JPH06246520A - カメラ式基準穴明機の較正方法 - Google Patents
カメラ式基準穴明機の較正方法Info
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- JPH06246520A JPH06246520A JP3815493A JP3815493A JPH06246520A JP H06246520 A JPH06246520 A JP H06246520A JP 3815493 A JP3815493 A JP 3815493A JP 3815493 A JP3815493 A JP 3815493A JP H06246520 A JPH06246520 A JP H06246520A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- camera
- image
- drilling machine
- drilling
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- Pending
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- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Drilling And Boring (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明はカメラ式基準穴明機の較正方法に関
し、特に、カメラ式基準穴明機の設置時等において、穴
明け動作時のサーボ移動データと画像データ間の誤差係
数を求めて較正を行い、較正後に高精度の穴明けを行う
ことを特徴とする。 【構成】 本発明によるカメラ式基準穴明機の較正方法
は、撮像カメラ(46)の画像ウィンドウ内に位置する基板
(11)上に複数の穴を明ける第１工程と、前記穴を画像処
理して穴中心を求める第２工程と、前記各工程で得られ
たサーボ移動データ(B)及び画像データ(A)より誤差関数
を求める第３工程とよりなり、最小二乗法により誤差係
数を較正する構成である。
し、特に、カメラ式基準穴明機の設置時等において、穴
明け動作時のサーボ移動データと画像データ間の誤差係
数を求めて較正を行い、較正後に高精度の穴明けを行う
ことを特徴とする。 【構成】 本発明によるカメラ式基準穴明機の較正方法
は、撮像カメラ(46)の画像ウィンドウ内に位置する基板
(11)上に複数の穴を明ける第１工程と、前記穴を画像処
理して穴中心を求める第２工程と、前記各工程で得られ
たサーボ移動データ(B)及び画像データ(A)より誤差関数
を求める第３工程とよりなり、最小二乗法により誤差係
数を較正する構成である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カメラ式基準穴明機の
較正方法に関し、特に、カメラ式基準穴明機の設置時等
において、穴明け動作時のサーボ移動データと画像デー
タ間の誤差係数を求めて較正を行い、その較正後に高精
度の穴明けを行うための新規な改良に関する。
較正方法に関し、特に、カメラ式基準穴明機の設置時等
において、穴明け動作時のサーボ移動データと画像デー
タ間の誤差係数を求めて較正を行い、その較正後に高精
度の穴明けを行うための新規な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、用いられていたこの種のカメラ式
基準穴明機としては種々あるが、その中で代表的なもの
について述べると、例えば、図示していないが、第１の
従来例として、特公昭６４−１１４０４号公報に開示さ
れているように、基板を搬送手段でＣＣＤカメラの視野
内に入れ、視野内のマークを画像処理してその中心位置
の座標を求め、この座標データをドリル移動装置のＸＹ
直交座標のサーボモータに送り、中心位置に穴明けして
いた。また、第２の従来例としてＸ，Ｙのドリル移動系
からＲθ極座標系へ変更する方法も開発されている。
