JPH0653306A - 薄物ピックアップ装置 - Google Patents
薄物ピックアップ装置Info
- Publication number
- JPH0653306A JPH0653306A JP22065392A JP22065392A JPH0653306A JP H0653306 A JPH0653306 A JP H0653306A JP 22065392 A JP22065392 A JP 22065392A JP 22065392 A JP22065392 A JP 22065392A JP H0653306 A JPH0653306 A JP H0653306A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafer carrier
- case
- vacuum suction
- carrier case
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 特別な入替用ウェハキャリアケース等を用い
ることなく、異なるウェハキャリアケース相互間又は同
一ウェハキャリアケース内において、ウェハの入替及び
並べ替等を簡単且つ確実に行うことができる薄物ピック
アップ装置を提供する。 【構成】 一対の真空吸引部３，３′と各真空吸引部
３，３′のための制御部５，５′とを備え、真空吸引部
３，３′が各々独立して目的物を吸着，離脱し得るよう
にしたものである。特に制御部５，５′は自己保持機能
を有する開閉ボタンにより構成される。
ることなく、異なるウェハキャリアケース相互間又は同
一ウェハキャリアケース内において、ウェハの入替及び
並べ替等を簡単且つ確実に行うことができる薄物ピック
アップ装置を提供する。 【構成】 一対の真空吸引部３，３′と各真空吸引部
３，３′のための制御部５，５′とを備え、真空吸引部
３，３′が各々独立して目的物を吸着，離脱し得るよう
にしたものである。特に制御部５，５′は自己保持機能
を有する開閉ボタンにより構成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置、特にその
製造のために用いるウェハの取扱に好適な薄物ピックア
ップ装置に関する。
製造のために用いるウェハの取扱に好適な薄物ピックア
ップ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造に用いるウェハは多数
の処理工程を経るが、通常、ウェハキャリアケースが使
用されている。このウェハキャリアケースは、その内側
に列設・形成したガイド溝を介して複数のウェハを収納
し得るようにしたものである。そして、かかるウェハキ
ャリアケースの使用に際して、一方のウェハキャリアケ
ースと他方のウェハキャリアケースとの間で、それぞれ
に収納されているウェハを入れ替えたい場合がある。
の処理工程を経るが、通常、ウェハキャリアケースが使
用されている。このウェハキャリアケースは、その内側
に列設・形成したガイド溝を介して複数のウェハを収納
し得るようにしたものである。そして、かかるウェハキ
ャリアケースの使用に際して、一方のウェハキャリアケ
ースと他方のウェハキャリアケースとの間で、それぞれ
に収納されているウェハを入れ替えたい場合がある。
【０００３】例えば図８に示したように、処理Ａ１及び
処理Ｂ１の処理工程を経るようにした一方のウェハキャ
リアケース３１と、処理Ａ２及び処理Ｂ２の処理工程を
経るようにした他方のウェハキャリアケース３２との間
で、状態３から状態４へ移行する過程でウェハｂとウェ
ハｃとを入れ替える場合を考える。
処理Ｂ１の処理工程を経るようにした一方のウェハキャ
リアケース３１と、処理Ａ２及び処理Ｂ２の処理工程を
経るようにした他方のウェハキャリアケース３２との間
で、状態３から状態４へ移行する過程でウェハｂとウェ
ハｃとを入れ替える場合を考える。
【０００４】従来、このようなウェハｂ及びウェハｃの
入替を行う場合、その一方法として上記ウェハキャリア
ケース３１及びウェハキャリアケース３２とは更に別の
ウェハキャリアケース（以下、入替用ウェハキャリアケ
ースという）を用意して行っていた。即ち、例えばウェ
ハキャリアケース３１内のウェハｂを一旦、上記入替用
ウェハキャリアケースに移しておき、一方、ウェハキャ
リアケース３２内のウェハｃは、上記ウェハｂの代わり
