JPH0653079U - Clean bench - Google Patents
Clean benchInfo
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- JPH0653079U JPH0653079U JP9315392U JP9315392U JPH0653079U JP H0653079 U JPH0653079 U JP H0653079U JP 9315392 U JP9315392 U JP 9315392U JP 9315392 U JP9315392 U JP 9315392U JP H0653079 U JPH0653079 U JP H0653079U
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- Japan
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- conveyor
- drive roller
- air
- roller conveyor
- clean
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- Workshop Equipment, Work Benches, Supports, Or Storage Means (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】作業者に対する作業上の特別な制約や拘束の必
要がなく、かつ大規模で複雑な連続工程が可能なクリー
ンゾーンを簡易な装置で作る。
【構成】クリーンベンチは、コンベア上下の空気の流通
が可能である駆動ローラコンベアと、駆動ローラコンベ
アに沿って設ける作業台と、駆動ローラコンベアと作業
台を覆う透明カバー体と、ファンとフィルターを有する
流通濾過部を有する。流通濾過部は、装置外部に外部エ
ア吸込み口と、駆動ローラコンベアの下面全面に開口す
るエア吸入口に連通するダクトを設ける。さらに流通濾
過部は、透明カバー体によって囲われた駆動ローラコン
ベア上方のクリーンゾーンにエア吹出し口を開口する。
これによって、コンベアエア流通路と外部エア流通路と
を形成する。透明カバー体は天井部に出没自在である。
(57) [Summary] [Purpose] To create a clean zone with a simple device that does not require special restrictions or restraints on workers and allows large-scale and complicated continuous processes. [Structure] The clean bench includes a drive roller conveyor that allows air to flow above and below the conveyor, a work table provided along the drive roller conveyor, a transparent cover body that covers the drive roller conveyor and the work table, a fan and a filter. It has a circulation filter section. The circulation filter section is provided with an external air suction port outside the apparatus and a duct that communicates with the air suction port opened on the entire lower surface of the drive roller conveyor. Further, the circulation filter section opens an air outlet in a clean zone above the drive roller conveyor surrounded by the transparent cover body.
This forms a conveyor air flow passage and an external air flow passage. The transparent cover body can be retracted into the ceiling.
Description
【0001】[0001]
この考案は、電子機器や光学部品、バイオ関連部品等の製造環境に必要とされ るクリーンな雰囲気を作り出すクリーンベンチに関する。 The present invention relates to a clean bench that creates a clean atmosphere required in a manufacturing environment for electronic devices, optical parts, bio-related parts, and the like.
【0002】[0002]
電子機器や光学部品、バイオ関連等の技術部品は、各々小部品の集積組み立て および単位工程の集積を必要としている。 Electronic devices, optical parts, and technical parts such as biotechnology require the integration and assembly of small parts and unit processes.
【0003】 これらの部品の製造には、精度と製品歩留まり向上の為、高度にクリーンな雰 囲気で製造する必要があるものが増えており、このような雰囲気を作る為、大規 模なクリーンルームや、あるいは作業台毎のクリーンベンチ等が必要とされてい る。In order to improve precision and product yield, more and more parts are required to be manufactured in a highly clean atmosphere, and in order to create such an atmosphere, a large clean room or a large clean room is required. Or, a clean bench for each workbench is required.
【0004】 従来知られているクリーンベンチは、通常それだけで独立した1つの作業台と して小規模に部品および単位工程の集積を行う目的で使用される。The conventionally known clean bench is usually used by itself as one independent workbench for the purpose of accumulating parts and unit processes on a small scale.
【0005】 このようなクリーンベンチは、作業台と、作業台の下部から吸引するファンと 、フィルターを設けており、作業台上に後方からフィルターを通して、濾過した 空気を送風している。Such a clean bench is provided with a workbench, a fan sucking from the lower part of the workbench, and a filter, and blows filtered air through the filter from the rear on the workbench.
【0006】 また、部屋全体をクリーン化するクリーンルームは、無人化が困難である為、 作業者である人間が大きな発塵源となり、入室前48時間の禁煙をはじめ下着か ら始めるクリーンウェアへの着替え、エアシャワー等の厳しい防塵対策上の隔離 、拘束を要求されている。[0006] In addition, since it is difficult to unmanner a clean room that cleans the entire room, a human being who is a worker becomes a large source of dust. It is required to be isolated and restrained for strict dust-proof measures such as changing clothes and air showers.
