JPH0652140U - 炉心管ダスト吸引治具 - Google Patents
炉心管ダスト吸引治具Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 吸引治具に対して比較的高温な雰囲気中に
おける吸引清掃を可能に成すと共に、外気の吸引による
炉心管内の汚染を防止する機能を具備せしめることを目
的とする。 【構成】 外管１の内部に内管２を嵌挿して二重管構
造にするとともに、内管２の内部を吸引路２ａとして、
内管２外周と外管１内周との間を吹き出し路３ａとして
各々構成し、上記吸引路２ａの先端口３ｂとその周囲に
形成される吹き出し路３ａの先端口３ｂとから成る吸引
口３を構成し、吸引路２ａの基端部に吸引装置に対する
接続口４を設け、また吹き出し路３ａの基端部に清浄気
の圧送装置に対する接続口５を設けてなるものである。
おける吸引清掃を可能に成すと共に、外気の吸引による
炉心管内の汚染を防止する機能を具備せしめることを目
的とする。 【構成】 外管１の内部に内管２を嵌挿して二重管構
造にするとともに、内管２の内部を吸引路２ａとして、
内管２外周と外管１内周との間を吹き出し路３ａとして
各々構成し、上記吸引路２ａの先端口３ｂとその周囲に
形成される吹き出し路３ａの先端口３ｂとから成る吸引
口３を構成し、吸引路２ａの基端部に吸引装置に対する
接続口４を設け、また吹き出し路３ａの基端部に清浄気
の圧送装置に対する接続口５を設けてなるものである。
Description
【０００１】
この考案は半導体ウエハを収容して加熱する炉心管の内部を吸引清掃する吸引 器具に関する。
【０００２】
従来、半導体ウエハの製造過程において使用する拡散用の炉心管は石英を用い て形成されている。炉心管は拡散行程時において、治具により並列保持した多数 の半導体ウエハを管内に収容し、その管内に拡散ガスを注入した上で電気炉で６ ００℃〜１２００℃まで加熱される。 上記したように炉心管を用いて拡散行程を行なう際において、拡散加工を行なう 半導体ウエハや治具等と炉心管内面との擦れ合いによって、炉心管の内部に石英 粉が滞積したり空気中に含まれる不純物が付着してしまうことがある。このまま 次回の拡散作業を行なうと上記不純物が半導体ウエハの表面に付着してウエハの 品質が損なわれることになる。
【０００３】 従って、従来においては毎回の使用の後に炉心管の温度を室温近くの一定温度 以下に降下させた上で管内の清浄を吸引器具を使用して行なっていた。
【０００４】 炉心管内の清浄に用いる吸引器具は、石英管の先端を屈曲させて吸引口を形成 すると共に、該石英管の基端に吸引装置のフレキシブルホースを接続して構成さ れる。そして清浄の際には、吸引器具を炉心管の内部に挿入し、石英管内を通じ て炉心管内の雰囲気ガスの吸引を行なうことにより先端の吸引口から炉心管内周 壁に存在する不純物を吸引していた。
【０００５】
上記した如き吸引器具にあっては、拡散行程により６００℃から１２００℃に 加熱した炉心管を高温のまま吸引清浄した場合、不純物と一緒に高温の拡散ガス が吸引されて器具本体が危険な程に高温となってしまう。 しかし、安全な吸引清浄を行なう為に炉心管の温度を十分に冷却させ、吸引清浄 後に再び過熱するには例えば８〜１２時間もの時間が必要であった。また、炉心 管が低温となった時点で不純物を含む外気が入り込んで管内の清浄度が低下して しまう問題も生じる。
【０００６】 本考案の目的は、上記した如き吸引器具に対して器具自体の冷却機能と不純物 が含まれる外気を吸引しないようにする機能とを合理的に具備せしめることによ り、比較的高温な雰囲気中における吸引清浄を可能に成すと共に、外気の吸引に よる炉心管内の汚染を防止することにある。
【０００７】
上記した課題を解決するために本考案の炉心管ダスト吸引装置は、外管の内部 に内管を嵌挿して石英からなる二重管構造にすると共に、上記内管の内部を吸引 路として、内管外周と外管内周との間を吹き出し路として各々構成し、上記吸引 路の先端口とその周囲に形成される吹き出し路の先端口とから成る吸引口を構成 し、且つ吸引路の基端部に吸引装置に対する接続口を設け、また吹き出し路の基 端部に清浄気の圧送装置に対する接続口を設けてなるものである。
【０００８】
以上の手段によれば、吸引器具は内管と外管とにより二重管状に形成され、内 管の内部を吸引路として、また、内管外周と外管内周との間を吹き出し路として 構成される。そして、上記吸引路及び吹き出し路は各々の基端口に設けられる接 続口を介して吸引装置と清浄気の圧送装置に連絡している。 また、吸引器具の先端には上記吸引路の先端口と、その周囲に形成される吹き出 し路の先端口とからなる吸引口が構成される。