にウェハキャリアケース３１に収納される。そして、入
替用ウェハキャリアケースに移されているウェハｂはウ
ェハｃの代わりにウェハキャリアケース３２に収納され
る。このように入替用ウェハキャリアケースを用いるこ
とにより、状態４では図示のようにウェハキャリアケー
ス３１にはウェハａ及びウェハｃが、またウェハキャリ
アケース３２にはウェハｂ及びウェハｄがそれぞれ収納
される。
入替を行う場合、その一方法として上記ウェハキャリア
ケース３１及びウェハキャリアケース３２とは更に別の
ウェハキャリアケース（以下、入替用ウェハキャリアケ
ースという）を用意して行っていた。即ち、例えばウェ
ハキャリアケース３１内のウェハｂを一旦、上記入替用
ウェハキャリアケースに移しておき、一方、ウェハキャ
リアケース３２内のウェハｃは、上記ウェハｂの代わり
にウェハキャリアケース３１に収納される。そして、入
替用ウェハキャリアケースに移されているウェハｂはウ
ェハｃの代わりにウェハキャリアケース３２に収納され
る。このように入替用ウェハキャリアケースを用いるこ
とにより、状態４では図示のようにウェハキャリアケー
ス３１にはウェハａ及びウェハｃが、またウェハキャリ
アケース３２にはウェハｂ及びウェハｄがそれぞれ収納
される。
【０００５】上記の場合、ウェハキャリアケース３１，
ウェハキャリアケース３２及び入替用ウェハキャリアケ
ース相互間で、ウェハａ及びウェハｂの入替を行うため
にこれらをつかみ持つための例えば図９に示したような
ピンセット４１が使用される。このピンセット４１は二
股状のピンセット本体４２の各先端部に吸着部４３を備
えている。この一対の吸着部４３のそれぞれには真空引
用の吸引口４３ａが開口しており、各々の吸引口４３ａ
は真空引用通路４４を介して図示しない真空源と接続さ
れている。また、ピンセット本体４２の適所には上記真
空引用通路４４の開閉を制御する開閉ボタン４５が設け
られていて、例えばこの開閉ボタン４５を押すことによ
り、上記吸着部４３の真空引きが行われるようになって
いる。この真空引きにより、吸着部４３にウェハａ又は
ウェハｂを吸着・支持することができる。
ウェハキャリアケース３２及び入替用ウェハキャリアケ
ース相互間で、ウェハａ及びウェハｂの入替を行うため
にこれらをつかみ持つための例えば図９に示したような
ピンセット４１が使用される。このピンセット４１は二
股状のピンセット本体４２の各先端部に吸着部４３を備
えている。この一対の吸着部４３のそれぞれには真空引
用の吸引口４３ａが開口しており、各々の吸引口４３ａ
は真空引用通路４４を介して図示しない真空源と接続さ
れている。また、ピンセット本体４２の適所には上記真
空引用通路４４の開閉を制御する開閉ボタン４５が設け
られていて、例えばこの開閉ボタン４５を押すことによ
り、上記吸着部４３の真空引きが行われるようになって
いる。この真空引きにより、吸着部４３にウェハａ又は
ウェハｂを吸着・支持することができる。
【０００６】また、従来の他のウェハ入替方法によれ
ば、図１０に示したようなピンセット５１を使用して行
っていた。このピンセット５１は図９に示されたピンセ
ット４１を改良したものであり、その基本構成はピンセ
ット４１とほぼ同様で、即ちピンセット本体５２、一対
の吸着部５３及びその吸引口５３ａ、真空引用通路５４
及び開閉ボタン５５を備えている。但し、ピンセット５
１の場合においては、二つの吸着部５３は同一平面上に
配置されるように構成されている。ピンセット５１を使
用する際、入れ替えられるべきウェハが相互に同一平面
上に位置するように、二つのウェハキャリアケースの間
でそれらの位置調整が行われる。そして目的とする２枚
のウェハを同時に吸引して、この後ピンセット５１を１
８０°回動し、これにより吸着された各ウェハは互いに
反対側のウェハキャリアケースに収納される。
ば、図１０に示したようなピンセット５１を使用して行
っていた。このピンセット５１は図９に示されたピンセ
ット４１を改良したものであり、その基本構成はピンセ
ット４１とほぼ同様で、即ちピンセット本体５２、一対
の吸着部５３及びその吸引口５３ａ、真空引用通路５４
及び開閉ボタン５５を備えている。但し、ピンセット５
１の場合においては、二つの吸着部５３は同一平面上に
配置されるように構成されている。ピンセット５１を使
用する際、入れ替えられるべきウェハが相互に同一平面
上に位置するように、二つのウェハキャリアケースの間
