JPH0657313A - 希土類磁石合金粉末の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ｉＨｃと（ＢＨ）ｍａｘを向上させ、５ｋＧ
以上の残留磁束密度Ｂｒを有し安定した工業生産が可能
なＦｅ₃Ｂ型Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ−（Ｒ，Ｄｙ）−Ｍ系磁石
粉末の製造方法の確立とハードフェライト磁石の代替え
としての高性能ボンド磁石を安価に提供すること。 【構成】 希土類元素のＲ（ＲはＮｄ、Ｐｒの１種また
は２種）の１部をＤｙにて置換した特定組成のＦｅ−Ｃ
ｏ−Ｂ−（Ｒ，Ｄｙ）−Ｍ（Ａｇ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｇａ，
Ｃｕ，Ａｕ）系合金溶湯をアトマイズ法にて急冷し実質
的に９０％以上をアモルファス組織となし、５００℃以
上から１〜１０℃／分の昇温速度で昇温した後、５５０
〜７００℃で３０秒〜６時間保持する熱処理を施して、
Ｆｅ₃Ｂ型結晶構造相を主相として特定量のＮｄ₂Ｆｅ₁₄
Ｂ型結晶構造相を有し、ｉＨｃ≧４ｋＯｅ、Ｂｒ≧７ｋ
Ｇ、（ＢＨ）ｍａｘ≧８ＭＧＯｅの磁気特性を有する磁
石合金粉末を得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、モーターやアクチュ
エーターなどに最適な希土類焼結磁石やボンド磁石に係
り、希土類元素の含有量が少ない特定組成のＦｅ−Ｃｏ
−Ｂ−（Ｒ，Ｄｙ）合金溶湯をアトマイズ法にてアモル
ファス組織となし、特定の熱処理にて微細結晶集合体を
得ることにより、ハードフェライト磁石では得られなか
った５ｋＧ以上の残留磁束密度Ｂｒを有するボンド磁石
に最適の希土類磁石合金粉末を得る製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】電装品用モーターやアクチュエーターな
どに使用される永久磁石は主にハードフェライト磁石に
限定されていたが、低温でのｉＨｃ低下に伴う低温減
磁、セラミックス材質のために機械的強度が低くて割
れ、欠けが発生し易いこと、複雑な形状が得難いことな
どの問題があった。

【０００３】今日、自動車は省資源のため車両の軽量化
による燃費の向上が強く要求されており、自動車用電装
品はより一層の小型、軽量化が求められている。また、
自動車用電装品以外の家電用モーターなどの用途におい
ても、性能対重量比を最大にするための設計が検討され
ており、現在のモーター構造では磁石材料としてＢｒが
５〜７ｋＧ程度のものが最適とされている。すなわち、
使用する磁石材料のＢｒが８ｋＧ以上の場合、現在のモ
ーター構造では磁路となる回転子やステーターの鉄板の
断面積を増大させる必要があり、重量の増大を招来する
が、Ｂｒが５〜７ｋＧであれば性能対重量比を最大にす
ることができる。

【０００４】従って、小型モーター用の磁石材料は磁気
特性的には特に５ｋＧ以上の残留磁束密度Ｂｒが要求さ
れているが、従来のハードフェライト磁石では得ること
ができない。例えばＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系ボンド磁石ではか
かる磁気特性を満足するが、金属の分離精製や還元反応
に多大の工程並びに大規模な設備を要するＮｄ等を１０
〜１５ａｔ％含有しているため、ハードフェライト磁石
に比較して著しく高価であり、現在のところ大量生産が
可能で安価に提供できるＢｒが５〜７ｋＧ程度の磁石材
料は、見出されていない。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】一方、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ
系磁石において、最近、Ｎｄ₄Ｆｅ₇₇Ｂ₁₉（ａｔ％）近
傍でＦｅ₃Ｂ型化合物を主相とする磁石材料が提案
（Ｒ．Ｃｏｅｈｏｏｒｎ等、Ｊ．ｄｅ Ｐｈｙｓ．、Ｃ
８，１９８８，６６９〜６７０頁）された。この磁石材
料は上記組成の合金を回転ロールを用いた超急冷法にて
アモルファスリボン化し、このアモルファスリボンを熱
処理することにより、Ｆｅ₃ＢとＮｄ₂Ｆｅ₁₄Ｂの結晶集
合組織を有する準安定構造が得られる。しかし、ｉＨｃ
が２〜３ｋＯｅ程度と高くなく、またこのｉＨｃを得る
ための熱処理条件が狭く限定され、工業生産上実用的で
ない。

