JPH07456Y2 - チップ突き上げ装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、半導体回路素子等を製造する際において、ダ
イシングされたウエハをブレーキングすると共に、突き
上げを行うことによって、チップをピックアップするこ
とができるようにするためのチップ突き上げ装置に関す
るものである。

［従来の技術］ 半導体集積回路素子は、ダイシングしたウエハをブレー
キングすることによって形成したチップを、リードフレ
ームにボンディングして樹脂封止を行うことにより製造
・組立が行われるが、前述のチップはウエハから直接リ
ードフレームに装着するのではなく、まずウエハのうち
の良品のチップだけをピックアップして取り出し、チッ
プ整列治具に整列した状態に収納することによって、リ
ードフレームへのボンディング作業を円滑に行うように
している。

このチップのチップ収納治具への収納を行うために、ウ
エハを粘着テープに貼着した状態でダイシングし、この
ダイシングによるカッティングラインに沿ってブレーキ
ングすると共に、粘着テープから剥離させて、吸着コレ
ット等を用いてチップを真空吸着手段によって取り出す
ようにしている。このようにウエハのブレーキング及び
粘着テープからの剥離を行わせるために、チップ突き上
げ装置が用いられる。

かかるチップ突き上げ装置としては、粘着テープの外周
部に該粘着テープに対して張力を発生させる手段と、チ
ップを突き上げるニードルとを用い、まず張力発生手段
により粘着テープに張力を与えて、ウエハをブレーキン
グさせた後に、チップを粘着テープの裏面側から突き上
げて、該チップを粘着テープから剥離させるように構成
したものが従来から用いられている。また、前述した張
力発生手段を格別設けることはせず、押当て部材を粘着
テープの裏面に押し当てることによって突き上げるべき
チップの位置決めを行った状態で、突き上げニードルに
よりチップの突き上げを行うようにしたものも知られて
いる。

［考案が解決しようとする問題点］ ところで、前述した従来技術のチップ突き上げ装置のう
ち、前者のように構成すると、粘着テープに対して張力
を発生させたときに、チップが外周側に位置ずれを起す
ことがあり、このために、突き上げニードルでチップを
突き上げたときに、該チップの姿勢が斜めになることが
あり、このために吸着コレットによるチップの吸着を円
滑に行うことができなくなるという不都合がある。ま
た、後者のように構成した場合においては、ピックアッ
プすべきチップと他のチップとの間の劈開部の間隔を十
分取ることができない場合があり、このためにピックア
ップしたときにチップに割れや欠け等を生じるおそれが
ある。また、チップ突き上げを行う際には、ウエハをXY
方向に移動させて、突き上げるべきチップを突き上げ装
置に対面させる必要があるが、このウエハの移動の際に
も押当て部材を粘着テープの裏面に当接させた状態に保
持しておかなければならないので、押当て部材が粘着テ
ープと摺動して該押当て部材が摩耗したり、ウエハの移
動を行わせるための駆動手段に対する負荷が大きくなる
等の不都合を生じる欠点がある。

また、ウエハから形成されるチップのサイズを変える場
合には、それに伴なって突き上げニードルの形状，本数
や昇降ストローク等を変える必要があるが、前述した従
来技術のものにあっては、かかる変更が著しく面倒で、
その制御を微細に行うことが困難である等の不都合もあ
る。

本考案は叙上の点に鑑みてなされたものであって、その
目的とするところは、簡単な構成で、極めて円滑にウエ
ハからチップの突き上げを行うことができるようにした
チップ突き上げ装置を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 前述した目的を達成するために、本考案は、粘着テープ
に貼着され、碁盤目状のカッティングラインを有するウ
エハを下方から突き上げて、前記粘着テープに張力を与
えることによりピックアップすべきチップをブレーキン
グするための突き上げ駒と、該突き上げ駒によりブレー
キングされたチップを前記粘着テープから剥離させるた
めの突き上げニードルと、これら突き上げ駒及び突き上
げニードルをそれぞれ昇降可能に支持する昇降手段と、
該昇降手段の上昇動作時に、前記突き上げ駒及び突き上
げニードルの上死点を、突き上げニードルの上死点位置
の方が高くなるようにして、それぞれ個別的に調整する
上死点位置設定手段とを有し、該上死点位置設定手段
は、前記突き上げ駒及び突き上げニードルの各々の上昇
ストローク端を規制するために、上下方向に位置調整可
能なストッパと、該各ストッパの高さ位置を調整する位
置調整手段とから構成したことを特徴とするものであ
る。