でそれらの位置調整が行われる。そして目的とする２枚
のウェハを同時に吸引して、この後ピンセット５１を１
８０°回動し、これにより吸着された各ウェハは互いに
反対側のウェハキャリアケースに収納される。
【０００７】さらに、同一のウェハキャリアケース内で
そこに既に収納されているウェハを入れ替えたい場合が
ある。この場合には上述した例の入替用ウェハキャリア
ケースを用いて行うことができる。即ち、入替を行うべ
きウェハは一旦、入替用ウェハキャリアケースに移さ
れ、この移されたウェハの代わりにその場所へ所望のウ
ェハが挿入される。そして上記入替用ウェハキャリアケ
ースに移されたウェハが所定位置へ再び収納され、これ
により同一のウェハキャリアケース内でウェハでの入替
が行われる。
そこに既に収納されているウェハを入れ替えたい場合が
ある。この場合には上述した例の入替用ウェハキャリア
ケースを用いて行うことができる。即ち、入替を行うべ
きウェハは一旦、入替用ウェハキャリアケースに移さ
れ、この移されたウェハの代わりにその場所へ所望のウ
ェハが挿入される。そして上記入替用ウェハキャリアケ
ースに移されたウェハが所定位置へ再び収納され、これ
により同一のウェハキャリアケース内でウェハでの入替
が行われる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来のピンセット４１又はピンセット本体５１等を使用
してウェハ入替を行う場合、上述したように別途、入替
用ウェハキャリアケースを準備する必要があったり、又
は入替を行うべき二つのウェハキャリアケース間で位置
調整を行う必要があり、しかもこの位置調整を正確に行
わなければ適正なウェハ入替ができない等の問題があっ
た。
従来のピンセット４１又はピンセット本体５１等を使用
してウェハ入替を行う場合、上述したように別途、入替
用ウェハキャリアケースを準備する必要があったり、又
は入替を行うべき二つのウェハキャリアケース間で位置
調整を行う必要があり、しかもこの位置調整を正確に行
わなければ適正なウェハ入替ができない等の問題があっ
た。
【０００９】本発明はかかる実情に鑑み、特別な入替用
ウェハキャリアケース等を用いることなしに、異なるウ
ェハキャリアケース相互間で又は同一ウェハキャリアケ
ース内において、ウェハの入替及び並べ変え等を簡単且
つ確実に行い得るようにした薄物ピックアップ装置を提
供することを目的とする。
ウェハキャリアケース等を用いることなしに、異なるウ
ェハキャリアケース相互間で又は同一ウェハキャリアケ
ース内において、ウェハの入替及び並べ変え等を簡単且
つ確実に行い得るようにした薄物ピックアップ装置を提
供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明による薄物ピック
アップ装置は、一対の真空吸引部と各真空吸引部のため
の制御部とを備え、上記真空吸引部が各々独立して目的
物を吸着，離脱し得るようにしたものである。特に上記
制御部は、自己保持機能を有する開閉ボタンにより構成
される。
アップ装置は、一対の真空吸引部と各真空吸引部のため
の制御部とを備え、上記真空吸引部が各々独立して目的
物を吸着，離脱し得るようにしたものである。特に上記
制御部は、自己保持機能を有する開閉ボタンにより構成
される。
【００１１】
【作用】本発明によれば、従来同時にしか真空吸引する
ことができなかったが、複数の真空吸引部がそれぞれ独
立して作動制御されるため、適宜の真空吸引部を所望の
タイミングで作動させることができ、これにより入替用
ウェハキャリアケース等を用いることなく、本発明装置
のみによりウェハの入替等を簡単且つ確実に行うことが
できる。この場合、真空吸引部はその吸引作動等におい
て自己保持機能を備え、且つそのための操作を開閉ボタ
ンによって容易に行うことができ、この種装置として操
作性に優れている。
ことができなかったが、複数の真空吸引部がそれぞれ独
立して作動制御されるため、適宜の真空吸引部を所望の
タイミングで作動させることができ、これにより入替用
ウェハキャリアケース等を用いることなく、本発明装置
のみによりウェハの入替等を簡単且つ確実に行うことが
できる。この場合、真空吸引部はその吸引作動等におい
て自己保持機能を備え、且つそのための操作を開閉ボタ
ンによって容易に行うことができ、この種装置として操
作性に優れている。
【００１２】
【実施例】以下、図１乃至図７に基づき、本発明による
