JPH0653589B2 - 光フアイバ用プリフオ−ムの製造方法 - Google Patents

光フアイバ用プリフオ−ムの製造方法

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JPH0653589B2
JPH0653589B2 JP60184071A JP18407185A JPH0653589B2 JP H0653589 B2 JPH0653589 B2 JP H0653589B2 JP 60184071 A JP60184071 A JP 60184071A JP 18407185 A JP18407185 A JP 18407185A JP H0653589 B2 JPH0653589 B2 JP H0653589B2
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Description

【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は高開口数を有する光フアイバ用プリフオームを
容易にかつ安定して製造する新規な方法に関するもので
ある。
＜従来の技術＞ 従来より光フアイバ用プリフオームの製造方法の一例と
して高屈折率なコアロツドをより低屈折率なクラツドパ
イプに挿入し、これを加熱溶融一体化する、所謂ロツド
インチユーブ法が知られている。そして一般的には該高
屈折率コアロツドは、二酸化珪素を主成分とするガラス
に屈折率を高くするドーパント例えば二酸化ゲルマニウ
ム、二酸化チタン、三酸化アルミニウム、五酸化燐等を
一種又は複数種類ドープすることによつて得る。一方、
上記低屈折率クラツドパイプとしては、極めて高純度の
二酸化珪素よりなるガラスパイプを用いるか、又は二酸
化珪素を主成分とするガラスに屈折率を低くする添加剤
例えば弗素等を添加することによつて得たものを用い
る。
上記屈折率を高くするドーパントの中で、二酸化ゲルマ
ニウムは、比較的少量で高い屈折率を得られることや、
その原料となる四塩化ゲルマニウムが揮発性が高く加水
分解反応で容易に二酸化ゲルマニウムを得ることが可能
である等の理由から、最もよく用いられる。
ところで、二酸化珪素と二酸化ゲルマニウムよりなる石
英ガラスはその含有する二酸化ゲルマニウム濃度に応じ
て高い屈折率を示す。従つてクラツド部に対して特に高
い比屈折率差を示すコアを有する光フアイバ用プリフオ
ーム、即ち高開口数の光フアイバ用リフオームを得よう
とする場合は、そのコア部となる石英ガラスに極めて高
濃度の二酸化ゲルマニウムをドープするという方法が用
いられてきた。
＜発明が解決しようとする問題点＞ 上述した如く高開口数の高フアイバ用プリフオームをロ
ツドインチユーブ法で製造する場合、コアロツドとして
極めて高濃度に二酸化ゲルマニウムをドープした石英ガ
ラスを用いるが、該コアロツドは高屈折率であるという
特徴の他に、二酸化ゲルマニウムをドープしたことによ
つてその融点及び軟化点温度、熱膨張係数、粘性係数等
の物性値が純粋石英ガラスのそれに対し変化するという
問題をはらんでいる。このことはクラツドパイプとして
最もよく用いられる純粋石英ガラスと該高屈折率コアロ
ツドとの間の物性整合性の低下を意味し、この両者を用
いて得た光フアイバー用プリフオームのコア部とクラツ
ド部との境界部に発生する歪の増加につながる。
更に、二酸化ゲルマニウムは高温で分解・揮散し易いと
いう性質を持つており、その現象は二酸化ゲルマニウム
濃度が高い程、或いは高温である程顕著になる。従つ
て、高開口数を有する高フアイバ用プリフオームをロツ
ドインチユーブ法のように極めて高温下での加工処理を
要する方法で製造する場合、コア材である石英ガラスロ
ツド内に高濃度にドープされた二酸化ゲルマニウムが大
量に分解・揮散し、一体化後のコアとクラツドの境界部
に気泡として残留し、該気泡部分に、コアとクラツドの
物性値差に起因する熱応力が集中し、得られた高フアイ
バ用プリフオームが冷却中に破裂損傷するという現象が
頻繁に発生する。
本発明者らは鋭意検討した結果、一般に石英系ガラスの
耐応力性は高く、通常の状態ではコア部とクラツド部の
物性値差に起因する熱応力だけでは光フアイバ用プリフ
