JPH05200967A - 厚膜印刷用スクリーンマスクとその製造方法 - Google Patents
厚膜印刷用スクリーンマスクとその製造方法Info
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- JPH05200967A JPH05200967A JP4034493A JP3449392A JPH05200967A JP H05200967 A JPH05200967 A JP H05200967A JP 4034493 A JP4034493 A JP 4034493A JP 3449392 A JP3449392 A JP 3449392A JP H05200967 A JPH05200967 A JP H05200967A
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- Japan
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- Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【目的】 マスクの伸びによる変形が少なく、簡便に精
度の高い印刷パターンが形成できる厚膜印刷用スクリー
ンマスクとその製造方法。 【構成】 金属箔2のスクリーンメッシュ1側と反対側
の面にエッチング剤に対して耐性を有する乳剤膜3を形
成し、これを所定のパターンに従ってパターニングし、
印刷パターン4を形成した後、この乳剤膜3をレジスト
として前記金属箔2をエッチングし、そこに印刷パター
ン5を形成する。金属箔2と乳剤膜3とに完全に一致し
た印刷パターン4、5が形成できると共に、金属箔2を
薄くすることで金属箔2のサイドエッチングの影響を排
除することができるため、高精度の印刷パターン4、5
が形成できる。また、金属箔2と乳剤膜3とにより印刷
パターン4、5の総体的な厚みが出るため、所要の厚み
の印刷膜が形成できる。
度の高い印刷パターンが形成できる厚膜印刷用スクリー
ンマスクとその製造方法。 【構成】 金属箔2のスクリーンメッシュ1側と反対側
の面にエッチング剤に対して耐性を有する乳剤膜3を形
成し、これを所定のパターンに従ってパターニングし、
印刷パターン4を形成した後、この乳剤膜3をレジスト
として前記金属箔2をエッチングし、そこに印刷パター
ン5を形成する。金属箔2と乳剤膜3とに完全に一致し
た印刷パターン4、5が形成できると共に、金属箔2を
薄くすることで金属箔2のサイドエッチングの影響を排
除することができるため、高精度の印刷パターン4、5
が形成できる。また、金属箔2と乳剤膜3とにより印刷
パターン4、5の総体的な厚みが出るため、所要の厚み
の印刷膜が形成できる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば回路基板上に導
電ペーストを用いて回路パターンを印刷するのに用いら
れる厚膜印刷用スクリーンマスクとその製造方法に関す
る。
電ペーストを用いて回路パターンを印刷するのに用いら
れる厚膜印刷用スクリーンマスクとその製造方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来、厚膜印刷に用いられる印刷マスク
としては、図2で示すように、ステンレスメッシュ等の
スクリーンメッシュ1に乳剤7をコーティングし、この
乳剤7を所定の版パターンに従って露光して除去し、印
刷パターン8を形成した、いわゆるメッシュマスクや、
図3で示すように、薄い金属板10を所定の版パターン
に従ってエッチングし、印刷パターン11を形成した、
いわゆるメタルマスク等が一般に用いれていた。さら
に、前記メッシュマスクを改良したものとして、図4に
示すように、スクリーンメッシュ1の片面にニッケル箔
2を張り、このニッケル箔をエッチングし、印刷パター
ン13を形成したものも用いられている。
としては、図2で示すように、ステンレスメッシュ等の
スクリーンメッシュ1に乳剤7をコーティングし、この
乳剤7を所定の版パターンに従って露光して除去し、印
刷パターン8を形成した、いわゆるメッシュマスクや、
図3で示すように、薄い金属板10を所定の版パターン
に従ってエッチングし、印刷パターン11を形成した、
いわゆるメタルマスク等が一般に用いれていた。さら
に、前記メッシュマスクを改良したものとして、図4に