薄物ピックアップ装置の一実施例を説明する。図１は本
発明装置の全体構成を示しているが、図において１は本
体部、２，２′は本体部１の両側から拡開するように延
出する一対のアーム、３，３′はアーム２，２′のそれ
ぞれ先端に付設された真空吸引部である。各真空吸引部
３，３′はウェハ（一点鎖線参照）を吸着すべく平坦な
吸着面３ａ，３ａ′を有しているが、この吸着面３ａ，
３ａ′に例えば図示のような吸引口３ｂ，３ｂ′が開口
している。上記アーム２，２′は、真空吸引部３，３′
がウェハの直径よりも十分に大きな距離だけ相互に離間
し、且つウェハを吸着するのに不都合がないように本体
部１に対する所定の傾斜角度及び長さを有している。ま
た、真空吸引部３，３′は互いに同一平面上に位置する
ように配置されている。
薄物ピックアップ装置の一実施例を説明する。図１は本
発明装置の全体構成を示しているが、図において１は本
体部、２，２′は本体部１の両側から拡開するように延
出する一対のアーム、３，３′はアーム２，２′のそれ
ぞれ先端に付設された真空吸引部である。各真空吸引部
３，３′はウェハ（一点鎖線参照）を吸着すべく平坦な
吸着面３ａ，３ａ′を有しているが、この吸着面３ａ，
３ａ′に例えば図示のような吸引口３ｂ，３ｂ′が開口
している。上記アーム２，２′は、真空吸引部３，３′
がウェハの直径よりも十分に大きな距離だけ相互に離間
し、且つウェハを吸着するのに不都合がないように本体
部１に対する所定の傾斜角度及び長さを有している。ま
た、真空吸引部３，３′は互いに同一平面上に位置する
ように配置されている。
【００１３】さらに、本体部１には図示のように一対の
把持部４，４′が形成されていると共に、把持部４，
４′の内側には開閉ボタン５，５′が設置されている。
各開閉ボタン５，５′は図２に示したように、真空引用
通路６，６′を介して上記吸引口３ｂ，３ｂ′と接続さ
れており、また図示しない真空源とも接続されている。
上記開閉ボタン５，５′は手指等によって容易に操作す
ることができるが、例えば１回押すと真空引用通路６，
６′が上記真空源と連通してこの連通状態に保持され、
さらに２回目の押圧操作により真空引用通路６，６′が
真空源から遮断されてこの遮断状態に保持されるように
なっている。
把持部４，４′が形成されていると共に、把持部４，
４′の内側には開閉ボタン５，５′が設置されている。
各開閉ボタン５，５′は図２に示したように、真空引用
通路６，６′を介して上記吸引口３ｂ，３ｂ′と接続さ
れており、また図示しない真空源とも接続されている。
上記開閉ボタン５，５′は手指等によって容易に操作す
ることができるが、例えば１回押すと真空引用通路６，
６′が上記真空源と連通してこの連通状態に保持され、
さらに２回目の押圧操作により真空引用通路６，６′が
真空源から遮断されてこの遮断状態に保持されるように
なっている。
【００１４】本発明の薄物ピックアップ装置は上記のよ
うに構成されており、次にその作用を説明する。先ず、
二つのウェハキャリアケース内のウェハを相互に入れ替
える場合を考える。そして、図３に示したように、一方
のウェハキャリアケース１１の収納部１１ａ，１１ｂ，
１１ｃ及び１１ｄにはウェハａ，ｂ，ｃ及びｄがそれぞ
れ収納され、また他方のウェハキャリアケース１２の収
納部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ及び１２ｄにはウェハ
ａ′，ｂ′，ｃ′及びｄ′がそれぞれ収納され得るよう
になっていて、このうち例えばウェハｂとウェハｄ′と
を入れ替えるものとする。
うに構成されており、次にその作用を説明する。先ず、
二つのウェハキャリアケース内のウェハを相互に入れ替
える場合を考える。そして、図３に示したように、一方
のウェハキャリアケース１１の収納部１１ａ，１１ｂ，
１１ｃ及び１１ｄにはウェハａ，ｂ，ｃ及びｄがそれぞ
れ収納され、また他方のウェハキャリアケース１２の収
納部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ及び１２ｄにはウェハ
ａ′，ｂ′，ｃ′及びｄ′がそれぞれ収納され得るよう
になっていて、このうち例えばウェハｂとウェハｄ′と
を入れ替えるものとする。
【００１５】この場合、把持部４′を把持してピックア
ップ装置を担持し、開閉ボタン５を押圧操作することに
より真空吸引部３の吸引口３ｂを介して真空引きが行わ