【０００６】このＦｅ₃Ｂ型化合物を主相とする磁石材
料に添加元素を加えて多成分化し、性能向上を図った研
究が発表されている。その１つは希土類元素にＮｄのほ
かにＤｙとＴｂを用いてｉＨｃの向上を図るものである
が、高価な元素を添加する問題のほか、添加希土類元素
はその磁気モーメントがＮｄやＦｅの磁気モーメントと
反平行して結合するため磁化が減少する問題がある
（Ｒ．Ｃｏｅｈｏｏｒｎ、Ｊ．Ｍａｇｎ，Ｍａｇｎ，Ｍ
ａｔ、８３（１９９０）２２８〜２３０頁）。

【０００７】他の研究（Ｓｈｅｎ Ｂａｏ−ｇｅｎら、
Ｊ．Ｍａｇｎ，Ｍａｇｎ，Ｍａｔ、８９（１９９１）３
３５〜３４０頁）として、 Ｆｅの一部をＣｏにて置換
してキュリー温度を上昇させ、ｉＨｃの温度係数を改善
するものであるが、Ｃｏの添加にともないＢｒを低下さ
せる問題がある。

【０００８】いずれにしてもＦｅ₃Ｂ型Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ
系磁石は、回転ロールを用いた超急冷法によりアモルフ
ァス化した後、熱処理してハード磁石材料化できるが、
ｉＨｃが低く、かつ前記熱処理条件が苛酷であり、添加
元素にて高ｉＨｃ化を図ると磁気エネルギー積が低下す
るなど、安定した工業生産ができず、ハードフェライト
磁石の代替えとして安価に提供することができない。

【０００９】また、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系合金をアモルファ
ス化するために回転ロールを用いた超急冷法を採用する
場合、超急冷時のロール周速度を著しく速くする必要が
あり、製品の回収率や歩留りが低下する問題があり、さ
らに、熱処理後に粉砕して合金粉末とするため、工程が
複雑になり、安価に大量生産できない。

【００１０】この発明は、Ｆｅ₃Ｂ型Ｆｅ−Ｂ−Ｒ系磁
石（Ｒは希土類元素）に着目して、ｉＨｃと（ＢＨ）ｍ
ａｘを向上させ、超急冷法を用いることなく安定した工
業生産が可能な製造方法の確立と、５ｋＧ以上の残留磁
束密度Ｂｒを有しハードフェライト磁石の代替えとして
安価に提供できるＦｅ₃Ｂ型Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系磁石を目
的としている。

【００１１】

【課題を解決するための手段】発明者らは、Ｆｅ₃Ｂ型
系Ｆｅ−Ｂ−Ｒ磁石のｉＨｃと（ＢＨ）ｍａｘを向上さ
せ、安定した工業生産が可能な製造方法を目的に種々検
討した。従来この合金組成においては、回転ロールを用
いた超急冷法を用いてアモルファス組織を得ていたが、
特定合金組成では、回転ロールの周速度が比較的遅い領
域（５〜２０ｍ／秒）でもアモルファス組織が得られる
ことに注目して、超急冷法に比べ冷却速度の遅いガスア
トマイズ法を採用したもので、希土類元素の含有量が少
なく、ＣｏおよびＡｌ，Ｓｉ，Ｃｕ，Ｇａ，Ａｇ，Ａｕ
の少なくとも１種を少量添加した鉄基の特定組成の合金
溶湯をアトマイズ法を用いて急冷し、大部分がアモルフ
ァス組織からなる合金粉末となし、特定の昇温速度によ
る熱処理にて微細結晶集合体を得ることにより、ハード
フェライト磁石では得られなかった５ｋＧ以上の残留磁
束密度Ｂｒを有するボンド磁石に最適の希土類磁石合金
粉末を安定して量産できることを知見し、この発明を完
成した。

