JPH065690A - ペレット突き上げ針設定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 突き上げ針の原位置を容易かつ正確に認識
し、ペレットボンディングの生産性を向上すること。 【構成】 突き上げ針１３の先端部と、この先端部と対
向配置されたペレット１の位置レベルとの距離ｚを測定
するに際し、(a) 吸着コレット１５を下動させてペレッ
ト１を吸着保持させ、その後、吸着コレット１５をα分
上昇させて停止させる工程と、(b) 突き上げ針１３を上
昇させ、その先端が吸着コレット１５に保持されている
ペレット１の反吸着面に到達するまでの距離βを測定す
る工程と、(c) ｚ＝β−αの式からｚを求める工程とを
有してなるもの。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はペレットボンディング装
置におけるペレット突き上げ針設定方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ペレットボンディング装置において、ペ
レット供給部に置かれたウエハシート上に粘着された半
導体ペレットのピックアップは、吸着コレットを下動
させてペレットを吸着又は該ペレットにわずかな隙間を
おいて近接せしめ、突き上げ針を原位置から上昇させ
て、の吸着コレットとの間にペレットをサンドイッチ
し、ペレットをサンドイッチした突き上げ針と吸着コ
レットを同時に上昇させて、ウエハシートからペレット
を分離し、吸着コレットはウエハシートから分離され
たペレットを真空吸着して移送し、リードフレームのボ
ンディング位置にボンディングし、同時に突き上げ針は
原位置に下降する。

【０００３】然るに、従来技術では、ペレットの品種切
換等により、突き上げ針の交換を行なった場合、突き上
げ針の取付け位置の再現性を得るため、突き上げ針の先
端部がその上方に対向配置されたペレットの位置レベル
に対してなす距離ｚを、その都度、専用治具、ゲージ等
により調整している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来技術
では、突き上げ針の先端部を、上述の如くの専用治具、
ゲージ等を用いて位置設定するものであるから、その調
整作業に多大な時間を要し、作業者による機差を生じ易
く、生産性を阻害する。

【０００５】本発明は、突き上げ針の先端部位置を容易
かつ正確に認識し、ペレットボンディングの生産性を向
上することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、ペレット突き上げ針の駆動装置により該突き上げ針
の突き上げ位置を設定するペレット突き上げ針設定方法
において、ペレット突き上げ針の先端部と、この先端部
と対向配置された半導体ペレットの位置レベルとの距離
ｚを測定するに際し、ａ．半導体ペレットを間にペレッ
ト突き上げ針と対向する状態で吸着コレットを配置し、
先ずこの吸着コレットを半導体ペレット方向に移動させ
て該半導体ペレットを吸着保持させ、その後、吸着コレ
ットをα分反半導体ペレット方向に移動させて停止させ
る工程と、ｂ．ペレット突き上げ針を半導体ペレット方
向に移動させ、その先端が吸着コレットに保持されてい
る半導体ペレットの反吸着面に到達するまでの距離βを
測定する工程と、ｃ．ｚ＝β−αの式からｚを求める工
程とを有してなるようにしたものである。

【０００７】請求項２に記載の本発明は、請求項１で求
めたｚに基づき、前記駆動装置をして前記ペレット突き
上げ針の突き上げ量を調整するようにしたものである。

【０００８】

【作用】ペレットの品種切換等により、突き上げ針の交
換を行なった後、ペレット突き上げ針の先端部と、この
先端部と対向配置された半導体ペレットの位置レベルと
の距離ｚが正確に求められる。そして、このｚが、交換
後の突き上げ針の先端部位置を示すものとなる。

【０００９】

【実施例】図１はペレットボンディング装置における突
き上げ針の先端部位置認識手順を示す模式図、図２はペ
レットボンディング装置におけるペレットピックアップ
手順を示す模式図である。

【００１０】ペレットボンディング装置１０は、不図示
のペレット供給台に置かれたウエハシート２上に粘着さ
れた半導体ペレット１を、突き上げ針駆動装置１２によ
り駆動される突き上げ針１３で突き上げる。そして、コ
レット駆動装置１４により駆動される吸着コレット１５
により、上述の突き上げられたペレット１を吸着して移
送し、不図示のリードフレームのボンディング位置にボ
ンディングする。