【0007】[0007]
在来のクリーンルームは、規模が大きくなる為、設備コストが膨大となり、又 そのクリーン度を維持管理することも困難を伴うことが多い課題があった。 Since the conventional clean room becomes large in scale, the equipment cost becomes enormous, and it is often difficult to maintain and maintain the cleanliness.
【0008】 また、製造作業におけるレイアウトの変更があった場合、簡単に対応しにくい 問題点があった。Further, there is a problem that it is difficult to easily cope with a layout change in the manufacturing work.
【0009】 さらに、最近では、他の作業環境との比較などにより、より快適な作業環境が 求められており、若者に対する労務管理等の課題となっている。Furthermore, recently, a more comfortable work environment has been demanded by comparison with other work environments, and this has become an issue such as labor management for young people.
【0010】 特にクリーンルームにおける精度の高い作業には、若い女性の良い目や、熟練 した器用な手先と根気が特に必要とされるが、若い女性を作業時間毎に化粧を落 とさせたり、通常と異なる厳しい作業環境に長時間閉じ込めることになり、作業 へ入る困難性や作業上の苦痛が大きく、作業者に心身の疲労を与え易い問題点が あった。[0010] Especially for highly accurate work in a clean room, good eyes of a young woman, skilled dexterity and patience are particularly required. However, it has been difficult to enter the work for a long time in a severe working environment, which is different from the above.
【0011】 また、小規模な作業を行うクリーンベンチは、より大規模な部品および単位工 程の集積作業の場合には、複数の作業台を用いて行うこともある。In addition, a clean bench that performs a small-scale work may be performed using a plurality of work benches in the case of a larger-scale component and unit work accumulation work.
【0012】 この場合、組み立て途中の仕掛かり品を一旦クリーンベンチのクリーンゾーン より出し、再度別のクリーンベンチに入れて次工程を行わざるを得ない。その為 、クリーンベンチの周囲、雰囲気も同程度のクリーン度を維持する必要があると いう課題があった。この場合、結果として、部屋全体をクリーン化する既知のク リーンルームで通常の作業台を用いる方が合理的となり、複数のクリーンベンチ ではクリーンルームの環境に対抗できない課題があった。In this case, the work-in-progress product in the process of assembling must be once taken out of the clean zone of the clean bench, and put in another clean bench again to perform the next step. Therefore, there was a problem that it was necessary to maintain the same degree of cleanliness around the clean bench and the atmosphere. In this case, as a result, it is more rational to use a normal workbench in a known clean room that cleans the entire room, and there is a problem that multiple clean benches cannot counter the environment of the clean room.
【0013】 この考案の目的は、作業者に対する作業上の特別な制約や拘束の必要がなく、 かつ大規模で複雑な連続工程が可能なクリーンゾーンを簡易な装置で作ることで ある。An object of the present invention is to create a clean zone with a simple device, which does not require special restrictions or restraints on the work of a worker and can perform a large-scale and complicated continuous process.
【0014】[0014]
【課題を解決する為の手段】 この目的を達成する為に、この考案のクリーンベンチは、コンベア上下の空気 の流通が可能であるコンベアと、コンベアに沿って設ける作業台と、コンベアと 作業台の上空間を覆うカバー体と、ファンとフィルターを有する流通濾過部を有 し、流通濾過部は装置外部に開口する外部エア吸込み口と、コンベアの下面に開 口するエア吸入口に連通するダクトを設けるとともに、コンベアの上方にエア吹 出し口を開口する。[Means for Solving the Problems] In order to achieve this object, the clean bench of the present invention comprises a conveyor that allows air to flow above and below the conveyor, a work table provided along the conveyor, a conveyor and a work table. It has a cover that covers the upper space, a circulation filter with a fan and a filter, and the circulation filter communicates with an external air intake opening to the outside of the equipment and an air intake opening on the bottom surface of the conveyor. And the air outlet is opened above the conveyor.