れる。かかる真空引きによってウェハｂを真空吸引部３
の吸着面３ａに吸着させ、次にこの吸着状態を保持した
まま、ピックアップ装置をほぼ水平面内で１８０°回動
する。さらに、把持部４に持ち替えて開閉ボタン５′の
押圧操作により、ウェハｄ′を真空吸引部３′の吸着面
３ａ′に吸着させるが、これにより真空吸引部３及び真
空吸引部３′にウェハｂ及びウェハｄ′がそれぞれ吸着
される。真空吸引部３′に吸着されているウェハｄ′は
その入替先であるウェハキャリアケース１１の収納部１
１ｂの位置まで移動される。開閉ボタン５′の２回目の
押圧操作により、吸引口３ｂ′を介して行われていた真
空引きが遮断されて、ウェハｄ′は真空吸引部３′から
離脱して収納部１１ｂ内に収納される。
ップ装置を担持し、開閉ボタン５を押圧操作することに
より真空吸引部３の吸引口３ｂを介して真空引きが行わ
れる。かかる真空引きによってウェハｂを真空吸引部３
の吸着面３ａに吸着させ、次にこの吸着状態を保持した
まま、ピックアップ装置をほぼ水平面内で１８０°回動
する。さらに、把持部４に持ち替えて開閉ボタン５′の
押圧操作により、ウェハｄ′を真空吸引部３′の吸着面
３ａ′に吸着させるが、これにより真空吸引部３及び真
空吸引部３′にウェハｂ及びウェハｄ′がそれぞれ吸着
される。真空吸引部３′に吸着されているウェハｄ′は
その入替先であるウェハキャリアケース１１の収納部１
１ｂの位置まで移動される。開閉ボタン５′の２回目の
押圧操作により、吸引口３ｂ′を介して行われていた真
空引きが遮断されて、ウェハｄ′は真空吸引部３′から
離脱して収納部１１ｂ内に収納される。
【００１６】次いでピックアップ装置を更に１８０°回
動させて把持部４により担持し、真空吸引部３に吸着さ
れているウェハｂはその入替先であるウェハキャリアケ
ース１２の収納部１２ｄの位置まで移動される。そして
開閉ボタン５の２回目の押圧操作により、ウェハｂは真
空吸引部３から離脱して収納部１２ｄ内に収納される。
上記のようにウェハキャリアケース１１及びウェハキ
ャリアケース１２間でウェハｂ及びウェハｄ′の入替を
行うことができるが、真空吸引部３及び真空吸引部３′
はそれぞれ独立して真空吸引のための作動制御がなされ
るため、従来のように特別な入替用ウェハキャリアケー
ス等を用いることなく、本発明のピックアップ装置のみ
により確実にウェハｂ及びウェハｄ′を入れ替えること
ができる。そして把持部４，４′を把持して開閉ボタン
５，５′を押圧するだけの簡単な操作であるから、入替
作業は容易且つ安定的に行うことができる。そしてこの
場合において、各開閉ボタン５，５′は上記のように自
己保持機能を有しているので、例えば吸引作動のために
開閉ボタン５，５′を押し続けておく必要がなく、極め
て操作性に優れている。
動させて把持部４により担持し、真空吸引部３に吸着さ
れているウェハｂはその入替先であるウェハキャリアケ
ース１２の収納部１２ｄの位置まで移動される。そして
開閉ボタン５の２回目の押圧操作により、ウェハｂは真
空吸引部３から離脱して収納部１２ｄ内に収納される。
上記のようにウェハキャリアケース１１及びウェハキ
ャリアケース１２間でウェハｂ及びウェハｄ′の入替を
行うことができるが、真空吸引部３及び真空吸引部３′
はそれぞれ独立して真空吸引のための作動制御がなされ
るため、従来のように特別な入替用ウェハキャリアケー
ス等を用いることなく、本発明のピックアップ装置のみ
により確実にウェハｂ及びウェハｄ′を入れ替えること
ができる。そして把持部４，４′を把持して開閉ボタン
５，５′を押圧するだけの簡単な操作であるから、入替
作業は容易且つ安定的に行うことができる。そしてこの
場合において、各開閉ボタン５，５′は上記のように自
己保持機能を有しているので、例えば吸引作動のために
開閉ボタン５，５′を押し続けておく必要がなく、極め
て操作性に優れている。
【００１７】次に同一のウェハキャリアケース内でウェ
ハを入れ替える場合を説明する。例えば上記の例で用い
たウェハキャリアケース１１の収納部１１ａ，１１ｂ，
１１ｃ及び１１ｄにそれぞれ収納されたウェハａ，ｂ，
ｃ及びｄのうち、図４に示されるように、ウェハｃ及び
ｄを相互に入れ替えるものとする。この場合、ウェハｄ
が例えば一方の真空吸引部３′に吸着され、図５に示し
たように、ウェハキャリアケース１１の収納部１１ｄか
ら引き抜かれる。引き抜かれたウェハｄは、開閉ボタン
