JPH0655019A - 気体用濾材及びこれから作成したフィルター - Google Patents
気体用濾材及びこれから作成したフィルターInfo
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- JPH0655019A JPH0655019A JP21177392A JP21177392A JPH0655019A JP H0655019 A JPH0655019 A JP H0655019A JP 21177392 A JP21177392 A JP 21177392A JP 21177392 A JP21177392 A JP 21177392A JP H0655019 A JPH0655019 A JP H0655019A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 濾過された気体中に、半導体等の電子分野に
おける製品やバイオ系製品の性能悪化を招く硼素やリン
がほとんど含まれない気体用濾材及びこれから作成した
フィルターを提供すること。 【構成】 基礎材料として、純水中に硼素１×１０-6／
繊維ｇ，６５℃×１２０hrs を超えて溶出しない細径の
ガラス繊維を使用し、抄造用の水として純水を使って作
成している。
おける製品やバイオ系製品の性能悪化を招く硼素やリン
がほとんど含まれない気体用濾材及びこれから作成した
フィルターを提供すること。 【構成】 基礎材料として、純水中に硼素１×１０-6／
繊維ｇ，６５℃×１２０hrs を超えて溶出しない細径の
ガラス繊維を使用し、抄造用の水として純水を使って作
成している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、気体中の不純物を濾
過するための気体用濾材及びこれから作成したフィルタ
ーに関するものである。
過するための気体用濾材及びこれから作成したフィルタ
ーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】気体用濾材には、水を分散剤にした湿式
抄造法によって作成されたものがあり、この種の濾材
は、低アルカリガラス系繊維や硼珪酸ガラス系繊維等を
抄造用の水（一般に川水の濾過水がよく使用される）で
スラリー状混合物にしてこれをメッシュですくい、メッ
シュ上に残留したシート状や紙状の混合物体を乾燥させ
るようにして作成されている。そして、前記濾材は、例
えば、半導体製造工程に必要なクリーンルームをつくる
ための気体用フィルターとして使用されている。
抄造法によって作成されたものがあり、この種の濾材
は、低アルカリガラス系繊維や硼珪酸ガラス系繊維等を
抄造用の水（一般に川水の濾過水がよく使用される）で
スラリー状混合物にしてこれをメッシュですくい、メッ
シュ上に残留したシート状や紙状の混合物体を乾燥させ
るようにして作成されている。そして、前記濾材は、例
えば、半導体製造工程に必要なクリーンルームをつくる
ための気体用フィルターとして使用されている。
【０００３】しかしながら、上記フィルターによって得
られるクリーンルームでは、２５６Ｋ半導体の製造レベ
ルより集積度の高いＬＳＩ，ＶＬＳＩ等の半導体に関し
て良好な性能を有したものが製造できないという問題が
ある。このような問題は、バイオ系製品に関しても同様
である。これは、フィルターとして使用される濾材中を
空気や窒素等の気体が通過するときに、濾材により空気
が汚染される（濾材中の硼素やリンが空気中に離脱す
る、即ち二次汚染する）ためと考えられ、現在、このよ
うな問題のない濾材の開発が求められている。
られるクリーンルームでは、２５６Ｋ半導体の製造レベ
ルより集積度の高いＬＳＩ，ＶＬＳＩ等の半導体に関し
て良好な性能を有したものが製造できないという問題が
ある。このような問題は、バイオ系製品に関しても同様
である。これは、フィルターとして使用される濾材中を
空気や窒素等の気体が通過するときに、濾材により空気
が汚染される（濾材中の硼素やリンが空気中に離脱す
る、即ち二次汚染する）ためと考えられ、現在、このよ
うな問題のない濾材の開発が求められている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明で
は、濾過された気体中に、半導体等の電子分野における
製品やバイオ系製品の性能悪化を招く硼素やリンがほと
んど含まれない気体用濾材及びこれから作成したフィル
ターを提供することを課題とする。
は、濾過された気体中に、半導体等の電子分野における
製品やバイオ系製品の性能悪化を招く硼素やリンがほと
んど含まれない気体用濾材及びこれから作成したフィル
ターを提供することを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明の気体用濾材や
ガスフィルターは、以下に示す構成態様がある。 ．基礎材料として、純水中に硼素１×１０-6ｇ／繊維
ｇ，６５℃×１２０hrsを超えて溶出しない細径のガラ
ス繊維を使用し、抄造用の水として純水を使って作成し
ている。 ．基礎材料として、純水中に硼素１×１０-6ｇ／繊維
ｇ，６５℃×１２０hrs及びリン２×１０-6ｇ／繊維
ｇ，６５℃×１２０hrs を超えて溶出しない細径のガラ
ス繊維を使用し、抄造用の水として純水を使って作成し
ている。 ．上記に記載の気体用濾材に関し、基礎材料とし