［作用］ 粘着テープに貼着したウエハを突き上げ装置の上部に位
置させて、該ウエハをXY方向に移動させ、突き上げニー
ドルを突き上げるべきチップに対面させる。この状態で
は突き上げニードルは突き上げ駒の内部に埋没させるよ
うにしておき、また突き上げ駒を粘着テープから離間さ
せておく。これにより前述したウエハの移動を円滑に行
わせることができるようになる。

そこで、ウエハの位置決めが行われると、昇降手段によ
り突き上げニードルと共に突き上げ駒を上昇させる。こ
れにより該突き上げ駒が上昇して粘着テープの裏面に当
接して、チップが突き上げられる。この結果、粘着テー
プに張力が加わり、当該のチップがブレーキングされる
ことになると共に、チップの劈開部に十分な隙間を持た
せることができるようになる。この状態で突き上げ駒の
上昇が停止するが、突き上げニードルはさらに上昇を継
続せしめられることになり、前述のようにしてブレーキ
ングされたチップは該突き上げニードルの上昇により粘
着テープから剥離されることになる。そこで、吸着コレ
ット等の部材によってこのようにして剥離されたチップ
を取り出して、チップ収納治具に収納させることができ
るようになる。

前述の突き上げ駒及び突き上げニードルの上昇ストロー
ク端、即ち上死点は上死点設定手段によって個別的に設
定することができるようになっているので、チップの寸
法形状やダイシングがハーフカットによるものか、セミ
フルカットによるものか等に応じて突き上げ駒によるブ
レーキング引き伸ばし量を最適なものとすることができ
る。また、前述のようにしてブレーキングされたチップ
を突き上げニードルによって突き上げるに当って、その
突き上げ量を任意に設定することができるようになって
いるので、ピックアップに最適な突き上げ量でチップの
突き上げを行うことができるようになる。

しかも、この上死点設定手段は、突き上げ駒及び突き上
げニードルの上昇ストロークにおける上死点位置をスト
ッパにより個別的に規制するようになし、このストッパ
の高さ位置は、位置調整手段で任意の高さ位置に調整で
きるようになっているから、装置を組み立てた状態で、
位置調整手段により各ストッパの高さ位置を調整するこ
とによって、ウエハに形成されるチップの寸法形状やダ
イシング方法等に応じて、突き上げ駒及び突き上げニー
ドルの上昇ストロークを容易にしかも正確に調整するこ
とができる。

［実施例］ 以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。

まず、第１図及び第２図にチップの突き上げ装置の全体
構成を示す。図中において、１はウエハを示し、該ウエ
ハ１は粘着テープ２に貼着されて、該粘着テープ２は図
示しないキャリヤフレームに支持されている。そして、
該ウエハ１には碁盤目状にカッティングライン3,3,・・
・が形成されて、これら各カッティングライン３によっ
て多数のチップ1aに区画形成されている。ここで、この
カッティングは一部を切り残した状態のハーフカット乃
至セミフルカットとなっている。

このウエハ１を支持するキャリヤフレームはXYテーブル
（図示せず）に支持されて、前後及び左右の任意の方向
に移動可能に支持されている。そして、このウエハ１の
下方には突き上げ装置４が設けられている。

突き上げ装置４は、突き上げ駒５と突き上げニードル６
とから構成されており、これら突き上げ駒５及び突き上
げニードル６はそれぞれ固定ブロック６に昇降可能に設
けた昇降ロッド8,9の先端に連結されている。突き上げ
駒５は、粘着テープ２の下面に位置する押当て部5aと、
該押当て部5aに連設した腕部5bとを有し、該腕部5bは昇
降ロッド８に固着した支持部材10における垂直部分の先
端にビス等により着脱可能に取り付ける構成となってい
る。一方、突き上げニードル６は昇降ロッド８の先端に
ビス止め等の手段で着脱可能に取り付けた昇降ブロック
11に取付け板片12により取り付けられて、突き上げ駒５
における押当て部5aに穿設した貫通孔13内に出没可能に
挿通されている。

而して、前述した突き上げ駒５及び突き上げニードル６
を昇降させるために、昇降ロッド8,9の基端部にはそれ
ぞれ作動板14,15が連結されており、該各作動板14,15と
固定ブロック７との間にはそれぞればね16,17が縮設さ
れて、これら作動板14,15に連結された昇降ロッド8,9は
常時上昇する方向に付勢されている。また、作動板14,1
5のうち、作動板14は作動板15の下方に配設されてお
り、該作動板14,15は相互に当接することができるよう
になっている。さらに、作動板15にはカム機構等からな
る駆動手段18によって所定量だけ回動せしめられる回動
レバー19の先端に取り付けたローラ20が当接しており、
該回動レバー19を回動させることによって、ばね17の作
用によって作動板15を上下させるができるようになって
いる。また、作動板14はばね16の作用により常時作動板
15と当接しており、該作動板15の昇降に追従して昇降せ
しめられるようになっている。従って、突き上げ駒５及
び突き上げニードル６を昇降させるための昇降ロッド8,
9と、作動板14,15と、ばね16,17と、駆動手段18とによ
り昇降手段が構成される。