【0015】 また、この考案のクリーンベンチは、コンベア上下の空気の流通が可能である 駆動ローラコンベアと、駆動ローラコンベアに沿って設ける作業台と、駆動ロー ラコンベアと作業台を覆う透明カバー体と、ファンとフィルターを有する流通濾 過部を有し、流通濾過部は、装置外部に外部エア吸込み口と、駆動ローラコンベ アの下面全面に開口するエア吸入口に連通するダクトを設けるとともに、透明カ バー体によって囲われた作業台と駆動ローラコンベア上方のクリーンゾーンにエ ア吹出し口を開口して、コンベアエア流通路と外部エア流通路と形成する。Further, the clean bench of the present invention includes a drive roller conveyor capable of circulating air above and below the conveyor, a work table provided along the drive roller conveyor, a transparent cover body covering the drive roller conveyor and the work table. , A circulation filter section having a fan and a filter, and the circulation filtration section is provided with an external air suction port outside the device and a duct communicating with the air suction port opening on the entire lower surface of the drive roller conveyor, and the transparent filter. An air outlet is opened in the clean zone above the workbench and the drive roller conveyor surrounded by the bar body to form a conveyor air flow passage and an external air flow passage.
【0016】[0016]
コンベアの作動により、ダスト(塵埃)が発生するが、この塵埃を含んだ空気 は、ファンによりコンベア下面に開口するエア吸入口からダクトを通過するコン ベアエア流通路を通って流通濾過部に吸入される。 Dust (dust) is generated by the operation of the conveyor, and the air containing this dust is sucked by the fan from the air intake port that opens on the lower surface of the conveyor to the circulation filtration unit through the Conveer air flow passage that passes through the duct. It
【0017】 このダストを含んだ空気は、ファンの空気圧力でフィルターを通過させ、濾過 される。フィルターを通過し、除塵された空気は、エア吹出し口から作業台とコ ンベア上のクリーンゾーンに吹き出され、一部は再びコンベアを上から下へ通過 し、コンベアエア流通路に吸入される。The air containing the dust is filtered by the air pressure of the fan through the filter. The air that has passed through the filter and has been dedusted is blown from the air outlet to the clean zone on the workbench and the conveyor, and part of it again passes through the conveyor from top to bottom and is sucked into the conveyor air flow passage.
【0018】 作業台とコンベア上のクリーンゾーンに吹き出された空気の他の一部は、カバ ー体の下の外部吹出し口から出て設置部屋へ吹き出すされる。Another part of the air blown to the clean zone on the workbench and the conveyor is blown out to the installation room through the external blow-out port under the cover body.
【0019】 また、設置部屋内の空気は外部エア吸込み口からファンによって吸入され、流 通濾過部に入る。ここではコンベアエア流通路の空気と混ざり、この空気が同様 にフィルターで濾過された後、クリーンゾーンに吹出す。Further, the air in the installation room is sucked by the fan from the external air suction port and enters the flow filtering section. Here, it mixes with the air in the conveyor air flow path, this air is similarly filtered by a filter, and then blown into the clean zone.
【0020】 この作動を繰り返すことにより、クリーンゾーンには、ダストを除去したクリ ーンなエアを維持することができる。By repeating this operation, it is possible to maintain clean air from which dust has been removed in the clean zone.
【0021】[0021]
この考案のクリーンベンチの実施例を側面説明図である図1、正面図である図 2、斜視図である図3に基づいて説明する。 An embodiment of the clean bench of the present invention will be described based on FIG. 1 which is a side view, FIG. 2 which is a front view, and FIG. 3 which is a perspective view.
【0022】 1は作業台、2は駆動ローラコンベア、3は流通濾過部、4は透明カバー体、 5はダスト吸引ダクト、15は天井部である。Reference numeral 1 is a workbench, 2 is a drive roller conveyor, 3 is a flow filter, 4 is a transparent cover, 5 is a dust suction duct, and 15 is a ceiling.
【0023】 作業台1は、作業者の作業する高さに合わせて設ける。The workbench 1 is provided according to the working height of the worker.
【0024】 駆動ローラコンベア2は、作業者から見て作業台1の向こう側に左右に亙っ設 ける。The drive roller conveyor 2 is provided on the left and right sides of the work table 1 as viewed from the operator.
【0025】 駆動ローラコンベア2は、この実施例では駆動式のローラコンベアを2列並列 に設けてあるが、1列でもよい。また他の実施例としては上下の空気の流通が充 分可能な駆動式コンベアであればよく、例えばメッシュコンベア等でもよい。The drive roller conveyor 2 is provided with two drive roller conveyors in parallel in this embodiment, but may be provided in one row. In addition, as another embodiment, a drive type conveyor may be used as long as the circulation of upper and lower air is sufficient, and for example, a mesh conveyor may be used.