てのガラス繊維を、純水及び／又は無機性希酸で前処理
して作成している。 ．上記〜に記載の気体用濾材に関し、細径のガラ
ス繊維相互の結合を補強する、太径のガラス繊維を少量
だけ混入させている。 ．上記に記載の気体用濾材に関し、太径のガラス繊
維が、純水中に硼素１×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１
２０hrs を超えて溶出しないものとしている。 ．上記に記載の気体用濾材に関し、太径のガラス繊
維が、純水中に硼素１×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１
２０hrs 及びリン２×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１２
０hrs を超えて溶出しないものとしている。 ．上記〜に記載の気体用濾材に関し、細径のガラ
ス繊維が、石英ガラス系繊維であるものとしている。 ．上記〜に記載の気体用濾材に関し、細径及び太
径のガラス繊維が、石英ガラス系繊維であるものとして
いる。 ．通気性を有する延伸されたフッ素樹脂フィルムから
構成している。
ガスフィルターは、以下に示す構成態様がある。 ．基礎材料として、純水中に硼素１×１０-6ｇ／繊維
ｇ，６５℃×１２０hrsを超えて溶出しない細径のガラ
ス繊維を使用し、抄造用の水として純水を使って作成し
ている。 ．基礎材料として、純水中に硼素１×１０-6ｇ／繊維
ｇ，６５℃×１２０hrs及びリン２×１０-6ｇ／繊維
ｇ，６５℃×１２０hrs を超えて溶出しない細径のガラ
ス繊維を使用し、抄造用の水として純水を使って作成し
ている。 ．上記に記載の気体用濾材に関し、基礎材料とし
てのガラス繊維を、純水及び／又は無機性希酸で前処理
して作成している。 ．上記〜に記載の気体用濾材に関し、細径のガラ
ス繊維相互の結合を補強する、太径のガラス繊維を少量
だけ混入させている。 ．上記に記載の気体用濾材に関し、太径のガラス繊
維が、純水中に硼素１×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１
２０hrs を超えて溶出しないものとしている。 ．上記に記載の気体用濾材に関し、太径のガラス繊
維が、純水中に硼素１×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１
２０hrs 及びリン２×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１２
０hrs を超えて溶出しないものとしている。 ．上記〜に記載の気体用濾材に関し、細径のガラ
ス繊維が、石英ガラス系繊維であるものとしている。 ．上記〜に記載の気体用濾材に関し、細径及び太
径のガラス繊維が、石英ガラス系繊維であるものとして
いる。 ．通気性を有する延伸されたフッ素樹脂フィルムから
構成している。
【０００６】又、この発明のガスフィルターは、上記
〜に記載の気体用濾材により作成されている。
〜に記載の気体用濾材により作成されている。
【０００７】
【作用】この出願の発明は次の作用を有する。この発明
の濾材により作成されたフィルターでは、硼素やリンに
おける純水中への溶出量を手段の欄に記載した如く低く
抑えたものとしてあるので、低アルカリガラス系繊維又
は硼珪酸ガラス系繊維を使用した従来のものと比較し
て、気体が通過したときに放出される硼素やリンの量は
格段に少ない。
の濾材により作成されたフィルターでは、硼素やリンに
おける純水中への溶出量を手段の欄に記載した如く低く
抑えたものとしてあるので、低アルカリガラス系繊維又
は硼珪酸ガラス系繊維を使用した従来のものと比較し
て、気体が通過したときに放出される硼素やリンの量は
格段に少ない。
【０００８】更に、この濾材は抄造用の水として純水を
使って作成してあるから、川水を使って作成した従来の
ものと比較すると濾材に存在するリンは少なくなり、そ
の結果、気体が通過したときに放出されるリンの量は減
少する。尚、純水抄造前に、純水及び／又は無機性希酸
で処理するようにして作成した場合には、硼素やリン等
の放出量は更に少なくなる。
使って作成してあるから、川水を使って作成した従来の
ものと比較すると濾材に存在するリンは少なくなり、そ
の結果、気体が通過したときに放出されるリンの量は減
少する。尚、純水抄造前に、純水及び／又は無機性希酸
で処理するようにして作成した場合には、硼素やリン等
の放出量は更に少なくなる。
【０００９】又、石英ガラス系繊維で作成されたフィル
ターでは、硼素やリンの他ナトリウムの放出量も格段に
少なくなるか零になる。
ターでは、硼素やリンの他ナトリウムの放出量も格段に
少なくなるか零になる。
【００１０】
【実施例】以下、この出願の発明の構成を実施例として
示した図面に従って説明する。 （実施例１）この実施例のフィルターは、基礎材料とし
て石英ガラス系繊維から成る細径繊維のみを使用してあ
り、抄造用の水として純水（イオン交換水：電導度１０
μｓ／cm）を使用している。
示した図面に従って説明する。 （実施例１）この実施例のフィルターは、基礎材料とし
て石英ガラス系繊維から成る細径繊維のみを使用してあ
り、抄造用の水として純水（イオン交換水：電導度１０
μｓ／cm）を使用している。
【００１１】上記した基礎材料となる細径繊維は濾過媒
体をなすものであり、その平均直径は0.85μm （分布0.
