JPH0653780U - 真空排気配管 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空チャンバーにターボ分子ポンプと油回転
ポンプを接続して構成した真空排気装置の、排気能力の
維持を図ることを目的としている。 【構成】 真空チャンバー１にターボ分子ポンプ５と油
回転ポンプ７を順次接続してなる真空排気配管２、３に
おいて、ターボ分子ポンプ５の上流および下流にバルブ
４、６が介設してあり、これらのバルブ間の配管８に、
不活性ガス導入系１０が接続してある。

Description

【考案の詳細な説明】

この考案は真空チャンバーにターボ分子ポンプと油回転ポンプを順次接続して 、真空チャンバー内を10^-7Torr以下の圧力の高真空領域および超高真空領域に排 気する真空排気配管に関する。

【０００１】

【従来の技術】

従来、真空チャンバーの内壁に水分が吸着すると、水分の吸着エネルギーが高 い為に、所定の到達圧力まで排気するのに要する時間が極端に長くなることが知 られている。水分の脱着を促進する為に、真空チャンバー壁を加熱しながら排気 することが行なわれている。

【０００２】 又、油回転ポンプを停止する際には、作動油の逆流を防ぐ為に、ポンプの上流 側配管に大気を導入している。

【０００３】 真空チャンバーにターボ分子ポンプと油回転ポンプを順次接続して構成した真 空排気配管では、油回転ポンプに導入した大気が、真空チャンバー内は勿論のこ と、ターボ分子ポンプ内に流入することは避ける必要があるので、前記ターボ分 子ポンプの上流および下流に夫々バルブを介設していた。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

前記のように、真空チャンバーに、ターボ分子ポンプと油回転ポンプを順次接 続した真空排気配管においては、排気装置を停止する場合、ターボ分子ポンプの 上流および下流側配管に介設したバルブを閉じ、油回転ポンプに大気を導入する 。従って、次の排気を開始する場合、ターボ分子ポンプ内が高真空状態で封じら れているので、油回転ポンプ側より低い圧力となっており、バルブを開けた際に 油回転ポンプ作動油の蒸発分子がターボ分子ポンプ側に流入（逆流）して、ター ボ分子ポンプ内を汚し、高真空以上の到達圧力までの排気を難しくする問題点が あった。

【０００５】

【課題を解決する為の手段】

この考案は前記の問題点に鑑みてなされたもので、真空チャンバーにターボ分 子ポンプと油回転ポンプを接続して構成した真空排気装置の、排気能力の維持を 図ることを目的としている。

【０００６】 斯る目的を達成するこの考案の真空排気装置は、真空チャンバーにターボ分子 ポンプと油回転ポンプを順次接続してなる真空排気配管において、前記ターボ分 子ポンプの上流および下流にバルブが介設してあり、これらのバルブ間の配管に 不活性ガス導入系が接続してあることを特徴としている。

【０００７】 前記不活性ガス導入系には、アルゴンガス、窒素ガス等を用いることができる 。露点の低いものとする為に、純度９９．９９９％以上とすることが望ましい。

【０００８】

【作用】

この考案の真空排気配管では、排気装置を停止する場合、ターボ分子ポンプ内 に不活性ガスを封入することができる。然して封入圧力を、油回転ポンプ側の到 達圧力より高い圧力としておくことによって、ターボ分子ポンプと油回転ポンプ 間の流体の逆流を無くすることができる。

【０００９】

【実施例】

以下この考案の実施例を図１に基づいて説明する。図１において１は真空チャ ンバーで主排気系となる真空排気配管２と、副排気系となる真空排気配管３が接 続してある。

【００１０】 各真空排気配管２、３は、真空チャンバー１側から、バルブ４、ターボ分子ポ ンプ５、バルブ６、油回転ポンプ７を接続管８、８を介して順次接続して構成し てある。主排気系のターボ分子ポンプ５および油回転ポンプ７の排気速度は、副 排気系の夫々の排気速度より大きいものとしてある。油回転ポンプ７とバルブ６ の配管８には、リークバルブ９が設けてある。