オームが破裂損傷する確率は極めて低いが、該プリフオ
ーム内に気泡等の応力集中部分が存在するとその破裂・
損傷に到る確率は急激に高まるという知見を得た。従つ
て、光フアイバ用プリフオームを製造する場合は、気泡
等の発生を防止することが必要である。
この気泡発生防止の具体的方法の一例として特開昭５９
−１３７３３６号公報に示されているように、コアロツ
ドとして、あらかじめその外周に純粋石英ガラス層を直
接ガラス化させることによつて被覆を施したものを用い
る方法が既に知られている。この方法は一体化させるコ
アロツドの表面部分の物性とのクラツドパイプの物性を
一致させることにより気泡の残留を防止しようとするも
のであり、以下に述べるような事実にもとづいている。
光フアイバ用プリフオーム（以下プリフオームと略称す
る）内に気泡が残留するという現象は、多くの場合コア
ロツド（以下ロツドと略称する）をクラツドパイプ（以
下パイプと略称する）内に挿入するときに不可避的に生
ずるロツド外表面とパイプ内面に接触傷が両者の物性の
不一致により、一化化時に十分に平滑化されないままに
残つてしまい、それともにロツドから揮散したガスがそ
の傷の部分に封じ込められた形で残留するために生ず
る。従つて、一体化時にその接触傷を十分に平滑化する
ことによつて気泡の残留を防止することができる。とこ
ろで接触傷が十分に平滑化されないものはロツドとパイ
プの物性の不一致によると述べたが、更に具体的にいう
ならば一般的にドーパント濃度の高い石英ガラスは純粋
石英ガラスに比較して軟化温度が低いために、例えばロ
ツドのドーパント濃度が高い場合はパイプの粘性が大き
いうちにロツドとパイプの一体化が進行しパイプ内面の
接触傷が残つてしまうのである。そこでロツドの外周を
あらかじめ純粋石英ガラスで被覆することによりロツド
外周とパイプの十分な軟化が同時に起り両者の接触傷を
平滑化しつつプリフオームを製造することができる。
尚、ここでロツド外周部に純粋石英ガラス層（以下単に
SiO2層と略称する。）を施す方法としてプラズマ火炎又
は酸水素火炎による直線ガラス化法に限るが、これは特
にロツドのドーパント濃度が高い場合は、上記二方法以
外の方法例えばロツド表面にガラス微粉末を堆積させて
これを焼結する方法等ではSiO2層を施す時点で既に気泡
の残留が生じるからである。
以上述べた方法を用いると、例えばロツドの二酸化ゲル
マニウム濃度が該石英系ガラスの純粋石英ガラスに対す
る比屈折率差に換算して1.5％の場合、プリフオームが
破裂・損傷する確率は３５％程度となるが、これに対
し、SiO2層をロツド外周に設けなかつた場合はプリフオ
ームの破裂損傷する確率は９０％を超えていた。
尚、ここで比屈折率差として表わしている数字は、コア
断面内の比屈折率差の平均値である。このようにコアの
比屈折率差の平均値を基準として用いるのは、コアから
の酸化ゲルマニウムの揮散現象がコア全体に含まれる二
酸化ゲルマニウム濃度に依存し、例えばコア中心付近の
微小部分にのみ極端に高濃度に二酸化ゲルマニウムがド
ープされているがコア全体として見た場合の二酸化ゲル
マニウム濃度は比較的低いというような場合には酸化ゲ
ルマニウムの揮散量はほぼ問題にならない程度である。
そしてコア全体の二酸化ゲルマニウム濃度はコア断面内
の比屈折率差とほぼ直線関係にあるという理由による。
従つてもしコア内の屈折率分布が完全ステツプ型である
ならば、ここに示す比屈折率差と実際のコアの比屈折率
差の最高値は一致するが、分布屈折率型の場合は、その
分布状態によつて、ここに示す比屈折率差と、実際のコ
アの比屈折率差の最高値とは差が生じる。以下詳述でも
同様に比屈折率差として示す数字はコア断面内の比屈折
率差の平均値の意味である。
しかるにこのロツド外周にSiO2層を施す方法の効果も、
コアの二酸化ゲルマニウム濃度が高くなるにしたがつて
低下するという問題があつた。例えばロツドの二酸化ゲ
ルマニウム濃度が該石英系ガラスの純粋石英ガラスに対
する比屈折率差に換算して１．８％の場合では、ロツド
外周にSiO2層を施しても、該プリフオームの破裂・損傷
する確率は６０％に達つする。これはロツド内部とSiO2
層或はパイプの軟化温度の差によるものでSiO2層とパイ
プを十分軟化させるために強熱する過程でコア内部の蒸
