JPH0657381B2 - 穴加工位置の補正方法 - Google Patents

穴加工位置の補正方法

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JPH0657381B2
JPH0657381B2 JP3524289A JP3524289A JPH0657381B2 JP H0657381 B2 JPH0657381 B2 JP H0657381B2 JP 3524289 A JP3524289 A JP 3524289A JP 3524289 A JP3524289 A JP 3524289A JP H0657381 B2 JPH0657381 B2 JP H0657381B2
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camera
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亨 桑田
都男 原
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Panasonic Electric Works Co Ltd
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Matsushita Electric Works Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】
本発明は多層配線基板に設けられる基準穴のように、相
対位置精度が高精度であることを求められる複数個の穴
を加工する際の穴加工位置の補正方法に関する。
【従来の技術】
多層配線基板のような被加工材に基準穴を設ける場合に
は、その基準穴の位置は絶対的な位置として決定される
のではなく、被加工材に形成された配線パターンとの間
の相対的な位置で決定される。このために、このような
被加工材に複数個の基準穴を形成する場合、配線パター
ンの形成時に基準穴を設けるべき位置にマーキングを施
しておき、このマーキングを元に穴をあけることが行わ
れる。しかし、このように施された複数個のマーキング
間のピッチ寸法にはどうしても誤差があるために、穴を
あける際に、マーキング位置を元に補正を行わなければ
ならない。 第8図にこのための装置の一例を示す。図中2はカメラ
であって、移動装置3のスライダー30に装着されてい
る。このスライダー30は送りねじ31との螺合とガイ
ド軸32との係合によって、モータ33により送りねじ
31の回転で移動するものとされている。図中4はカメ
ラ2の位置を読み取るためのエンコーダーである。 さて、被加工材1に施されているマーク11,12の相
対位置精度は、上記従来例の場合、まず一方のマーク1
1を撮像して、その時のカメラ2位置を記憶し、次いで
カメラ2を動かして、他方のマーク12を撮像する。こ
の間にエンコーダー4から得られるカメラ2の移動量と
各マーク11,12のカメラ2の画面視野中の撮像位置
とから、両マーク11,12間のピック寸法データを得
ることによって決定し、これを元の穴をあける位置の補
正を行う。
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記方法であると、次のような問題を有してい
る。すなわち、送りねじ31やエンコーダー4の精度の
影響を受けるために、これらを非常に高精度なものとし
ておかなくてはならず、設備コストが高くなる上に、こ
れらの設備の使用環境も精度を損なうことないようなも
のとしておかなくてはならない。また、カメラ2の被加
工材1に対する真直度が移動中に変わってしまうことが
あり、このような時には第10図に示すように、カメラ
2の位置検出中心から被加工材1までの距離をl、角度
誤差をθとすると、検出誤差ε≒l・θを生じる。 第9図に示すように、カメラ2を動かすのではなく、被
加工材1を動かすとともにカメラ2の移動量に代えて被
加工材1の送り量を検出することによって、マーク1
1,12の相対位置精度を検出するようにしたものもあ
るが、この場合においても被加工材1の送り部材及び送
り量検出用のエンコーダーの精度に関して、上記の場合
の同じ問題を有しており、また被加工材1側の平面度の
ばらつきによって、カメラ2の真直度が変化する場合と
同じ問題を招いている。 本発明はこのような点に鑑み為されたものであり、その
目的とするところは設備側にさほどの精度を要求しない
にもかかわらず、マークの高精度な位置測定を行うこと
ができるために、正確な穴あけ位置の設定を行うことが
できる穴加工位置の補正方法を提供するにある。
【課題を解決するための手段】
しかして本発明は、被加工材に施されている穴あけ位置
指示用の複数のマークの間隔に略対応する間隔で設置さ
れて各マークを撮像する複数のカメラにおける各画面視
野中の所定点間の間隔を、これらカメラによる基準スケ
ールの撮像により決定しておき、これらカメラで撮像さ
れる被加工材のマークの画面視野中における上記所定点
に対する位置座標と上記所定点間の間隔とから、上記マ
ーク間の間隔を算出するとともに、マーク間の設計寸法
と算出したマーク間の間隔との偏差から、穴あけ位置を
補正することに特徴を有している。 [作用] すなわち、本発明においては、第1図に示すように、予
定されている被加工材1におけるマーク11,12のピ
ッチ寸法に合わせた間隔で一対のカメラ2,2を設置
し、そして両カメラ2,2によって、ピッチ寸法Lsが
既知である二つの基準マーク51,52を持つ基準スケ
ール5を撮像する。この時、両カメラ2,2の画面視野
中における両基準マーク51,52の各像51a,52
aの所定点、ここでは画面視野中心o,oに対する
座標位置が第2図に示すようにξη,ξηであ
れば、2台のカメラ2,2の中心o,o間のピッチ
Lcは Lc=(Ls−(η−η1/2+ξ−ξ
で求めることができる。 次に、第3図に示すように、被加工材1のマーク11,
12を両カメラ2,2の画面視野内に入れた時、両マー
ク11,12の像11a,12aの画面視野内における
座標位置が第4図に示すように、x1y1,x2y2であったな
らば、被加工材1のマーク間ピッチLM及びカメラ間中心
線との傾き角αは、先に求めたLcを用いて LM=((Lc+x−x+(y−y