【0026】 この実施例の駆動ローラコンベア2は、ローラ径18φのステンレス製であり 、各々のローラは20mmピッチで並べられている。The drive roller conveyor 2 of this embodiment is made of stainless steel with a roller diameter of 18φ, and the rollers are arranged at a pitch of 20 mm.
【0027】 駆動ローラコンベア2の駆動形式は、この実施例では駆動部である電動機(図 示せず)によって作動する駆動ベルト(図示せず)を駆動ローラコンベア2の下 部にローラに接して設けて各々のローラを駆動する形式である。The drive type of the drive roller conveyor 2 is such that, in this embodiment, a drive belt (not shown) operated by an electric motor (not shown), which is a drive unit, is provided below the drive roller conveyor 2 in contact with the rollers. Drive each roller.
【0028】 駆動ローラコンベア2の下面に亙って、コンベアエア流通路6のダストエア吸 入口7を開口させ、ダスト吸引ダクト5を通して流通濾過部3に連通する。The dust air suction port 7 of the conveyor air flow passage 6 is opened over the lower surface of the drive roller conveyor 2 and communicates with the circulation filter unit 3 through the dust suction duct 5.
【0029】 流通濾過部3は、外部エア流通路8とコンベアエア流通路6に共通の流通路の 一部を形成し、作業台1と駆動ローラコンベア2の背後に設けた空間である。The circulation filter unit 3 is a space provided behind the workbench 1 and the drive roller conveyor 2, forming a part of a common flow passage for the external air flow passage 8 and the conveyor air flow passage 6.
【0030】 流通濾過部3は、下部にファン10、上部にフィルター11を設ける。フィル ター11は、駆動ローラコンベア2の長さほぼ全体に亙って設ける。The circulation filter 3 is provided with a fan 10 at the bottom and a filter 11 at the top. The filter 11 is provided over almost the entire length of the drive roller conveyor 2.
【0031】 流通濾過部3の最下部には、外部エア流通路8の吸込み口9を、作業台1の左 右に亙って開口して設ける。A suction port 9 of the external air flow passage 8 is provided at the lowermost portion of the circulation filter unit 3 by opening it to the left and right of the workbench 1.
【0032】 流通濾過部3の上部は、駆動ローラコンベア2に対して直角面に開口しており 、外部エア流通路8とコンベアエア流通路6のエア吹出し口12を形成している 。他の実施例では、駆動ローラコンベア2の天井部15下面にエア吹出し口12 を開口してもよい。フィルター11は、エア吹出し口12あるいはその付近に設 ける。The upper portion of the circulation filter unit 3 is opened in a plane perpendicular to the drive roller conveyor 2, and forms an external air flow passage 8 and an air outlet 12 of the conveyor air flow passage 6. In another embodiment, the air outlet 12 may be opened on the lower surface of the ceiling portion 15 of the drive roller conveyor 2. The filter 11 is installed at or near the air outlet 12.
【0033】 ファン10は、どのような種類のものでもよく、なるべく均一に吸引できるよ うに、例えば中央部に設置する。The fan 10 may be of any type, and is installed, for example, in the center so that the suction can be performed as uniformly as possible.
【0034】 フィルター11は、防塵フィルターで、この実施例では0.1μmの粒子を9 9.999%以上の捕集効率で濾過する程度のメッシュを有し、流通濾過部3の エア吹出し口12に設ける。The filter 11 is a dust-proof filter, and in this embodiment, it has a mesh for filtering particles of 0.1 μm with a collection efficiency of 99.999% or more, and the air outlet 12 of the circulation filter 3 is used. To be installed.
【0035】 透明カバー体4は、アクリル樹脂等の透明な板状体で形成し、端部側を斜めこ 下方へ突出し、作業台1を上方から覆うように設ける。透明カバー体4は、天井 部15に設けた摺動ローラにより引き出し自在であり、作業者側に400mm程 度引き出し得る。また、天井部15に一番押し入れた状態では、板状体の下辺端 と作業台1上面との間に300mm程度の開口部を形成し、外部吹出し口13と するThe transparent cover body 4 is formed of a transparent plate-like body of acrylic resin or the like, and is provided so that the end side thereof projects obliquely downward and the workbench 1 is covered from above. The transparent cover body 4 can be pulled out by a sliding roller provided on the ceiling portion 15, and can be pulled out to the operator side by about 400 mm. Further, when pushed into the ceiling portion 15 most, an opening of about 300 mm is formed between the lower edge of the plate-like body and the upper surface of the workbench 1 to form the external outlet 13.