基準穴明機としては種々あるが、その中で代表的なもの
について述べると、例えば、図示していないが、第１の
従来例として、特公昭６４−１１４０４号公報に開示さ
れているように、基板を搬送手段でＣＣＤカメラの視野
内に入れ、視野内のマークを画像処理してその中心位置
の座標を求め、この座標データをドリル移動装置のＸＹ
直交座標のサーボモータに送り、中心位置に穴明けして
いた。また、第２の従来例としてＸ，Ｙのドリル移動系
からＲθ極座標系へ変更する方法も開発されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら前述の第
１の従来例は、ドリル移動装置にＸ，Ｙ２軸ともボール
ネジを用いた直交座標移動であり、ボールネジ、連動ベ
アリング等のスペースが必要となり、基板下への照明
（ＣＣＤカメラでマークの透過像をとるための）、切粉
処理装置のスペースが小さくなると共に、ドリルの摩耗
等のドリル交換時のメンテナンス等に問題があった。ま
た、前述の第２の従来例の場合、座標変換において回
転、拡大縮小、平行移動及び極座標の４回の変換が必要
となり、変換時の演算誤差が大となり、また、ＣＣＤカ
メラのレンズ系の収差で視野の中心と視野の縁部では画
素取込の撮像倍率の変化による誤差を生じ目標の穴明位
置精度を得ることができなかった。
１の従来例は、ドリル移動装置にＸ，Ｙ２軸ともボール
ネジを用いた直交座標移動であり、ボールネジ、連動ベ
アリング等のスペースが必要となり、基板下への照明
（ＣＣＤカメラでマークの透過像をとるための）、切粉
処理装置のスペースが小さくなると共に、ドリルの摩耗
等のドリル交換時のメンテナンス等に問題があった。ま
た、前述の第２の従来例の場合、座標変換において回
転、拡大縮小、平行移動及び極座標の４回の変換が必要
となり、変換時の演算誤差が大となり、また、ＣＣＤカ
メラのレンズ系の収差で視野の中心と視野の縁部では画
素取込の撮像倍率の変化による誤差を生じ目標の穴明位
置精度を得ることができなかった。
【０００４】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、座標変換に誤差関数を導入
し、撮像カメラの視野内の複数の穴の位置でこの誤差関
数を測定しておき、最小二乗法により、誤差係数を較正
し、この較正後に穴明けすることにより、高精度の穴明
けを行うことができるようにしたカメラ式基準穴明機の
較正方法を提供することを目的とする。
めになされたもので、特に、座標変換に誤差関数を導入
し、撮像カメラの視野内の複数の穴の位置でこの誤差関
数を測定しておき、最小二乗法により、誤差係数を較正
し、この較正後に穴明けすることにより、高精度の穴明
けを行うことができるようにしたカメラ式基準穴明機の
較正方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明によるカメラ式基
準穴明機の較正方法は、撮像カメラで得た基板に形成さ
れた基準マークの画像を画像処理することにより、前記
基準マークの中心位置を検出し穴明け手段で穴明け加工
を行うようにしたカメラ式基準穴明機において、前記撮
像カメラの画像ウィンドウ内に位置する前記基板上に複
数の穴を明ける第１工程と、前記穴を画像処理して穴中
心を求める第２工程と、前記各工程で得られたサーボ移
動データ及び画像データより誤差関数を求め、最小二乗
法により前記各データ間の誤差係数を較正する方法であ
る。
準穴明機の較正方法は、撮像カメラで得た基板に形成さ
れた基準マークの画像を画像処理することにより、前記
基準マークの中心位置を検出し穴明け手段で穴明け加工
を行うようにしたカメラ式基準穴明機において、前記撮
像カメラの画像ウィンドウ内に位置する前記基板上に複
数の穴を明ける第１工程と、前記穴を画像処理して穴中
心を求める第２工程と、前記各工程で得られたサーボ移
動データ及び画像データより誤差関数を求め、最小二乗
法により前記各データ間の誤差係数を較正する方法であ
る。
【０００６】
【作用】本発明によるカメラ式基準穴明機の較正方法に