【０００９】 上記内管の内部の吸引路に吸引装置からの吸引力が加わることにより吸引口の 内管先端口から吸引が行なわれ、これと同時に圧送装置から送られる清浄気が内 管の外側に沿う吹き出し路内を通過して吹き出し路先端口から窒素や空気等の清 浄気が噴出される。 この時、吸引器具を構成する内管及び外管は吹き出し路を通過する清浄気に触れ て強制冷却される。 また、吸引口の吹き出し路先端口から吹き出される清浄気の多くは内管先端口か ら吸引され、残る清浄気が吸引口外へ流出する。よって、吸引作業の際には、上 記したように吹き出し路先端口から吹き出して内管先端口から吸引される清浄気 の高速流中に吸い込まれる形で炉心管内に存在する不純物が吸引清浄される。 また、吸引器具を炉心管の内部に挿入して吸引清浄する状態において、吸引口内 における吸引路先端口から吸引される清浄気の量と、吹き出し路の先端口から吹 き出される清浄気の量とを相殺させるか、若しくは清浄気の吹き出し量の方を多 くすることにより、吸引清浄中に炉心管端部の炉口から外気が流れ込むことを防 止することができる。
【００１０】
本考案は以上説明したように構成したものであるから、比較的高温な雰囲気中 において吸引清浄を行なう際にも、吹き出し路を通過する清浄気によって吸引器 具を強制冷却することにより吸引器具自体の過熱を防止することができる。従っ て、炉心管の温度が比較的高温であっても炉心管内の吸引清浄を行なうことが可 能となり、その結果、従来必要としていた炉心管の冷却、再過熱時間を大幅に短 縮して作業能率を向上することができる。 また、吸引口内の軸芯部にある吹き出し路先端口から吹き出した清浄気を周囲の 吸引路先端口から吸引する流れを作り、この吸引流により炉心管内の不純物を吸 引するように構成してあるので、従来のもののように吸引清浄中において炉心管 の炉口から外気を吸引することがなくなり、これにより炉心管内が外気に含まれ る不純物により汚染されることを効果的に防止することができる。
【００１１】
以下、本考案の一実施を図面に基づいて説明する。 図１及び図２は本考案を実施した炉心管ダスト吸引器具である。この吸引器具は 、外管１内部の軸芯部に内管２を嵌挿することにより石英からなる二重管状に構 成している。 吸引器具は上記内管２の内部を吸引路２ａとして、また内管２外周と外管内周と の間を吹き出し路３ａとして成し、先端部を略直角に屈曲させることにより吸引 口３を構成してある。 吸引口３は吸引路２ａの先端口２ｂと、該先端口２ｂの周囲に形成される吹き出 し路３ａの先端口３ｂとから構成される。また、吸引路２ａの先端口２ｂとなる 内管２の先端は外管１の先端より幾分短く形成され、これにより内管２先端が外 管１先端より内側に入り込んだ状態としている。
【００１２】 一方、外管１の基端は仕切り壁３ｃにより閉鎖され、この仕切り壁３ｃを内管 ２の基端部が嵌通して後方へ突出し、接続口４を構成している。この接続口４は 吸引装置（図示せず）に連絡するホースの接続部となる。 また、外管１基端部の外周にはＬ字形に屈曲させた管が接続ししてあり、清浄し た窒素や空気等の清浄気を圧送する圧送装置（図示せず）に対する接続口５とし て構成してある。 従って、上記接続口５から供給される清浄気は吸引器具内の吹き出し路３ａを通 過して先端口３ｂから流出する。また、吸引装置の吸引力により先端口２ｂから 吸引された清浄気は吸引路２ａ内を通過して吸引装置へ向かう。 即ち、吸引口３内においては吹き出し路３ａの先端口３ｂから流出した清浄気が 吸引路２ａの先端口２ｂから吸引されることになり、炉心管内の不純物はこの高 速吸引流に吸い込まれて排出されることになる。 尚、前記したように吸引路２ａの先端口２ｂを吹き出し口３ａの先端口３ｂより も短くしたのは、清掃面となる炉心管の内周面に吸引口３を当てた状態において 、輪形の吹き出し路先端口３ｂから中心部の吸引路先端口２ｂへ向けて流れる吸 引流を効率的に確保するための配慮である。
【００１３】 上記した如く構成した炉心ダスト吸引器具を使用して炉心管内の吸引清掃をす る際には、吸引器具を作業が可能な温度まで冷却された炉心管の内部に挿入し、 先端部の吸引口３を炉心管内周面に当てながら吸引作業を行なう。 前記したように、吸引口３の内部では吹き出し路先端口３ｂから噴出した清浄気 が吸引路先端口２ｂに吸引される高速吸引流が作られ、炉心管内部に存在する不 純物はこの高速吸引流に吸い込まれて内管２内の吸引路２ａを通過し吸引装置に 回収される。 また、圧送装置から送られる清浄気が内管２の外側に沿う吹き出し路３ａ内を通 過して先端口３ｂから噴出することによれば、吸引器具を構成する内管２及び外 管１は吹き出し路３ａを通過する清浄気に触れて強制冷却される。この強制冷却 により吸引器具の過熱を効果的に防止することができるようになり、その結果、 従来よりも高温な雰囲気中においても支障なく吸引作業を行なうことが可能とな る。