【００１２】この発明は、 １） 組成式をＦｅ_100-x-y-zＣｏ_xＢ_y(Ｒ_1-aＤｙ_a）_z
（但しＲはＰｒまたはＮｄの１種または２種）と表
し、組成範囲を限定する記号ｘ、ｙ、ｚ、ａが下記値を
満足する合金溶湯をアトマイズ法にて実質的に９０％以
上をアモルファス組織とした、平均粒径が０．１〜１０
０μｍの合金粉末を得、 ２） 得られた合金粉末に５００℃からの昇温速度を１
〜１５℃／分で昇温して５５０〜７００℃で３０秒〜６
時間保持する熱処理を施し、 ３） Ｆｅ₃Ｂ型化合物を主相とし、Ｎｄ₂Ｆｅ₁₄Ｂ型結
晶構造を有する強磁性相を有し、平均結晶粒径が５〜１
００ｎｍの微細結晶集合体を有する磁石合金粉末を得る
ことを特徴とする希土類磁石合金粉末の製造方法であ
る。 ０．０５≦ｘ≦１５ａｔ％ １６≦ｙ≦２２ａｔ％ ３≦ｚ≦５．５ａｔ％ ０．０２≦ａ≦０．９

【００１３】また、この発明は、 １） 組成式をＦｅ_100-x-y-zＣｏ_xＢ_y(Ｒ_1-aＤｙ_a）_z
Ｍ_w（但しＲはＰｒまたはＮｄの１種または２種、Ｍは
Ａｌ、Ｓｉ、Ｃｕ、Ｇａ、Ａｇ、Ａｕの１種または２種
以上）と表し、組成範囲を限定する記号ｘ、ｙ、ｚ、
ａ、ｗが下記値を満足する合金溶湯をアトマイズ法にて
実質的に９０％以上をアモルファス組織とした平均粒径
が０．１〜１００μｍの合金粉末を得、 ２） 得られた合金粉末に５００℃からの昇温速度を１
〜１５℃／分で昇温して５５０〜７００℃で３０秒〜６
時間保持する熱処理を施し、 ３） Ｆｅ₃Ｂ型化合物を主相とし、Ｎｄ₂Ｆｅ₁₄Ｂ型結
晶構造を有する強磁性相を有し、平均結晶粒径が５〜１
００ｎｍの微細結晶集合体を有する磁石合金粉末を得る
ことを特徴とする希土類磁石合金粉末の製造方法であ
る。 ０．０５≦ｘ≦１５ａｔ％ １６≦ｙ≦２２ａｔ％ ３≦ｚ≦５．５ａｔ％ ０．０２≦ａ≦０．９ ０．１≦ｗ≦３ａｔ％

【００１４】

【作用】この発明は、希土類元素の含有量が少ない特定
組成のＦｅ−Ｃｏ−Ｂ−（Ｒ，Ｄｙ）−Ｍ系合金溶湯を
アトマイズ法にて急冷することにより、実質的に９０％
以上をアモルファス組織とする平均粒径が０．１〜１０
０μｍの合金粉末が得られ、さらに得られた合金粉末に
５００℃から１〜１５℃／分の昇温速度で昇温した後、
５５０〜７００℃で３０秒〜６時間保持する熱処理を施
すことにより、平均粒径が５〜１００ｎｍの微細結晶集
合体を有する希土類磁石用合金粉末が得られ、回転ロー
ルを用いた超急冷法とは異なり、熱処理後にリボンを粉
砕するという工程を必要とせず、磁石合金粉末を製造で
きる。

