JPH0651115A - カラーフィルター用色素 - Google Patents
カラーフィルター用色素Info
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- JPH0651115A JPH0651115A JP20529892A JP20529892A JPH0651115A JP H0651115 A JPH0651115 A JP H0651115A JP 20529892 A JP20529892 A JP 20529892A JP 20529892 A JP20529892 A JP 20529892A JP H0651115 A JPH0651115 A JP H0651115A
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- color filter
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 解像度及び着色パターンの安定性等の諸性能
に優れたカラーフィルター用色素を提供する。 【構成】 酸性染料のアミン塩であるか又は酸性染料の
スルホンアミド化合物であり、且つ、有機溶剤及びアル
カリ水溶液に可溶なカラーフィルター用色素。
に優れたカラーフィルター用色素を提供する。 【構成】 酸性染料のアミン塩であるか又は酸性染料の
スルホンアミド化合物であり、且つ、有機溶剤及びアル
カリ水溶液に可溶なカラーフィルター用色素。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はカラーフィルター、特に
固体撮像素子用のカラーフィルターに用いられる色素に
関する。
固体撮像素子用のカラーフィルターに用いられる色素に
関する。
【０００２】
【従来の技術】カラーフィルター、特に電荷結合素子
（CCD ）もしくは液晶表示素子（LCD ）等の固体撮像素
子用カラーフィルターは、一般的には、初めにフォトレ
ジストによりパターンを形成し、次いで染色する方法に
より作製されている。しかしながら、この方法において
は、染色工程の複雑さ及び工程管理の困難さ等の問題点
がある。そこで、例えば特開平４−163552号及び特開平
４−128703号公報には、各々、顔料及び染料等の色素を
添加したフォトレジストによりパターンを形成してカラ
ーフィルターを作製する方法が提案されている。しかし
ながら、前者の方法においては、顔料自体１μｍ前後の
粒子を含んでいるために高解像度が要求されるCCD 用カ
ラーフィルターの製作には不適である。又、後者の方法
においては、着色パターンの安定性等に問題がある。そ
して、これらの方法はさらに大きな問題点を含んでい
る。即ち、通常の色素はアルカリ現像可能なレジストに
とって異物として存在することである。つまり、半導体
作製用途の場合と異なり、カラーフィルター作製用途の
場合にはその膜厚が１μｍ以下であることが望ましいの
で、アルカリ可溶性樹脂及び有機溶剤を含むレジスト組
成物に多量の色素を添加しなければならない。しかしな
がら、本来、色素は有機溶剤に可溶であれば、殆どの場
合、アルカリ現像液（水溶液）に不溶であるから、多量
の色素を添加し、且つ高解像度を有するフォトレジスト
を得ることは実際にはできないのである。
（CCD ）もしくは液晶表示素子（LCD ）等の固体撮像素
子用カラーフィルターは、一般的には、初めにフォトレ
ジストによりパターンを形成し、次いで染色する方法に
より作製されている。しかしながら、この方法において
は、染色工程の複雑さ及び工程管理の困難さ等の問題点
がある。そこで、例えば特開平４−163552号及び特開平
４−128703号公報には、各々、顔料及び染料等の色素を
添加したフォトレジストによりパターンを形成してカラ
ーフィルターを作製する方法が提案されている。しかし
ながら、前者の方法においては、顔料自体１μｍ前後の
粒子を含んでいるために高解像度が要求されるCCD 用カ
ラーフィルターの製作には不適である。又、後者の方法
においては、着色パターンの安定性等に問題がある。そ
して、これらの方法はさらに大きな問題点を含んでい
る。即ち、通常の色素はアルカリ現像可能なレジストに
とって異物として存在することである。つまり、半導体
作製用途の場合と異なり、カラーフィルター作製用途の
場合にはその膜厚が１μｍ以下であることが望ましいの
で、アルカリ可溶性樹脂及び有機溶剤を含むレジスト組
成物に多量の色素を添加しなければならない。しかしな
がら、本来、色素は有機溶剤に可溶であれば、殆どの場
合、アルカリ現像液（水溶液）に不溶であるから、多量
の色素を添加し、且つ高解像度を有するフォトレジスト
を得ることは実際にはできないのである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記問題点を
解決して、解像度及び着色パターンの安定性等の諸性能
に優れたカラーフィルター用色素を提供する。
解決して、解像度及び着色パターンの安定性等の諸性能
に優れたカラーフィルター用色素を提供する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、酸性染料のア
ミン塩であるか又は酸性染料のスルホンアミド化合物で
あり、且つ、有機溶剤及びアルカリ水溶液に可溶なカラ
ーフィルター用色素である。
ミン塩であるか又は酸性染料のスルホンアミド化合物で
あり、且つ、有機溶剤及びアルカリ水溶液に可溶なカラ
ーフィルター用色素である。
【０００５】このような色素としては、例えば一般式
（Ｉ） Ｄ−（ＳＯ3 - ）m Ｘm （Ｉ） 〔式中、Ｄは色素母体を、Ｘは（Ｒ1'）（Ｒ2'）
（Ｒ3'）（Ｒ4'）Ｎ＋又は下式
（Ｉ） Ｄ−（ＳＯ3 - ）m Ｘm （Ｉ） 〔式中、Ｄは色素母体を、Ｘは（Ｒ1'）（Ｒ2'）
（Ｒ3'）（Ｒ4'）Ｎ＋又は下式
【０００６】
【化１】
【０００７】（式中、Ｒ5'及びＲ6'は各々独立して水素
原子、アラルキル基、複素環基或いは脂肪族もしくは芳
香族有機化合物残基を表わす。）で表わされる基を、ｍ
は１以上の整数を各々表わす。Ｒ1'〜Ｒ4' は各々独立
して水素原子、アラルキル基、複素環基或いは脂肪族も
しくは芳香族有機化合物残基を表わす。〕で示される酸
性染料のアミン塩、並びに、一般式（ＩＩ） Ｄy 〔（ＳＯ2 ＮＨＲ7'）q 〕〔（ＳＯ2 ＮＨＲ8'）q'〕〔（ＳＯ2 ＮＨＲ9'） q'' 〕 （ＩＩ） 〔式中、Ｄy は色素母体を、Ｒ7'〜Ｒ9'は各々独立して
水素原子、炭素数１以上の（好ましくは炭素数５以上
の）有機化合物残基を、q 〜q'' は各々１以上の整数
を、それぞれ表わす。但し、q ＋q'＋q'' ≦16であ
る。〕で示される酸性染料のスルホンアミド化合物が挙
げられる。
原子、アラルキル基、複素環基或いは脂肪族もしくは芳
香族有機化合物残基を表わす。）で表わされる基を、ｍ
は１以上の整数を各々表わす。Ｒ1'〜Ｒ4' は各々独立
して水素原子、アラルキル基、複素環基或いは脂肪族も
しくは芳香族有機化合物残基を表わす。〕で示される酸
性染料のアミン塩、並びに、一般式（ＩＩ） Ｄy 〔（ＳＯ2 ＮＨＲ7'）q 〕〔（ＳＯ2 ＮＨＲ8'）q'〕〔（ＳＯ2 ＮＨＲ9'） q'' 〕 （ＩＩ） 〔式中、Ｄy は色素母体を、Ｒ7'〜Ｒ9'は各々独立して
水素原子、炭素数１以上の（好ましくは炭素数５以上
