output from the output data latch circuit 19 is output to the output circuit 20.
Is output from the data output terminal 21 via
(See (D) and (E)). When T S ≧ T C1 , the output value of the output data latch circuit 19 remains “0” (previous output data), so the output value of the data output terminal 21 also becomes “0”. Will remain as is.
【0062】評価装置(図示せず)は、上述の実施例1
の場合と同様、デ−タ出力端子21から出力された記憶
情報を入力し、この値が「1」であればスピード選別を
「良」とし、この記憶情報の値が「0」であればスピー
ド選別を「不良」とする。The evaluation device (not shown) is the same as that of the first embodiment.
As in the case of, the memory information output from the data output terminal 21 is input. If this value is "1", the speed selection is "good", and if the value of this memory information is "0". Speed selection is "defective".
【0063】このように、本実施例の半導体記憶装置に
よれば、アドレス信号を用いて基準クロックを生成する
ので、評価装置から半導体記憶装置に対して基準クロッ
クを送る必要がない。ここで、基準クロック生成回路4
4が半導体記憶装置に内蔵されていることにより、アド
レス信号の半導体記憶装置への転送に際して遅延が生じ
ても、その分基準クロックのタイミングもずれることと
なるので、アクセス時間の測定誤差の原因とはならな
い。As described above, according to the semiconductor memory device of this embodiment, since the reference clock is generated using the address signal, it is not necessary to send the reference clock from the evaluation device to the semiconductor memory device. Here, the reference clock generation circuit 4
Since 4 is built in the semiconductor memory device, even if a delay occurs in the transfer of the address signal to the semiconductor memory device, the timing of the reference clock is also shifted by that amount. Don't
【0064】また、上述の実施例1と同様、評価装置は
デ−タ出力端子21から出力されたデ−タの値のみを判
断すればよいので、デ−タ出力端子21から評価装置へ
の出力デ−タの転送に際して遅延が生じてもアクセス時
間の測定誤差の原因とはならない。Further, as in the case of the above-mentioned first embodiment, since the evaluation device only needs to judge the value of the data output from the data output terminal 21, the evaluation device outputs data from the data output terminal 21. Even if a delay occurs in the transfer of output data, it does not cause an error in access time measurement.
【0065】したがって、本実施例の半導体記憶装置に
よれば、評価装置との間にデ−タ転送の遅延等が生じて
も測定誤差の原因とはならないので、ウエハ状態のまま
でも高精度でスピード選別を行うことができる。Therefore, according to the semiconductor memory device of this embodiment, even if a delay in data transfer with the evaluation device occurs, it does not cause a measurement error. Speed sorting can be performed.
【0066】また、本実施例では、複数の基準クロック
φ1 〜φn を生成し、その中から所望の基準クロックを
選択する構成としたので、スピード選別を行う際にアク
セス時間の許容範囲の設定値を自由に変更することがで
きる。これにより、複数種類の選別テストに使用する際
のアクセス時間の仕様の変更を簡単且つ正確に行うこと
ができる。さらに、半導体記憶装置の製造ばらつきが大
きい場合に、基準クロックφ1 〜φn の中から設定値に
最も近い基準クロックを選択して使用することによって
スピード選別の精度を高めることも可能となる。Further, in the present embodiment, since a plurality of reference clocks φ 1 to φ n are generated and a desired reference clock is selected from among them, the allowable range of the access time when performing speed selection is set. The set value can be changed freely. As a result, it is possible to easily and accurately change the specification of the access time when using it for a plurality of types of screening tests. Further, when the manufacturing variability of the semiconductor memory device is large, the precision of speed selection can be improved by selecting and using the reference clock closest to the set value from the reference clocks φ 1 to φ n .
【0067】[0067]
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、ウエハ状態のままで高精度のスピード選別を行う
ことができる半導体記憶装置を提供することができる。As described in detail above, according to the present invention, it is possible to provide a semiconductor memory device capable of performing high-accuracy speed selection in a wafer state.
【図1】第1の発明の一実施例に係わる半導体記憶装置
における読み出し系の構成を概念的に示すブロック図で
ある。FIG. 1 is a block diagram conceptually showing the structure of a read system in a semiconductor memory device according to an embodiment of the first invention.
【図2】図1に示した読み出し系の要部を示す電気回路
図である。FIG. 2 is an electric circuit diagram showing a main part of the reading system shown in FIG.
【図3】図1に示した読み出し系の動作を説明するため
のタイミングチャートである。FIG. 3 is a timing chart for explaining the operation of the reading system shown in FIG.
【図4】第2の発明の一実施例に係わる半導体記憶装置
における読み出し系の構成を概念的に示すブロック図で
ある。FIG. 4 is a block diagram conceptually showing the structure of a read system in a semiconductor memory device according to an embodiment of the second invention.
【図5】図4に示した基準クロック生成回路の一構成例
を示す電気回路図である。5 is an electric circuit diagram showing a configuration example of the reference clock generation circuit shown in FIG.
