JPH0657481A - シャドウマスクの製造方法 - Google Patents
シャドウマスクの製造方法Info
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- JPH0657481A JPH0657481A JP23514492A JP23514492A JPH0657481A JP H0657481 A JPH0657481 A JP H0657481A JP 23514492 A JP23514492 A JP 23514492A JP 23514492 A JP23514492 A JP 23514492A JP H0657481 A JPH0657481 A JP H0657481A
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Landscapes
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- Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 寸法精度の要求を満たした、めっき法による
シャドウマスクの製造方法を提供する。 【構成】 ステンレス鋼板表面にレジスト層を形成し、
パターニングした後、露出したステンレス鋼板表面に電
気鉄めっきを施し、その後、ステンレス鋼板表面よりこ
の電気鉄めっき層を剥離する際、該ステンレス鋼板をＪ
ＩＳ規格Ｒ６００１で定められた粒度が＃２４０以上の
研磨材で仕上げ研磨を施して使用することを特徴とす
る。
シャドウマスクの製造方法を提供する。 【構成】 ステンレス鋼板表面にレジスト層を形成し、
パターニングした後、露出したステンレス鋼板表面に電
気鉄めっきを施し、その後、ステンレス鋼板表面よりこ
の電気鉄めっき層を剥離する際、該ステンレス鋼板をＪ
ＩＳ規格Ｒ６００１で定められた粒度が＃２４０以上の
研磨材で仕上げ研磨を施して使用することを特徴とす
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はステンレス鋼板表面にレ
ジスト層を形成し、パターニングした後、露出したステ
ンレス鋼板表面に電気鉄めっきによりシャドウマスクを
形成させた後剥離するシャドウマスクの製造方法の改良
に関する。
ジスト層を形成し、パターニングした後、露出したステ
ンレス鋼板表面に電気鉄めっきによりシャドウマスクを
形成させた後剥離するシャドウマスクの製造方法の改良
に関する。
【０００２】
【従来技術】従来、シャドウマスクは、鋼板にレジスト
層を形成し所望の形状をパターニングした後、塩化第二
鉄溶液でエッチングを施し、多数の穴を形成し、その後
レジストを除去するエッチング法で製造されている。し
かし、高精密、高精細の画面が要求されるディスプレイ
用のカラー受像管に内装するシャドウマスクは、この画
面に対応するように電子ビーム通過孔部の孔径およびピ
ッチも極めて微細なものが使用され、数μｍ程度の寸法
精度が要求されるようになってきた。このため、従来の
エッチング法で作製されたシャドウマスクは寸法精度に
おける不良発生が多く、製品歩留りが低い。また廃エッ
チング液の廃液処理に手間がかかるなどの欠点がある。
層を形成し所望の形状をパターニングした後、塩化第二
鉄溶液でエッチングを施し、多数の穴を形成し、その後
レジストを除去するエッチング法で製造されている。し
かし、高精密、高精細の画面が要求されるディスプレイ
用のカラー受像管に内装するシャドウマスクは、この画
面に対応するように電子ビーム通過孔部の孔径およびピ
ッチも極めて微細なものが使用され、数μｍ程度の寸法
精度が要求されるようになってきた。このため、従来の
エッチング法で作製されたシャドウマスクは寸法精度に
おける不良発生が多く、製品歩留りが低い。また廃エッ
チング液の廃液処理に手間がかかるなどの欠点がある。
【０００３】これに対して、最近ではエッチング法では
なく、めっき法によるシャドウマスクの製造が試みられ
ている。このめっき法により形成されるシャドウマスク
は、導体基板にＪＩＳ規格Ｇ４３０５で定められた２Ｂ
および２Ｄ仕上げのステンレス鋼板を用い、ステンレス
鋼板表面にレジスト層を形成しパターニングした後、露
出したステンレス鋼板表面に電気鉄めっきを施し、シャ