の）有機化合物残基を、q 〜q'' は各々１以上の整数
を、それぞれ表わす。但し、q ＋q'＋q'' ≦16であ
る。〕で示される酸性染料のスルホンアミド化合物が挙
げられる。
【０００８】Ｒ1'〜Ｒ6'で表わされるアラルキル基、複
素環基或いは脂肪族もしくは芳香族有機化合物残基とし
ては、例えばベンジルもしくはフェネチル基、芳香族性
を示す複素環基、炭素数１以上の脂肪族炭化水素基、炭
素数２以上の脂肪族エステル残基、炭素数２以上の脂肪
族エーテル基、炭素数６以上の芳香族炭化水素基、炭素
数12以上の芳香族エーテル基もしくは炭素数８以上の芳
香族エステル残基等が挙げられる。Ｒ1'〜Ｒ6'の中、少
なくとも１つは炭素数５以上の、アラルキルもしくは複
素環基或いは脂肪族もしくは芳香族有機化合物残基であ
ることが好ましい。一般式（Ｉ）中のＸの具体例として
は、下式 （Ｃn Ｈ2n＋1 ＮＨ3 ）＋ (i) 〔式中、ｎは１以上の（好ましくは５以上、20以下の）
整数である。〕 （Ｃs Ｈ2s＋1 ＯＣt Ｈ2tＮＨ3 ）＋ (ii) 〔式中、ｓ及びｔは各々１以上の（好ましくは５以上、
20以下の）整数であり、好ましくはｓ＋ｔ≧５であ
る。〕 〔（Ｃn Ｈ2n＋1 ）（Ｃ6 Ｈ5 ＣＨ2 ）2 ＮＨ〕＋ (iii) （式中、ｎは上記と同じ意味である。） （Ｃn Ｈ2n＋1 ）Ｐy (iv) （式中、ｎは上記と同じ意味であり、Ｐy はピリジニウ
ム基を表わす。） （Ｃn Ｈ2n＋1 ）Ｐy ' (v) （式中、ｎは上記と同じ意味であり、Ｐy ' はメチルピ
リジニウム基を表わす。）で表わされる基等が挙げられ
る。
素環基或いは脂肪族もしくは芳香族有機化合物残基とし
ては、例えばベンジルもしくはフェネチル基、芳香族性
を示す複素環基、炭素数１以上の脂肪族炭化水素基、炭
素数２以上の脂肪族エステル残基、炭素数２以上の脂肪
族エーテル基、炭素数６以上の芳香族炭化水素基、炭素
数12以上の芳香族エーテル基もしくは炭素数８以上の芳
香族エステル残基等が挙げられる。Ｒ1'〜Ｒ6'の中、少
なくとも１つは炭素数５以上の、アラルキルもしくは複
素環基或いは脂肪族もしくは芳香族有機化合物残基であ
ることが好ましい。一般式（Ｉ）中のＸの具体例として
は、下式 （Ｃn Ｈ2n＋1 ＮＨ3 ）＋ (i) 〔式中、ｎは１以上の（好ましくは５以上、20以下の）
整数である。〕 （Ｃs Ｈ2s＋1 ＯＣt Ｈ2tＮＨ3 ）＋ (ii) 〔式中、ｓ及びｔは各々１以上の（好ましくは５以上、
20以下の）整数であり、好ましくはｓ＋ｔ≧５であ
る。〕 〔（Ｃn Ｈ2n＋1 ）（Ｃ6 Ｈ5 ＣＨ2 ）2 ＮＨ〕＋ (iii) （式中、ｎは上記と同じ意味である。） （Ｃn Ｈ2n＋1 ）Ｐy (iv) （式中、ｎは上記と同じ意味であり、Ｐy はピリジニウ
ム基を表わす。） （Ｃn Ｈ2n＋1 ）Ｐy ' (v) （式中、ｎは上記と同じ意味であり、Ｐy ' はメチルピ
リジニウム基を表わす。）で表わされる基等が挙げられ
る。
【０００９】Ｒ7'〜Ｒ9'で表わされる炭素数１以上の有
機化合物残基としては、例えば炭素数１以上の脂肪族炭
化水素基、炭素数２以上の脂肪族エステル残基もしくは
炭素数２以上の脂肪族エーテル基等が挙げられる。Ｒ7'
〜Ｒ9'の具体例としては、下式 Ｃn Ｈ2n＋1 (vi) （式中、ｎは上記と同じ意味である。） Ｃs Ｈ2s＋1 ＯＣt Ｈ2t (vii) （式中、ｓ及びｔは上記と同じ意味である。）で表わさ
れる基等が挙げられる。
機化合物残基としては、例えば炭素数１以上の脂肪族炭
化水素基、炭素数２以上の脂肪族エステル残基もしくは
炭素数２以上の脂肪族エーテル基等が挙げられる。Ｒ7'
〜Ｒ9'の具体例としては、下式 Ｃn Ｈ2n＋1 (vi) （式中、ｎは上記と同じ意味である。） Ｃs Ｈ2s＋1 ＯＣt Ｈ2t (vii) （式中、ｓ及びｔは上記と同じ意味である。）で表わさ
れる基等が挙げられる。
【００１０】Ｄ及びＤy で表わされる色素母体はカラー
フィルターとして望ましいスペクトル及び性能を有する
ものを適宜選択すればよく、シアン色として好ましくは
フタロシアニン骨格を有する酸性染料の母体が用いられ
る。即ち、一般式（Ｉ）或いは（ＩＩ）で示される染料
は、上記酸性染料或いはその誘導体と、一般式（Ｉ）中
のＸに対応するアミン或いはＮＨ2 Ｒ7'〜ＮＨ2 Ｒ9'で
示されるアミンとを、各々、反応させることにより製造
することができる。フォトレジスト用の有機溶剤として
は、例えばメチルセロソルブ、エチルセロソルブ、メチ
ルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテー
ト、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチレン
グリコールモノイソプロピルエーテル、プロピレングリ
コールモノメチルエーテル、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトア
ミド、Ｎ−メチルピロリドン、γ−ブチロラクトン、メ
チルイソブチルケトン、メチルエチルケトン、シクロペ
ンタノン、シクロヘキサノン、酢酸エチル、酢酸ｎ−ブ
チル、酢酸プロピレングリコールモノメチルエーテル、
酢酸プロピレングリコールモノエチルエーテル、乳酸メ
チル、乳酸エチル、ピルビン酸エチル、ジメチルスルホ
キシド、ジオキサンもしくはジメチルホルムアミド等が
挙げられる。これらの有機溶剤は単独で、或いは２種以
上組合わせて用いられる。本発明の色素はアルカリ可溶
性樹脂を含むアルカリ現像が可能なレジストに適用しう
る。これらのレジストとしては、アルカリ可溶性樹脂、
キノンジアジド化合物及び有機溶剤を含むポジ型レジス
ト（必要により架橋剤を含んでいてもよい）、或いはア
ルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤、架橋剤及び有機溶剤を
含むネガ型レジストが挙げられる。
フィルターとして望ましいスペクトル及び性能を有する
ものを適宜選択すればよく、シアン色として好ましくは
フタロシアニン骨格を有する酸性染料の母体が用いられ
る。即ち、一般式（Ｉ）或いは（ＩＩ）で示される染料
は、上記酸性染料或いはその誘導体と、一般式（Ｉ）中
のＸに対応するアミン或いはＮＨ2 Ｒ7'〜ＮＨ2 Ｒ9'で
示されるアミンとを、各々、反応させることにより製造
することができる。フォトレジスト用の有機溶剤として
は、例えばメチルセロソルブ、エチルセロソルブ、メチ
ルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテー
ト、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチレン
グリコールモノイソプロピルエーテル、プロピレングリ
コールモノメチルエーテル、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトア
ミド、Ｎ−メチルピロリドン、γ−ブチロラクトン、メ
チルイソブチルケトン、メチルエチルケトン、シクロペ
ンタノン、シクロヘキサノン、酢酸エチル、酢酸ｎ−ブ
チル、酢酸プロピレングリコールモノメチルエーテル、
酢酸プロピレングリコールモノエチルエーテル、乳酸メ
チル、乳酸エチル、ピルビン酸エチル、ジメチルスルホ
キシド、ジオキサンもしくはジメチルホルムアミド等が