示すように、スクリーンメッシュ1の片面にニッケル箔
2を張り、このニッケル箔をエッチングし、印刷パター
ン13を形成したものも用いられている。
【0003】
【発明が解決しようとしている課題】前記図2で示した
メッシュマスクでは、マスクの骨格をなすスクリーンメ
ッシュ1が伸びやすいために、印刷パターン8が次第に
変形し、印刷精度が低くなるという課題があった。ま
た、印刷パターン8の縁に沿ってスクリーンメッシュ1
を構成する素線が通っている場合、実際の印刷パターン
8の境界線はスクリーンメッシュ1の素線によって決定
されるため、印刷パターン8の輪郭がずれて、その精度
が出ないという課題も有った。他方、図3に示すメタル
マスクは、伸び等による印刷精度の低下が起こらない
が、印刷パターン11を形成する際、両面から金属板1
0をエッチングしなければならず、印刷の版合わせに手
数がかかる。しかも、印刷パターン11の両面側の縁に
沿って、いわゆるサイドエッチングが起こり、縁部12
が丸みを帯びてしまう。このサイドエッチングは、印刷
膜の膜厚を厚くするため、金属板10を厚くすればする
程顕著に表れ、印刷パターン11の精度がそれだけ低く
なる。
メッシュマスクでは、マスクの骨格をなすスクリーンメ
ッシュ1が伸びやすいために、印刷パターン8が次第に
変形し、印刷精度が低くなるという課題があった。ま
た、印刷パターン8の縁に沿ってスクリーンメッシュ1
を構成する素線が通っている場合、実際の印刷パターン
8の境界線はスクリーンメッシュ1の素線によって決定
されるため、印刷パターン8の輪郭がずれて、その精度
が出ないという課題も有った。他方、図3に示すメタル
マスクは、伸び等による印刷精度の低下が起こらない
が、印刷パターン11を形成する際、両面から金属板1
0をエッチングしなければならず、印刷の版合わせに手
数がかかる。しかも、印刷パターン11の両面側の縁に
沿って、いわゆるサイドエッチングが起こり、縁部12
が丸みを帯びてしまう。このサイドエッチングは、印刷
膜の膜厚を厚くするため、金属板10を厚くすればする
程顕著に表れ、印刷パターン11の精度がそれだけ低く
なる。
【0004】さらに、図4に示すニッケル箔を張ったメ
ッシュマスクでは、メッシュの伸びが抑えられ、印刷精
度の低下が起こらず、金属箔2が薄い場合は、いわゆる
サイドエッチングの問題もなく、高い印刷精度が得られ
る。しかし、薄い金属箔2に形成される印刷パターン3
に多量の印刷ペーストを保持できないため、印刷膜の膜
厚が極端に薄くなり、いわゆる印刷のかすれ等が生じ
る。印刷膜の膜厚を厚くするには、金属箔2の厚みを厚
くする必要があるが、そのような厚い金属箔2を形成す
るには、長いメッキ処理時間を必要とし、マスクの単価
が高くなってしまう。また、前記メタルマスクにおける
ような両面エッチングが必要となり、印刷パターン11
の形成にも手数がかかる。しかも、前記メタルマスクに
おけるようなサイドエッチングの問題が発生し、高い印
刷パターン13の精度も得られなくなるという課題があ
った。本発明は、このような従来の印刷用スクリーンマ
スクの課題に鑑み、マスクの伸びによる変形が少なく、
簡便に精度の高い印刷パターンが形成できる厚膜印刷用
スクリーンマスクとその製造方法を提供することを目的
とする。
ッシュマスクでは、メッシュの伸びが抑えられ、印刷精
度の低下が起こらず、金属箔2が薄い場合は、いわゆる
サイドエッチングの問題もなく、高い印刷精度が得られ
る。しかし、薄い金属箔2に形成される印刷パターン3
に多量の印刷ペーストを保持できないため、印刷膜の膜
厚が極端に薄くなり、いわゆる印刷のかすれ等が生じ
る。印刷膜の膜厚を厚くするには、金属箔2の厚みを厚
くする必要があるが、そのような厚い金属箔2を形成す
るには、長いメッキ処理時間を必要とし、マスクの単価
が高くなってしまう。また、前記メタルマスクにおける
ような両面エッチングが必要となり、印刷パターン11
の形成にも手数がかかる。しかも、前記メタルマスクに
おけるようなサイドエッチングの問題が発生し、高い印
刷パターン13の精度も得られなくなるという課題があ
った。本発明は、このような従来の印刷用スクリーンマ
スクの課題に鑑み、マスクの伸びによる変形が少なく、
簡便に精度の高い印刷パターンが形成できる厚膜印刷用
スクリーンマスクとその製造方法を提供することを目的
とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明では、前
