JPH0655446A - 被加工物の曲面加工方法及びその装置 - Google Patents
被加工物の曲面加工方法及びその装置Info
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- JPH0655446A JPH0655446A JP21021792A JP21021792A JPH0655446A JP H0655446 A JPH0655446 A JP H0655446A JP 21021792 A JP21021792 A JP 21021792A JP 21021792 A JP21021792 A JP 21021792A JP H0655446 A JPH0655446 A JP H0655446A
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- mask material
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】マイクロマシン等に使用されるような被加工物
の曲面加工を高能率、高品質で行うことができるように
する。 【構成】被加工物４の表面に所要のパターンのマスク材
３を設け、該マスク材３の開口部１０を被加工物４の表
面に向かって大きくなるように配設することにより、噴
射ノズル５から微粒子を含む固気２相混合噴流２をマス
ク材３上に高速噴射して、被加工物４の表面に曲面加工
をする。
の曲面加工を高能率、高品質で行うことができるように
する。 【構成】被加工物４の表面に所要のパターンのマスク材
３を設け、該マスク材３の開口部１０を被加工物４の表
面に向かって大きくなるように配設することにより、噴
射ノズル５から微粒子を含む固気２相混合噴流２をマス
ク材３上に高速噴射して、被加工物４の表面に曲面加工
をする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被加工物の曲面加工方
法及びその装置に係わり、特に微粒子と気体の固気２相
混合噴流を噴射ノズルを用いて、マスク材上から被加工
物の表面に高速噴射して曲面加工を行うようにした方法
とその装置であって、マイクロマシン等の微細加工に用
いて好適な被加工物の曲面加工方法及びその装置に関す
る。
法及びその装置に係わり、特に微粒子と気体の固気２相
混合噴流を噴射ノズルを用いて、マスク材上から被加工
物の表面に高速噴射して曲面加工を行うようにした方法
とその装置であって、マイクロマシン等の微細加工に用
いて好適な被加工物の曲面加工方法及びその装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術として、サンドブラスト法と
その装置は、金属材料、セラミックス材料、ガラス材
料、プラスチック材料等の基材の表面に装飾用の彫り加
工やバリ取り、下地の錆落し等の加工法とその装置とし
て利用されている。例えば特開昭６３−２２２７２号に
記載されているように砥粒と気体の固気２相流を噴射ノ
ズルから被加工物に噴射するようにしたサンドブラスト
法とその装置が知られている。
その装置は、金属材料、セラミックス材料、ガラス材
料、プラスチック材料等の基材の表面に装飾用の彫り加
工やバリ取り、下地の錆落し等の加工法とその装置とし
て利用されている。例えば特開昭６３−２２２７２号に
記載されているように砥粒と気体の固気２相流を噴射ノ
ズルから被加工物に噴射するようにしたサンドブラスト
法とその装置が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述した
ようなサンドブラスト法及びその装置は、微細加工には
不適当なものであって、せいぜい装飾用の彫刻加工、下
地の錆落し等の加工や電子機器部品のバリ取りとか、例
えばＶＴＲ、Ｒ−ＤＡＴ、ＨＤＤ等のＡＶＣＣ機器のヘ
ッドチップ、スライダー等の面取りやブレンド加工に用
いられる程度であった。また、従来の方法及びその装置
では、砥粒の粒径が１５μｍ〜数百μｍと大きく、粗面
しか得ることができなかった。また、ノズルの形状も円
筒のものが多く、ノズル径も大きく、ノズル精度も悪