挙げられる。これらの有機溶剤は単独で、或いは２種以
上組合わせて用いられる。本発明の色素はアルカリ可溶
性樹脂を含むアルカリ現像が可能なレジストに適用しう
る。これらのレジストとしては、アルカリ可溶性樹脂、
キノンジアジド化合物及び有機溶剤を含むポジ型レジス
ト（必要により架橋剤を含んでいてもよい）、或いはア
ルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤、架橋剤及び有機溶剤を
含むネガ型レジストが挙げられる。
【００１１】アルカリ可溶性樹脂としてはフェノール性
水酸基を有する樹脂、例えばフェノール樹脂もしくはノ
ボラック樹脂等が挙げられる。ノボラック樹脂として
は、例えばフェノール類とアルデヒド類とを酸触媒の存
在下に縮合して得られるものが挙げられる。フェノール
類としては、例えばフェノール、クレゾール、エチルフ
ェノール、ブチルフェノール、キシレノール、フェニル
フェノール、カテコール、レゾルシノール、ピロガロー
ル、ナフトール、ビスフェノールＣもしくはビスフェノ
ールＡ等が挙げられる。これらのフェノール類は単独
で、又は２種以上組合わせて用いられる。アルデヒド類
としては、例えばホルムアルデヒド、パラホルムアルデ
ヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒドもしく
はベンズアルデヒド等の脂肪族又は芳香族アルデヒドが
挙げられる。フェノール性水酸基を有する樹脂は必要に
より、分別等の手段を用いて分子量分布を調節してもよ
い。又、ビスフェノールＡもしくはビスフェノールＣ等
のフェノール類をフェノール性水酸基を有する樹脂に添
加してもよい。
水酸基を有する樹脂、例えばフェノール樹脂もしくはノ
ボラック樹脂等が挙げられる。ノボラック樹脂として
は、例えばフェノール類とアルデヒド類とを酸触媒の存
在下に縮合して得られるものが挙げられる。フェノール
類としては、例えばフェノール、クレゾール、エチルフ
ェノール、ブチルフェノール、キシレノール、フェニル
フェノール、カテコール、レゾルシノール、ピロガロー
ル、ナフトール、ビスフェノールＣもしくはビスフェノ
ールＡ等が挙げられる。これらのフェノール類は単独
で、又は２種以上組合わせて用いられる。アルデヒド類
としては、例えばホルムアルデヒド、パラホルムアルデ
ヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒドもしく
はベンズアルデヒド等の脂肪族又は芳香族アルデヒドが
挙げられる。フェノール性水酸基を有する樹脂は必要に
より、分別等の手段を用いて分子量分布を調節してもよ
い。又、ビスフェノールＡもしくはビスフェノールＣ等
のフェノール類をフェノール性水酸基を有する樹脂に添
加してもよい。
【００１２】架橋剤としては、例えば下式 −（ＣＨ2 ）p ＯＲ （式中、Ｒは水素原子又は低級アルキル基を表わし、p
は１〜４の整数を表わす。）で示される基を有する化合
物及びメラミンが挙げられる。上式で示される基を有す
る化合物としては、例えば下式
は１〜４の整数を表わす。）で示される基を有する化合
物及びメラミンが挙げられる。上式で示される基を有す
る化合物としては、例えば下式
【００１３】
【化２】
【００１４】〔式中、Ｚは−ＮＲ1 Ｒ2 又はフェニル基
を表わす。Ｒ1 〜Ｒ6 はこれらの中、少なくとも１つが
−（ＣＨ2 ）p ＯＨ又は−（ＣＨ2 ）p ＯＲ7 を表わす
という条件付きで各々、水素原子、−（ＣＨ2 ）p ＯＨ
又は−（ＣＨ2 ）p ＯＲ7 を表わす。Ｒ7 は低級アルキ
ル基を表わす。p は１〜４の整数を表わす。〕で示され
る化合物、或いは下式
を表わす。Ｒ1 〜Ｒ6 はこれらの中、少なくとも１つが
−（ＣＨ2 ）p ＯＨ又は−（ＣＨ2 ）p ＯＲ7 を表わす
という条件付きで各々、水素原子、−（ＣＨ2 ）p ＯＨ
又は−（ＣＨ2 ）p ＯＲ7 を表わす。Ｒ7 は低級アルキ
ル基を表わす。p は１〜４の整数を表わす。〕で示され
る化合物、或いは下式
【００１５】
【化３】
【００１６】
【化４】
【００１７】で示される化合物等が挙げられる。Ｒ及び
Ｒ1 〜Ｒ7 で表わされるアルキル基としてはメチル、エ
チル、ｎ−プロピル又はｎ−ブチル基が挙げられ、好ま
しいアルキル基としてはメチル又はエチル基が挙げられ
る。式(i) 〜(ii)で示される化合物（架橋剤）は各々、
ｐ−クレゾール又はｔ−ブチルフェノールを塩基性条件
下でホルムアルデヒドと縮合させることにより製造する
ことができる。又、式(iii) 〜(vi)で示される化合物
（架橋剤）は特開平１−293339号公報に記載された公知
化合物である。式−（ＣＨ2 ）p ＯＲで示される基を有
する、好ましい化合物としては、例えばヘキサメトキシ
メチロール化メラミン、ヘキサメトキシエチロール化メ
ラミン又はヘキサメトキシプロピロール化メラミン等が
挙げられる。
Ｒ1 〜Ｒ7 で表わされるアルキル基としてはメチル、エ
チル、ｎ−プロピル又はｎ−ブチル基が挙げられ、好ま
しいアルキル基としてはメチル又はエチル基が挙げられ
る。式(i) 〜(ii)で示される化合物（架橋剤）は各々、
ｐ−クレゾール又はｔ−ブチルフェノールを塩基性条件
下でホルムアルデヒドと縮合させることにより製造する
ことができる。又、式(iii) 〜(vi)で示される化合物
（架橋剤）は特開平１−293339号公報に記載された公知
化合物である。式−（ＣＨ2 ）p ＯＲで示される基を有
する、好ましい化合物としては、例えばヘキサメトキシ
メチロール化メラミン、ヘキサメトキシエチロール化メ
ラミン又はヘキサメトキシプロピロール化メラミン等が
挙げられる。
【００１８】光酸発生剤としては光により直接もしくは
間接的に酸を発生するものであれば特に限定されない
が、例えば特開平４−163552号公報に記載されているト
リハロメチルトリアジン系化合物、特開平１−57777 号
公報に記載されているジスルホン化合物、下式、 Ｒ8 −ＳＯ2 −ＳＯ2 −Ｒ9 −ＳＯ2 −ＳＯ2 −Ｒ10 （式中、Ｒ8 及びＲ10は各々独立して置換されていても
よいアリール、アラルキル、アルキル、シクロアルキル
又は複素環基を表わし、Ｒ9 は置換されていてもよいア
リールを表わす。）で示される化合物、特開平１−2933
39号公報に記載されているスルホン酸エステル基を含む
光酸発生剤、下式 ＣＦ3 −ＳＯ2 Ｏ−（ＣＨ2 ）n'−Ｙ （式中、Ｙは置換されていてもよいアリール基をｎ' は
０又は１を表わす。）で示される化合物、下式 ＣＦ3 −ＳＯ2 Ｏ−〔Ｃ（Ｙ1 ）（Ｙ2 ）〕m'−Ｃ（Ｏ）−Ｙ3 （式中、Ｙ1 及びＹ2 は各々独立して置換されていても
よいアルキル、アルコキシもしくはアリール基を、Ｙ3
は置換されていてもよいアリール基を、ｍ' は１又は２
を、各々表わす。）で示される化合物、下式 ＣＦ3 −ＳＯ2 Ｏ−Ｎ（Ｙ4 ）−Ｃ（Ｏ）−Ｙ5 （式中、Ｙ4 は置換されていてもよいアルキル基を、Ｙ
5 は置換されていてもよいアリール基を、各々表わ
す。）で示される化合物、下式 ＣＦ3 −ＳＯ2 Ｏ−Ｎ＝Ｃ（Ｙ6 ）（Ｙ7 ） （式中、Ｙ6 は水素原子又は置換されていてもよいアル
キルもしくはアリール基を、Ｙ7 は置換されていてもよ
いアリール基を、各々表わす。）で示される化合物、下
式
間接的に酸を発生するものであれば特に限定されない