気圧が上昇しSiO2層が軟化した時点で酸化ゲルマニウム
が一気に吹出しこれを排除しきれないことと、ロツド外
周のSiO2層が非常に薄い（これは直接ガラス化法という
方法が効率が悪いという理由による。従つて生産性を無
視するならばある程度の厚みを得ることは可能であ
る。）ために高温になるに従つて、パイプが十分に軟化
していないにもかかわらずロツド内部の応力バランスが
外周方向の一部分で崩れることにより一体化が進行して
しまうという二つの理由によると推論される。
一方、上述した如きロツト外周にSiO2層を施す方法以外
に気泡の残留を防止しつつ高開口数のプリフオームを製
造する方法がある。その方法は、SiO2層を設けていない
高屈折率のロツドと、弗素を添加することによつて屈折
率を低くした石英系ガラスをパイプ材として使用するこ
とにより、ロツドインチューブ法でプリフオームを製造
するというものである。この方法は弗素を添加すること
によつて石英系ガラスの軟化点が純粋石英ガラスのそれ
に対して低くなることを利用したもので、例えば石英ガ
ラスの弗素添加量が該石英ガラスの純粋石英ガラスに対
する比屈折率差に換算して−０．３％の場合、該石英ガ
ラスの軟化点温度は純粋石英ガラスのそれに比較して約
１２０℃低下する。そのため、高屈折率のロツドと低屈
折率のパイプの軟化温度が接近し、ロツドチユーブ法で
プリフオームを製造する際にも、このようなロツドとパ
イプを用いると両者の接触傷が十分に平滑化された後に
一体化が進行する。更に純粋石英ガラスのパイプを使用
した時に比べ低い温度で一体化が可能なのでロツド内部
より揮散する酸化ゲルマニウムの量も比較的少い。この
ような理由により、酸化ゲルマニウムを大量に含有する
ロツドと弗素を大量に添加したパイプを使用することに
よつてロツドインチユーブ法でプリフオームを製造する
際のプリフオームの破裂・損傷する確率はきわめて低く
なり、決定したプリフオームが得られるようになる。
しかるに、このようにして製造したプリフオームを加熱
紡糸して得た光フアイバは、コアが大量の二酸化ゲルマ
ニウムを含有する石英ガラスでクラツドが純粋石英ガラ
スである光フアイバより波長０．８μｍ以下の短波長領
域での伝送損失が数dB／km〜１０数dB／km高く特に長距
離伝送を要求される用途には適当ではないという欠点が
あることが明らかになつてきた。本発明者らが検討した
結果、この損失増加の原因は主にコア部とクラツド部の
境界部付近に集中しており、コアに含有されるゲルマニ
ウムとクラツドに添加した弗素との結合及び、紡糸時に
その結合が切れることによつて生ずる一種の欠陥による
吸収ではないかと推測される。
また、後者の方法でプリフオームを製造する場合もコア
の二酸化ゲルマニウム濃度が高くなるに従つて、得られ
るプリフオームの安定性は徐々に低下する。例えば、コ
アの二酸化ゲルマニウム濃度とクラツドの弗素濃度が、
それぞれその石英ガラスの純粋石英ガラスに対する比屈
折率差に換算して１．８％と−０．３％である場合、得
られるプリフオームが破裂損傷する確率は約４０％であ
つた。また、クラツドの弗素濃度は上記と等しく比屈折
率差換算で−０．３％で、コアの二酸化ゲルマニウムの
濃度は比屈接率差換算で２．０％の場合は、得られるプ
リフオームが破裂損傷する確率は５０％を上回る。この
ようにコアの酸化ゲルマニウム濃度が高くなるにしたが
つてプリフオームの安定性が低下するのは、高温での酸
化ゲルマニウム揮散量が増加することと、クラツドに添
加することができる弗素濃度が技術的に限られているた
めにコアとクラツドの物性値差が広がるためである。
本発明は以上のような問題点に鑑みて、高開口数の光フ
アイバ用プリフオームを容易かつ安定して製造できる方
法を提供せんとするものである。
＜問題点を解決するための手段＞ 本発明は高屈折率なコアロツドをより低屈折率なクラツ
ドパイプ内に挿入し、該コアロツドを挿入したクラツド
パイプの外周部から加熱し挿入されたコアロツドとクラ
ツドパイプを同時に溶融し一体化して光フアイバ用プリ
フオームを製造する方法において、上記コアロツドは、
純粋石英ガラスに対する比屈折率差が１．５％以上に相
当する量の二酸化ゲルマニウムを含有する石英ガラスよ