【0036】 作業台1、駆動ローラコンベア2、流通濾過部3の吹出し口12、天井部15 、透明カバー体4に囲まれた空間は、クリーンゾーン14である。A space surrounded by the workbench 1, the drive roller conveyor 2, the outlet 12 of the circulation filter 3, the ceiling 15 and the transparent cover 4 is a clean zone 14.
【0037】 天井部15内には、透明カバー体4を収納するスペースの他、下面に蛍光灯を 設ける。In the ceiling portion 15, a fluorescent lamp is provided on the lower surface in addition to a space for accommodating the transparent cover body 4.
【0038】 次に、この考案の作用を説明する。Next, the operation of this invention will be described.
【0039】 ファン10を作動させることで、コンベアエア流通路6と外部エア流通路8内 の空気が流動する。By operating the fan 10, the air inside the conveyor air flow passage 6 and the outside air flow passage 8 flows.
【0040】 駆動ローラコンベア2を作動させると、非常に細かいダスト(塵埃)が大量に 発生する。このダストを含んだ空気(ダストエア)は、コンベアエア流通路6の エア吸入口7が駆動ローラコンベア2の下面ほぼ全面に亙って開口しているので 、すぐ、このエア吸入口7に吸入され、ダスト吸引ダクト5を通過して流通濾過 部3に入る。このダストエアは、ファン10の圧力により、流通濾過部3を昇り 、フィルター11を通過して濾過することによって、除塵された空気(クリーン エア)となる。クリーンエアはエア吹出し口12より、クリーンゾーン14内に 吹出す。When the drive roller conveyor 2 is operated, a large amount of very fine dust is generated. The air containing the dust (dust air) is immediately sucked into the air suction port 7 because the air suction port 7 of the conveyor air flow passage 6 is opened over almost the entire lower surface of the drive roller conveyor 2. , Passes through the dust suction duct 5 and enters the circulation filter unit 3. The dust air rises in the circulation filter unit 3 by the pressure of the fan 10 and passes through the filter 11 to be filtered to become dust-removed air (clean air). Clean air is blown into the clean zone 14 from the air outlet 12.
【0041】 このクリーンエアは、一部は、再びエア吸入口7から吸入され、同様にして、 エア吹出し口12よりクリーンゾーン14内に吹き出る。A portion of this clean air is again sucked in through the air suction port 7, and similarly blows out into the clean zone 14 through the air blowing port 12.
【0042】 また、クリーンエアの他の一部は、透明カバー体4の下方の外部吹出し口13 から吹出して、作業室内の空気をも清浄化する。Further, another part of the clean air is blown out from the external blow-out port 13 below the transparent cover body 4 to clean the air in the working chamber as well.
【0043】 そして、一般の作業室内の空気は、エア吸込み口9からファン10によって流 通濾過部3内に吸引され、ダスト吸引ダクト5からのダストエアと混合し、フィ ルター11を通して、ダストを濾過してクリーンエアとしてエア吹出し口12か らクリーンゾーン14内に吹出す。Then, the air in the general working chamber is sucked from the air suction port 9 into the ventilation filter 3 by the fan 10, mixed with the dust air from the dust suction duct 5, and filtered through the filter 11. Then, it is blown out as clean air from the air outlet 12 into the clean zone 14.
【0044】 このように駆動ローラコンベア2によって発生するダストは、作業台1へは向 かわず即時ローラコンベア下方へ吸引されるので、クリーンゾーン14のエアは 、清浄である。それと同時に、作業室内のダストを含んだエアも流通濾過部3へ 吸引されるので、そのルーム内の空気からも除塵できる。Since the dust generated by the drive roller conveyor 2 is immediately sucked to the lower side of the roller conveyor without going to the workbench 1, the air in the clean zone 14 is clean. At the same time, the dust-containing air in the work chamber is also sucked into the circulation filter unit 3, so that dust can be removed from the air in the room.