が、例えば特開平４−163552号公報に記載されているト
リハロメチルトリアジン系化合物、特開平１−57777 号
公報に記載されているジスルホン化合物、下式、 Ｒ8 −ＳＯ2 −ＳＯ2 −Ｒ9 −ＳＯ2 −ＳＯ2 −Ｒ10 （式中、Ｒ8 及びＲ10は各々独立して置換されていても
よいアリール、アラルキル、アルキル、シクロアルキル
又は複素環基を表わし、Ｒ9 は置換されていてもよいア
リールを表わす。）で示される化合物、特開平１−2933
39号公報に記載されているスルホン酸エステル基を含む
光酸発生剤、下式 ＣＦ3 −ＳＯ2 Ｏ−（ＣＨ2 ）n'−Ｙ （式中、Ｙは置換されていてもよいアリール基をｎ' は
０又は１を表わす。）で示される化合物、下式 ＣＦ3 −ＳＯ2 Ｏ−〔Ｃ（Ｙ1 ）（Ｙ2 ）〕m'−Ｃ（Ｏ）−Ｙ3 （式中、Ｙ1 及びＹ2 は各々独立して置換されていても
よいアルキル、アルコキシもしくはアリール基を、Ｙ3
は置換されていてもよいアリール基を、ｍ' は１又は２
を、各々表わす。）で示される化合物、下式 ＣＦ3 −ＳＯ2 Ｏ−Ｎ（Ｙ4 ）−Ｃ（Ｏ）−Ｙ5 （式中、Ｙ4 は置換されていてもよいアルキル基を、Ｙ
5 は置換されていてもよいアリール基を、各々表わ
す。）で示される化合物、下式 ＣＦ3 −ＳＯ2 Ｏ−Ｎ＝Ｃ（Ｙ6 ）（Ｙ7 ） （式中、Ｙ6 は水素原子又は置換されていてもよいアル
キルもしくはアリール基を、Ｙ7 は置換されていてもよ
いアリール基を、各々表わす。）で示される化合物、下
式
【００１９】
【化５】
【００２０】で示されるオニウム塩類等があげられる。
【００２１】キノンジアジド化合物としては、例えばｏ
−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸エステル又は
スルホン酸アミド、或いはｏ−ナフトキノンジアジド−
４−スルホン酸エステル又はスルホン酸アミド等が挙げ
られる。これらのエステル又はアミドは、例えば特開平
２−84650 及び特開平３−49437 号公報に一般式（Ｉ）
で記載されているフェノール化合物等を用いて公知の方
法により製造することができる。
−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸エステル又は
スルホン酸アミド、或いはｏ−ナフトキノンジアジド−
４−スルホン酸エステル又はスルホン酸アミド等が挙げ
られる。これらのエステル又はアミドは、例えば特開平
２−84650 及び特開平３−49437 号公報に一般式（Ｉ）
で記載されているフェノール化合物等を用いて公知の方
法により製造することができる。
【００２２】アルカリ可溶性樹脂は通常、有機溶剤中に
２〜50重量％程度の割合で溶解させる。キノンジアジド
化合物、架橋剤、光酸発生剤及び色素の使用量は通常、
アルカリ可溶性樹脂溶液に対して各々、２〜20、２〜2
0、２〜20及び0.1 〜20重量％程度の割合で添加する。
露光には、例えば水銀ランプ等の紫外線、遠紫外線、電
子線もしくはＸ線等が用いられる。
２〜50重量％程度の割合で溶解させる。キノンジアジド
化合物、架橋剤、光酸発生剤及び色素の使用量は通常、
アルカリ可溶性樹脂溶液に対して各々、２〜20、２〜2
0、２〜20及び0.1 〜20重量％程度の割合で添加する。
露光には、例えば水銀ランプ等の紫外線、遠紫外線、電
子線もしくはＸ線等が用いられる。
【００２３】
【実施例】次に、実施例及び参考例により本発明を更に
具体的に説明する。実施例及び参考例中、部は重量部を
表わす。尚、以下の参考例における共通の条件は次のと
おりである。レジスト及びカラーフィルター（着色パタ
ーン）の製造方法については、シリコンウエハーに色
素、有機溶剤及びアルカリ可溶性樹脂、並びにキノンジ
アジド化合物（又は、架橋剤及び光酸発生剤）を含むレ
ジスト組成物をスピンコートし、加熱により溶剤を蒸発
させた後、マスクを通して露光を行い、キノンジアジド
化合物（又は光酸発生剤）を分解させた。次いで、加熱
後、現像して着色パターンを得た。露光は日立製作所
（株）製ｉ線露光ステッパーHITACHI LD-5010-i(NA＝0.
40) 或いはニコン社製ｇ線露光ステッパーNSR1505 G3C
(NA＝0.42) により行った。又、現像液は住友化学工業
（株）製SOPDを用いた。
具体的に説明する。実施例及び参考例中、部は重量部を
表わす。尚、以下の参考例における共通の条件は次のと
おりである。レジスト及びカラーフィルター（着色パタ
ーン）の製造方法については、シリコンウエハーに色
素、有機溶剤及びアルカリ可溶性樹脂、並びにキノンジ
アジド化合物（又は、架橋剤及び光酸発生剤）を含むレ
ジスト組成物をスピンコートし、加熱により溶剤を蒸発
させた後、マスクを通して露光を行い、キノンジアジド
化合物（又は光酸発生剤）を分解させた。次いで、加熱
後、現像して着色パターンを得た。露光は日立製作所
（株）製ｉ線露光ステッパーHITACHI LD-5010-i(NA＝0.
40) 或いはニコン社製ｇ線露光ステッパーNSR1505 G3C
(NA＝0.42) により行った。又、現像液は住友化学工業
（株）製SOPDを用いた。
【００２４】実施例１ 銅フタロシアニンスルホン酸（C.I.アシッドブルー249
）２部を含む水溶液、これと当量のジベンジルドデシ
ルアミン及び２−ヘプタノンの混合物を攪拌した。攪拌
終了後、分液して有機層を得た。
）２部を含む水溶液、これと当量のジベンジルドデシ
ルアミン及び２−ヘプタノンの混合物を攪拌した。攪拌
終了後、分液して有機層を得た。
【００２５】実施例２ ジベンジルドデシルアミンに代えてドデシルアミンを用
いる以外は実施例１と同様に操作して有機層を得た。
いる以外は実施例１と同様に操作して有機層を得た。
【００２６】参考例１ ｍ−クレゾール／ｐ−クレゾール／ホルムアルデヒド
（反応モル比＝５／５／7.5 ）混合物から得られたクレ
ゾールノボラック樹脂（ポリスチレン換算重量平均分子
量4300）3.4 部、下式
（反応モル比＝５／５／7.5 ）混合物から得られたクレ
ゾールノボラック樹脂（ポリスチレン換算重量平均分子
量4300）3.4 部、下式
【００２７】
【化６】
【００２８】で示されるフェノール化合物を用いて製造
されたｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸エス
テル（平均２個の水酸基がエステル化されている）1.8
部、並びに実施例１及び２で得た有機層の各々を混合し
てポジ型レジスト組成物をそれぞれ得た。上で得たそれ
ぞれのポジ型レジスト組成物を、シリコンウエハーにス
ピンコートした後、有機溶剤を蒸発させた。このシリコ
ンウエハーを露光後、アルカリ現像により露光部を除去
して、各々、１μｍの解像度を有するポジ型着色パター
ンを得た。
されたｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸エス
テル（平均２個の水酸基がエステル化されている）1.8
部、並びに実施例１及び２で得た有機層の各々を混合し
てポジ型レジスト組成物をそれぞれ得た。上で得たそれ
ぞれのポジ型レジスト組成物を、シリコンウエハーにス
ピンコートした後、有機溶剤を蒸発させた。このシリコ
ンウエハーを露光後、アルカリ現像により露光部を除去
して、各々、１μｍの解像度を有するポジ型着色パター
ンを得た。