い。また、固気２相流が不安定である等曲面加工を行う
ためには加工制御することが難しい。
ようなサンドブラスト法及びその装置は、微細加工には
不適当なものであって、せいぜい装飾用の彫刻加工、下
地の錆落し等の加工や電子機器部品のバリ取りとか、例
えばＶＴＲ、Ｒ−ＤＡＴ、ＨＤＤ等のＡＶＣＣ機器のヘ
ッドチップ、スライダー等の面取りやブレンド加工に用
いられる程度であった。また、従来の方法及びその装置
では、砥粒の粒径が１５μｍ〜数百μｍと大きく、粗面
しか得ることができなかった。また、ノズルの形状も円
筒のものが多く、ノズル径も大きく、ノズル精度も悪
い。また、固気２相流が不安定である等曲面加工を行う
ためには加工制御することが難しい。
【０００４】本発明は、以上のような問題点を解消する
ためになされたものであって、熟練を要することなく、
高能率で被加工物の表面の所要曲面加工を施すことがで
きるマイクロマシンのような製品の量産化を図ることを
目的にしている。
ためになされたものであって、熟練を要することなく、
高能率で被加工物の表面の所要曲面加工を施すことがで
きるマイクロマシンのような製品の量産化を図ることを
目的にしている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明では、噴射ノズル
から微粒子を含む固気２相混合噴流を高速噴射して被加
工物の表面を曲面加工する方法において、被加工物の表
面に所要のパターンのマスク材を被着して、そのマスク
材の開口部を被加工物の表面に向かって大きくすること
により固気２相混合噴流をマスク材上から高速噴射して
被加工物の表面に曲面加工を行うようにしたことを特徴
とする。
から微粒子を含む固気２相混合噴流を高速噴射して被加
工物の表面を曲面加工する方法において、被加工物の表
面に所要のパターンのマスク材を被着して、そのマスク
材の開口部を被加工物の表面に向かって大きくすること
により固気２相混合噴流をマスク材上から高速噴射して
被加工物の表面に曲面加工を行うようにしたことを特徴
とする。
【０００６】また、噴射ノズルから微粒子を含む固気２
相混合噴流を高速噴射して被加工物の表面を曲面加工す
る装置において、被加工物の表面に所要のパターンのマ
スク材を設け、前記マスク材の開口部を被加工物の表面
に向かって大きくなるように配設したことを特徴とす
る。
相混合噴流を高速噴射して被加工物の表面を曲面加工す
る装置において、被加工物の表面に所要のパターンのマ
スク材を設け、前記マスク材の開口部を被加工物の表面
に向かって大きくなるように配設したことを特徴とす
る。
【０００７】
【作用】被加工物の表面に所要のパターンのマスク材を
被着してそのマスク材の開口部を被加工物の表面に向か
って大きくすることにより、固気２相混合噴流をマスク
材上から高速噴射させ、その開口部内で拡大流を生成さ
せ、この拡大流の流体エネルギーの作用で被加工物の表
面に曲面加工するための加工制御を行うと共に、加工効
率を高める。
被着してそのマスク材の開口部を被加工物の表面に向か
って大きくすることにより、固気２相混合噴流をマスク
材上から高速噴射させ、その開口部内で拡大流を生成さ
せ、この拡大流の流体エネルギーの作用で被加工物の表
面に曲面加工するための加工制御を行うと共に、加工効
率を高める。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の被加工物の曲面加工方法及び
その装置に係わる一実施例を図１乃至図３を参照して説
明する。ここで、図１は本発明の被加工物の曲面加工方
法及びその装置を説明する正面断面図である。図２は図
１の平面図、図３は図２のＹ−Ｙ線上における側面図で
ある。
その装置に係わる一実施例を図１乃至図３を参照して説
明する。ここで、図１は本発明の被加工物の曲面加工方
法及びその装置を説明する正面断面図である。図２は図
１の平面図、図３は図２のＹ−Ｙ線上における側面図で
ある。
【０００９】１は被加工物の曲面加工装置であり、被加
工物４の表面に所要のパターンのマスク材３を被着さ
せ、噴射ノズル５からこのマスク材３上に微粒子と気体