おいては、座標変換に誤差関数を導入し、撮像カメラの
視野内の複数の穴の位置でこの誤差関数を測定してお
き、最小二乗法によって誤差係数を較正し、この較正後
に穴明けを行うことにより、高精度（例えば、目標の３
０μｍ以下）の穴明けを達成することができる。
おいては、座標変換に誤差関数を導入し、撮像カメラの
視野内の複数の穴の位置でこの誤差関数を測定してお
き、最小二乗法によって誤差係数を較正し、この較正後
に穴明けを行うことにより、高精度（例えば、目標の３
０μｍ以下）の穴明けを達成することができる。
【０００７】
【実施例】以下、図面と共に本発明によるカメラ式基準
穴明機の較正方法の好適な実施例について詳細に説明す
る。図１はカメラ式基準穴明機を示す構成図、図２はパ
ルス−画素変換ブロック図、図３は画素−パルス変換ブ
ロック図、図４はウィンド内の穴明けを示す構成図、図
５は較正動作フロー、図６は穴明けフローである。
穴明機の較正方法の好適な実施例について詳細に説明す
る。図１はカメラ式基準穴明機を示す構成図、図２はパ
ルス−画素変換ブロック図、図３は画素−パルス変換ブ
ロック図、図４はウィンド内の穴明けを示す構成図、図
５は較正動作フロー、図６は穴明けフローである。
【０００８】図１において符号１０で示されるものは本
体であり、この加工テーブル１０に形成された案内孔１
０ａ上にはプリント基板等の基板１１が載置され、この
基板１１の上方にはこの基板１１の基準マーク（図示せ
ず）を撮像するためのＣＣＤ型等の撮像カメラ４６が設
けられている。
体であり、この加工テーブル１０に形成された案内孔１
０ａ上にはプリント基板等の基板１１が載置され、この
基板１１の上方にはこの基板１１の基準マーク（図示せ
ず）を撮像するためのＣＣＤ型等の撮像カメラ４６が設
けられている。
【０００９】前記案内孔１０ａの下方位置には、透過光
源用のランプ４８が設けられていると共に、穴明け時の
切粉を回収するための切粉吸取機４９が設けられてい
る。前記案内孔１０ａの下方位置には、ドリルからなる
穴明手段５０が設けられ、この穴明手段５０はアーム４
０に支持されて駆動モータ１９により回転するように構
成されている。
源用のランプ４８が設けられていると共に、穴明け時の
切粉を回収するための切粉吸取機４９が設けられてい
る。前記案内孔１０ａの下方位置には、ドリルからなる
穴明手段５０が設けられ、この穴明手段５０はアーム４
０に支持されて駆動モータ１９により回転するように構
成されている。
【００１０】前記アーム４０は、第１エンコーダ３８ａ
を有する第１サーボモータ３８によりθ軸に沿って旋回
し、この第１サーボモータ３８を支持する第１支持体３
６はＺ軸に沿って上下動させる第２エンコーダ３２ａを
有する第２サーボモータ３２及び第１ボールねじ３０を
有する第２支持体２８に支持されている。この第２支持
体２８は、この第２支持体２８を水平方向のＲ軸に沿っ
て移動させる第３エンコーダ２２ａを有する第３サーボ
モータ２２及び第２ボールねじ２０を有する第３支持体
１８により支持され、この第３支持体１８は前記加工テ
ーブル１０に接続板１２及びボルト１２ａを介して固定
されている。
を有する第１サーボモータ３８によりθ軸に沿って旋回
し、この第１サーボモータ３８を支持する第１支持体３
６はＺ軸に沿って上下動させる第２エンコーダ３２ａを
有する第２サーボモータ３２及び第１ボールねじ３０を
有する第２支持体２８に支持されている。この第２支持
体２８は、この第２支持体２８を水平方向のＲ軸に沿っ
て移動させる第３エンコーダ２２ａを有する第３サーボ
モータ２２及び第２ボールねじ２０を有する第３支持体
１８により支持され、この第３支持体１８は前記加工テ
ーブル１０に接続板１２及びボルト１２ａを介して固定
されている。
【００１１】前述の構成によるカメラ式基準穴明機１０
０を用いて基板１１の基準マークの中心位置に正確な穴
明けを行うために、例えば、本機１００を出荷する場合
又は工場等で設置する場合、前もって穴明を行い、その
時のサーボ移動量と画素間の変換における水平方向のＲ
軸及び旋回方向のθ軸その他の変換誤差を較正し、較正