りなるロツドの外周に、該ロツドの外径の1/60〜1/125
の厚みの純粋石英ガラス薄層を施したものであり、上記
クラツドパイプは純粋石英ガラスに対する比屈折率差が
−０．３％以下に相当する量の弗素を添加した石英ガラ
スよりなるパイプであることを特徴とする光フアイバ用
プリフオームの製造方法に関する。
本発明者らが鋭意検討した結果、前項で述べた弗素を添
加したクラツドパイプを用いてロツドインチユーブ法で
プリフオームを得る場合、あらかじめコアロツドの外周
に純粋石英ガラスよりなる薄層を施しておくことによつ
て損失の増加を少くすることが可能であることを見出し
た。この理由として以下に挙げることが考えられる。コ
ア部とクラツド部の間に純粋石英ガラス層を設けること
により、二酸化ゲルマニウム濃度の高い部分と弗素濃度
の高い部分の直接接触を防止し、ゲルマニウムと弗素の
反応による欠陥の誘起を少くすることができる一方、コ
ア部とクラツド部の間に純粋石英ガラス層が存在するこ
とによる伝送特性への影響は、この純粋石英ガラス層の
厚みを薄くすることによつて無視できる程度にまで小さ
くすることができる。本発明者らがこの点についても検
討を加えた結果、純粋石英ガラス層の厚みがコア部直径
の1/60〜1/125の範囲であれば伝送特性への影響も実用
上問題なく、かつ高開口数の光フアイバ用プリフオーム
を従来のロツドインチユーブ法で製造する場合の問題で
あつた気泡の残留も殆んど見られず、良好なプリフオー
ムを得ることが可能であること見出した。
尚、本発明によればロツドの外周部が純粋石英ガラス
で、パイプは弗素を添加した石英系ガラスであることか
ら、両者の間には物性的な相違が生じている。しかしな
がら、残留気泡を低減させる効果は実質的に向上してい
る。この理由として以下にあげる２点が考えられる。第
１に一体化の温度が比較的低温であること、第２にロツ
ド表面のSiO2層が非常に薄いためにロツド内部の軟化に
つれて変形し、ロツドとパイプの密着を妨げないこと。
これらの理由により加熱・溶融一体化の際にロツドから
の酸化ゲルマニウムの揮散量を低減するとともに、気泡
残留の原因となるロツド外表面とパイプ内面の接触傷が
十分に平滑化されるものと考える。
本発明において用いる純粋石英ガラスに対する比屈折率
差１．５％以上に相当する量の二酸化ゲルマニウムを含
有する石英ガラスよりなるロツドを得る方法は特に限定
されるところはないが、例えば火炎中に加水分解又は酸
化反応により二酸化珪素に変換しうる珪素化合物（四塩
化珪素等）及び二酸化ゲルマニウムに変換しうるゲルマ
ニウム化合物（四塩化ゲルマニウム等）を導き、二酸化
ゲルマニウムを含有する石英ガラス微粒子を生成させ、
これを出発材先端に堆積させるとともに該出発材を上方
に引き上げながら徐々にガラス多孔質体を軸方向に成長
させる所謂気相軸付法（ＶＡＤ法）やその他MCVD法等を
用いることができる。
また、本発明において用いる、純粋石英ガラスに対する
比屈折率差が−０．３％以下に相当する量の弗素を添加
した石英ガラスよりなるパイプを得る方法も特に限定さ
れるところはないが、例えば気相軸付法により製造した
純粋石英ガラス多孔質体を高温弗素化合物ガス（SF6,CC
l2F2等）雰囲気中で熱処理しこれを収縮透明ガラス化す
ることによつて得たガラスロツドの軸を中心に外経と同
心状に穿孔することによつて得る方法、あるいは気相軸
付法でガラス多孔質体を製造する際にCCl2F2等の弗素系
原料を導入し弗素を添加する方法やMCVD法により、弗素
を添加した石英パイプを製造する方法等が挙げられる。
本発明においてロツド外径の1/60〜1/125の厚みの純粋
石英ガラス薄膜を直接ガラス化法により施す方法として
は、例えばプラズマ火炎による方法あるいは酸水素火炎
による方法が挙げられる。
プラズマ火炎による方法では、トーチ上に発生させた熱
プラズマ中に四塩化珪素等の原料化合物とO2ガスを導入
し、純粋石英ガラス微粒子を発生させ、該ガラス微粒子
を熱プラズマ中に置いたコアロツド外周に堆積させると
同時に熱プラズマによる高音を利用して直接ガラス化さ
せる。この時の具体的条件の一例を挙げるとSiCl4 100
SCCM、パワー２０KWのごとくである。
一方、酸水素火炎による方法ではH2ガスを過剰に供給す