【００１４】 また、吹き出し路先端口３ｂから吹き出される清浄気の多くは吸引口３内から 噴出する以前に吸引路先端口２ｂから吸引され、残る少量の清浄気が吸引口外へ 流出する。よって、圧送装（図示せず）置から供給される清浄気の時間当りの供 給量は吸引装置（図示せず）による時間当りの吸引量と同じが若しくは幾分大き めに設定する。これにより、吸引清浄中に炉心管端部の炉口から外気が流れ込む ことを防止し、外気の流入により炉心管内が汚染されるのを防止することができ る。
【提出日】平成５年１月２１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【０００１】
この考案は半導体ウエハを収容して加熱する炉心管の内部を吸引清掃する吸引 治具に関する。
【０００２】
従来、半導体ウエハの製造過程において拡散、酸化、アニールなどの熱処理に 使用する炉心管は石英を用いて形成されている。炉心管は熱処理行程時において 、治具により並列保持した多数の半導体ウエハを管内に収容し、その管内に各種 ガスを注入した上で電気炉で６００℃〜１２００℃まで加熱される。 上記したように炉心管を用いて熱処理行程を行なう際において、炉心管内部に挿 入されるボートと炉心管内面との擦れ合いによって、炉心管の内部に石英粉が発 生し、このまま熱処理行程を続けていくと石英粉が半導体ウエハの表面に付着し てウエハの品質が損なわれることになる。
【０００３】 従って、従来においては所定の回数使用した後に炉心管の温度を室温近くの一 定温度以下に降下させた上で管内の清掃を吸引治具を使用して行なっていた。
【０００４】 炉心管内の清掃に用いる吸引治具は、石英管の先端を屈曲させて吸引口を形成 すると共に、該石英管の基端に吸引装置のフレキシブルホースを接続して構成さ れる。そして清掃の際には、吸引治具を炉心管の内部に挿入し、石英管内のガス の吸引を行なうことにより先端の吸引口から炉心管内周壁に存在する石英粉を吸 引排出していた。
【０００５】
上記した如き吸引治具にあっては、熱処理行程により６００℃から１２００℃ に加熱した炉心管を高温のまま吸引清掃した場合、石英と一緒に高温の拡散ガス が吸引されて器具本体が危険な程に高温となってしまう。 しかし、安全な吸引清掃を行なう為に炉心管の温度を十分に冷却させ、吸引清掃 後に再び過熱するには例えば８〜１２時間もの時間が必要であった。また、炉心 管が低温となった時点で不純物を含む外気が入り込んで管内の清掃度が低下して しまう問題も生じる。
【０００６】 本考案の目的は、上記した如き吸引治具に対して器具自体の冷却機能と不純物 が含まれる外気を吸引しないようにする機能とを合理的に具備せしめることによ り、比較的高温な雰囲気中における吸引清掃を可能に成すと共に、外気の吸引に よる炉心管内の汚染を防止することにある。
【０００７】
上記した課題を解決するために本考案の炉心管ダスト吸引装置は、外管の内部 に内管を嵌挿して石英からなる二重管構造にすると共に、上記内管の内部を吸引 路として、内管外周と外管内周との間を吹き出し路として各々構成し、上記吸引 路の先端口とその周囲に形成される吹き出し路の先端口とから成る吸引口を構成 し、且つ吸引路の基端部に吸引装置に対する接続口を設け、また吹き出し路の基 端部に清浄気の圧送装置に対する接続口を設けてなるものである。
【０００８】
以上の手段によれば、吸引治具は内管と外管とにより二重管状に形成され、内 管の内部を吸引路として、また、内管外周と外管内周との間を吹き出し路として 構成される。そして、上記吸引路及び吹き出し路は各々の基端口に設けられる接 続口を介して吸引装置と清浄気の圧送装置に連絡している。 また、吸引治具の先端には上記吸引路の先端口と、その周囲に形成される吹き出 し路の先端口とからなる吸引口が構成される。