後の本番の穴明を高精度とするための較正法について述
べる。
０を用いて基板１１の基準マークの中心位置に正確な穴
明けを行うために、例えば、本機１００を出荷する場合
又は工場等で設置する場合、前もって穴明を行い、その
時のサーボ移動量と画素間の変換における水平方向のＲ
軸及び旋回方向のθ軸その他の変換誤差を較正し、較正
後の本番の穴明を高精度とするための較正法について述
べる。
【００１２】はじめに、カメラ式プリント基板基準穴明
機１００の穴明け動作について説明する。前記撮像カメ
ラ４６下の加工テーブル１０に配置された基板１１の基
準マークは、撮像カメラ４６に映像を取り込まれ、画像
処理により、その中心データがＸ，Ｙ座標の画素データ
として求められる。その画像データの画素単位の移動量
はホストコンピュータに送られ、装置固有の変換パラメ
ータによりパルス単位の移動量に変換される。そしてパ
ルス移動量は穴明手段５０へ送られ、θ軸、Ｒ軸を駆動
して基準マークの中心へ穴明手段５０を移動し、Ｚ軸を
駆動して基板１１のウィンドウ３００内に複数の穴明を
行う。すなわち、前述の画像処理により得た基準マーク
の中心データを、極座標で形成した穴明手段の移動デー
タに変換する変換パラメータを求めるための較正を行う
ものである。
機１００の穴明け動作について説明する。前記撮像カメ
ラ４６下の加工テーブル１０に配置された基板１１の基
準マークは、撮像カメラ４６に映像を取り込まれ、画像
処理により、その中心データがＸ，Ｙ座標の画素データ
として求められる。その画像データの画素単位の移動量
はホストコンピュータに送られ、装置固有の変換パラメ
ータによりパルス単位の移動量に変換される。そしてパ
ルス移動量は穴明手段５０へ送られ、θ軸、Ｒ軸を駆動
して基準マークの中心へ穴明手段５０を移動し、Ｚ軸を
駆動して基板１１のウィンドウ３００内に複数の穴明を
行う。すなわち、前述の画像処理により得た基準マーク
の中心データを、極座標で形成した穴明手段の移動デー
タに変換する変換パラメータを求めるための較正を行う
ものである。
【００１３】まず、画素−パルス量の変換は、図２及び
図３に示すように極座標変換６０、回転変換６１、平行
移動変換６２、拡大・縮小変換６３からなる。各々の変
換６０〜６３は、１次変換により表現できるため、各パ
ラメータを組み合わせ、マトリックス演算により画素−
パルス間の変換パラメータを求める。また、極座標変換
を用いれば非線形となるため、線形近似し、次数を一致
させるため各変換において２乗のパラメータを採用し
た。その結果、まず、図２に示したサーボ移動量から画
素への変換では、以下の式が成り立つ。 Ａ＝Ｍ・Ｂ ・・・・・(1) Ａ＝［Ｘ，Ｙ］T Ｂ＝［Ｒ，θ，θ2，１］
図３に示すように極座標変換６０、回転変換６１、平行
移動変換６２、拡大・縮小変換６３からなる。各々の変
換６０〜６３は、１次変換により表現できるため、各パ
ラメータを組み合わせ、マトリックス演算により画素−
パルス間の変換パラメータを求める。また、極座標変換
を用いれば非線形となるため、線形近似し、次数を一致
させるため各変換において２乗のパラメータを採用し
た。その結果、まず、図２に示したサーボ移動量から画
素への変換では、以下の式が成り立つ。 Ａ＝Ｍ・Ｂ ・・・・・(1) Ａ＝［Ｘ，Ｙ］T Ｂ＝［Ｒ，θ，θ2，１］
【００１４】
【数１】
【００１５】ここで、Ａは画像データ、Ｂはサーボ移動
データ、Ｘ，Ｙは、画像データ、Ｒ，θはその画像デー
タに対するＲ軸、θ軸の移動量であり、Ｌは旋回機構の
アーム長である。さらに(1)式には以下の未知パラメー
タが存在する。 画像座標系ＸＹと旋回系Ｒθの回転角のズレ ω（rad） 画像のＸ方向の倍率（拡大・縮小変換） ａ 画像のＹ方向の倍率（拡大・縮小変換） ｂ Ｘ方向のオフセット（平行移動変換） ｘｄ（mm） Ｙ方向のオフセット（平行移動変換） ｙｄ（mm） θ方向のオフセット ｔｄ（mm） すなわち、この未知パラメータが求まれば、画素−パル
ス間の変換マトリックスは得られる。
データ、Ｘ，Ｙは、画像データ、Ｒ，θはその画像デー