【0045】 また、通常は、透明カバー体4を天井部15に押し入れた状態で作業を行い、 作業者はクリーンゾーン14にクリーン手袋等の装備をした手だけを差し入れて 、透明カバー体の外から部品を見ながら作業を行う。Normally, the work is performed with the transparent cover body 4 being pushed into the ceiling portion 15, and the operator inserts only his / her hands equipped with clean gloves into the clean zone 14 to remove the transparent cover body from the outside. Work while watching the parts.
【0046】 しかし、顕微鏡等の特殊な器具を使用して作業する場合や、透明カバー体を通 さず直接部品を肉眼で見ながら作業する場合には、透明カバー体4を天井部15 から引き出し、クリーンゾーン14を広く拡張し、この広くなったクリーンゾー ン14内へ作業者が入って作業を行う。この場合は、作業者は、上半身に防塵服 等を着用するか、通常のクリーンルーム内と同様の服装で作業を行う。However, when working using a special instrument such as a microscope or when working with the naked eye directly without passing through the transparent cover body, pull out the transparent cover body 4 from the ceiling portion 15. The clean zone 14 is widely expanded, and workers enter the expanded clean zone 14 to perform work. In this case, the worker should wear dustproof clothing on the upper body or wear the same clothes as in a normal clean room.
【0047】 この考案のクリーンベンチは図3のように、複数必要台数並べることによって 、部品をクリーンゾーンであるコンベアに載置したままクリーンベンチ間を運べ る。したがって、クリーンルームのような規模のクリーンゾーンを創造すること ができ、また台数を増減して生産計画や設計変更に比較的簡単に対応することが できる。As shown in FIG. 3, a plurality of required numbers of the clean benches of the present invention can be moved between the clean benches while the parts are placed on the conveyor which is the clean zone. Therefore, it is possible to create a clean zone such as a clean room, and to increase or decrease the number of units to respond to production plans and design changes relatively easily.
【0048】[0048]
この考案によれば、各々の作業台上のクリーンゾーン内で作業できるとともに 、作業間の部品の運搬も、クリーンゾーン内で行うことが出来る為、従来の単独 のクリーンベンチでは行うことのできなかった大規模で複雑な連続工程のクリー ンゾーンの作業が可能となった。 According to this invention, it is possible to perform work in the clean zone on each workbench and also to transport parts between works in the clean zone, which is not possible with a conventional single clean bench. It is now possible to work in large-scale and complicated continuous process clean zones.
【0049】 また、作業者のエアシャワーや着替え等の作業上の特別な制約や拘束の必要が なくなり、作業上では、クリーン手袋等の限られた簡単な装備で作業を行うこと ができる為、作業効率や、労務管理が非常に向上するという効果がある。In addition, since there is no need for special restrictions or restraints on the worker's work such as air shower or change of clothes, the work can be performed with limited and simple equipment such as clean gloves. This has the effect of greatly improving work efficiency and labor management.
【0050】 さらに、透明カバー体を引き出すことで、クリーンゾーンを広くすることがで き、通常のクリーンルーム内と同様の作業も行うことができる。Furthermore, by pulling out the transparent cover body, the clean zone can be widened, and the same work as in a normal clean room can be performed.
【図1】クリーンベンチの実施例の側面説明図、FIG. 1 is a side view for explaining an embodiment of a clean bench,
【図2】同じく正面図、[FIG. 2] Similarly, a front view,
【図3】クリーンベンチを並べた場合の斜視図。FIG. 3 is a perspective view when the clean benches are lined up.
1 作業台 2 駆動ローラコンベア 3 流通濾過部 4 透明カバー体 5 ダスト吸引ダクト 6 コンベアエア流通路 7 エア吸入口 8 外部エア流通路 9 エア吸込み口 10 ファン 11 フィルター 12 エア吹出し口 13 外部吹出し口 14 クリーンゾーン 15 天井部 1 Working Table 2 Drive Roller Conveyor 3 Flow Filter 4 Transparent Cover 5 Dust Suction Duct 6 Conveyor Air Flow Passage 7 Air Inlet 8 External Air Flow Passage 9 Air Inlet 10 Fan 11 Filter 12 Air Outlet 13 External Outlet 14 Clean Zone 15 Ceiling
Claims (3)
ンベアと、コンベアに沿って設ける作業台と、コンベア
と作業台の上空間を覆うカバー体と、ファンとフィルタ
ーを有する流通濾過部を有し、流通濾過部は装置外部に
開口する外部エア吸込み口と、コンベアの下面に開口す
るエア吸入口に連通するダクトを設けるとともに、コン
ベアの上方にエア吹出し口を開口することを特徴とする
クリーンベンチ。1. A conveyor which allows air to flow above and below the conveyor, a work table provided along the conveyor, a cover body for covering the conveyor and an upper space of the work table, and a circulation filter section having a fan and a filter. However, the circulation filter section is provided with an external air suction port opening to the outside of the apparatus and a duct communicating with the air suction port opening on the lower surface of the conveyer, and a clean air discharge port is opened above the conveyer. bench.