【０００９】 上記内管の内部の吸引路に吸引装置からの吸引力が加わることにより吸引口の 内管先端口から吸引が行なわれ、これと同時に圧送装置から送られる清浄気が内 管の外側に沿う吹き出し路内を通過して吹き出し路先端口から窒素や空気等の清 浄気が噴出される。 この時、吸引治具を構成する内管及び外管は吹き出し路を通過する清浄気に触れ て強制冷却される。 また、吸引口の吹き出し路先端口から吹き出される清浄気の多くは内管先端口か ら吸引され、残る清浄気が吸引口外へ流出する。よって、吸引作業の際には、上 記したように吹き出し路先端口から吹き出して内管先端口から吸引される清浄気 の高速流中に吸い込まれる形で炉心管内に存在する石英粉が吸引清掃される。 また、吸引治具を炉心管の内部に挿入して吸引清掃する状態において、吸引口内 における吸引路先端口から吸引される清浄気の量と、吹き出し路の先端口から吹 き出される清浄気の量とを相殺させるか、若しくは清浄気の吹き出し量の方を多 くすることにより、吸引清掃中に炉心管端部の炉口から外気が流れ込むことを防 止することができる。
【００１０】
本考案は以上説明したように構成したものであるから、比較的高温な雰囲気中 において吸引清掃を行なう際にも、吹き出し路を通過する清浄気によって吸引治 具を強制冷却することにより吸引治具自体の過熱を防止することができる。従っ て、炉心管の温度が比較的高温であっても炉心管内の吸引清掃を行なうことが可 能となり、その結果、従来必要としていた炉心管の冷却、再過熱時間を大幅に短 縮して作業能率を向上することができる。 また、吸引口内の軸芯部にある吹き出し路先端口から吹き出した清浄気を周囲の 吸引路先端口から吸引する流れを作り、この吸引流により炉心管内の石英粉を吸 引するように構成してあるので、従来のもののように吸引清掃中において炉心管 の炉口から外気を吸引することがなくなり、これにより炉心管内が外気に含まれ る不純物により汚染されることを効果的に防止することができる。
【００１１】
以下、本考案の一実施を図面に基づいて説明する。 図１及び図２は本考案を実施した炉心管ダスト吸引治具である。この吸引治具は 、外管１内部の軸芯部に内管２を嵌挿することにより石英からなる二重管状に構 成している。 吸引治具は上記内管２の内部を吸引路２ａとして、また内管２外周と外管内周と の間を吹き出し路３ａとして成し、先端部を略直角に屈曲させることにより吸引 口３を構成してある。 吸引口３は吸引路２ａの先端口２ｂと、該先端口２ｂの周囲に形成される吹き出 し路３ａの先端口３ｂとから構成される。また、吸引路２ａの先端口２ｂとなる 内管２の先端は外管１の先端より幾分短く形成され、これにより内管２先端が外 管１先端より内側に入り込んだ状態としている。
【００１２】 一方、外管１の基端は仕切り壁３ｃにより閉鎖され、この仕切り壁３ｃを内管 ２の基端部が嵌通して後方へ突出し、接続口４を構成している。この接続口４は 吸引装置（図示せず）に連絡するホースの接続部となる。 また、外管１基端部の外周にはＬ字形に屈曲させた管が接続ししてあり、清浄化 した窒素や空気等の清浄気を圧送する圧送装置（図示せず）に対する接続口５と して構成してある。 従って、上記接続口５から供給される清浄気は吸引治具内の吹き出し路３ａを通 過して先端口３ｂから流出する。また、吸引装置の吸引力により先端口２ｂから 吸引された清浄気は吸引路２ａ内を通過して吸引装置へ向かう。 即ち、吸引口３内においては吹き出し路３ａの先端口３ｂから流出した清浄気が 吸引路２ａの先端口２ｂから吸引されることになり、炉心管内の石英粉はこの高 速吸引流に吸い込まれて排出されることになる。 尚、前記したように吸引路２ａの先端口２ｂを吹き出し口３ａの先端口３ｂより も短くしたのは、清掃面となる炉心管の内周面に吸引口３を当てた状態において 、輪形の吹き出し路先端口３ｂから中心部の吸引路先端口２ｂへ向けて流れる吸 引流を効率的に確保するための配慮である。
【００１３】 上記した如く構成した炉心ダスト吸引治具を使用して炉心管内の吸引清掃をす る際には、吸引治具を作業が可能な温度まで冷却された炉心管の内部に挿入し、 先端部の吸引口３を炉心管内周面に当てながら吸引作業を行なう。 前記したように、吸引口３の内部では吹き出し路先端口３ｂから噴出した清浄気 が吸引路先端口２ｂに吸引される高速吸引流が作られ、炉心管内部に存在する石 英粉はこの高速吸引流に吸い込まれて内管２内の吸引路２ａを通過し吸引装置に 回収される。 また、圧送装置から送られる清浄気が内管２の外側に沿う吹き出し路３ａ内を通 過して先端口３ｂから噴出することによれば、吸引治具を構成する内管２及び外 管１は吹き出し路３ａを通過する清浄気に触れて強制冷却される。この強制冷却 により吸引治具の過熱を効果的に防止することができるようになり、その結果、 従来よりも高温な雰囲気中においても支障なく吸引作業を行なうことが可能とな る。
【００１４】 また、吹き出し路先端口３ｂから吹き出される清浄気の多くは吸引口３内から 噴出する以前に吸引路先端口２ｂから吸引され、残る少量の清浄気が吸引口外へ 流出する。よって、圧送装（図示せず）置から供給される清浄気の時間当りの供 給量は吸引装置（図示せず）による時間当りの吸引量と同じが若しくは幾分大き めに設定する。これにより、吸引清掃中に炉心管端部の炉口から外気が流れ込む ことを防止し、外気の流入により炉心管内が汚染されるのを防止することができ る。