記の目的を達成するため、スクリーンメッシュ1と、そ
の片面に張られた金属箔2とを有する厚膜印刷用スクリ
ーンマスクにおいて、前記金属箔2のスクリーンメッシ
ュ1側と反対側の面に形成され、同金属箔2をエッチン
グするエッチング剤に対して耐性を有する乳剤膜3と、
前記金属箔2と該乳剤膜3とにわたって形成された印刷
パターン4、5とを有することを特徴とする厚膜印刷用
スクリーンマスクを提供する。さらに、スクリーンメッ
シュ1の片面に金属箔2を張って厚膜印刷用スクリーン
マスクを製造する方法において、前記金属箔2を形成す
る工程と、該金属箔2をエッチングするエッチング剤に
対して耐性を有する乳剤を同金属箔2のスクリーンメッ
シュ1側と反対側の面にコーティングして乳剤膜3を形
成する工程と、該乳剤膜3に印刷パターン4を形成する
工程と、該乳剤膜3をレジストとして前記金属箔2をエ
ッチングし、そこに印刷パターン5を形成する工程とを
有することを特徴とする厚膜印刷用スクリーンマスクの
製造方法を提供する。
記の目的を達成するため、スクリーンメッシュ1と、そ
の片面に張られた金属箔2とを有する厚膜印刷用スクリ
ーンマスクにおいて、前記金属箔2のスクリーンメッシ
ュ1側と反対側の面に形成され、同金属箔2をエッチン
グするエッチング剤に対して耐性を有する乳剤膜3と、
前記金属箔2と該乳剤膜3とにわたって形成された印刷
パターン4、5とを有することを特徴とする厚膜印刷用
スクリーンマスクを提供する。さらに、スクリーンメッ
シュ1の片面に金属箔2を張って厚膜印刷用スクリーン
マスクを製造する方法において、前記金属箔2を形成す
る工程と、該金属箔2をエッチングするエッチング剤に
対して耐性を有する乳剤を同金属箔2のスクリーンメッ
シュ1側と反対側の面にコーティングして乳剤膜3を形
成する工程と、該乳剤膜3に印刷パターン4を形成する
工程と、該乳剤膜3をレジストとして前記金属箔2をエ
ッチングし、そこに印刷パターン5を形成する工程とを
有することを特徴とする厚膜印刷用スクリーンマスクの
製造方法を提供する。
【0006】
【作用】前記厚膜印刷用スクリーンマスクでは、まず図
1(c)で示すように、前記乳剤膜3を所定のパターン
に従ってパターニングし、印刷パターン4を形成した
後、この乳剤膜3をレジストとして前記金属箔2をエッ
チングし、そこに印刷パターン5を形成することから、
金属箔2と乳剤膜3とに完全に一致した印刷パターン
4、5が容易に形成できる。そして、この厚膜印刷スク
リーンマスクを使用して回路基板上に回路パターン等を
印刷した場合、金属箔2が薄くても、乳剤膜3により印
刷パターン4、5の総体的な厚みが出るため、所要の厚
みの印刷膜が形成できる。しかも、前記のようにして、
乳剤膜3と金属箔2とに、完全に一致する印刷パターン
4、5が形成できると共に、金属箔2を薄くすることで
金属箔2のサイドエッチングの影響を排除することがで
きるため、高精度の印刷パターン4、5が形成できる。
1(c)で示すように、前記乳剤膜3を所定のパターン
に従ってパターニングし、印刷パターン4を形成した
後、この乳剤膜3をレジストとして前記金属箔2をエッ
チングし、そこに印刷パターン5を形成することから、
金属箔2と乳剤膜3とに完全に一致した印刷パターン
4、5が容易に形成できる。そして、この厚膜印刷スク
リーンマスクを使用して回路基板上に回路パターン等を
印刷した場合、金属箔2が薄くても、乳剤膜3により印
刷パターン4、5の総体的な厚みが出るため、所要の厚
みの印刷膜が形成できる。しかも、前記のようにして、
乳剤膜3と金属箔2とに、完全に一致する印刷パターン
4、5が形成できると共に、金属箔2を薄くすることで
金属箔2のサイドエッチングの影響を排除することがで
きるため、高精度の印刷パターン4、5が形成できる。
【0007】
【実施例】次に、図面を参照しながら、本実施例につい
て説明する。図1に従い、本発明による厚膜印刷用スク
リーンマスクの構成を、その製造手順に従って説明する
と、まず図1(a)で示すように、ステンレススクリー
ンメッシュ1の片面に、5〜10μm程度の厚みのニッ
ケル等の金属箔2を接触させてメッキし、ステンレスス
クリーンメッシュ1の片面にニッケル金属箔2を固定す
る。さらに、図1(b)に示すように、この金属箔2の
スクリーンメッシュ1と反対側の金属箔面に光重合する
と耐酸、耐水、耐溶剤性を示す乳剤膜3(例えば村上ス
クリーン社製のMSP−10等の乳剤)を、20μm程