さらに、前述の作動板14,15の上昇ストローク端、即ち
上死点位置を設定するための上死点設定手段として、固
定ブロック７にはストッパ21,22が取付けられて、作動
板14,15はそれぞれ該各ストッパ21,22に当接する位置に
まで上昇させることができるようになっており、この作
動板14,15がそれぞれストッパ21,22と当接する位置が突
き上げ駒５及び突き上げニードル６の上死点となる。こ
れらストッパ21,22には上下方向に長溝21a,22aが形設さ
れており、該各長溝21a,22aには止めねじ23,24が装着さ
れるようになっており、この止めねじ23,24を緩めた状
態で、ストッパ21,22を所定量上下させることができる
ようになり、これによって、作動板14,15の上死点を調
整することができるように構成されている。ここで、突
き上げ駒５及び突き上げニードル６の上死点の設定・調
整を厳格に行うために、マイクロメータ25,26が固定ブ
ロック７に取り付けられて、該各マイクロメータ25,26
はそれぞれストッパ21,22と係合しており、これら各マ
イクロメータ25,26を操作することによって、ストッパ2
1,22による突き上げ駒５及び突き上げニードル６の上死
点の調整を個別的に、しかも微細に行うことができるよ
うになっている。

本実施例は前述のように構成されるもので、次にその作
用について説明する。

まず、回動レバー19により作動板15をばね17に抗して押
し下げて、突き上げニードル６を下死点に位置させる。
このときには、作動板14は作動板15に押圧されて下降せ
しめられ、これによって突き上げ駒５も下死点に位置せ
しめられる。このときには、突き上げ駒５はウエハ１を
貼着した粘着テープ２とは離間した状態となっており、
また突き上げニードル６は突き上げ駒５における貫通孔
13の内部に没入した状態となっている。

そこで、ウエハ１の粘着テープ２を支持するキャリアフ
レームを移動させて、該ウエハ１のうちの突き上げを行
うべきチップ1aが突き上げ駒５に対面する位置に変位さ
せて、その位置決めを行う。そこで、回動レバー19を上
昇する方向に回動せしめると、作動板14,15はそれぞれ
ばね16,17の作用によって両者が同期した状態で上昇
し、これによってまず突き上げ駒５が粘着テープ２と当
接して該粘着テープ２を押し上げることによって、第３
図に示したように、それに張力が与えられることにな
る。この結果、チップ1aがブレーキングして隣接するチ
ップから劈開し、その劈開部が相互に離間した状態とな
る。これによって、チップ1aをピックアップするとき
に、該チップ1aの劈開面が隣接するチップの劈開部と衝
当して割れや欠け等を生じるおそれがなくなる。

このようにしてチップ1aがブレーキングしたときに、作
動板14がストッパ21と当接することになり、該作動板14
が停止して突き上げ駒５が上死点となる。然るに、回動
レバー19がさらに回動を継続すると、作動板15だけが作
動板14から離間して上昇する。これによって、突き上げ
ニードル６だけが上昇して、該突き上げニードル６は貫
通孔13から突出し、第４図に示したように、粘着テープ
２をさらに押し上げて、ブレーキングしたチップ1aは突
き上げニードル６が当接する部分を除いて粘着テープ２
から剥離されることになる。このようにチップ1aの剥離
が行われると、作動板15がストッパ22と当接して停止
し、突き上げニードル６の上死点となる。

そこで、このように大部分が突き上げニードル６から剥
離された状態となってチップ1aは第４図に示したように
吸着コレット27によって吸着されて取り出され、図示し
ないチップ収納治具に整列された状態で収納されるよう
になる。ここで、突き上げ駒５による粘着テープ２の引
き伸ばしは、ピックアップされるチップ1aを中心として
行われるものであるから、該チップ1aと突き上げ駒５と
の間の位置ずれが生じないようになっており、この状態
で突き上げニードル６によりチップ1aが粘着テープ２か
ら剥離されるので、突き上げられたチップ1aの姿勢が斜
めになったりする不都合がなくなり、前述した吸着コレ
ット27によるチップ1aの吸着を円滑に行うことができ
る。