ることにより、火炎温度を高くして堆積したガラス微粒
子を直接ガラス化させる。具体的条件の一例としては、
SiCl4 100SCCM、H2／O2 25SLM/16SLMである。両方法を
比較すれば、プラズマ火炎による方法の方が若干効率が
良い。
また厚みをロツド外径の1/60〜1/125に制御するには、
重量をモニターすることによつて行う。プラズマの場合
も、酸水素火炎の場合も母材を平行に支持し左右にトラ
バースしながら極めて薄いガラス層を形成させる。一回
のトラバースで形成されるガラス層の厚みは出発母材の
外径にもよるが０．１mmのオーダーであるからトラバー
スの回数からもある程度厚みのコントロールができる。
＜実施例＞ 以下に図面を参照して本発明の実施例により、本発明の
効果を説明する。
実施例１ VAD法により酸水素火炎（H2／O2流量3.0/8.2／分）中
に、SiCl4 ２００c.c.／分、GeCl4 ４１０c.c.／分を導
入し、GeO2−SiO2ガラス微粒子を形成させこれを出発材
先端に堆積させ軸方向に成長させて、外径６０mm長さ３
００mmのガラス多孔質母材を得た。該多孔質母材を温度
１５２０℃、He １００％雰囲気（He流量１０／分）
中で収縮透明ガラス化して、外径３２mm、長さ１８０mm
の焼結体とした。該焼結体の外周にSiCl4 １００SCCM、
パワー２０KWの条件でプラズマ火炎により２回トラバー
スして直接ガラス化して、ガラスロツド外径の1/125に
相当する厚みの純粋ガラス層を設けた後、延伸して外径
１５mm長さ４００mmのコア用GeO2含有石英系ガラスロツ
ドを得た。該コア用ロツドの純粋石英ガラスに対する比
屈折率差は１．８％であつた。
一方、上記と同様にVAD法により酸水素火炎（H2／O2流
量５．２／１４／分）中にSiCl4 10／分を導入して
外径９０mm、長さ４００mmの純SiO2ガラス多孔質体を形
成し、これを温度１５００℃の弗素−ヘリウム雰囲気
（弗素ガス１５０c.c.／分，He 流量５／分）中にて
処理して収縮・透明化し、外径４５mm、長さ２４０mm
で、弗素が添加され純粋石英ガラスに対する比屈折率差
が−０．３％の焼結体を得て、これを穿孔加工してパイ
プとした後、延伸して外径28mm、厚さ５．７mm、長さ４
５０mmのクラツドパイプを得た。
第７図に示すように、上記により得た石英系ガラスロツ
ド１をガラスパイプ２中に挿入し、バーナ３によつて加
熱しながら矢印で示すようにガラスロツド１とガラスパ
イプ２の同心軸を中心に一方向に回転させ外周方向の温
度分布を均一化させる。またガラスロツド１とガラスパ
イプ２の間隙４を減圧し一体化し易い状態にしたうえ
で、バーナ３を一体化させるガラスロツド１とガラスパ
イプ２の長手方向に平行に移動させることによつて、ガ
ラスロツド１とガラスパイプ２の加熱・溶融部分を移動
させながら、該ガラスロツド１と該ガラスパイプ２を全
長にわたつて一体化させ外径２６mm、長さ４００mmでコ
ア／クラツド径比０．５、屈折分布を表すα係数５以上
のほぼステツプインデツクス型プリフオームを得た。
このようにして得たプリフオームは気泡の残留が殆んど
見られず破裂・損傷する確率は５％未満であった。また
該プリフオームを加熱紡糸して得たクラツド径１６５μ
ｍ、コア径８２．５μｍの光フアイブの伝送損失を測定
したところ、波長０．６μｍで１２dB／kmであつた。
実施例２ 実施例１のコア用ガラスロツド１の製造においてスス付
時のGeCl4 流量を６００c.c.／分とし、プラズマ火炎の
トラバース回数を５回に変えた以外は全く同条件として
同様に行い、純粋石英ガラスに対する比屈折率差が２．
３％に相当する量の酸化ゲルマニウムを含有する石英系
ガラスロツドの外周に、そのガラスロツドの外径の1/60
に相当する厚みの純粋石英ガラス層を施した直径１３mm
長さ４００mmのガラスロツドを得た。
また実施例１のクラツド用ガラスパイプ２の製造におい
て、焼結時のＦガス流量を３００c.c.／分、Heガス流量
を１／分とした以外は全く同条件にて行つて、外径２
８mm、厚み５．７mm、長さ４５０mm、純粋石英ガラスに
対する比屈折率差に換算して−０．５％に相当する量の
弗素を添加した石英系ガラスパイプを得た。
以下実施例１と同様な操作によりガラスロツドとガラス