ドウマスクを形成し、その後、ステンレス鋼板を外的な
応力等により歪ませてシャドウマスクを剥離することに
より製造している。
なく、めっき法によるシャドウマスクの製造が試みられ
ている。このめっき法により形成されるシャドウマスク
は、導体基板にＪＩＳ規格Ｇ４３０５で定められた２Ｂ
および２Ｄ仕上げのステンレス鋼板を用い、ステンレス
鋼板表面にレジスト層を形成しパターニングした後、露
出したステンレス鋼板表面に電気鉄めっきを施し、シャ
ドウマスクを形成し、その後、ステンレス鋼板を外的な
応力等により歪ませてシャドウマスクを剥離することに
より製造している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
めっき法を用いてシャドウマスクを製造した場合、ステ
ンレス鋼板上に電気鉄めっきにより形成された時点で
は、寸法精度を満足するものの、得られるシャドウマス
クは歪が生じる上に、何度も使用するステンレス鋼板に
も歪が生じ、上記電気鉄めっきにより形成された時点
で、すでに精度が低下するため、寸法精度の要求を満た
すことが大変難しい状態に陥っている。
めっき法を用いてシャドウマスクを製造した場合、ステ
ンレス鋼板上に電気鉄めっきにより形成された時点で
は、寸法精度を満足するものの、得られるシャドウマス
クは歪が生じる上に、何度も使用するステンレス鋼板に
も歪が生じ、上記電気鉄めっきにより形成された時点
で、すでに精度が低下するため、寸法精度の要求を満た
すことが大変難しい状態に陥っている。
【０００５】よって本発明の目的は、寸法精度の要求を
満たした、めっき法によるシャドウマスクの製造方法を
提供することにある。
満たした、めっき法によるシャドウマスクの製造方法を
提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者は上記目的を達
成するために、鋭意研究した結果寸法精度の要求を満た
さない原因は主として、シャドウマスクを剥離する際に
生じた歪によること、そしてその歪はステンレス鋼板表
面の平滑性と密接な関係があることを見いだし本発明に
至った。
成するために、鋭意研究した結果寸法精度の要求を満た
さない原因は主として、シャドウマスクを剥離する際に
生じた歪によること、そしてその歪はステンレス鋼板表
面の平滑性と密接な関係があることを見いだし本発明に
至った。
【０００７】即ち、上記課題を解決するための本発明の
方法は、ステンレス鋼板表面にレジスト層を形成し、パ
ターニングした後、露出したステンレス鋼板表面に電気
鉄めっきを施し、その後、ステンレス鋼板表面よりこの
電気鉄めっき層を剥離する方法において、該ステンレス
鋼板をＪＩＳ規格Ｒ６００１で定められた粒度が＃２４
０以上の研磨材で仕上げ研磨を施して使用することを特
徴とするシャドウマスクの製造方法である。
方法は、ステンレス鋼板表面にレジスト層を形成し、パ
ターニングした後、露出したステンレス鋼板表面に電気
鉄めっきを施し、その後、ステンレス鋼板表面よりこの
電気鉄めっき層を剥離する方法において、該ステンレス
鋼板をＪＩＳ規格Ｒ６００１で定められた粒度が＃２４
０以上の研磨材で仕上げ研磨を施して使用することを特
徴とするシャドウマスクの製造方法である。
【０００８】
【作用】従来の前記２Ｂおよび２Ｄ仕上げのステンレス
鋼板は、冷間圧延後、熱処理、酸洗処理および冷間圧延
を施すため、ステンレス鋼板表面の平滑性が欠け、基板
とめっき被膜間にアンカー効果が発生し、剥離性の悪い
めっき被膜が形成されると考えられる。
鋼板は、冷間圧延後、熱処理、酸洗処理および冷間圧延
を施すため、ステンレス鋼板表面の平滑性が欠け、基板
とめっき被膜間にアンカー効果が発生し、剥離性の悪い
めっき被膜が形成されると考えられる。
【０００９】本発明では、あらかじめステンレス鋼板を
研磨した後、電気鉄めっきを施し、剥離性の良いめっき
被膜を形成させる。即ちステンレス鋼板をあらかじめ＃
２４０以上の研磨材で仕上げ研磨を施した平滑なステン
レス鋼板を用いるので上記アンカー効果は極めて抑制さ
れステンレス鋼板およびシャドウマスクに歪を生じさせ
ることなく、従来の方法に比べ極めて容易にシャドウマ
スクを剥離することが可能となる。
研磨した後、電気鉄めっきを施し、剥離性の良いめっき