度の厚さに塗布する。これを乾燥した後図1(c)に示
すように、別に用意した露光用マスク(図示しない)を
前記乳剤に当てて紫外線を照射し乳剤を選択的に光重合
させる。その後アルカリを洗浄して、光重合しない部分
の乳剤を除去して乳剤に印刷パターン4を形成する。次
いで図1(d)に示すように、前記スクリーンメッシュ
1側に図示しない別の市販のホトレジストを塗布し、全
面光重合させた後、例えば、塩化第二鉄溶液に浸漬し、
ニッケル箔をエッチングしてニッケル箔に印刷パターン
5を形成する。その後、前記スクリーンメッシュ1側に
塗布されたホトレジストをアルカリ洗浄して印刷パター
ン4、5を同じ位置に有するスクリーンマスクが完成す
る。
て説明する。図1に従い、本発明による厚膜印刷用スク
リーンマスクの構成を、その製造手順に従って説明する
と、まず図1(a)で示すように、ステンレススクリー
ンメッシュ1の片面に、5〜10μm程度の厚みのニッ
ケル等の金属箔2を接触させてメッキし、ステンレスス
クリーンメッシュ1の片面にニッケル金属箔2を固定す
る。さらに、図1(b)に示すように、この金属箔2の
スクリーンメッシュ1と反対側の金属箔面に光重合する
と耐酸、耐水、耐溶剤性を示す乳剤膜3(例えば村上ス
クリーン社製のMSP−10等の乳剤)を、20μm程
度の厚さに塗布する。これを乾燥した後図1(c)に示
すように、別に用意した露光用マスク(図示しない)を
前記乳剤に当てて紫外線を照射し乳剤を選択的に光重合
させる。その後アルカリを洗浄して、光重合しない部分
の乳剤を除去して乳剤に印刷パターン4を形成する。次
いで図1(d)に示すように、前記スクリーンメッシュ
1側に図示しない別の市販のホトレジストを塗布し、全
面光重合させた後、例えば、塩化第二鉄溶液に浸漬し、
ニッケル箔をエッチングしてニッケル箔に印刷パターン
5を形成する。その後、前記スクリーンメッシュ1側に
塗布されたホトレジストをアルカリ洗浄して印刷パター
ン4、5を同じ位置に有するスクリーンマスクが完成す
る。
【0008】次に、本発明によるスクリーンマスクへの
印刷パターン形成法について説明する。まず、乳剤膜3
を所定のパターンに従って露光し、ポジのパターンを乳
剤膜3に焼付ける。次に、乳剤膜3の焼き付けた部分を
除去することで、図1(c)で示すように、乳剤膜3上
に印刷パターン4が形成される。次に、この乳剤膜3を
レジストとして、前記金属箔2をエッチングし、印刷パ
ターン4と全く同じパターンで金属箔2に印刷パターン
5を形成する。これにより、印刷パターン4を有するス
クリーンマスクが完成する。
印刷パターン形成法について説明する。まず、乳剤膜3
を所定のパターンに従って露光し、ポジのパターンを乳
剤膜3に焼付ける。次に、乳剤膜3の焼き付けた部分を
除去することで、図1(c)で示すように、乳剤膜3上
に印刷パターン4が形成される。次に、この乳剤膜3を
レジストとして、前記金属箔2をエッチングし、印刷パ
ターン4と全く同じパターンで金属箔2に印刷パターン
5を形成する。これにより、印刷パターン4を有するス
クリーンマスクが完成する。
【0009】既に述べたように、この厚膜印刷スクリー
ンマスクは、金属箔2が薄くても、乳剤膜3により印刷
パターン4、5の総体的な厚みが出るため、所要の厚み
の印刷膜が形成できる。しかも、前記のようにして、乳
剤膜3と金属箔2とに、完全に一致する印刷パターン
4、5が形成できると共に、金属箔2を薄くすることで
サイドエッチングの影響を排除することができるため、
高精度の印刷パターン4、5が形成できる。もちろん、
金属箔2を有することから、スクリーンメッシュ1の伸
びによる精度の低下も起こり難い。
ンマスクは、金属箔2が薄くても、乳剤膜3により印刷
パターン4、5の総体的な厚みが出るため、所要の厚み
の印刷膜が形成できる。しかも、前記のようにして、乳
剤膜3と金属箔2とに、完全に一致する印刷パターン
4、5が形成できると共に、金属箔2を薄くすることで
サイドエッチングの影響を排除することができるため、
高精度の印刷パターン4、5が形成できる。もちろん、
金属箔2を有することから、スクリーンメッシュ1の伸
びによる精度の低下も起こり難い。
【0010】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、マ
スクの伸びによる変形が少なく、簡便に精度の高い印刷
パターンが形成できる印刷印刷用スクリーンマスクを提