【００２９】実施例３ 銅フタロシアニンスルホン酸（C.I.アシッドブルー249
）２部を常法によりスルホニルクロリド化後、実施例
２に準じてドデシルアミンと反応させてスルホンアミド
化合物を得た。
）２部を常法によりスルホニルクロリド化後、実施例
２に準じてドデシルアミンと反応させてスルホンアミド
化合物を得た。
【００３０】実施例４ ドデシルアミンに代えて３−デシロキシプロピルアミン
を用いる以外は実施例３と同様に操作してスルホンアミ
ド化合物を得た。
を用いる以外は実施例３と同様に操作してスルホンアミ
ド化合物を得た。
【００３１】参考例２ 実施例３及び４で得た各々のスルホンアミド化合物0.8
部、参考例１で用いたクレゾールノボラック樹脂3.4
部、参考例１で用いたｏ−ナフトキノンジアジド−５−
スルホン酸エステル1.8 部、エチルセロソルブアセテー
ト６部及び乳酸エチル15部を混合してポジ型レジスト組
成物をそれぞれ得た。上で得たそれぞれのポジ型レジス
ト組成物を、シリコンウエハーにスピンコートした後、
有機溶剤を蒸発させた。このシリコンウエハーを露光
後、アルカリ現像により露光部を除去して、各々、１μ
ｍの解像度を有するポジ型着色パターンを得た。
部、参考例１で用いたクレゾールノボラック樹脂3.4
部、参考例１で用いたｏ−ナフトキノンジアジド−５−
スルホン酸エステル1.8 部、エチルセロソルブアセテー
ト６部及び乳酸エチル15部を混合してポジ型レジスト組
成物をそれぞれ得た。上で得たそれぞれのポジ型レジス
ト組成物を、シリコンウエハーにスピンコートした後、
有機溶剤を蒸発させた。このシリコンウエハーを露光
後、アルカリ現像により露光部を除去して、各々、１μ
ｍの解像度を有するポジ型着色パターンを得た。
【００３２】実施例５ ヘキスト社製アミノールファストブリリアントピンクRL
（２部）水溶液、これと当量のジベンジルドデシルアミ
ン及び２−ヘプタノンの混合物を攪拌した。攪拌終了
後、分液して有機層を得た。
（２部）水溶液、これと当量のジベンジルドデシルアミ
ン及び２−ヘプタノンの混合物を攪拌した。攪拌終了
後、分液して有機層を得た。
【００３３】実施例６ イエロー酸性染料〔住友化学工業（株）製スミノールミ
リングイエローMR〕２部を用いる以外は、実施例２と同
様に操作して有機層を得た。
リングイエローMR〕２部を用いる以外は、実施例２と同
様に操作して有機層を得た。
【００３４】参考例３ 実施例５及び６で得た有機層を用いる以外は参考例１と
同様に操作して、各々、１μｍの解像度を有するポジ型
のマゼンタ色及びイエロー色パターンを得た。
同様に操作して、各々、１μｍの解像度を有するポジ型
のマゼンタ色及びイエロー色パターンを得た。
【００３５】実施例７ アミノールファストブリリアントピンクRL（２部）及び
３−デシロキシプロピルアミンを用いる以外は、実施例
３と同様に操作してスルホンアミド化合物を得た。
３−デシロキシプロピルアミンを用いる以外は、実施例
３と同様に操作してスルホンアミド化合物を得た。
【００３６】参考例４ 実施例７で得たスルホンアミド化合物0.8 部、参考例１
で用いたクレゾールノボラック樹脂3.5 部、参考例１で
用いたｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸エス
テル1.8 部、エチルセロソルブアセテート６部及び乳酸
エチル15部を混合してポジ型レジスト組成物を得た。上
で得たポジ型レジスト組成物を、シリコンウエハーにス
ピンコートした後、有機溶剤を蒸発させた。このシリコ
ンウエハーを露光後、アルカリ現像により露光部を除去
して１μｍの解像度を有するポジ型マゼンタ色パターン
を得た。
で用いたクレゾールノボラック樹脂3.5 部、参考例１で
用いたｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸エス
テル1.8 部、エチルセロソルブアセテート６部及び乳酸
エチル15部を混合してポジ型レジスト組成物を得た。上
で得たポジ型レジスト組成物を、シリコンウエハーにス
ピンコートした後、有機溶剤を蒸発させた。このシリコ
ンウエハーを露光後、アルカリ現像により露光部を除去
して１μｍの解像度を有するポジ型マゼンタ色パターン
を得た。
【００３７】参考例５ 実施例４で得たスルホンアミド化合物１部、参考例１で
用いたクレゾールノボラック樹脂３部、ヘキサメトキシ
メチロール化メラミン0.3 部、下式
用いたクレゾールノボラック樹脂３部、ヘキサメトキシ
メチロール化メラミン0.3 部、下式
【００３８】
【化７】
【００３９】で示される光酸発生剤0.2 部、２−ヘプタ
ノン15部及びジメチルホルムアミド５部を混合してネガ
型レジスト組成物を得た。このネガ型レジスト組成物を
シリコンウエハーにスピンコートした後、有機溶剤を蒸
発させた。このシリコンウエハーを露光後、120 ℃・３
分加熱し、次いでアルカリ現像して１μｍの解像度を有
するネガ型着色パターン（シアンカラーフィルター）を
得た。
ノン15部及びジメチルホルムアミド５部を混合してネガ
型レジスト組成物を得た。このネガ型レジスト組成物を
シリコンウエハーにスピンコートした後、有機溶剤を蒸
発させた。このシリコンウエハーを露光後、120 ℃・３
分加熱し、次いでアルカリ現像して１μｍの解像度を有
するネガ型着色パターン（シアンカラーフィルター）を
得た。
【００４０】
【発明の効果】本発明のカラーフィルター用色素を用い
れば、微細度及び着色パターンの安定性等の諸性能に優
れたカラーフィルターを容易に製造することができる。
れば、微細度及び着色パターンの安定性等の諸性能に優
れたカラーフィルターを容易に製造することができる。
Claims (2)
- 【請求項１】酸性染料のアミン塩であるか又は酸性染料
のスルホンアミド化合物であり、且つ、有機溶剤及びア
ルカリ水溶液に可溶なカラーフィルター用色素。 - 【請求項２】酸性染料がフタロシアニン骨格を有する染
料である請求項１に記載のカラーフィルター用シアン色
素。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20529892A JP3476208B2 (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | カラーフィルター用色素 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20529892A JP3476208B2 (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | カラーフィルター用色素 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0651115A true JPH0651115A (ja) | 1994-02-25 |
| JP3476208B2 JP3476208B2 (ja) | 2003-12-10 |
Family
ID=16504652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20529892A Expired - Lifetime JP3476208B2 (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | カラーフィルター用色素 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3476208B2 (ja) |