【００１１】尚、突き上げ針駆動装置１２は突き上げ針
１３をばね１６により突き上げカム１７に押付け、この
カム１７をモータ１８により回転させることにより、突
き上げ針１３を昇降する。また、突き上げ針１３の周囲
には、吸着孔１１ａを有する吸着筒１１が設けられ、突
き上げ針１３の突き上げ動作に先立ち、突き上げ針１３
にて突き上げられるペレット１の周辺におけるウエハシ
ート２裏面を吸着保持する。制御装置１００は、エンコ
ーダ１９によりモータ１８の回転量を検出しつつ、モー
タ駆動部２０によりモータ１８を回転制御することに
て、カム１７の回転角を調整し、突き上げ針１３の突き
上げ量を制御する。

【００１２】また、コレット駆動装置１４は吸着コレッ
ト１５をばね２１により昇降ヘッド２２に押付け、この
ヘッド２２に螺合している送りねじ２３をモータ２４に
より回転させることにより、吸着コレット１５を昇降す
る。制御装置１００は、エンコーダ２５によりモータ２
４の回転量を検出しつつ、モータ駆動部２６によりモー
タ２４を回転制御することにて、ねじ２３の回転量を調
整し、吸着コレット１５の昇降量を制御する。

【００１３】尚、上述のモータ１８、２４はリニアアク
チュエータにより代替えできることはもちろんである。

【００１４】然るに、ペレットボンディング装置１０に
あっては、突き上げ針駆動装置１２により突き上げ針１
３の突き上げ位置を設定するに際し、突き上げ針１３の
先端部と、この先端部と対向配置された半導体ペレット
１の位置レベルとの距離ｚ"を演算装置１０１において
下記ａ〜ｃの手順で測定する。

【００１５】ａ．吸着筒１１上にテスト用のペレット１
を置く。そして、ペレット１の上方に突き上げ針１３と
対向する状態で吸着コレット１５を配置し（図１（Ａ）
参照）、先ずこの吸着コレット１５を下動させてペレッ
ト１を吸着保持させ（図１（Ｂ）参照）、その後、吸着
コレット１５をα分上昇させて停止させる（図１（Ｃ）
参照）。

【００１６】尚、図１（Ｂ）において、ペレット１を吸
着保持する吸着コレット１５の下動位置は、吸着コレッ
ト１５の接点１５Ａが昇降ヘッド２２の接点２２Ａから
離れるタイミングを電気的に検知することにより検出さ
れる。

【００１７】また、図１（Ｃ）において、吸着コレット
１５の上昇量αは、吸着コレット１５の上昇過程におけ
るエンコーダ２５の検出回転量から検出される。

【００１８】ｂ．突き上げ針１３を上昇させ、その先端
が吸着コレット１５に保持されているペレット１の反吸
着面に到達するまでの距離βを測定する（図１（Ｄ）参
照）。

【００１９】尚、図１（Ｄ）において、突き上げ針１３
の先端がペレット１の反吸着面に到達したタイミング
は、突き上げ針１３の上昇により、吸着コレット１５の
接点１５Ａが昇降ヘッド２２の接点２２Ａから離れるタ
イミングとされる。また、突き上げ針１３の上昇量β
は、突き上げ針１３の上昇過程におけるエンコーダ１９
の検出回転量から検出される。

【００２０】ｃ．演算装置１０１は、上述a 、b のα、
βを用いて、ｚ＝β−αの式からｚを求める。

【００２１】そして、ペレットボンディング装置１０に
よるペレット１のピックアップは下記(1) 〜(5) の手順
でなされる。このとき、制御装置１００は、演算装置１
０１で求めたｚを突き上げ針１３の原位置として設定
し、突き上げ針駆動装置１２をして突き上げ針１３の突
き上げ量を以下の如くに調整する。