【００１１】 前記の真空排気配管２、３のバルブ４とターボ分子ポンプ５の配管８にはガス 導入系１０が接続してある。ガス導入系１０は、ガスボンベ１１、導入管１２お よびバルブ１３で構成されたもので、導入管１２には、圧力調整弁、流量系など が介設されるが図示は省略した。ガスボンベ１１は実施例の場合、純度９９．９ ９９％のアルゴンガスが封入されたものを使用した。尚、図中１４は圧力ゲージ である。

【００１２】 上記実施例の真空排気配管のポンプを停止する場合には、バルブ４、６を閉じ て、バルブ４、６間にガス導入系１０のバルブ１３を開けて、不活性ガスをター ボ分子ポンプ５およびその上流並びに下流の配管８内に導入すると共に、油回転 ポンプ７の配管８内は、リークバルブ９を開けて大気を導入するようにすること ができる。

【００１３】 然して、次に真空チャンバー１の真空排気を行う場合、先ず副排気系の真空排 気配管３側で排気し、次いで主排気系の真空排気配管２で排気する。

【００１４】 各真空排気配管を動作させる場合、リークバルブ９を閉じて、油回転ポンプ７ を運転し、油回転ポンプ７とバルブ６の間の配管８内を１０⁰ 〜１０^-1Torr程度 まで排気した後、バルブ６を開け、次いでターボ分子ポンプ５を運転した後、バ ルブ４を開けるようにする。副排気系から主排気系への切替えは、真空チャンバ ー１内の圧力が、主排気系のターボ分子ポンプ５内の圧力より高い状態で行う。

【００１５】 このようにすることによって、バルブ６、４（特に６）の開操作の際には、上 流側、即ちバルブ６の開の際はターボ分子ポンプ５側、バルブ４の開の際は真空 チャンバー１側が高い圧力になり、配管８内で流体の逆流を無くすることができ る。従って、油回転ポンプ７の作動油の蒸発分子がバルブ６を越えてターボ分子 ポンプ５内に逆流して汚染するのを防止することができる。

【００１６】 前記バルブ４、６間のターボ分子ポンプ５へ導入する不活性ガスは、１０⁰ 〜 １０^-1Torrより高い圧力で大気圧以下の圧力範囲で導入すれば良いことになる。

【００１７】 尚、真空チャンバー１を大気に開放する場合、チャンバー内壁に水分子が吸着 すると、高真空領域或いは超高真空領域に排気する時間が長時間になることは前 記のとうりである。従って、真空チャンバー１を開放する際には、真空チャンバ ー１内に不活性ガスを導入すると共に、大気が流入しない手段（例えば開口部を 不活性ガスによるガスカーテンで遮断する）を付加するのが望ましい。

【００１８】

【考案の効果】

以上に説明したようにこの考案によれば、真空排気配管内に設置したターボ分 子ポンプが大気中の水分子や、油回転ポンプから蒸発する油分子に汚染されない ようにしたので、真空チャンバー側を高真空領域あるいは超高真空領域へ、繰り 返し、短時間で排気可能にできる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の実施例の系統図である。

【符号の説明】

１ 真空チャンバー ２、３ 真空排気配管 ４、６、１３ バルブ ５ ターボ分子ポンプ ７ 油回転ポンプ ８ 配管 ９ リークバルブ １０ ガス導入系 １１ ガスボンベ １２ 導入管 １４ 圧力ゲージ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空チャンバーに、ターボ分子ポンプと
   油回転ポンプを順次接続してなる真空排気配管におい
   て、前記ターボ分子ポンプの上流および下流にバルブが
   介設してあり、これらのバルブ間の配管に、不活性ガス
   導入系が接続してあることを特徴とした真空排気配管。