【００１５】また、この発明は、主相のＦｅ₃Ｂ型化合
物相のほか、Ｎｄ₂Ｆｅ₁₄Ｂ型結晶構造相を有する強磁
性相の量比が増大し、α−Ｆｅ相が減少し、Ａｌ、Ｓ
ｉ、Ｃｕ、Ｇａ、Ａｇ、Ａｕの１種または２種以上を含
有するためＣｏを含有してもＢｒの低下がなく、さらに
減磁曲線の角型性が改善されることにより、ｉＨｃ≧４
ｋＯｅ、Ｂｒ≧７ｋＧ、（ＢＨ）ｍａｘ≧８ＭＧＯｅの
磁気特性が得られ、さらにこれを粉砕して磁石合金粉末
化することによって、５ｋＧ以上の残留磁束密度Ｂｒを
有するボンド磁石に最適のＦｅ−Ｃｏ−Ｂ−（Ｒ，Ｄ
ｙ）−Ｍ系磁石合金粉末を得ることができる。

【００１６】組成の限定理由 希土類元素ＲはＰｒまたはＮｄの１種また２種に加え
て、Ｄｙを特定量含有のときのみ、高い磁気特性が得ら
れ、他の希土類、例えばＣｅ、ＬａではｉＨｃが２ｋＯ
ｅ以上の特性が得られず、またＳｍ以降の中希土類元
素、重希土類元素は磁気特性の劣化を招来するとともに
磁石を高価格にするため好ましくない。Ｒは、３ａｔ％
未満では２ｋＯｅ以上のｉＨｃが得られず、また６ａｔ
％を超えるとＦｅ₃Ｂ相が生成せず、硬磁性を示さない
準安定相のＲ₂Ｆｅ₂₃Ｂ₃相が折出してｉＨｃは著しく低
下し好ましくないため、３〜５．５ａｔ％の範囲とす
る。Ｒ中のＤｙ量を０．０２〜０．９に限定した理由
は、０．０２未満では４ｋＯｅ以上のｉＨｃが得られ
ず、また、０．９を超えるとＢｒの低下が著しく好まし
くないことによる。

【００１７】Ｂは、１６ａｔ％未満および２２ａｔ％を
超えると２ｋＯｅ以上のｉＨｃが得られないため、１６
〜２２ａｔ％の範囲とする。

【００１８】Ｃｏは、ｉＨｃ及び減磁曲線の角型性の向
上改善に有効であるが、０．０５ａｔ％未満ではかかる
効果が得られず、１５ａｔ％を超えるとｉＨｃは著しく
低下し、２ｋＯｅ以上のｉＨｃが得られないため、０．
０５〜１５ａｔ％の範囲とする。

【００１９】Ａｌ、Ｓｉ、Ｃｕ、Ｇａ、Ａｇ、Ａｕは熱
処理温度範囲を拡大して減磁曲線の角形性を改善し、磁
気特性のＢｒ、（ＢＨ）ｍａｘを増大させる効果を有
し、かかる効果を得るには少なくとも０．１ａｔ％以上
の添加が必要であるが、３ａｔ％を超えるとかえって角
型性を劣化させ、（ＢＨ）ｍａｘも低下するため、０．
１〜３ａｔ％の範囲とする。