５′によって真空引きに保持される真空吸引部３′に吸
着され続ける。この間、他方の真空吸引部３を用いてウ
ェハｃが、収納部１１ｃから１１ｄへ移し替えられる
（図６）。そして最後に、図７に示したように、真空吸
引部３′に吸着されているウェハｄが収納部１１ｃへ収
納されて、かくしてウェハｃ及びｄの順序が入れ替えら
れる。
ハを入れ替える場合を説明する。例えば上記の例で用い
たウェハキャリアケース１１の収納部１１ａ，１１ｂ，
１１ｃ及び１１ｄにそれぞれ収納されたウェハａ，ｂ，
ｃ及びｄのうち、図４に示されるように、ウェハｃ及び
ｄを相互に入れ替えるものとする。この場合、ウェハｄ
が例えば一方の真空吸引部３′に吸着され、図５に示し
たように、ウェハキャリアケース１１の収納部１１ｄか
ら引き抜かれる。引き抜かれたウェハｄは、開閉ボタン
５′によって真空引きに保持される真空吸引部３′に吸
着され続ける。この間、他方の真空吸引部３を用いてウ
ェハｃが、収納部１１ｃから１１ｄへ移し替えられる
（図６）。そして最後に、図７に示したように、真空吸
引部３′に吸着されているウェハｄが収納部１１ｃへ収
納されて、かくしてウェハｃ及びｄの順序が入れ替えら
れる。
【００１８】なお、入替を行うべきウェハは上記の場合
の他、その組合わせを自由に選定して、いずれの場合も
上記実施例と同様に入替用ウェハキャリアケース等を用
いることなく所望のウェハを簡単且つ確実に入れ替える
ことができる。また、本発明の薄物ピックアップ装置は
ウェハの場合に限らず、この種の薄物を取り扱う際に有
効に適用することができる。
の他、その組合わせを自由に選定して、いずれの場合も
上記実施例と同様に入替用ウェハキャリアケース等を用
いることなく所望のウェハを簡単且つ確実に入れ替える
ことができる。また、本発明の薄物ピックアップ装置は
ウェハの場合に限らず、この種の薄物を取り扱う際に有
効に適用することができる。
【００１９】
【発明の効果】上述したように本発明によれば、二つの
真空吸引部を相互に独立して機能するように構成し、し
かもそれらを簡単且つ確実に制御することができように
したことにより、従来のような特別な入替用ウェハキャ
リアケース等を用いることなしに、ウェハキャリアケー
ス相互間又は同一ウェハキャリアケース内において、ウ
ェハの入替及び並べ変え等を迅速に行うことができる。
そしてこれにより作業の省力化を有効に実現することが
できる等の利点がある。
真空吸引部を相互に独立して機能するように構成し、し
かもそれらを簡単且つ確実に制御することができように
したことにより、従来のような特別な入替用ウェハキャ
リアケース等を用いることなしに、ウェハキャリアケー
ス相互間又は同一ウェハキャリアケース内において、ウ
ェハの入替及び並べ変え等を迅速に行うことができる。
そしてこれにより作業の省力化を有効に実現することが
できる等の利点がある。
【図１】本発明による薄物ピックアップ装置の一実施例
による全体構成を示す図である。
による全体構成を示す図である。
【図２】本発明の上記薄物ピックアップ装置の本体部の
要部斜視図である。
要部斜視図である。
【図３】異なるウェハキャリアケース間でのウェハ入替
の場合における本発明の上記薄物ピックアップ装置の適
用例を示す図である。
の場合における本発明の上記薄物ピックアップ装置の適
用例を示す図である。
【図４】同一ウェハキャリアケース内でのウェハ入替の
場合における本発明の上記薄物ピックアップ装置の適用
例を示す図である。
場合における本発明の上記薄物ピックアップ装置の適用
例を示す図である。
【図５】上記同一ウェハキャリアケース内でのウェハ入
替の場合におけるウェハ引抜状態を示す図である。
替の場合におけるウェハ引抜状態を示す図である。
【図６】上記同一ウェハキャリアケース内でのウェハ入
替の場合におけるウェハ移替状態を示す図である。
替の場合におけるウェハ移替状態を示す図である。
【図７】上記同一ウェハキャリアケース内でのウェハ入
替の場合におけるウェハ入替完了状態を示す図である。
替の場合におけるウェハ入替完了状態を示す図である。
【図８】従来のウェハキャリアケースを用いたウェハ処
理工程例を示す図である。
理工程例を示す図である。
【図９】従来の真空吸引式の二股状ピンセットの斜視図
である。
である。
【図１０】従来の別の二股状ピンセットの斜視図であ
る。
る。