動ローラコンベアと、駆動ローラコンベアに沿って設け
る作業台と、駆動ローラコンベアと作業台を覆う透明カ
バー体と、ファンとフィルターを有する流通濾過部を有
し、流通濾過部は、装置外部に外部エア吸込み口と、駆
動ローラコンベアの下面全面に開口するエア吸入口に連
通するダクトを設けるとともに、透明カバー体によって
囲われた駆動ローラコンベア上方のクリーンゾーンにエ
ア吹出し口を開口して、コンベアエア流通路と外部エア
流通路と形成することを特徴とするクリーンベンチ。2. A distribution having a drive roller conveyor capable of circulating air above and below the conveyor, a work table provided along the drive roller conveyor, a transparent cover body covering the drive roller conveyor and the work table, a fan and a filter. The flow filter has a filter part, and the flow filter part is provided with an external air suction port outside the device and a duct communicating with an air suction port opening on the entire lower surface of the drive roller conveyor, and is surrounded by a transparent cover body. A clean bench characterized in that an air outlet is opened in an upper clean zone to form a conveyor air flow passage and an external air flow passage.
動ローラコンベアと、駆動ローラコンベアに沿って設け
る作業台と、駆動ローラコンベアと作業台を覆う透明カ
バー体と、ファンとフィルターを有する流通濾過部を有
し、流通濾過部は、装置外部に外部エア吸込み口と、駆
動ローラコンベアの下面全面に開口するエア吸入口に連
通するダクトを設けるとともに、透明カバー体によって
囲われた駆動ローラコンベア上方のクリーンゾーンにエ
ア吹出し口を開口して、コンベアエア流通路と外部エア
流通路と形成し、かつ透明カバー体が天井部から出没自
在であることを特徴とするクリーンベンチ。3. A distribution having a drive roller conveyor capable of circulating air above and below the conveyor, a work table provided along the drive roller conveyor, a transparent cover body covering the drive roller conveyor and the work table, a fan and a filter. The flow filter has a filter part, and the flow filter part is provided with an external air suction port outside the device and a duct communicating with an air suction port opening on the entire lower surface of the drive roller conveyor, and is surrounded by a transparent cover body. A clean bench, characterized in that an air outlet is opened in an upper clean zone to form a conveyor air flow passage and an external air flow passage, and a transparent cover body can be retracted from a ceiling portion.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992093153U JPH0742621Y2 (en) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | Clean bench |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992093153U JPH0742621Y2 (en) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | Clean bench |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0653079U true JPH0653079U (en) | 1994-07-19 |
| JPH0742621Y2 JPH0742621Y2 (en) | 1995-10-04 |
Family
ID=14074600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992093153U Expired - Lifetime JPH0742621Y2 (en) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | Clean bench |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0742621Y2 (en) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02100919A (en) * | 1988-10-06 | 1990-04-12 | Daiko Shiyatoruwaasu Kk | Conveyer and conveyer unit provided with air cleaning and carrying passage |
| JPH02139080A (en) * | 1988-11-17 | 1990-05-29 | Matsushita Electric Works Ltd | Water storage tank |
-
1992
- 1992-12-25 JP JP1992093153U patent/JPH0742621Y2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02100919A (en) * | 1988-10-06 | 1990-04-12 | Daiko Shiyatoruwaasu Kk | Conveyer and conveyer unit provided with air cleaning and carrying passage |
| JPH02139080A (en) * | 1988-11-17 | 1990-05-29 | Matsushita Electric Works Ltd | Water storage tank |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0742621Y2 (en) | 1995-10-04 |
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