タに対するＲ軸、θ軸の移動量であり、Ｌは旋回機構の
アーム長である。さらに(1)式には以下の未知パラメー
タが存在する。 画像座標系ＸＹと旋回系Ｒθの回転角のズレ ω（rad） 画像のＸ方向の倍率（拡大・縮小変換） ａ 画像のＹ方向の倍率（拡大・縮小変換） ｂ Ｘ方向のオフセット（平行移動変換） ｘｄ（mm） Ｙ方向のオフセット（平行移動変換） ｙｄ（mm） θ方向のオフセット ｔｄ（mm） すなわち、この未知パラメータが求まれば、画素−パル
ス間の変換マトリックスは得られる。
【００１６】そこで、誤差行列をＥとし、 Ｅ＝Ｍ・Ｂ−Ａ Ｅ＝［ｅ1，ｅ2］T ・・・・・(2) とおけば、誤差の２乗和ｆは未知パラメータの関数とな
り、 ｆ（ω，ａ，ｂ，ｘｄ，ｙｄ，ｔｄ）＝ｅ1 2＋ｅ2 2 ・・・・・(3) となる。したがって、(3)式が最小となる前述のω，
ａ，ｂ，ｘｄ，ｙｄ，ｔｄを求めればよい。その条件
は、ｘ＝［ω，ａ，ｂ，ｘｄ，ｙｄ，ｔｄ］とすれば次
の数２の(4)式
り、 ｆ（ω，ａ，ｂ，ｘｄ，ｙｄ，ｔｄ）＝ｅ1 2＋ｅ2 2 ・・・・・(3) となる。したがって、(3)式が最小となる前述のω，
ａ，ｂ，ｘｄ，ｙｄ，ｔｄを求めればよい。その条件
は、ｘ＝［ω，ａ，ｂ，ｘｄ，ｙｄ，ｔｄ］とすれば次
の数２の(4)式
【００１７】
【数２】 である。この(4)式を満足するｘは、解の精度を向上す
る繰り返し算法である周知のニュートン・ラプソン法に
より、得られる。その解は、次の数３の(5)式
る繰り返し算法である周知のニュートン・ラプソン法に
より、得られる。その解は、次の数３の(5)式
【００１８】
【数３】 となる。既知データである画像データＡと、サーボ移動
データＢは、図４のように、カメラレンズ系の収差を補
正するため画像のウィンドウ内全面にわたり取り得る９
点に指令データとして穴を開け、それぞれの重心データ
を画像処理により求めた。
データＢは、図４のように、カメラレンズ系の収差を補
正するため画像のウィンドウ内全面にわたり取り得る９
点に指令データとして穴を開け、それぞれの重心データ
を画像処理により求めた。
【００１９】なお、前述の図２に示す較正動作は、図５
で示すフローの通りである。すなわち、基板１１に複数
の穴明けを行い（第１ステップ１００）、各穴を画像処
理して中心位置を求める（第２ステップ１０１）。前述
の各ステップ１００，１０１で得られたサーボ移動デー
タＢ及び画像データＡより、ニュートンラプソン法を用
いて未知パラメータω，ａ，ｂ，ｘｄ，ｙｄ，ｔｄを求
め（第３ステップ１０２）、次に、この各パラメータ
ω，ａ，ｂ，ｘｄ，ｙｄ，ｔｄより画素からサーボ移動
量への変換式Ｎを求める（第４ステップ１０３）。
で示すフローの通りである。すなわち、基板１１に複数
の穴明けを行い（第１ステップ１００）、各穴を画像処
理して中心位置を求める（第２ステップ１０１）。前述
の各ステップ１００，１０１で得られたサーボ移動デー
タＢ及び画像データＡより、ニュートンラプソン法を用
いて未知パラメータω，ａ，ｂ，ｘｄ，ｙｄ，ｔｄを求
め（第３ステップ１０２）、次に、この各パラメータ
ω，ａ，ｂ，ｘｄ，ｙｄ，ｔｄより画素からサーボ移動
量への変換式Ｎを求める（第４ステップ１０３）。
【００２０】次に、実際に穴明け加工を行う場合、基準
マークの中心位置を求めてＲθ軸を移動させる、すなわ
ち画素からサーボ量への変換となる。その変換は、図３
に示すようになり、以下の式となる。 Ｃ＝Ｎ・Ｄ ・・・・・(6) ここで、Ｃ＝［Ｒ，θ］T Ｄ＝［Ｘ，Ｙ，ＸＹ，
Ｘ2，Ｙ2，１］
マークの中心位置を求めてＲθ軸を移動させる、すなわ
ち画素からサーボ量への変換となる。その変換は、図３
に示すようになり、以下の式となる。 Ｃ＝Ｎ・Ｄ ・・・・・(6) ここで、Ｃ＝［Ｒ，θ］T Ｄ＝［Ｘ，Ｙ，ＸＹ，
Ｘ2，Ｙ2，１］
【数４】 ｎ11＝sinω／ａ＋（yd・sin２ω−xd・cos２ω−xd）／
２ａＬ ｎ12＝cosω／ｂ＋（xd・sin２ω＋yd・cos２ω−yd）／