の固気２相混合噴流２を高速噴射させ、前記マスク材３
の開口部１０を介して、被加工物４の表面を曲面加工す
るようにしたものである。
工物４の表面に所要のパターンのマスク材３を被着さ
せ、噴射ノズル５からこのマスク材３上に微粒子と気体
の固気２相混合噴流２を高速噴射させ、前記マスク材３
の開口部１０を介して、被加工物４の表面を曲面加工す
るようにしたものである。
【００１０】そして、この曲面加工装置１は、微粒子と
気体の固気２相混合噴流２をマスク材３上に高速噴射さ
せ、被加工物４の表面を曲面加工する長方角形を成した
噴射ノズル５を備えており、そのノズル５の上部には図
示しない固気２相混合流生成装置及び固気２相混合流供
給輸送装置が配設されている。
気体の固気２相混合噴流２をマスク材３上に高速噴射さ
せ、被加工物４の表面を曲面加工する長方角形を成した
噴射ノズル５を備えており、そのノズル５の上部には図
示しない固気２相混合流生成装置及び固気２相混合流供
給輸送装置が配設されている。
【００１１】このようにして微粒子が気体中に均一に分
散された固気２相混合流６を得る方法とその装置は、本
発明者が発明し、本発明の特許出願人が平成２年９月２
５日に出願し、平成４年５月１日に公開された特開平４
−１３１１３０号（特願平２−２５２０１３号）「均一
な固気２相混合流生成方法及び粉体供給輸送装置」で得
ることができる。
散された固気２相混合流６を得る方法とその装置は、本
発明者が発明し、本発明の特許出願人が平成２年９月２
５日に出願し、平成４年５月１日に公開された特開平４
−１３１１３０号（特願平２−２５２０１３号）「均一
な固気２相混合流生成方法及び粉体供給輸送装置」で得
ることができる。
【００１２】次に、マスク材３を被着した被加工物４を
載置した被加工物取付治具７を曲面加工装置１の可動台
８に固定する。この可動台８と共に被加工物４は、前
後、左右、上下に移動可能となる。前記被加工物４の材
料としてはＡｌ2 Ｏ3 、Ａｌ2Ｏ3 −ＴｉＣを用いた。
その被加工物４の寸法は、縦Ｌ1 ＝５ｍｍ、横Ｌ2 ＝
７．８ｍｍ、厚さＴ1 ＝２００μｍとする。
載置した被加工物取付治具７を曲面加工装置１の可動台
８に固定する。この可動台８と共に被加工物４は、前
後、左右、上下に移動可能となる。前記被加工物４の材
料としてはＡｌ2 Ｏ3 、Ａｌ2Ｏ3 −ＴｉＣを用いた。
その被加工物４の寸法は、縦Ｌ1 ＝５ｍｍ、横Ｌ2 ＝
７．８ｍｍ、厚さＴ1 ＝２００μｍとする。
【００１３】また、前記噴射ノズル５は、所要の位置に
固定されている。この噴射ノズル５の材料としては、Ａ
ｌ2 Ｏ3 等のセラミックス材料を用いた。その噴射ノズ
ル５のノズル噴口９の寸法はＷ1 ＝２００〜１０００μ
ｍ、長さＬ3 ＝９ｍｍとする。
固定されている。この噴射ノズル５の材料としては、Ａ
ｌ2 Ｏ3 等のセラミックス材料を用いた。その噴射ノズ
ル５のノズル噴口９の寸法はＷ1 ＝２００〜１０００μ
ｍ、長さＬ3 ＝９ｍｍとする。
【００１４】次に、被加工物４の表面に施した前記マス
ク材３だあるが、図４乃至図６を用いて詳述する。ここ
で、図４は本発明のマスク材３の正面断面図であり、図
５は図４の平面図、図６は図５のＹ−Ｙ線上の側面図で
ある。
ク材３だあるが、図４乃至図６を用いて詳述する。ここ
で、図４は本発明のマスク材３の正面断面図であり、図
５は図４の平面図、図６は図５のＹ−Ｙ線上の側面図で
ある。
【００１５】マスク材３の所要のパターンは図７のマイ
クロカムの正面断面図に示したように、マイクロマシン
等に使用するもので、このマスク材３の所要のパターン
の寸法として微小曲面加工ができるようにパターニング
されている。この実施例ではマイクロカムの所要のパタ
ーンで形成したマスク材３を例示した。ここでは、マス
ク材３として、ステンレス材料等のメタルマスクを用い
た。
クロカムの正面断面図に示したように、マイクロマシン
等に使用するもので、このマスク材３の所要のパターン
の寸法として微小曲面加工ができるようにパターニング
されている。この実施例ではマイクロカムの所要のパタ
ーンで形成したマスク材３を例示した。ここでは、マス