被膜を形成させる。即ちステンレス鋼板をあらかじめ＃
２４０以上の研磨材で仕上げ研磨を施した平滑なステン
レス鋼板を用いるので上記アンカー効果は極めて抑制さ
れステンレス鋼板およびシャドウマスクに歪を生じさせ
ることなく、従来の方法に比べ極めて容易にシャドウマ
スクを剥離することが可能となる。
【００１０】一方、ステンレス鋼板に＃２４０未満の研
磨材で仕上げ研磨を施した場合は十分に平滑な面は得ら
れずステンレス鋼板とシャドウマスクの剥離性は著しく
悪くなり、寸法精度の要求を十分満たせない。
磨材で仕上げ研磨を施した場合は十分に平滑な面は得ら
れずステンレス鋼板とシャドウマスクの剥離性は著しく
悪くなり、寸法精度の要求を十分満たせない。
【００１１】
実施例１ 粒度が＃２４０の研磨材で仕上げ研磨を施した縦２００
ｍｍ、横１５０ｍｍ、厚さ０．３ｍｍのステンレス鋼板
の表面に、フォトレジストを厚み４０μｍに塗布し、幅
２５０μｍ、間隔５０μｍのスリットを持つ写真製板用
マスクを乗せ、露光を行い、現像し、パターニングを行
った。その後、表１に示すめっき液組成およびめっき条
件で、露出したステンレス鋼板表面に電気鉄めっきを行
い、厚さ３５μｍのスリット形式のシャドウマスクを形
成した後、ステンレス鋼板の端部に応力をかけ弾性的に
曲げ、その部分のめっき層を鋼板から剥離させ、剥離さ
せた部分からめっき層全体を剥離した。
ｍｍ、横１５０ｍｍ、厚さ０．３ｍｍのステンレス鋼板
の表面に、フォトレジストを厚み４０μｍに塗布し、幅
２５０μｍ、間隔５０μｍのスリットを持つ写真製板用
マスクを乗せ、露光を行い、現像し、パターニングを行
った。その後、表１に示すめっき液組成およびめっき条
件で、露出したステンレス鋼板表面に電気鉄めっきを行
い、厚さ３５μｍのスリット形式のシャドウマスクを形
成した後、ステンレス鋼板の端部に応力をかけ弾性的に
曲げ、その部分のめっき層を鋼板から剥離させ、剥離さ
せた部分からめっき層全体を剥離した。
【００１２】上記方法により得られたシャドウマスク
を、上から５ｍｍ厚のガラスの板で抑え、最小読みとり
幅１μｍの光学式測長機を用いて、形成されたシャドウ
マスクの全てのスリット幅をスリットの端から１ｍｍの
部分を測定し、隣接する各々の寸法の差を求めた。その
結果、隣接したスリット間の寸法誤差が±５μｍとな
り、シャドウマスクに要求される寸法精度±５μｍ以内
の要求を満たすことができた。
を、上から５ｍｍ厚のガラスの板で抑え、最小読みとり
幅１μｍの光学式測長機を用いて、形成されたシャドウ
マスクの全てのスリット幅をスリットの端から１ｍｍの
部分を測定し、隣接する各々の寸法の差を求めた。その
結果、隣接したスリット間の寸法誤差が±５μｍとな
り、シャドウマスクに要求される寸法精度±５μｍ以内
の要求を満たすことができた。
【００１３】また、剥離後ステンレス鋼板を平坦な面に
置いて観察したところ、ステンレス鋼板と平坦な面との
間には隙間は生じず、ステンレス鋼板に歪が観察されな
かった。
置いて観察したところ、ステンレス鋼板と平坦な面との
間には隙間は生じず、ステンレス鋼板に歪が観察されな
かった。
【００１４】
【表１】
【００１５】実施例２ 実施例１において、粒度が＃４００の研磨材で仕上げ研
磨を施したステンレス鋼板を用いた以外は、実施例１と
同様の手順でシャドウマスクの製造を行った。得られた
シャドウマスクは、隣接したスリット間の寸法誤差が±
３μｍとなり、寸法精度の要求を満たすことができた。
磨を施したステンレス鋼板を用いた以外は、実施例１と
同様の手順でシャドウマスクの製造を行った。得られた
シャドウマスクは、隣接したスリット間の寸法誤差が±
３μｍとなり、寸法精度の要求を満たすことができた。
【００１６】また、剥離後ステンレス鋼板を平坦な面に
置いて観察したところ、ステンレス鋼板と平坦な面との
間には隙間は生じず、ステンレス鋼板に歪が観察されな
かった。
置いて観察したところ、ステンレス鋼板と平坦な面との
間には隙間は生じず、ステンレス鋼板に歪が観察されな
かった。
【００１７】比較例１ 実施例１において、２Ｂ仕上げのステンレス鋼板を用い
た以外は、実施例１と同様の手順でシャドウマスクの製
造を行った。得られたシャドウマスクは、歪が生じ隣接
したスリット間の寸法誤差が±１０μｍ程度となり、寸
法精度の要求を満たすことはできなかった。また剥離後