2 〜2.65μm ）程度に設定してある。前記フィルターを
構成する濾材は、前記細径繊維を純水に分散させ、次に
アクリル酸エステル樹脂エマルジョンをバインダーとし
て５重量％（対繊維）を加えて抄き漉し、乾燥してシー
ト状に形成している。
体をなすものであり、その平均直径は0.85μm （分布0.
2 〜2.65μm ）程度に設定してある。前記フィルターを
構成する濾材は、前記細径繊維を純水に分散させ、次に
アクリル酸エステル樹脂エマルジョンをバインダーとし
て５重量％（対繊維）を加えて抄き漉し、乾燥してシー
ト状に形成している。
【００１２】ここで、この実施例の濾材が実際にこの発
明の効果を有しているか否かを明らかにするため、濾材
の溶出試験及び測定用液の分析により得られた結果等を
以下の表１に示す。 〔濾材の溶出試験及び測定用液の分析〕 先ず、２〜３％の硝酸を未使用のポリプロピレン製容
器に入れて２４時間以上放置した後、超純水で５回以上
洗浄する。
明の効果を有しているか否かを明らかにするため、濾材
の溶出試験及び測定用液の分析により得られた結果等を
以下の表１に示す。 〔濾材の溶出試験及び測定用液の分析〕 先ず、２〜３％の硝酸を未使用のポリプロピレン製容
器に入れて２４時間以上放置した後、超純水で５回以上
洗浄する。
【００１３】試料は、プラスチック手袋をはめて調整
し、試料５ｇを１８μs ／cmの超純水100ml に入れ、６
５℃、１２０時間放置する。この際、試料は常に水中に
浸るようにしておく。 同時に試料なしを作り同一条件下で放置してブランク
する。 一定時間経過後、超純水で２回以上濾過用フィルター
を洗浄し、その上で試料を濾過し、濾液を測定用液とす
る。尚、一度使用した濾過用フィルタは使用しない。濾
過用フィルターはセルロースアセテート製の型式ＤＩＳ
ＭＩＣ−１３ＣＰを使用する。 得られた測定用液は高周波プラズマ発光分析装置ＩＣ
Ｐ（日本シャーレル・アッシュ社 ＩＣＡＰ−５７７）
で元素定量分析を行う。 〔試験結果〕
し、試料５ｇを１８μs ／cmの超純水100ml に入れ、６
５℃、１２０時間放置する。この際、試料は常に水中に
浸るようにしておく。 同時に試料なしを作り同一条件下で放置してブランク
する。 一定時間経過後、超純水で２回以上濾過用フィルター
を洗浄し、その上で試料を濾過し、濾液を測定用液とす
る。尚、一度使用した濾過用フィルタは使用しない。濾
過用フィルターはセルロースアセテート製の型式ＤＩＳ
ＭＩＣ−１３ＣＰを使用する。 得られた測定用液は高周波プラズマ発光分析装置ＩＣ
Ｐ（日本シャーレル・アッシュ社 ＩＣＡＰ−５７７）
で元素定量分析を行う。 〔試験結果〕
【００１４】
【表１】
【００１５】上記した表１から、この実施例の濾材と、
細径繊維に硼珪酸ガラス系繊維を使用し、抄造用の川水
濾過水を使用した比較例の濾材とを比べると、前者は後
者に対してナトリウム、リン、硼素が極めて少ないこと
が判る。 （実施例２〜８）この実施例の気体用濾材は、石英ガラ
ス系繊維から成る細径繊維と前記細径繊維相互の結合を
補強するための少量の太径繊維とから構成されており、
抄造用の水として純粋（イオン交換水、蒸留水）を使っ
て作成している。
細径繊維に硼珪酸ガラス系繊維を使用し、抄造用の川水
濾過水を使用した比較例の濾材とを比べると、前者は後
者に対してナトリウム、リン、硼素が極めて少ないこと
が判る。 （実施例２〜８）この実施例の気体用濾材は、石英ガラ
ス系繊維から成る細径繊維と前記細径繊維相互の結合を
補強するための少量の太径繊維とから構成されており、
抄造用の水として純粋（イオン交換水、蒸留水）を使っ
て作成している。
【００１６】細径繊維は上記実施例１とほぼ同様に構成
されており、異種混使用できる。又、太径繊維は８〜２
４μm 程度（５μm 〜７０μm 程度の範囲のものが使用
できる）に設定してある。尚、上記した太径繊維は濾材
に実用上の機械的強度（特に腰の強さ：スティフネス）
を付与するものであり、目的に応じて異種混使用でき
る。これに使用できる繊維としては、石英ガラス系繊
維、アラミッド樹脂系繊維、Ｐ繊維（ＳｉＯ2：５５
％，Ａｌ2 Ｏ3 ：３０％，ＣａＯ：１０％・・・セント
ラルガラス社）や実質的に純水中に硼素，リンを限度以
上に溶出しないもの等が使用でき、他方、バインダーと
しては、アクリル酸エチルエステルエマルジョン、ポリ
テトラフルオロエチレンエマルジョン、ポリエステルエ
マルジョン等が使用される（表記せず）。
されており、異種混使用できる。又、太径繊維は８〜２
４μm 程度（５μm 〜７０μm 程度の範囲のものが使用
できる）に設定してある。尚、上記した太径繊維は濾材
に実用上の機械的強度（特に腰の強さ：スティフネス）