ク材３として、ステンレス材料等のメタルマスクを用い
た。
【００１６】マスク材３の寸法は次の通りである。縦Ｌ
4 ＝９ｍｍ、横Ｌ5 ＝７．８ｍｍ、厚さＴ2 ＝２００μ
ｍである。また、マスク材３の所要のパターンの形状寸
法は、前記マスク材３を用いて、その開口部１０を複数
の階段状の末広がり管１１で形成されており、その寸法
は次の通りである。
4 ＝９ｍｍ、横Ｌ5 ＝７．８ｍｍ、厚さＴ2 ＝２００μ
ｍである。また、マスク材３の所要のパターンの形状寸
法は、前記マスク材３を用いて、その開口部１０を複数
の階段状の末広がり管１１で形成されており、その寸法
は次の通りである。
【００１７】その開口部１０の階段１段目の寸法は、幅
Ｗ2 ＝２００μｍ、長さＬ6 ＝５ｍｍ、厚さＴ3 ＝１０
０μｍ、また、その２段目の寸法は、幅Ｗ3 ＝６００μ
ｍ、長さＬ7 ＝９ｍｍ、厚さＴ4 ＝１００μｍとする。
Ｗ2 ＝２００μｍ、長さＬ6 ＝５ｍｍ、厚さＴ3 ＝１０
０μｍ、また、その２段目の寸法は、幅Ｗ3 ＝６００μ
ｍ、長さＬ7 ＝９ｍｍ、厚さＴ4 ＝１００μｍとする。
【００１８】以上のように一実施例では、マスク材３の
複数の開口部１０をマイクロカム等のマイクロマシンに
好適な形状としたが、この形状に限らず連続した直線状
又は曲線状の末広がり管であってもよい。
複数の開口部１０をマイクロカム等のマイクロマシンに
好適な形状としたが、この形状に限らず連続した直線状
又は曲線状の末広がり管であってもよい。
【００１９】次に、マスク材３と被加工物４との取付寸
法であるが、マスク材３と被加工物４とを、図２に示す
ように上下、左右対称になるように図示しない治具を用
いて重ね合わせ被着する。
法であるが、マスク材３と被加工物４とを、図２に示す
ように上下、左右対称になるように図示しない治具を用
いて重ね合わせ被着する。
【００２０】次に、噴射ノズル５のノズル噴口９と被加
工物取付治具７に載置したマスク材３との寸法関係を表
すと、被加工物４を前記主送り方向（図１、図２で左右
方向）に噴射ノズル５のノズル噴口９の軸線ａとマスク
材３の開口部１０の軸線ａが一致する位置になるように
所要の送りピッチＰで間欠送りする。ここでは送りピッ
チＰ＝８００μｍとする。
工物取付治具７に載置したマスク材３との寸法関係を表
すと、被加工物４を前記主送り方向（図１、図２で左右
方向）に噴射ノズル５のノズル噴口９の軸線ａとマスク
材３の開口部１０の軸線ａが一致する位置になるように
所要の送りピッチＰで間欠送りする。ここでは送りピッ
チＰ＝８００μｍとする。
【００２１】また、マスク材３の表面に投影した噴射ノ
ズル５のノズル噴口９の寸法Ｗ1 （幅）×Ｌ3 （長さ）
がマスク材３の開口部１０の寸法Ｗ2 （幅）×Ｌ6 （長
さ）以上とする。また、その噴口９の先端部とマスク材
３の表面との間隔Ｈ＝１〜１０ｍｍとする。
ズル５のノズル噴口９の寸法Ｗ1 （幅）×Ｌ3 （長さ）
がマスク材３の開口部１０の寸法Ｗ2 （幅）×Ｌ6 （長
さ）以上とする。また、その噴口９の先端部とマスク材
３の表面との間隔Ｈ＝１〜１０ｍｍとする。
【００２２】次に、このようにしてマスク材３上から噴
射ノズル５を使用して、例えば粒径１〜３μｍのＳｉＣ
を含む固気２相混合噴流２を１〜６ｋｇ／ｃｍ2 の噴射
圧力で被加工物４の表面に高速噴射する。そのようにす
ると、固気２相混合噴流２は、マスク材３に設けた階段
状の末広がり管１１を成した開口部１０から、被加工物
４の表面に向かって拡大流を形成し、この拡大流の拡散
された流体エネルギーにより被加工物４の表面には曲面
溝１２の加工が施される。
射ノズル５を使用して、例えば粒径１〜３μｍのＳｉＣ
を含む固気２相混合噴流２を１〜６ｋｇ／ｃｍ2 の噴射
圧力で被加工物４の表面に高速噴射する。そのようにす
ると、固気２相混合噴流２は、マスク材３に設けた階段
状の末広がり管１１を成した開口部１０から、被加工物
４の表面に向かって拡大流を形成し、この拡大流の拡散
された流体エネルギーにより被加工物４の表面には曲面
溝１２の加工が施される。
【００２３】ここでは、前記所要パターンのマスク材３
を被着した被加工物４の表面には、図７に示すようにマ