パイプを一体し実施例１と同サイズのステツプインデツ
クス型光フアイバ用プリフオームを得た。
この場合も実施例１と同様にプリフオーム内に残留する
気泡は殆んどなく破裂損傷する確率は１０％以下であつ
た。また該プリフオームを加熱紡糸することによつて得
たクラツド径１６５μｍ、コア径８２．５μｍの光フア
イバの伝送損失は波長０．６μｍで１４dB／kmであつ
た。
第２図のグラフは、本発明に従いプリフオームを製造し
たもののクラツドパイプの純粋石英ガラスに対する比屈
折率差とコアロツドのそれとの組合せと、製造されたプ
リフオームの良否の関係を比較例を交えて図示したもの
である。
第２図の横軸はクラツドパイプの純粋石英ガラスに対す
る比屈折率差の絶対値△−縦軸はコアロツドの純粋石英
ガラスに対する比屈折率差△＋を示し、これらを組み合
せて製造した光フアイバ用プリフオームの良否判定を記
号で記した。“○”は光フアイバ用プリフオームが破裂
損傷する確率が極めて低く、該光フアイバ用プリフオー
ムを紡糸して得た光フアイバの伝送損失が実用上問題な
いレベルであるもの、“×”は光フアイバ用プリフオー
ムが破裂損傷する確率が高いもの、“△”は光フアイバ
用プリフオームが破裂・損傷する確率が２５％から５０
％のもの“×”で示したものの中間の値すなわち２５％
から５０％を示したものを表わす。第２図からわかるよ
うに、△−が０．３％以上のクラツドパイプと、△＋が
１．５％以上のコアロツドを用いることによつて、高開
口数を有する良好なプリフオームを安定して製造するこ
とができる。なお各記号に付して()内に記入された数値
はSiO2層の厚みのロツド外径に対する比を示す。
尚、上記実施例では加熱溶融する際にバーナを用いてい
るがこの他に電気炉などを熱源とすることも可能であ
る。また、ガラスロツド１とガラスパイプ２の間隙４を
減圧するとしたが、これは一体化を容易にするために、
ガラスロツド１とガラスパイプ２の間隙の圧力を、ガラ
スパイプ２の外周の圧力より低くするという意味であ
り、従つて、ガラスパイプ２の外周を高圧にすることで
も同様の効果が得られる。
＜発明の効果＞ 以上述べたように、二酸化ゲルマニウムをドープするこ
とによつて、純粋石英ガラスに対する比屈折率差が１．
５％以上になるように調整した石英系ガラスからなるコ
アロツドの外周にそのコアロツドの外径の1/60〜1/125
に相当する厚みの純粋石英ガラス層をあらかじめ被覆さ
せた構造を有する石英系ガラスロツドと、弗素を添加す
ることによつて純粋石英ガラスに対する比屈折率差が−
０．３％以下になるように調整した石英系ガラスからな
るクラツドパイプを用いることによつて、高い開口数を
有する低損失の光フアイバ用プリフオームをロツドイン
チユーブ法で製造する際に破裂・損傷する確率を低くす
ることが可能になつた。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施態様を説明する図、 第２図は本発明の効果を示すグラフであり、Ｆ含有クラ
ツドパイプとGeO2コアロツドの組合せSiO2層厚さと、得
られたプリフオームの破裂損傷確率の関係を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】高屈折率なコアロツドをより低屈折率なク
    ラツドパイプ内に挿入し、該コアロツドを挿入したクラ
    ツドパイプの外周部から加熱し挿入されたコアロツドと
    クラツドパイプを同時に溶融し一体化して光フアイバ用
    プリフオームを製造する方法において、上記コアロツド
    は、純粋石英ガラスに対する比屈折率差が１．５％以上
    に相当する量の二酸化ゲルマニウムを含有する石英ガラ
    スよりなるロツドの外周に、該ロツドの外径の1/60〜1/
    125の厚みの純粋石英ガラス薄層を施したものであり、
    上記クラツドパイプは純粋石英ガラスに対する比屈折率
    差が−０．３％以下に相当する量の弗素を添加した石英
    ガラスよりなるパイプであることを特徴とする光フアイ
    バ用プリフオームの製造方法。
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