ステンレス鋼板を平坦な面に置いて観察したところ、ス
テンレス鋼板と平坦な面との間に最大１２ｍｍ程度の隙
間が生じ、ステンレス鋼板に歪が観察された。
た以外は、実施例１と同様の手順でシャドウマスクの製
造を行った。得られたシャドウマスクは、歪が生じ隣接
したスリット間の寸法誤差が±１０μｍ程度となり、寸
法精度の要求を満たすことはできなかった。また剥離後
ステンレス鋼板を平坦な面に置いて観察したところ、ス
テンレス鋼板と平坦な面との間に最大１２ｍｍ程度の隙
間が生じ、ステンレス鋼板に歪が観察された。
【００１８】比較例２ 実施例１において、研磨材の粒度が＃１００の研磨材で
研磨を施したステンレス鋼板を用いた以外は、実施例１
と同様の手順でシャドウマスクの製造を行った。得られ
たシャドウマスクは、隣接したスリット間の寸法誤差が
±８μｍ程度となり、寸法精度の要求を満たすことはで
きなかった。また剥離後ステンレス鋼板を平坦な面に置
いて観察したところ、ステンレス鋼板と平坦な面との間
に最大７ｍｍ程度の隙間が生じ、ステンレス鋼板に歪が
観察された。
研磨を施したステンレス鋼板を用いた以外は、実施例１
と同様の手順でシャドウマスクの製造を行った。得られ
たシャドウマスクは、隣接したスリット間の寸法誤差が
±８μｍ程度となり、寸法精度の要求を満たすことはで
きなかった。また剥離後ステンレス鋼板を平坦な面に置
いて観察したところ、ステンレス鋼板と平坦な面との間
に最大７ｍｍ程度の隙間が生じ、ステンレス鋼板に歪が
観察された。
【００１９】
【発明の効果】本発明のシャドウマスクの製造方法を用
いれば、シャドウマスクおよび導体基板を歪ませること
なく剥離することが可能となり、機械的信頼性、特に寸
法精度に優れたシャドウマスクを得ることが可能となっ
た。また本発明方法は導体基板から剥離を伴う他の電子
部品等の製造方法にも応用が可能であり、その効果は極
めて大きい。
いれば、シャドウマスクおよび導体基板を歪ませること
なく剥離することが可能となり、機械的信頼性、特に寸
法精度に優れたシャドウマスクを得ることが可能となっ
た。また本発明方法は導体基板から剥離を伴う他の電子
部品等の製造方法にも応用が可能であり、その効果は極
めて大きい。
Claims (1)
- 【請求項１】 ステンレス鋼板表面にレジスト層を形成
し、パターニングした後、露出したステンレス鋼板表面
に電気鉄めっきを施し、その後、ステンレス鋼板表面よ
りこの電気鉄めっき層を剥離する方法において、該ステ
ンレス鋼板をＪＩＳ規格Ｒ６００１で定められた粒度が
＃２４０以上の研磨材で仕上げ研磨を施して使用するこ
とを特徴とするシャドウマスクの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23514492A JPH0657481A (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | シャドウマスクの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23514492A JPH0657481A (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | シャドウマスクの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0657481A true JPH0657481A (ja) | 1994-03-01 |
Family
ID=16981709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23514492A Pending JPH0657481A (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | シャドウマスクの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0657481A (ja) |
-
1992
- 1992-08-12 JP JP23514492A patent/JPH0657481A/ja active Pending
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