【００２２】(1) 不図示のペレット供給台上に、ペレッ
ト１が粘着されたウエハシート２を置く（図２（Ａ）参
照）。

【００２３】(2) 吸着筒１１によってウエハシート２裏
面を吸着保持させた後、吸着コレット１５を下動させて
ペレット１を吸着保持させる（図２（Ｂ）参照）。ペレ
ット１を吸着保持する吸着コレット１５の下動位置は、
前述と同様に、吸着コレット１５の接点１５Ａが昇降ヘ
ッド２２の接点２２Ａから離れるタイミングを電気的に
検知することにより、検出される。

【００２４】(3) 突き上げ針１３を原位置からｚ＋ｔ
（ｔはウエハシート２の厚み）だけ上昇させ、突き上げ
針１３と吸着コレット１５との間にペレット１をサンド
イッチする（図２（Ｂ）〜（Ｃ）参照）。

【００２５】(4) ペレット１をサンドイッチした突き上
げ針１３と吸着コレット１５を同時にｈ1 だけ上昇させ
る（図２（Ｄ）参照）。これにより、吸着筒１１に真空
吸着されているウエハシート２からペレット１を分離す
る。

【００２６】(5) 吸着コレット１５は更にｈ2 だけ上昇
し（図２（Ｅ）参照）、ペレット１を真空吸着して移送
し、リードフレームのボンディング位置にボンディング
する。同時に、突き上げ針１３は、原位置に下降する。

【００２７】尚、本発明の実施において、前述a 〜c に
よりｚを求めるに際し、吸着筒１１上にウエハシート２
を介してテスト用のペレット１を配置し、求められるｚ
にウエハシート２の厚みｔを含むものとするものであっ
ても良い。この場合において、上述(3) の突き上げ針１
３の上昇量はｔを内包済のｚそのものとなる。

【００２８】また、上記実施例においては、ウエハシー
トを水平置きするタイプで説明したが、垂直置きタイプ
のものにも適用することは可能である。

【００２９】更に、実施例では、演算装置１０１で求め
たｚを突き上げ針１３の原位置として設定したが、この
ｚに基づく別位置を原位置として設定するものであって
も良い。

【００３０】以下、本実施例の作用について説明する。
ペレット１の品種切換等により、突き上げ針１３の交換
を行なった後、ペレット突き上げ針１３の先端部と、こ
の先端部と対向配置されたペレット１の位置レベルとの
距離ｚが正確に求められる。そして、このｚが、交換後
の突き上げ針１３の先端部位置を示すものとなる。

【００３１】よって、突き上げ針１３の先端部位置を容
易かつ正確に認識し、駆動装置１２による突き上げ針１
３の突き上げ量調整を短時間にて行なうことができ、ペ
レットボンディングの生産性を向上できる。

【００３２】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、突き上げ
針の先端部位置を容易かつ正確に認識し、ペレットボン
ディングの生産性を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１はペレットボンディング装置における突き
上げ針の先端部位置認識手順を示す模式図である。

【図２】図２はペレットボンディング装置におけるペレ
ットピックアップ手順を示す模式図である。

【符号の説明】

１ ペレット １１ 吸着筒 １３ 突き上げ針 １５ 吸着コレット

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ペレット突き上げ針の駆動装置により該
   突き上げ針の突き上げ位置を設定するペレット突き上げ
   針設定方法において、 ペレット突き上げ針の先端部と、この先端部と対向配置
   された半導体ペレットの位置レベルとの距離ｚを測定す
   るに際し、 ａ．半導体ペレットを間にペレット突き上げ針と対向す
   る状態で吸着コレットを配置し、先ずこの吸着コレット
   を半導体ペレット方向に移動させて該半導体ペレットを
   吸着保持させ、その後、吸着コレットをα分反半導体ペ
   レット方向に移動させて停止させる工程と、 ｂ．ペレット突き上げ針を半導体ペレット方向に移動さ
   せ、その先端が吸着コレットに保持されている半導体ペ
   レットの反吸着面に到達するまでの距離βを測定する工
   程と、 ｃ．ｚ＝β−αの式からｚを求める工程とを有してなる
   ことを特徴とするペレット突き上げ針設定方法。
2. 【請求項２】 請求項１で求めたｚに基づき、前記駆動
   装置をして前記ペレット突き上げ針の突き上げ量を調整
   するペレット突き上げ針設定方法。