イクロカムの曲面溝１２の加工が施される。その加工寸
法は、最大深さＤ＝５０μｍであり、また、マスク材３
に設けた階段状の末広がり管１１を成す開口部１０の１
段目の寸法（幅Ｗ2 ＝２００μｍ、厚さＴ3 ＝１００μ
ｍ）と２段目の寸法（幅Ｗ3 ＝６００μｍ、厚さＴ4 ＝
１００μｍ）との関係で開口部１０内で生成される拡大
流の流体エネルギーの分布曲線が異なり、この１段目の
寸法と２段目の寸法を所要の寸法とすることにより、流
体エネルギー分布曲線を所要の分布曲線とすることがで
き、これにより曲面溝１２の加工制御を行う。
を被着した被加工物４の表面には、図７に示すようにマ
イクロカムの曲面溝１２の加工が施される。その加工寸
法は、最大深さＤ＝５０μｍであり、また、マスク材３
に設けた階段状の末広がり管１１を成す開口部１０の１
段目の寸法（幅Ｗ2 ＝２００μｍ、厚さＴ3 ＝１００μ
ｍ）と２段目の寸法（幅Ｗ3 ＝６００μｍ、厚さＴ4 ＝
１００μｍ）との関係で開口部１０内で生成される拡大
流の流体エネルギーの分布曲線が異なり、この１段目の
寸法と２段目の寸法を所要の寸法とすることにより、流
体エネルギー分布曲線を所要の分布曲線とすることがで
き、これにより曲面溝１２の加工制御を行う。
【００２４】その結果、所要の曲面溝１２の曲率半径が
得られる。また、その開口部１０の２段目の幅Ｗ3 の終
端部１３ａ、１３ｂで被加工物４の表面にマスクを施
し、曲面溝１２の加工溝幅Ｗ4 を規制するようにしてあ
る。ここではＷ4 ＝Ｗ3 ＝６００μｍとする。
得られる。また、その開口部１０の２段目の幅Ｗ3 の終
端部１３ａ、１３ｂで被加工物４の表面にマスクを施
し、曲面溝１２の加工溝幅Ｗ4 を規制するようにしてあ
る。ここではＷ4 ＝Ｗ3 ＝６００μｍとする。
【００２５】また、このようにして被加工物４の表面に
衝突した前記固気２相混合噴流２（拡大流）及び被加工
物の加工屑等の塵埃は、マスク材３の開口部１０に連通
する固気２相混合噴流排出口１４ａ、１４ｂから円滑に
外部へ排出されるようにしてある。
衝突した前記固気２相混合噴流２（拡大流）及び被加工
物の加工屑等の塵埃は、マスク材３の開口部１０に連通
する固気２相混合噴流排出口１４ａ、１４ｂから円滑に
外部へ排出されるようにしてある。
【００２６】ここでは、特にノズル噴口９を長方角形に
形成して、その噴口９とマスク材３の開口部１０を同一
軸線ａ上に成し、ノズル噴口９の寸法をマスク材３の開
口部１０の寸法より大きくすることにより、固気２相混
合噴流２を均一にマスク材３上に高速噴射させることが
できる。
形成して、その噴口９とマスク材３の開口部１０を同一
軸線ａ上に成し、ノズル噴口９の寸法をマスク材３の開
口部１０の寸法より大きくすることにより、固気２相混
合噴流２を均一にマスク材３上に高速噴射させることが
できる。
【００２７】また、このように均一な固気２相混合噴流
２はマスク材３の開口部１０内で軸対称の拡大流とな
り、その軸対称の拡大流がマスクで覆われていない被加
工物４の表面に衝突して、軸対称の曲面溝１２の微細加
工を施す。その表面粗さは、０．１μｍ程度に仕上が
る。また、被加工物４の表面構造、表面性状は良質であ
る。
２はマスク材３の開口部１０内で軸対称の拡大流とな
り、その軸対称の拡大流がマスクで覆われていない被加
工物４の表面に衝突して、軸対称の曲面溝１２の微細加
工を施す。その表面粗さは、０．１μｍ程度に仕上が
る。また、被加工物４の表面構造、表面性状は良質であ
る。
【００２８】その後、マスク材３を除去すると前述した
図７に示すような所要の加工が施された被加工物４を得
ることができる。図７はこの方法及びその装置を用いて
加工したマイクロカムの実施例であり、ここでは複数の
曲面溝１２の加工が施される。
図７に示すような所要の加工が施された被加工物４を得
ることができる。図７はこの方法及びその装置を用いて
加工したマイクロカムの実施例であり、ここでは複数の
曲面溝１２の加工が施される。
【００２９】これまでの実施例では、噴射ノズル５のノ
ズル噴口９を長方角形で形成したものを例示したが、円
形であっても良く、マスクパターンの形状、被加工物４