を付与するものであり、目的に応じて異種混使用でき
る。これに使用できる繊維としては、石英ガラス系繊
維、アラミッド樹脂系繊維、Ｐ繊維（ＳｉＯ2：５５
％，Ａｌ2 Ｏ3 ：３０％，ＣａＯ：１０％・・・セント
ラルガラス社）や実質的に純水中に硼素，リンを限度以
上に溶出しないもの等が使用でき、他方、バインダーと
しては、アクリル酸エチルエステルエマルジョン、ポリ
テトラフルオロエチレンエマルジョン、ポリエステルエ
マルジョン等が使用される（表記せず）。
【００１７】ここで、この実施例の濾材が実際にこの発
明の効果を有しているか否かを明らかにするため、濾材
の溶出試験及び測定用液の分析により得られた試験結果
等を以下の表２に示す。尚、この試験の一部のものは、
抄造に使用する前に、繊維を純水又は稀硝酸（５％，１
０％）で２５℃，６５℃の温度下で抄造処理を行った。
この前処理は、石英繊維を２４時間、それぞれの処理液
に浸漬後、純水で３回水洗いしてから行った。 〔試験結果〕
明の効果を有しているか否かを明らかにするため、濾材
の溶出試験及び測定用液の分析により得られた試験結果
等を以下の表２に示す。尚、この試験の一部のものは、
抄造に使用する前に、繊維を純水又は稀硝酸（５％，１
０％）で２５℃，６５℃の温度下で抄造処理を行った。
この前処理は、石英繊維を２４時間、それぞれの処理液
に浸漬後、純水で３回水洗いしてから行った。 〔試験結果〕
【００１８】
【表２】
【００１９】上記した表２から、この実施例の濾材と、
細径繊維に硼珪酸ガラス系繊維を使用し、抄紙用の川水
濾過水を使用した比較例の濾材とを比べると、前者は後
者に対してナトリウム、リン、硼素が極めて少ないこと
が判る。そして、この実施例２の濾材を上記した実施例
１の濾材と比較すると、前者が後者に対して引張強度が
ＭＤ方向及びＣＤ方向について優れていることも判る。 （実施例９）この実施例のものは、ポリテトラフルオロ
エチレン（ＰＴＦＥ）のフィルムを一軸延伸しすると共
にこれにポリエステル不織布で裏打ち補強したものであ
り、通気性を有する（風速５．３cm／sec 、圧損５０mm
H2O ）ものであった。
細径繊維に硼珪酸ガラス系繊維を使用し、抄紙用の川水
濾過水を使用した比較例の濾材とを比べると、前者は後
者に対してナトリウム、リン、硼素が極めて少ないこと
が判る。そして、この実施例２の濾材を上記した実施例
１の濾材と比較すると、前者が後者に対して引張強度が
ＭＤ方向及びＣＤ方向について優れていることも判る。 （実施例９）この実施例のものは、ポリテトラフルオロ
エチレン（ＰＴＦＥ）のフィルムを一軸延伸しすると共
にこれにポリエステル不織布で裏打ち補強したものであ
り、通気性を有する（風速５．３cm／sec 、圧損５０mm
H2O ）ものであった。
【００２０】このものについて上記実施例１〜８と同様
に試験を行うと、溶出量は硼素０×１０-6ｇ／繊維ｇ，
６５℃×１２０hrs ｐｐｂ，リン１×１０-6ｇ／繊維
ｇ，６５℃×１２０hrs であった。尚、本発明において
は、使用する濾材の濾過体を純水中に硼素１×１０-6ｇ
／繊維ｇ，６５℃×１２０hrs （リン２×１０-6ｇ／繊
維ｇ，６５℃×１２０hrs）を超えて溶出しないような
構成とすれば、ほぼ同様の作用効果を有する。
に試験を行うと、溶出量は硼素０×１０-6ｇ／繊維ｇ，
６５℃×１２０hrs ｐｐｂ，リン１×１０-6ｇ／繊維
ｇ，６５℃×１２０hrs であった。尚、本発明において
は、使用する濾材の濾過体を純水中に硼素１×１０-6ｇ
／繊維ｇ，６５℃×１２０hrs （リン２×１０-6ｇ／繊
維ｇ，６５℃×１２０hrs）を超えて溶出しないような
構成とすれば、ほぼ同様の作用効果を有する。
【００２１】又、本発明で使用するフッ素樹脂フィルム
としては、テトラフルオロエチレンとパーフルオロアル
キル基含有フッ素樹脂コポリマーでＴＦＥ−ＨＦＰ（ヘ
キサフルオロプロペン）等の高分子のフィルムを延伸
（一軸、二軸）したもののうち、上記通気性を有するも
のとすることもできる。
としては、テトラフルオロエチレンとパーフルオロアル
キル基含有フッ素樹脂コポリマーでＴＦＥ−ＨＦＰ（ヘ
キサフルオロプロペン）等の高分子のフィルムを延伸
（一軸、二軸）したもののうち、上記通気性を有するも
のとすることもできる。
【００２２】
【発明の効果】この出願の発明は、上述の如くの構成を
有するものであるから、次の効果を有する。作用の欄に
記載した内容から、濾過された気体中に、半導体等の電
子分野における製品やバイオ系製品の性能悪化を招く硼
素やリンやが含まれない気体用濾材及びこれから作成し
たガスフィルターを提供できる。
有するものであるから、次の効果を有する。作用の欄に
記載した内容から、濾過された気体中に、半導体等の電