【００２０】Ｆｅは、上述の元素の含有残余を占める。

【００２１】製造条件の限定理由 この発明において、上述の特定組成の合金溶湯をアトマ
イズ法にて急冷し、大部分をアモルファスとなし、５０
０℃以上から１〜１５℃／分の昇温速度で昇温した後、
５５０〜７００℃で３０秒〜６時間保持する熱処理を施
すことにより、熱力学的には安定相であるＦｅ₃Ｂ型化
合物とＮｄ₂Ｆｅ₁₄Ｂ型結晶構造を有する強磁性相を有
し、平均結晶粒径が５〜１００ｎｍの微細結晶集合体と
して得ることが最も重要であり、合金溶湯の急冷処理に
は、公知のアトマイズ法を採用できるが、アトマイズ法
により得られる合金粉末は実質的に９０％以上をアモル
ファスとなす必要がある。例えば、Ａｒガスを急冷ガス
に用いたガスアトマイズの場合、その実質噴射圧が１０
〜８０ｋｇｆ／ｃｍ²の範囲が好適な組織及び粉末粒径
が得られるため好ましい。すなわち、噴射圧が１０ｋｇ
ｆ／ｃｍ²未満ではアモルファスとはならず、α−Ｆｅ
相の析出量が増大するだけでなく、十分冷却されない状
態で回収容器に堆積するため、粉末が溶着して塊となっ
て合金粉末の回収率が著しく低下する。また、噴射圧が
８０ｋｇｆ／ｃｍ²を超えると、粉末粒径が０．１μｍ
以下の微粉とするため、装置からの回収率や回収能率が
低下するだけでなく、プレス時に密度の低下を招き好ま
しくない。

【００２２】この発明において、上述の特定組成の合金
溶湯をアトマイズ法にて急冷し、大部分をアモルファス
となした後、磁気特性が最高となる熱処理は組成に依存
するが、熱処理温度が５５０℃未満ではアモルファス相
のままで２ｋＯｅ以上のｉＨｃが得られず、また７００
℃を超えると熱平衡相であるα−Ｆｅ相とＦｅ₂Ｂまた
はＮｄ_1.1Ｆｅ₄Ｂ₄相が生成してｉＨｃが発源しないた
め、熱処理温度は５５０〜７００℃に限定する。熱処理
雰囲気はＡｒガス中などの不活性ガス雰囲気が好まし
い。

【００２３】熱処理時間は短くてもよいが、３０秒未満
では十分なミクロ組織の生成が行われず、ｉＨｃ及び減
磁曲線の角型性が劣化し、また６時間を超えると２ｋＯ
ｅ以上のｉＨｃが得られないので、熱処理保持時間を３
０秒〜６時間に限定する。

【００２４】この発明において重要な特徴として、熱処
理に際して５００℃以上からの昇温速度があり、１℃／
分未満の昇温速度では、昇温中にＮｄ₂Ｆｅ₁₄Ｂ相とＦ
ｅ₃Ｂ相の結晶粒径が大きく成長しすぎてｉＨｃが劣化
し、２ｋＯｅ以上のｉＨｃが得られない。また、１５℃
／分を超える昇温速度では、５００℃を通過してから生
成するＮｄ₂Ｆｅ₁₄Ｂ相の析出が十分に行われず、α−
Ｆｅ相の析出量が増大して、磁化曲線の第２象限にＢｒ
点近傍に磁化の低下のある減磁曲線となり、（ＢＨ）ｍ
ａｘが劣化するため好ましくない。ただし、微量のα−
Ｆｅ相の存在は許容できる。なお、熱処理に際して５０
０℃未満までは急速加熱などその昇温速度は任意であ
る。

【００２５】結晶構造 この発明による希土類磁石合金粉末の結晶相は、Ｆｅ₃
Ｂ型化合物を主相とし、Ｎｄ₂Ｆｅ₁₄Ｂ型結晶構造を有
する強磁性相を有し、平均結晶粒径が５〜１００ｎｍの
微細結晶集合体からなることを特徴としている。

【００２６】この発明において、磁石合金粉末中の平均
結晶粒径が１００ｎｍを超えると、減磁曲線の角型性が
著しく劣化し、Ｂｒ≧７ｋＧ、（ＢＨ）ｍａｘ≧８ＭＧ
Ｏｅの磁気特性を得ることができない。また、平均結晶
粒径は細かいほど好ましいが、５ｎｍ未満の平均結晶粒
径を得ることは工業生産上困難であるため、下限を５ｎ
ｍとする。