の表面の形状に応じて異形に変更できることは勿論であ
る。また、所要のマスク材３を被加工物４に被着し、同
様の技術的思想により複数個のマイクロカムを同一被加
工物４から得られることは言うまでもなく、高能率で、
量産加工することができる。
ズル噴口９を長方角形で形成したものを例示したが、円
形であっても良く、マスクパターンの形状、被加工物４
の表面の形状に応じて異形に変更できることは勿論であ
る。また、所要のマスク材３を被加工物４に被着し、同
様の技術的思想により複数個のマイクロカムを同一被加
工物４から得られることは言うまでもなく、高能率で、
量産加工することができる。
【００３０】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、被加工
物の複雑なパターンの曲面加工を均一な品質で施すこと
ができ、また、その表面構造、表面性状が良質であるの
で、マイクロマシン等の好適な微細加工を高能率で施す
ことができる。
物の複雑なパターンの曲面加工を均一な品質で施すこと
ができ、また、その表面構造、表面性状が良質であるの
で、マイクロマシン等の好適な微細加工を高能率で施す
ことができる。
【図１】本発明の被加工物の曲面加工方法及び装置を説
明する正面断面図である。
明する正面断面図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図２のＹ−Ｙ線上における側面図である。
【図４】本発明のマスク材の正面断面図である。
【図５】図４の平面図である。
【図６】図５のＹ−Ｙ線上における側面図である。
【図７】本発明の被加工物の曲面加工方法及びその装置
を用いて曲面加工を施した被加工物の正面断面図であ
る。
を用いて曲面加工を施した被加工物の正面断面図であ
る。
１ 被加工物の曲面加工装置 ２ 固気２相混合噴流 ３ マスク材 ４ 被加工物 ５ 噴射ノズル ６ 固気２相混合流 ７ 被加工物取付治具 ８ 可動台 ９ ノズル噴口 １０ 開口部 １１ 末広がり管 １２ 曲面溝 １３ａ、１３ｂ 終端部 １４ａ、１４ｂ 固気２相混合噴流 Ｌ1 被加工物の縦寸法 Ｌ2 被加工物の横寸法 Ｌ3 ノズル噴口の長さ Ｌ4 マスク材の縦寸法 Ｌ5 マスク材の横寸法 Ｌ6 開口部の長さ Ｗ1 ノズル噴口の幅寸法 Ｗ2 開口部（１段目）の幅 Ｗ3 開口部（２段目）の幅 Ｗ4 曲面溝の幅 Ｈ 噴射ノズルの先端部と被加工物表面との間隔 Ｔ1 被加工物の厚さ Ｔ2 マスク材の厚さ Ｔ3 開口部（１段目）の厚さ Ｔ4 開口部（２段目）の厚さ Ｄ 曲面溝の最大深さ ａ 軸線 Ｐ 送りピッチ
Claims (12)
- 【請求項１】 噴射ノズルから微粒子を含む固気２相混
合噴流を高速噴射して被加工物の表面を曲面加工する方
法において、 前記被加工物の表面に所要のパターンのマスク材を被着
し、該マスク材の開口部を前記被加工物の表面に向かっ
て大きくすることにより、前記固気２相混合噴流を前記
マスク材の表面上から高速噴射して前記被加工物の表面
に曲面を形成することを特徴とする被加工物の曲面加工
方法。 - 【請求項２】 前記マスク材の開口部を前記被加工物の
表面に向かって階段状の断面を成すように配し、前記固
気２相混合噴流を前記マスク材の表面上から高速噴射し
て、前記マスク材の開口部内で拡大流を生成させ、前記
拡大流の流体エネルギーにより前記被加工物の表面に曲
面を形成することを特徴とする請求項１記載の被加工物
の曲面加工方法。 - 【請求項３】 前記噴射ノズルのノズル噴口を長方角形
で形成し、このノズル噴口の前記マスク材上への投影寸
法が前記マスク材の開口部寸法より大きくすることによ
り、前記被加工物の表面に微粒子が均一に分散した前記
固気２相混合噴流を高速噴射して均一な曲面を形成する
ことを特徴とする請求項１記載の被加工物の曲面加工方
法。 - 【請求項４】 前記噴射ノズルのノズル噴口の軸線と前
記マスク材の開口部の軸線とを同一線上に設け、前記マ
スク材上から前記固気２相混合噴流を高速噴射すること
により、前記マスク材の開口部内で軸対称の拡大流を生
成させることを特徴とする請求項１記載の被加工物の曲
面加工方法。 - 【請求項５】 前記マスク材の開口部に連通する固気２