【図6】(a),(b)ともに、図5に示した基準クロ
ック生成回路の動作を説明するためのタイミングチャー
トである。6A and 6B are timing charts for explaining the operation of the reference clock generation circuit shown in FIG.
【図7】図4に示した基準クロック切換回路の一構成例
を示す電気回路図である。7 is an electric circuit diagram showing a configuration example of the reference clock switching circuit shown in FIG.
【図8】図4に示した読み出し系の動作を説明するため
のタイミングチャートである。FIG. 8 is a timing chart for explaining the operation of the reading system shown in FIG.
【図9】従来の半導体記憶装置における読み出し系の構
成を概念的に示すブロック図である。FIG. 9 is a block diagram conceptually showing the structure of a read system in a conventional semiconductor memory device.
【図10】図9に示した読み出し系の動作を説明するた
めのタイミングチャートである。FIG. 10 is a timing chart for explaining the operation of the read system shown in FIG.
10,40 読みだし系 11 アドレス入力端子 12 アドレス回路 13 アドレスデコーダ 14 メモリセルアレイ 15 センス増幅回路 16 テスト入力端子 17 入力バッファ 18 制御回路 19 出力デ−タラッチ回路 20 出力回路 21 デ−タ出力端子 22 モード入力端子 41 アドレス遷移検知回路 42 /CE入力端子 43 /CE遷移検知回路 44 基準クロック生成回路 45 基準クロック切換回路 10, 40 Read system 11 Address input terminal 12 Address circuit 13 Address decoder 14 Memory cell array 15 Sense amplifier circuit 16 Test input terminal 17 Input buffer 18 Control circuit 19 Output data latch circuit 20 Output circuit 21 Data output terminal 22 Mode Input terminal 41 Address transition detection circuit 42 / CE Input terminal 43 / CE transition detection circuit 44 Reference clock generation circuit 45 Reference clock switching circuit
Claims (3)
時間経過後にデ−タ出力制御信号をオンからオフに切り
換える制御回路と、 この制御回路から入力した前記デ−タ出力制御信号がオ
ンであるときのみ、前記記憶部から読み出した記憶情報
を出力するセンス増幅回路と、 このセンス増幅回路から入力した前記記憶情報をラッチ
するラッチ回路と、 を具備する半導体記憶装置。1. A storage unit for storing information, a control circuit for switching a data output control signal from ON to OFF after a read reference time has elapsed, based on a reference clock input from the outside, and an input from this control circuit. A sense amplifier circuit that outputs the stored information read from the storage unit only when the data output control signal is on; and a latch circuit that latches the stored information input from the sense amplifier circuit. Semiconductor memory device.
出制御信号或いはイネーブル信号の少なくとも一方を入
力し、この読出制御信号或いはイネーブル信号のタイミ
ングに基いて基準クロックを生成する基準クロック生成
回路と、 入力した前記基準クロックに基いて、読み出し基準時間
経過後にデ−タ出力制御信号をオンからオフに切り換え
る制御回路と、 この制御回路から入力した前記デ−タ出力制御信号がオ
ンであるときのみ、前記記憶部から読み出した記憶情報
を出力するセンス増幅回路と、 このセンス増幅回路から入力した前記記憶情報をラッチ
するラッチ回路と、 を具備する半導体記憶装置。2. A storage unit for storing information, and at least one of a predetermined read control signal and an enable signal for reading the stored information from the storage unit are input, and based on the timing of the read control signal or the enable signal. A reference clock generation circuit for generating a reference clock, a control circuit for switching a data output control signal from ON to OFF after a read reference time has elapsed based on the input reference clock, and the data input from the control circuit. A semiconductor memory including: a sense amplifier circuit that outputs the storage information read from the storage section only when the output control signal is on; and a latch circuit that latches the storage information input from the sense amplification circuit. apparatus.
めの複数種類の前記基準クロックを生成するように前記
基準クロック生成回路が構成され、且つ、入力した選択
信号にしたがって前記複数種類の基準クロックから1種
類の前記基準クロックを選択して前記制御回路に対して
出力する基準クロック切換回路をさらに備えた請求項2
記載の半導体記憶装置。3. The reference clock generation circuit is configured to generate a plurality of types of reference clocks for designating different read reference times, and the plurality of types of reference clocks are generated according to an input selection signal. 3. A reference clock switching circuit for selecting one of the reference clocks and outputting it to the control circuit.
The semiconductor memory device described.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4159604A JPH065100A (en) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | Semiconductor memory device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4159604A JPH065100A (en) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | Semiconductor memory device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH065100A true JPH065100A (en) | 1994-01-14 |
Family
ID=15697341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4159604A Pending JPH065100A (en) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | Semiconductor memory device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065100A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100232614B1 (en) * | 1995-04-21 | 1999-12-01 | 가네꼬 히사시 | Semiconductor memory device |
-
1992
- 1992-06-18 JP JP4159604A patent/JPH065100A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100232614B1 (en) * | 1995-04-21 | 1999-12-01 | 가네꼬 히사시 | Semiconductor memory device |
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