Cited By (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999029784A1 (fr) * | 1997-12-09 | 1999-06-17 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | Nouveaux sels et compositions de resine coloree photosensible |
| JP2002196481A (ja) * | 2000-12-22 | 2002-07-12 | Sumitomo Chem Co Ltd | 保存安定性に優れた着色感光性樹脂組成物 |
| JP2007094181A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Fujifilm Corp | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 |
| EP1975702A2 (en) | 2007-03-29 | 2008-10-01 | Fujifilm Corporation | Colored photocurable composition for solid state image pick-up device, color filter and method for production thereof, and solid state image pick-up device |
| EP2028544A2 (en) | 2007-08-22 | 2009-02-25 | FUJIFILM Corporation | Colored photosensitive composition, color filter, and method for manufacturing color filter |
| EP2037323A2 (en) | 2007-07-17 | 2009-03-18 | FUJIFILM Corporation | Photosensitive compositions, curable compositions, novel compounds, photopolymerizable compositions, color filters, and planographic printing plate precursors |
| WO2009038038A1 (ja) | 2007-09-19 | 2009-03-26 | Fujifilm Corporation | アセチレン化合物、その塩、その縮合物、及びその組成物 |
| EP2055746A2 (en) | 2007-10-31 | 2009-05-06 | Fujifilm Corporation | Colored curable composition, color filter, method of producing the same, and solid state image pickup device. |
| WO2009057523A1 (ja) | 2007-11-01 | 2009-05-07 | Fujifilm Corporation | 顔料分散組成物、着色硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 |
| EP2075632A1 (en) | 2007-12-28 | 2009-07-01 | FUJIFILM Corporation | Dye-containing negative curable composition, color filter, method of producing the same, and solid-state image sensor |
| EP2085821A1 (en) | 2008-01-31 | 2009-08-05 | FUJIFILM Corporation | Dye-containing negative curable composition, color filter and method of producing color filter |
| WO2009113447A1 (ja) | 2008-03-10 | 2009-09-17 | 富士フイルム株式会社 | 着色硬化性組成物、カラーフィルタ、及び、固体撮像素子 |
| EP2105443A1 (en) | 2008-03-24 | 2009-09-30 | FUJIFILM Corporation | Oxime derivatives and their use in photopolymerizable compositions for colour filters |
| EP2113807A2 (en) | 2008-04-30 | 2009-11-04 | Fujifilm Corporation | Optical material having a colored optically anisotropic layer |
| EP2141206A1 (en) | 2008-06-30 | 2010-01-06 | FUJIFILM Corporation | Novel compound, polymerizable composition, color filter and production method thereof, solid-state imaging device, and planographic printing plate precursor |
| EP2154568A1 (en) | 2008-08-14 | 2010-02-17 | FUJIFILM Corporation | Color filter and production method thereof, and solid-state image sensor using the same |
| WO2010038675A1 (ja) | 2008-09-30 | 2010-04-08 | 富士フイルム株式会社 | 染料含有ネガ型硬化性組成物、これを用いたカラーフィルタ及びその製造方法、並びに固体撮像素子 |
| WO2010119924A1 (ja) | 2009-04-16 | 2010-10-21 | 富士フイルム株式会社 | カラーフィルタ用重合性組成物、カラーフィルタ、及び固体撮像素子 |
| EP2362266A2 (en) | 2010-02-26 | 2011-08-31 | Fujifilm Corporation | Colored curable composition, color filter and method of producing color filter, solid-state image sensor and liquid crystal display device |
| US8212974B2 (en) | 2009-04-24 | 2012-07-03 | Toppan Printing Co., Ltd. | Blue color composition containing dye, color filter and liquid crystal display device and organic EL display provided with the color filter |