１，１′ 本体部 ２，２′ アーム ３，３′ 真空吸引部 ４，４′ 把持部 ５，５′ 開閉ボタン ６，６′ 真空引用通路 １１ ウェハキャリアケース １２ ウェハキャリアケース ａ，ａ′ ウェハ ｂ，ｂ′ ウェハ ｃ，ｃ′ ウェハ ｄ，ｄ′ ウェハ
Claims (2)
- 【請求項１】 一対の真空吸引部と各真空吸引部のため
の制御部とを備え、上記真空吸引部が各々独立して目的
物を吸着，離脱し得るようにした薄物ピックアップ装
置。 - 【請求項２】 上記制御部は、自己保持機能を開閉ボタ
ンであることを特徴とする請求項１に記載の薄物ピック
アップ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22065392A JPH0653306A (ja) | 1992-07-28 | 1992-07-28 | 薄物ピックアップ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22065392A JPH0653306A (ja) | 1992-07-28 | 1992-07-28 | 薄物ピックアップ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0653306A true JPH0653306A (ja) | 1994-02-25 |
Family
ID=16754345
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22065392A Withdrawn JPH0653306A (ja) | 1992-07-28 | 1992-07-28 | 薄物ピックアップ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0653306A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5833288A (en) * | 1996-07-16 | 1998-11-10 | Nec Corporation | Vacuum suction forceps |
| US6302459B1 (en) * | 1999-01-04 | 2001-10-16 | United Microelectronics Corp. | Conveyance arm device |
| US6893069B1 (en) * | 2001-07-16 | 2005-05-17 | Raytheon Company | Die edge-picking vacuum tool |
| JP2012043974A (ja) * | 2010-08-19 | 2012-03-01 | Sumco Corp | 半導体ウェーハ吸着保持装置 |
| US9199581B2 (en) | 2013-09-06 | 2015-12-01 | Honda Motor Co., Ltd. | Vehicle storage tray |
-
1992
- 1992-07-28 JP JP22065392A patent/JPH0653306A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5833288A (en) * | 1996-07-16 | 1998-11-10 | Nec Corporation | Vacuum suction forceps |
| US6302459B1 (en) * | 1999-01-04 | 2001-10-16 | United Microelectronics Corp. | Conveyance arm device |
| US6893069B1 (en) * | 2001-07-16 | 2005-05-17 | Raytheon Company | Die edge-picking vacuum tool |
| JP2012043974A (ja) * | 2010-08-19 | 2012-03-01 | Sumco Corp | 半導体ウェーハ吸着保持装置 |
| US9199581B2 (en) | 2013-09-06 | 2015-12-01 | Honda Motor Co., Ltd. | Vehicle storage tray |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991005 |