ところで、ウエハ１に形成されるチップ1aの寸法形状
や、ダイシングの方法等によっては、突き上げ駒５及び
突き上げニードル６の上死点位置を調整したり、突き上
げ駒５の形状や突き上げニードル６の数等を変更する必
要がある。然るに、本考案に係る突き上げ装置４にあっ
ては、突き上げ駒５及び突き上げニードル６の昇降スト
ロークはストッパ21,22によりそれぞれ個別的に設定す
ることができ、またマイクロメータ25,26によって該各
ストッパ21,22の高さ位置を厳格に調整することができ
るようになっているので、チップ1aの寸法形状やダイシ
ング方法等に応じて、突き上げ駒５及び突き上げニード
ル６の上死点位置をそれぞれ、容易にしかも最適となる
ように設定することができるようになる。さらに、突き
上げ駒５は支持部材10に着脱可能に取り付けられている
ので、その交換を行うことができ、また取付け板片12を
昇降ブロック11から脱着すれば、突き上げニードル６の
交換及び本数の変更を任意に行うことができるようにな
る。従って、ウエハ１におけるチップ1aに応じて最適な
条件で突き上げを行うことができる。

［考案の効果］ 以上詳述した如く、本考案によれば、突き上げ駒と突き
上げニードルとを設け、突き上げ駒により粘着テープの
裏面からウエハを突き上げることによって、ブレーキン
グ引き伸ばしを行い、然る後に突き上げニードルにより
チップの突き上げを行う構成となし、これら突き上げ駒
及び突き上げニードルの上死点をそれぞれ別個に設定す
ることができるようにしたので、ブレーキング及びチッ
プのピックアップを良好な条件で行うことができ、チッ
プの割れや欠け等の発生を確実に防止することができ、
またチップのピックアップ不良を起すことがなく、しか
も突き上げ駒及び突き上げニードルの上死点位置を設定
するために、ストッパと、ストッパの高さ位置調整手段
とが設けられているから、装置を組み立てた状態で、高
さ位置調整手段を操作することによって、突き上げニー
ドルの上死点位置の方が高い位置にあることを条件とし
て、それぞれ上死点位置を任意に設定できるようにな
り、ウエハに形成されるチップの寸法形状やダイシング
方法等に応じて、突き上げ駒及び突き上げニードルの上
昇ストロークを最適な状態になるように、容易にしかも
正確に調整することができる等の諸効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例を示すもので、第１図はチップ
の突き上げ装置の構成説明図、第２図は第１図の左側面
図、第３図及び第４図はそれぞれ異なる作動状態を示す
チップの突き上げ装置の作用説明図である。 1:ウエハ、1a:チップ、2:粘着テープ、3:カッティング
ライン、4:突き上げ装置、5:突き上げ駒、5a:押当て
部、6:突き上げニードル、7:固定ブロック、8,9:昇降ロ
ッド、10:支持部材、11:昇降ブロック、14,15:作動板、
16,17:ばね、21,22:ストッパ、21a,22a:長溝、23,24:止
めねじ、25,26:マイクロメータ。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】粘着テープに貼着され、碁盤目状のカッテ
   ィングラインを有するウエハを下方から突き上げて、前
   記粘着テープに張力を与えることによりピックアップす
   べきチップをブレーキングするための突き上げ駒と、該
   突き上げ駒によりブレーキングされたチップを前記粘着
   テープから剥離させるための突き上げニードルと、これ
   ら突き上げ駒及び突き上げニードルをそれぞれ昇降可能
   に支持する昇降手段と、該昇降手段の上昇動作時に、前
   記突き上げ駒及び突き上げニードルの上死点を、突き上
   げニードルの上死点位置の方が高くなるようにして、そ
   れぞれ個別的に調整する上死点位置設定手段とを有し、
   該上死点位置設定手段は、前記突き上げ駒及び突き上げ
   ニードルの各々の上昇ストローク端を規制するために、
   上下方向に位置調整可能なストッパと、該各ストッパの
   高さ位置を調整する位置調整手段とから構成したことを
   特徴とするチップ突き上げ装置。
2. 【請求項２】前記昇降手段は、前記突き上げ駒及び突き
   上げニードルにそれぞれ連結した昇降ロッドと、該各昇
   降ロッドに連結した作動部材と、該各昇降ロッドまたは
   作動部材に連結され、これら突き上げ駒及び突き上げニ
   ードルを上昇する方向に付勢する付勢手段と、前記２つ
   の作動部材のうち、突き上げ駒に連結されている作動部
   材上に突き上げニードルに連結されている作動部材を当
   接させ、該突き上げニードルに連結されている作動部材
   に対して、ばねに抗する方向に力が作用するように係合
   した状態で上下動する押動部材とから構成したことを特
   徴とする請求項（１）記載のチップ突き上げ装置。