【図１】 本考案を実施した吸引器具を示す縦断面
図。
図。
【図２】 図１におけるII-II 線断面図。
１・・・外管 ２・・・内管 ２ａ・・・吸引路 ２ｂ・・・吸引路先端口 ３・・・吸引口 ３ａ・・・吹き出し路 ３ｂ・・・吹き出し路選択口 ４・・・吸引路接続口 ５・・・吹き出し路接続口
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年１月２１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明 細 書
【考案の名称】 炉心管ダスト吸引治具
【実用新案登録請求の範囲】
【図面の簡単な説明】
【図１】 本考案を実施した吸引治具を示す縦断面図。
【図２】 図１におけるII-II 線断面図。
【符号の説明】 １・・・外管 ２・・・内管 ２ａ・・・吸引路 ２ｂ・・・吸引路先端口 ３・・・吸引口 ３ａ・・・吹き出し路 ３ｂ・・・吹き出し路選択口 ４・・・吸引路接続口 ５・・・吹き出し路接続口
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
Claims (1)
- 【請求項１】 外管の内部に内管を嵌挿して石英から
なる二重管構造にするとともに、上記内管の内部を吸引
路として、内管外周と外管内周との間を吹き出し路とし
て各々構成し、上記吸引路の先端口とその周囲に形成さ
れる吹き出し路の先端口とから成る吸引口を構成し、且
つ吸引路の基端部に吸引装置に対する接続口を設け、ま
た吹き出し路の基端部に清浄気の圧送装置に対する接続
口を設けてなる炉心管ダスト吸引器具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8841292U JPH0652140U (ja) | 1992-12-24 | 1992-12-24 | 炉心管ダスト吸引治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8841292U JPH0652140U (ja) | 1992-12-24 | 1992-12-24 | 炉心管ダスト吸引治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0652140U true JPH0652140U (ja) | 1994-07-15 |
Family
ID=13942088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8841292U Pending JPH0652140U (ja) | 1992-12-24 | 1992-12-24 | 炉心管ダスト吸引治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0652140U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6318945B2 (ja) * | 1980-09-25 | 1988-04-20 | Nippon Kayaku Kk | |
| JPH02268715A (ja) * | 1989-04-11 | 1990-11-02 | Brother Ind Ltd | 電気掃除機 |
| JPH03162814A (ja) * | 1989-08-09 | 1991-07-12 | Tokyo Cosmos Electric Co Ltd | 掃除機 |
-
1992
- 1992-12-24 JP JP8841292U patent/JPH0652140U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6318945B2 (ja) * | 1980-09-25 | 1988-04-20 | Nippon Kayaku Kk | |
| JPH02268715A (ja) * | 1989-04-11 | 1990-11-02 | Brother Ind Ltd | 電気掃除機 |
| JPH03162814A (ja) * | 1989-08-09 | 1991-07-12 | Tokyo Cosmos Electric Co Ltd | 掃除機 |
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