子分野における製品やバイオ系製品の性能悪化を招く硼
素やリンやが含まれない気体用濾材及びこれから作成し
たガスフィルターを提供できる。
Claims (10)
- 【請求項１】 基礎材料として、純水中に硼素１×１０
-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１２０hrs を超えて溶出しない
細径のガラス繊維を使用し、抄造用の水として純水を使
って作成したことを特徴とする気体用濾材。 - 【請求項２】 基礎材料として、純水中に硼素１×１０
-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１２０hrs 及びリン２×１０-6
ｇ／繊維ｇ，６５℃×１２０hrs を超えて溶出しない細
径のガラス繊維を使用し、抄造用の水として純水を使っ
て作成したことを特徴とする気体用濾材。 - 【請求項３】 基礎材料としてのガラス繊維を、純水及
び／又は無機性希酸で前処理して作成したことを特徴と
する請求項１又は２に記載の気体用濾材。 - 【請求項４】 細径のガラス繊維相互の結合を補強す
る、太径のガラス繊維を少量だけ混入させたことを特徴
とする請求項１乃至３のいずれかに記載の気体用濾材。 - 【請求項５】 太径のガラス繊維が、純水中に硼素１×
１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１２０hrs を超えて溶出し
ないものとしたことを特徴とする請求項４記載の気体用
濾材。 - 【請求項６】 太径のガラス繊維が、純水中に硼素１×
１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１２０hrs 及びリン２×１
０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１２０hrs を超えて溶出しな
いものとしたことを特徴とする請求項４記載の気体用濾
材。 - 【請求項７】 細径のガラス繊維が、石英ガラス系繊維
であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記
載の気体用濾材。 - 【請求項８】 細径及び太径のガラス繊維が、石英ガラ
ス系繊維であることを特徴とする請求項４乃至６のいず
れかに記載の気体用濾材。 - 【請求項９】 通気性を有する延伸されたフッ素樹脂フ
ィルムから成る気体用濾材。 - 【請求項１０】 請求項１乃至９のいずれかに記載の気
体用濾材により作成されたことを特徴とするフィルタ
ー。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4211773A JPH0763575B2 (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | 気体用濾材及びこれから作成したフィルター |
| JP21317898A JPH1190138A (ja) | 1992-08-07 | 1998-07-28 | 気体用濾材及びこれから作成したフィルター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4211773A JPH0763575B2 (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | 気体用濾材及びこれから作成したフィルター |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21317898A Division JPH1190138A (ja) | 1992-08-07 | 1998-07-28 | 気体用濾材及びこれから作成したフィルター |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0655019A true JPH0655019A (ja) | 1994-03-01 |
| JPH0763575B2 JPH0763575B2 (ja) | 1995-07-12 |
Family
ID=16611357
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4211773A Expired - Fee Related JPH0763575B2 (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | 気体用濾材及びこれから作成したフィルター |