２ｂＬ ｎ13＝sin２ω／２ａｂＬ ｎ14＝−（１＋cos２ω）／４ａ2Ｌ ｎ15＝−（１−cos２ω）／４ｂ2Ｌ ｎ16＝−（xd2＋yd2）／４Ｌ＋yd・cosω−（xd2−yd2）
・cos２ω／４Ｌ＋xd・sinω＋xd・yd・sin２ω／２Ｌ ｎ21＝cosω／ａＬ ｎ22＝−sinω／ｂＬ ｎ23＝０.０ ｎ24＝０.０ ｎ25＝０.０ ｎ26＝−td＋（xd・cosω−yd・sinω）／Ｌ したがって、装置据付時に前述のキャリブレーションを
行い、装置固有のａ，ｂ，ｘｄ，ｙｄ，ｔｄ，ωを求め
れば、(6)式のＮは決定し、実際の穴加工は(6)式により
実現できる。
２ａＬ ｎ12＝cosω／ｂ＋（xd・sin２ω＋yd・cos２ω−yd）／
２ｂＬ ｎ13＝sin２ω／２ａｂＬ ｎ14＝−（１＋cos２ω）／４ａ2Ｌ ｎ15＝−（１−cos２ω）／４ｂ2Ｌ ｎ16＝−（xd2＋yd2）／４Ｌ＋yd・cosω−（xd2−yd2）
・cos２ω／４Ｌ＋xd・sinω＋xd・yd・sin２ω／２Ｌ ｎ21＝cosω／ａＬ ｎ22＝−sinω／ｂＬ ｎ23＝０.０ ｎ24＝０.０ ｎ25＝０.０ ｎ26＝−td＋（xd・cosω−yd・sinω）／Ｌ したがって、装置据付時に前述のキャリブレーションを
行い、装置固有のａ，ｂ，ｘｄ，ｙｄ，ｔｄ，ωを求め
れば、(6)式のＮは決定し、実際の穴加工は(6)式により
実現できる。
【００２１】すなわち、前述の実際の穴加工を行う場
合、図６で示すように、第１ステップ２００で基板１１
の基準マークの画像処理を行い、基準マークの中心を求
めて新しい画像データＤを得る（第１ステップ２０
０）。次に、画素−サーボ変換によりサーボ移動量Ｃを
求め（第２ステップ２０１）、Ｒ，θ軸を移動して穴明
けを行う（第３ステップ２０２）。すなわち、この実際
の穴明けでは、前述の較正動作が完了しているため、極
めて高精度の穴明けを行うことができる。
合、図６で示すように、第１ステップ２００で基板１１
の基準マークの画像処理を行い、基準マークの中心を求
めて新しい画像データＤを得る（第１ステップ２０
０）。次に、画素−サーボ変換によりサーボ移動量Ｃを
求め（第２ステップ２０１）、Ｒ，θ軸を移動して穴明
けを行う（第３ステップ２０２）。すなわち、この実際
の穴明けでは、前述の較正動作が完了しているため、極
めて高精度の穴明けを行うことができる。
【００２２】例えば、本出願人が実際に行った実験によ
ると、Ｒ軸は、ボールねじリード５ｍｍ／回転、サーボ
モータエンコーダ４０００パルス／回転で分解能１.２
５μｍ／パルスとなり、θ軸は、アーム長Ｌ＝１２５ｍ
ｍ、サーボモータエンコーダ４０００パルス／回転、ハ
ーモニックドライブの減速比１／１００で分解能１.２
３μｍ／パルスとなった。なお、前述の実施例における
Ａ，Ｂ，Ｍ，Ｅ，Ｘ，Ｃ，Ｄはベクトル量を示している
ためベクトル量表示記号を用いるべきであるが、本実施
例では通常記号を用い、図面でのみベクトル表示として
いる。
ると、Ｒ軸は、ボールねじリード５ｍｍ／回転、サーボ
モータエンコーダ４０００パルス／回転で分解能１.２
５μｍ／パルスとなり、θ軸は、アーム長Ｌ＝１２５ｍ
ｍ、サーボモータエンコーダ４０００パルス／回転、ハ
ーモニックドライブの減速比１／１００で分解能１.２
３μｍ／パルスとなった。なお、前述の実施例における
Ａ，Ｂ，Ｍ，Ｅ，Ｘ，Ｃ，Ｄはベクトル量を示している
ためベクトル量表示記号を用いるべきであるが、本実施
例では通常記号を用い、図面でのみベクトル表示として
いる。
【００２３】
【発明の効果】本発明によるカメラ式基準穴明機の較正
方法は、以上のように構成されているため、画素−パル
ス変換における誤差を最小に抑えることができ、基板の
基準マークの中心に対して高精度の穴明けを行うことが
できる。
方法は、以上のように構成されているため、画素−パル
ス変換における誤差を最小に抑えることができ、基板の
基準マークの中心に対して高精度の穴明けを行うことが
できる。
【図１】本発明によるカメラ式基準穴明機を示す構成図
である。
である。
【図２】パルス−画素変換を示すブロック図である。
【図３】画素−パルス変換を示すブロック図である。