【００２７】磁石化方法 特定組成の合金溶湯をアトマイズ法にて急冷し、大部分
をアモルファス組織とする平均粒径０．１〜１００μｍ
の合金粉末を得、これに５００℃以上からの昇温速度を
１〜１０℃／分で昇温した後、５５０〜７００℃で３０
秒〜６時間保持する熱処理を施すことにより、平均結晶
粒径が５〜１００ｎｍの微細結晶集合体として得たこの
発明による希土類磁石合金粉末を用いて磁石化するに
は、７００℃以下で固化、圧密化できる公知の焼結磁石
化方法並びにボンド磁石化方法の何れも採用することが
でき、公知のバインダーと混合して所要のボンド磁石と
なすことにより、５ｋＧ以上の残留磁束密度Ｂｒを有す
るボンド磁石を得ることができる。

【００２８】

【実施例】

実施例１ 表１のＮｏ．１〜７の組成となるように純度９９．５％
以上のＦｅ、Ｃｏ、Ｂ、Ｎｄ、Ｐｒ、Ｄｙ、Ａｌ、Ｓ
ｉ、Ｃｕ、Ｇａ、Ａｇ、Ａｕの金属を用いて、総量が１
ｋｇとなるように秤量し、底部に直径２．０ｍｍのオリ
フィスを有するアルミナ製るつぼに内に投入し、圧力５
６ｃｍＨｇのＡｒ雰囲気中で高周波加熱により溶解し、
溶解温度が１３００℃に達したところでオリフィスを閉
じていた栓を引き抜き、溶湯を流出させ、るつぼの直下
にあるガス噴射ノズルから純度９９．９％のＡｒガスを
実質圧力４０ｋｇｆ／ｃｍ²で噴射し、合金溶湯を急冷
することで、粒径が数μｍから５０μｍ程度の合金粉末
を得た。得られた合金粉末をＣｕＫαの特性Ｘ線により
アモルファスであることを確認した。

【００２９】この合金粉末をＡｒガス中で５００℃まで
急速加熱した後、５００℃以上を１０℃／分の昇温速度
で昇温し、表１に示す条件で熱処理を施し、その後室温
まで冷却して合金粉末を取り出し、粉末３０ｍｇをパラ
フィンとまぜた後、熱を加え硬化させた試料の磁気特性
をＶＳＭを用いて測定した。測定結果を表２に示す。な
お、試料の測定結果は、正方晶と斜方晶が混在するＦｅ
₃Ｂ相が主相で、Ｎｄ₂Ｆｅ₁₄Ｂ相とα−Ｆｅ相が混在す
る多相組織であり、平均結晶粒径はいずれも０．１μｍ
以下であった。なお、Ｃｏはこれらの各相でＦｅの一部
を置換するが、Ａｌ、Ｓｉ、Ｃｕ、Ｇａ、Ａｇ、Ａｕに
ついては添加量が少ない上、超微細結晶であるため分析
不能であった。

【００３０】実施例２ 実施例１で得られた表１の組成Ｎｏ．３の磁性粉を、エ
ポキシ樹脂なるバインダーを２ｗｔ％の割合で混合した
のち、１５ｍｍ×１５ｍｍ×７ｍｍ寸法のボンド磁石を
作成した。得られたボンド磁石の磁気特性は、ｉＨｃ＝
３．５ｋＯｅ、Ｂｒ＝７．０ｋＧ、（ＢＨ）ｍａｘ＝
５．５ＭＧＯｅであった。