| JP21317898A Pending JPH1190138A (ja) | 1992-08-07 | 1998-07-28 | 気体用濾材及びこれから作成したフィルター |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21317898A Pending JPH1190138A (ja) | 1992-08-07 | 1998-07-28 | 気体用濾材及びこれから作成したフィルター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (2) | JPH0763575B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003516848A (ja) * | 1999-12-15 | 2003-05-20 | ホリングワース・アンド・ボーズ・カンパニー | 低硼素含量マイクロガラス繊維の濾過媒質 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008049333A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-03-06 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | 複合濾材及び複合濾材の製造方法 |
| JP2010221177A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Duskin Co Ltd | ガラス繊維フィルタ |
| PT105900A (pt) | 2011-09-23 | 2013-03-25 | Active Space Technologies Actividades Aeroespaciais S A | Sistema passivo de seguimento solar |
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| JPS596231A (ja) * | 1982-07-05 | 1984-01-13 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | フッ素樹脂多孔質膜の製造方法 |
| JPS59190799A (ja) * | 1983-04-14 | 1984-10-29 | Onkyo Corp | 振動板エツジの取付法 |
| JPS606758A (ja) * | 1983-06-01 | 1985-01-14 | デグツサ・アクチエンゲゼルシヤフト | 被覆材料 |
| JPS63209722A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-08-31 | Hitachi Ltd | 薬品処理装置 |
| JPH01168313A (ja) * | 1987-12-22 | 1989-07-03 | Shimadzu Corp | 空気濾過材 |
| JPH02251214A (ja) * | 1989-03-24 | 1990-10-09 | Hokuetsu Paper Mills Ltd | 高性能エアーフィルター用ガラス繊維濾紙及びその製造方法 |
| JPH03202117A (ja) * | 1989-12-28 | 1991-09-03 | Toshiba Ceramics Co Ltd | シリカガラスフィルター及びその製造方法 |
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1992
- 1992-08-07 JP JP4211773A patent/JPH0763575B2/ja not_active Expired - Fee Related
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1998
- 1998-07-28 JP JP21317898A patent/JPH1190138A/ja active Pending
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| JP2003516848A (ja) * | 1999-12-15 | 2003-05-20 | ホリングワース・アンド・ボーズ・カンパニー | 低硼素含量マイクロガラス繊維の濾過媒質 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0763575B2 (ja) | 1995-07-12 |
| JPH1190138A (ja) | 1999-04-06 |
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