| EP2472330A1 (en) | 2010-12-28 | 2012-07-04 | Fujifilm Corporation | Titanium black dispersion composition for forming light blocking film and method of producing the same, black radiation-sensitive composition, black cured film, solid-state imaging element, and method of producing black cured film |
| KR20140006871A (ko) | 2011-02-10 | 2014-01-16 | 후지필름 가부시키가이샤 | 착색 경화성 조성물 및 컬러 필터 |
| WO2014087901A1 (ja) | 2012-12-03 | 2014-06-12 | 富士フイルム株式会社 | Ｉｒカットフィルタ及びその製造方法、固体撮像装置、遮光膜の形成方法 |
| WO2014087900A1 (ja) | 2012-12-03 | 2014-06-12 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子用保持基板及びその製造方法、固体撮像装置 |
| KR20140122264A (ko) | 2012-03-02 | 2014-10-17 | 후지필름 가부시키가이샤 | 착색 경화성 조성물 및 컬러필터 |
| WO2015033814A1 (ja) | 2013-09-06 | 2015-03-12 | 富士フイルム株式会社 | 着色組成物、硬化膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子、画像表示装置、ポリマー、キサンテン色素 |
| JPWO2014002335A1 (ja) * | 2012-06-26 | 2016-05-30 | 保土谷化学工業株式会社 | カラーフィルター用キサンテン系色素並びに該色素を用いたカラーフィルター |
| WO2019176409A1 (ja) | 2018-03-13 | 2019-09-19 | 富士フイルム株式会社 | 硬化膜の製造方法、固体撮像素子の製造方法 |
| WO2020049930A1 (ja) | 2018-09-07 | 2020-03-12 | 富士フイルム株式会社 | 車両用ヘッドライトユニット、ヘッドライト用の遮光膜、ヘッドライト用の遮光膜の製造方法 |
| WO2024232338A1 (ja) | 2023-05-11 | 2024-11-14 | 住友化学株式会社 | 樹脂組成物成形体 |
| WO2024232343A1 (ja) | 2023-05-11 | 2024-11-14 | 住友化学株式会社 | 樹脂組成物 |
-
1992
- 1992-07-31 JP JP20529892A patent/JP3476208B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (34)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999029784A1 (fr) * | 1997-12-09 | 1999-06-17 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | Nouveaux sels et compositions de resine coloree photosensible |
| JP2002196481A (ja) * | 2000-12-22 | 2002-07-12 | Sumitomo Chem Co Ltd | 保存安定性に優れた着色感光性樹脂組成物 |
| JP2007094181A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Fujifilm Corp | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 |
| EP1975702A2 (en) | 2007-03-29 | 2008-10-01 | Fujifilm Corporation | Colored photocurable composition for solid state image pick-up device, color filter and method for production thereof, and solid state image pick-up device |
| EP2037323A2 (en) | 2007-07-17 | 2009-03-18 | FUJIFILM Corporation | Photosensitive compositions, curable compositions, novel compounds, photopolymerizable compositions, color filters, and planographic printing plate precursors |
| EP2207062A2 (en) | 2007-07-17 | 2010-07-14 | FUJIFILM Corporation | Photosensitive compositions, curable compositions, novel compounds, photopolymerizable compositions, color filters, and planographic printing plate precursors |
| EP2028544A2 (en) | 2007-08-22 | 2009-02-25 | FUJIFILM Corporation | Colored photosensitive composition, color filter, and method for manufacturing color filter |
| WO2009038038A1 (ja) | 2007-09-19 | 2009-03-26 | Fujifilm Corporation | アセチレン化合物、その塩、その縮合物、及びその組成物 |
| EP2055746A2 (en) | 2007-10-31 | 2009-05-06 | Fujifilm Corporation | Colored curable composition, color filter, method of producing the same, and solid state image pickup device. |
| WO2009057523A1 (ja) | 2007-11-01 | 2009-05-07 | Fujifilm Corporation | 顔料分散組成物、着色硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 |