【００３１】

【表１】

【００３２】

【表２】

【００３３】

【発明の効果】この発明は、希土類元素のＲ（ＲはＮ
ｄ、Ｐｒの１種または２種）の１部をＤｙにて置換した
特定組成のＦｅ−Ｃｏ−Ｂ−（Ｒ，Ｄｙ）−Ｍ系合金溶
湯をアトマイズ法にて急冷し、大部分をアモルファス組
織となした平均粒径０．１〜１００μｍの合金粉末を
得、これに特定条件の熱処理を施すことにより、アモル
ファス合金粉末を平均結晶粒径が５〜１００ｎｍの微細
結晶集合体の磁石合金粉末とする。従来、この合金組成
では、アモルファス組織を得るために回転ロールを用い
た超急冷法を採用していたが、本発明ではアトマイズ法
を用いた急冷法を採用することで、回転ロールを用いた
超急冷法で必要としていた、超急冷薄帯の粉砕工程がは
ぶけ、より簡単な工程でｉＨｃ≧４ｋＯｅ、Ｂｒ≧７ｋ
Ｇ、（ＢＨ）ｍａｘ≧８ＭＧＯｅの磁気特性を持ち、５
ｋＧ以上の残留磁束密度Ｂｒを有するボンド磁石に最適
のＦｅ−Ｃｏ−Ｂ−（Ｒ，Ｄｙ）−Ｍ系磁石合金粉末が
安定して大量に供給できる。また、この発明は、希土類
元素の含有量が少なく、製造方法が簡単で大量生産に適
しているため、５ｋＧ以上の残留磁束密度Ｂｒを有し、
ハードフェライト磁石を超える磁気的性能を有し、磁気
部品と磁石体との一体成型を採用することによって工程
を短縮することができ、焼結ハードフェライトを凌ぐ性
能対コスト比を実現し得るボンド磁石を提供することが
できる。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 組成式をＦｅ_100-x-y-zＣｏ_xＢ_y(Ｒ_1-a
   Ｄｙ_a）_z （但しＲはＰｒまたはＮｄの１種または２
   種）と表し、組成範囲を限定する記号ｘ、ｙ、ｚ、ａが
   下記値を満足する合金溶湯をアトマイズ法にて実質的に
   ９０％以上をアモルファス組織とした、平均粒径が０．
   １〜１００μｍの合金粉末を得、得られた合金粉末に５
   ００℃からの昇温速度を１〜１５℃／分で昇温して５５
   ０〜７００℃で３０秒〜６時間保持する熱処理を施し、
   Ｆｅ₃Ｂ型化合物を主相とし、Ｎｄ₂Ｆｅ₁₄Ｂ型結晶構造
   を有する強磁性相を有し、平均結晶粒径が５〜１００ｎ
   ｍの微細結晶集合体を有する磁石合金粉末を得ることを
   特徴とする希土類磁石合金粉末の製造方法。 ０．０５≦ｘ≦１５ａｔ％ １６≦ｙ≦２２ａｔ％ ３≦ｚ≦５．５ａｔ％ ０．０２≦ａ≦０．９
2. 【請求項２】 組成式をＦｅ_100-x-y-zＣｏ_xＢ_y(Ｒ_1-a
   Ｄｙ_a）_zＭ_w（但しＲはＰｒまたはＮｄの１種または２
   種、ＭはＡｌ、Ｓｉ、Ｃｕ、Ｇａ、Ａｇ、Ａｕの１種ま
   たは２種以上）と表し、組成範囲を限定する記号ｘ、
   ｙ、ｚ、ａ、ｗが下記値を満足する合金溶湯をアトマイ
   ズ法にて実質的に９０％以上をアモルファス組織とした
   平均粒径が０．１〜１００μｍの合金粉末を得、得られ
   た合金粉末に５００℃からの昇温速度を１〜１５℃／分
   で昇温して５５０〜７００℃で３０秒〜６時間保持する
   熱処理を施し、Ｆｅ₃Ｂ型化合物を主相とし、Ｎｄ₂Ｆｅ
   ₁₄Ｂ型結晶構造を有する強磁性相を有し、平均結晶粒径
   が５〜１００ｎｍの微細結晶集合体を有する磁石合金粉
   末を得ることを特徴とする希土類磁石合金粉末の製造方
   法。 ０．０５≦ｘ≦１５ａｔ％ １６≦ｙ≦２２ａｔ％ ３≦ｚ≦５．５ａｔ％ ０．０２≦ａ≦０．９ ０．１≦ｗ≦３ａｔ％