相混合噴流排出口を設け、前記固気２相混合噴流を被加
工物の表面から瞬時に外部へ排出することを特徴とする
請求項１又は請求項３記載の被加工物の曲面加工方法。 - 【請求項６】 前記マスク材の開口部の終端部を前記被
加工物の表面に被着させることにより、その終端部で被
加工物の曲面加工を規制することを特徴とする請求項１
又は請求項２記載の被加工物の曲面加工方法。 - 【請求項７】 噴射ノズルから微粒子を含む固気２相混
合噴流を高速噴射して被加工物の表面を曲面加工する装
置において、 前記被加工物の表面に所要パターンのマスク材を被着す
ると共に、前記マスク材の開口部を前記被加工物の表面
に向かって大きくなるように配設したことを特徴とする
被加工物の曲面加工装置。 - 【請求項８】 前記被マスク材の開口部を前記被加工物
の表面に向かって階段状の断面を成すように配したこと
を特徴とする請求項７記載の被加工物の曲面加工装置。 - 【請求項９】 前記噴射ノズルのノズル噴口を長方角形
で成し、このノズル噴口寸法が前記マスク材の開口部寸
法より大きくしたことを特徴とする請求項７記載の被加
工物の曲面加工装置。 - 【請求項１０】 前記噴射ノズルのノズル噴口の軸線と
前記マスク材の開口部の軸線とを同一線上に配したこと
を特徴とする請求項７記載の被加工物の曲面加工装置。 - 【請求項１１】 前記マスク材の開口部に連通する固気
２相混合噴流排出口を設けたことを特徴とする請求項７
又は請求項８記載の被加工物の曲面加工装置。 - 【請求項１２】 前記マスク材の開口部の終端部を前記
被加工物の表面に被着したことを特徴とする請求項７又
は請求項８記載の被加工物の曲面加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21021792A JPH0655446A (ja) | 1992-08-06 | 1992-08-06 | 被加工物の曲面加工方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21021792A JPH0655446A (ja) | 1992-08-06 | 1992-08-06 | 被加工物の曲面加工方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0655446A true JPH0655446A (ja) | 1994-03-01 |
Family
ID=16585728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21021792A Pending JPH0655446A (ja) | 1992-08-06 | 1992-08-06 | 被加工物の曲面加工方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0655446A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104209867A (zh) * | 2013-08-27 | 2014-12-17 | 东旭集团有限公司 | 玻璃基板表面处理的方法及系统 |
| CN106272088A (zh) * | 2016-08-11 | 2017-01-04 | 张家港市超声电气有限公司 | 太阳能电池用硅片的制绒前预处理方法和设备 |
-
1992
- 1992-08-06 JP JP21021792A patent/JPH0655446A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104209867A (zh) * | 2013-08-27 | 2014-12-17 | 东旭集团有限公司 | 玻璃基板表面处理的方法及系统 |
| CN106272088A (zh) * | 2016-08-11 | 2017-01-04 | 张家港市超声电气有限公司 | 太阳能电池用硅片的制绒前预处理方法和设备 |
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