1/2 α=tan-1((y−y)/(Lc+x−x)) によって計算することができ、このために、ピッチずれ
をはじめとして、被加工材1のマーク11,12間の相
対関係を正確に検出することができる。また、このよう
にして得たマーク11,12の位置が、設計時のものと
異なっていれば、マーク11,12の位置がずれている
わけであるから、この誤差の値をもとに、穴あけ位置を
マーク11,12の位置からずらす補正を行うことがで
きる。 [実施例] 第5図は、多層配線基板である被加工材1の2カ所に基
準穴加工を行う場合の装置構成の一例を示している。2
台のカメラ2,2のうちの1台は固定された状態で配設
されているのに対して、残る1台のカメラ2は前記従来
例で示したものと同様に、移動装置3に取り付けられて
おり、両カメラ2,2間のピッチが被加工材1の品種変
更に応じて変えることができるようにされている。 被加工材1は施されているマーク11,12がおおよそ
両カメラ2,2の各直下に位置するようにセットされ、
押え具6,6によって固定される。被加工材1がセット
される位置の下方には、上記両カメラ2,2に略対応す
る位置にドリルユニット7,7が設置されている。この
ドリルユニット7は、モータとカムとからなる昇降ユニ
ット8によって、持ち上げられることで、被加工材1に
対する穴あけを行う。また、ドリルユニット7及び昇降
ユニット8は、穴あけ位置の補正を行うために、XYテ
ーブルユニット9に載せられている。尚、移動側のカメ
ラ2に対応するドリルユニット7には昇降ユニット8及
びXYテーブルユニット9を図示していないが、このド
リルユニット7用のXYテーブルユニット9には、カメ
ラ2の移動ストロークに匹敵するストロークを一軸方向
にもつものが使用されている。図中20はカメラ2の撮
像画面を表示するディスプレーである。 しかして、この装置において、被加工材1のマーク1
1,12の位置に穴あけを行うにあたっては、この被加
工材1のマーク11,12間のピッチに略対応する間隔
に両カメラ2,2をセットし、この状態で基準スケール
を利用して、前述のように両カメラ2,2の中心間ピッ
チLcを正確に求めておく。その後、穴あけを行うべき
被加工材1をセットし、マーク11,12間のピッチL
を測定する。設計時の目標ピッチ寸法Loと測定され
たピッチLとの間のピッチ誤差Δx=L−Loは、
たとえば第6図に示すように、各マーク11,12の中
心を結ぶ線上で且つ各ママーク11,12からそれぞれ
Δx/2ずれたところに対して、実際に穴あけを行うこ
とで処理する。 固定側のカメラ2の場合について説明すると、第7図に
示すように、マーク11の像11aがカメラ2の画面視
野中の座標xにある時、前述のように求めたマー
ク間ピッチL及び角度αと、設計ピッチ寸法Loとか
ら、 Δx/2=(L−Lo)/2 を求めることができるものであり、穴加工すべき位置の
座標Xは X=x+cosα・Δx/2 Y=y−sinα・Δx/2 で決定され、ドリルユニット7はこの位置まで移動した
後、穴あけを行う。 こうして形成された基準孔のピッチは、マーク11,1
2の位置の誤差にかかわりなく、設計寸法を確保するこ
とができ、しかも被加工材1上における基準穴の相対位
置は、どちらか一方のマーク側にずれてしまうこともな
い。 尚、基準スケールとしては、温度等の影響を受けにくい
セラミックスあるいはガラス等が用いられる。またドリ
ルユニットとそれに対応するカメラとの相対位置関係の
較正方法としては、ドリル先端をカメラで撮像し、その
位置を認識して行う方法を採用することができる。
【発明の効果】
以上のように本発明においては、設置された後の複数の
カメラの状態を基準スケールを利用して測定しているこ
とから、カメラの設置精度が穴あけ位置のずれに影響を
与えることがないものであり、特に高精度化を図る必要
がなく、また被加工材のセットについてもカメラの撮像
視野内にマークが入ればよいものであって、セッティン
グについての正確さを求められることもなく、基準スケ
ールの精度さえ高ければ、設備の設計製作やその取り扱
いに高度な技術を必要とせず、比較的低コストで正確な
補正を行うことができるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は本発明における基準スケール撮像時
の状態を示す斜視図と画面視野図、第3図及び第4図は
同上における被加工材撮像時の状態を示す斜視図と画面
視野図、第5図は同上に係る装置の一例を示す斜視図、
第6図及び第7図は同上の説明図、第8図は従来例に係
る装置の斜視図、第9図は他の装置の斜視図、第10図
は同上の問題点を示す説明図であって、1は被加工材、
2はカメラ、5は基準スケール、11,12はマーク、
51,52は基準マークを示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】被加工材に施されている穴あけ位置指示用
    の複数のマークの間隔に略対応する間隔で設置されて各
    マークを撮像する複数のカメラにおける各画面視野中の
    所定点間の間隔を、これらカメラによる基準スケールの
    撮像により決定しておき、これらカメラで撮像される被
    加工材のマークの画面視野中における上記所定点に対す
    る位置座標と上記所定点間の間隔とから、上記マーク間
    の間隔を算出するとともに、マーク間の設計寸法と算出
    したマーク間の間隔との偏差から、穴あけ位置を補正す
    ることを特徴とする穴加工位置の補正方法。
JP3524289A 1989-02-15 1989-02-15 穴加工位置の補正方法 Expired - Fee Related JPH0657381B2 (ja)

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JPH0531609A (ja) * 1991-07-23 1993-02-09 Nec Corp 穴あけ装置
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JP6343312B2 (ja) 2016-08-18 2018-06-13 株式会社オーエム製作所 溝入れ工具の刃幅計測方法

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