【図４】重心データ算出の穴明けを示す構成図である。
【図５】較正動作を示すフローである。
【図６】較正後の穴加工を示すフローである。
１１ 基板 ４６ 撮像カメラ ５０ 穴明手段 Ａ 画像データ Ｂ サーボ移動データ
Claims (1)
- 【請求項１】 撮像カメラ(46)で得た基板(11)に形成さ
れた基準マークの画像を画像処理することにより、前記
基準マークの中心位置を検出し穴明け手段(50)で穴明け
加工を行うようにしたカメラ式基準穴明機において、前
記撮像カメラ(46)の画像ウィンドウ内に位置する前記基
板(11)上に複数の穴を明ける第１工程と、前記穴を画像
処理して穴中心を求める第２工程と、前記各工程で得ら
れたサーボ移動データ(B)及び画像データ(A)より誤差関
数を求める第３工程とよりなり、最小二乗法により前記
各データ(A,B)間の誤差係数を較正することを特徴とす
るカメラ式基準穴明機の較正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3815493A JPH06246520A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | カメラ式基準穴明機の較正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3815493A JPH06246520A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | カメラ式基準穴明機の較正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06246520A true JPH06246520A (ja) | 1994-09-06 |
Family
ID=12517495
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3815493A Pending JPH06246520A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | カメラ式基準穴明機の較正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06246520A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100461048C (zh) * | 2003-10-10 | 2009-02-11 | 百利奥国际公司 | 校准眼镜镜片钻孔机的方法、用来实现一种这样的方法的设备及包括一种这样设备的眼镜镜片加工设备 |
| CN103722449A (zh) * | 2012-10-16 | 2014-04-16 | 西门子股份有限公司 | 工具机加工定位方法及其装置 |
| TWI575344B (zh) * | 2012-10-16 | 2017-03-21 | Siemens Ltd Taiwan | Tool processing and positioning method and device |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61277012A (ja) * | 1985-06-03 | 1986-12-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | カメラ位置姿勢校正方法 |
| JPH04270445A (ja) * | 1991-02-26 | 1992-09-25 | Res Dev Corp Of Japan | 逆伝搬学習機能付しきい値論理回路 |
-
1993
- 1993-02-26 JP JP3815493A patent/JPH06246520A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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