| EP2075632A1 (en) | 2007-12-28 | 2009-07-01 | FUJIFILM Corporation | Dye-containing negative curable composition, color filter, method of producing the same, and solid-state image sensor |
| EP2085821A1 (en) | 2008-01-31 | 2009-08-05 | FUJIFILM Corporation | Dye-containing negative curable composition, color filter and method of producing color filter |
| WO2009113447A1 (ja) | 2008-03-10 | 2009-09-17 | 富士フイルム株式会社 | 着色硬化性組成物、カラーフィルタ、及び、固体撮像素子 |
| EP2105443A1 (en) | 2008-03-24 | 2009-09-30 | FUJIFILM Corporation | Oxime derivatives and their use in photopolymerizable compositions for colour filters |
| EP2113807A2 (en) | 2008-04-30 | 2009-11-04 | Fujifilm Corporation | Optical material having a colored optically anisotropic layer |
| EP2141206A1 (en) | 2008-06-30 | 2010-01-06 | FUJIFILM Corporation | Novel compound, polymerizable composition, color filter and production method thereof, solid-state imaging device, and planographic printing plate precursor |
| EP2154568A1 (en) | 2008-08-14 | 2010-02-17 | FUJIFILM Corporation | Color filter and production method thereof, and solid-state image sensor using the same |
| WO2010038675A1 (ja) | 2008-09-30 | 2010-04-08 | 富士フイルム株式会社 | 染料含有ネガ型硬化性組成物、これを用いたカラーフィルタ及びその製造方法、並びに固体撮像素子 |
| WO2010119924A1 (ja) | 2009-04-16 | 2010-10-21 | 富士フイルム株式会社 | カラーフィルタ用重合性組成物、カラーフィルタ、及び固体撮像素子 |
| US8212974B2 (en) | 2009-04-24 | 2012-07-03 | Toppan Printing Co., Ltd. | Blue color composition containing dye, color filter and liquid crystal display device and organic EL display provided with the color filter |
| EP2362266A2 (en) | 2010-02-26 | 2011-08-31 | Fujifilm Corporation | Colored curable composition, color filter and method of producing color filter, solid-state image sensor and liquid crystal display device |
| EP2568338A1 (en) | 2010-02-26 | 2013-03-13 | Fujifilm Corporation | Colored curable composition, color filter and method of producing color filter, solid-state image sensor and liquid crystal display device |
| EP2472330A1 (en) | 2010-12-28 | 2012-07-04 | Fujifilm Corporation | Titanium black dispersion composition for forming light blocking film and method of producing the same, black radiation-sensitive composition, black cured film, solid-state imaging element, and method of producing black cured film |
| KR20140006871A (ko) | 2011-02-10 | 2014-01-16 | 후지필름 가부시키가이샤 | 착색 경화성 조성물 및 컬러 필터 |
| KR20140122264A (ko) | 2012-03-02 | 2014-10-17 | 후지필름 가부시키가이샤 | 착색 경화성 조성물 및 컬러필터 |
| JPWO2014002335A1 (ja) * | 2012-06-26 | 2016-05-30 | 保土谷化学工業株式会社 | カラーフィルター用キサンテン系色素並びに該色素を用いたカラーフィルター |
| WO2014087900A1 (ja) | 2012-12-03 | 2014-06-12 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子用保持基板及びその製造方法、固体撮像装置 |
| WO2014087901A1 (ja) | 2012-12-03 | 2014-06-12 | 富士フイルム株式会社 | Ｉｒカットフィルタ及びその製造方法、固体撮像装置、遮光膜の形成方法 |
| WO2015033814A1 (ja) | 2013-09-06 | 2015-03-12 | 富士フイルム株式会社 | 着色組成物、硬化膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子、画像表示装置、ポリマー、キサンテン色素 |
| WO2019176409A1 (ja) | 2018-03-13 | 2019-09-19 | 富士フイルム株式会社 | 硬化膜の製造方法、固体撮像素子の製造方法 |
| WO2020049930A1 (ja) | 2018-09-07 | 2020-03-12 | 富士フイルム株式会社 | 車両用ヘッドライトユニット、ヘッドライト用の遮光膜、ヘッドライト用の遮光膜の製造方法 |
| WO2024232338A1 (ja) | 2023-05-11 | 2024-11-14 | 住友化学株式会社 | 樹脂組成物成形体 |
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