供することができる。
スクの伸びによる変形が少なく、簡便に精度の高い印刷
パターンが形成できる印刷印刷用スクリーンマスクを提
供することができる。
【図1】本発明の実施例を示すスクリーンマスクの半完
成から完成に至る状態の要部断面図である。
成から完成に至る状態の要部断面図である。
【図2】従来例のスクリーンマスクを示す要部断面図で
ある。
ある。
【図3】他の従来例のスクリーンマスクを示す要部断面
図である。
図である。
【図4】さらに他の従来例のスクリーンマスクを示す要
部断面図である。
部断面図である。
1 スクリーンメッシュ 2 金属箔 3 乳剤膜 4 印刷パターン 5 印刷パターン
Claims (2)
- 【請求項1】 スクリーンメッシュ(1)と、その片面
に張られた金属箔(2)とを有する厚膜印刷用スクリー
ンマスクにおいて、前記金属箔(2)のスクリーンメッ
シュ(1)側と反対側の面に形成され、同金属箔(2)
をエッチングするエッチング剤に対して耐性を有する乳
剤膜(3)と、前記金属箔(2)と該乳剤膜(3)とに
わたって形成された印刷パターン(4)、(5)とを有
することを特徴とする厚膜印刷用スクリーンマスク。 - 【請求項2】 スクリーンメッシュ(1)の片面に金属
箔(2)を張って厚膜印刷用スクリーンマスクを製造す
る方法において、前記金属箔(2)を形成する工程と、
該金属箔(2)をエッチングするエッチング剤に対して
耐性を有する乳剤を同金属箔(2)のスクリーンメッシ
ュ(1)側と反対側の面にコーティングして乳剤膜
(3)を形成する工程と、該乳剤膜(3)に印刷パター
ン(4)を形成する工程と、該乳剤膜(3)をレジスト
として前記金属箔(2)をエッチングし、そこに印刷パ
ターン(5)を形成する工程とを有することを特徴とす
る厚膜印刷用スクリーンマスクの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4034493A JPH05200967A (ja) | 1992-01-25 | 1992-01-25 | 厚膜印刷用スクリーンマスクとその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4034493A JPH05200967A (ja) | 1992-01-25 | 1992-01-25 | 厚膜印刷用スクリーンマスクとその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05200967A true JPH05200967A (ja) | 1993-08-10 |
Family
ID=12415777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4034493A Withdrawn JPH05200967A (ja) | 1992-01-25 | 1992-01-25 | 厚膜印刷用スクリーンマスクとその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05200967A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100470272B1 (ko) * | 2002-04-10 | 2005-02-05 | 오충식 | 금속막 스크린마스크의 제조방법 |
| JP2007118537A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Murata Mfg Co Ltd | スクリーン印刷版およびスクリーン印刷装置 |
-
1992
- 1992-01-25 JP JP4034493A patent/JPH05200967A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100470272B1 (ko) * | 2002-04-10 | 2005-02-05 | 오충식 | 금속막 스크린마스크의 제조방법 |
| JP2007118537A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Murata Mfg Co Ltd | スクリーン印刷版およびスクリーン印刷装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990408 |