JPH0658280B2 - 電気部品又はエレクトロニツク部品の漏れ試験法 - Google Patents
電気部品又はエレクトロニツク部品の漏れ試験法Info
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- JPH0658280B2 JPH0658280B2 JP61157767A JP15776786A JPH0658280B2 JP H0658280 B2 JPH0658280 B2 JP H0658280B2 JP 61157767 A JP61157767 A JP 61157767A JP 15776786 A JP15776786 A JP 15776786A JP H0658280 B2 JPH0658280 B2 JP H0658280B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/06—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point by observing bubbles in a liquid pool
- G01M3/10—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point by observing bubbles in a liquid pool for containers, e.g. radiators
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- G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
- G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明は電気部品またはエレクトロニツク（電子）部
品、例えば回路ボード、マイクロチツプ、集積回路等の
漏れ試験の方法に関し、そして特にこのような方法で有
益に使用できる好適な漏れ試験液を見出すことに関す
る。
品、例えば回路ボード、マイクロチツプ、集積回路等の
漏れ試験の方法に関し、そして特にこのような方法で有
益に使用できる好適な漏れ試験液を見出すことに関す
る。
エレクトロニクス工業において、上昇温度（例えば、１
００から２００℃）で浸漬及び起泡観察によりエレクト
ロニクス部品を漏れ試験するのに適した液体組成物を必
要としていることははつきりしている。試験法は米国ミ
リタミ−スタンダード８８３Ｂ（方法第１０１４号）か
つまた米国ミリタリ−スタンダード２０２Ｆ（方法第１
１２号）に詳述される。
００から２００℃）で浸漬及び起泡観察によりエレクト
ロニクス部品を漏れ試験するのに適した液体組成物を必
要としていることははつきりしている。試験法は米国ミ
リタミ−スタンダード８８３Ｂ（方法第１０１４号）か
つまた米国ミリタリ−スタンダード２０２Ｆ（方法第１
１２号）に詳述される。
この液体は下記の性質の組合わせを示さねばならない： (a) 化学的不活性−試験される部品上でいかなる化学
的攻撃もあつてはならない。
的攻撃もあつてはならない。
(b) 熱安定性−有機化合物の熱破壊は炭素及びタール
を生じ、これらは試験中部品の上に沈着し勝ちであるの
で、この液体は長い露出で２００℃の温度まで加熱に安
定であることが必須である。
を生じ、これらは試験中部品の上に沈着し勝ちであるの
で、この液体は長い露出で２００℃の温度まで加熱に安
定であることが必須である。
(c) 非常に低い固有の毒性。＊ (d) 通常の操作条件に長い露出で毒性分解生成物の形
成がないこと。＊ ＊これはこれらの試験を行なうタンクが開いた頂部を有
すること（試験中部品を入れるため）そして揮発性毒性
蒸気に作業者をさらすことは容認できないためである。
成がないこと。＊ ＊これはこれらの試験を行なうタンクが開いた頂部を有
すること（試験中部品を入れるため）そして揮発性毒性
蒸気に作業者をさらすことは容認できないためである。
(e) 優れた絶縁性（例えば、５００Ｖ ＤＣで１０13
オーム／cm以上の電気抵抗率、英国スタンダードＢＳ１
４８に特定されるような高い絶縁破壊の強さ）。これら
の性質は非常に多数の部品の長い試験で変化してはなら
ず、そしてこの液は試験される部品の電気的性質に関し
ていかなる悪い影響を有してはならない。
オーム／cm以上の電気抵抗率、英国スタンダードＢＳ１
４８に特定されるような高い絶縁破壊の強さ）。これら
の性質は非常に多数の部品の長い試験で変化してはなら
ず、そしてこの液は試験される部品の電気的性質に関し
ていかなる悪い影響を有してはならない。
(f) 非常に低い表面張力（一般にcm当り２０ダイン以
下）。これは試験工程の感度が表面張力の増加に直接比
例して減ずるからである。
下）。これは試験工程の感度が表面張力の増加に直接比
例して減ずるからである。
(g) 試験中部品に使用されるすべての物質と優れた融
和性。重合体の膨潤又は重合体への吸着及び金属の腐食
があつてはならない。
和性。重合体の膨潤又は重合体への吸着及び金属の腐食
があつてはならない。
(h) 試験中部品の汚染を避けるため、この液は残査を
残すことなく蒸発しなければならない。
残すことなく蒸発しなければならない。
(i) 試験浴から取出す際部品へ液の接着により起こさ
れる損失（“引出し”損失）を最小にするため、この液
は低い粘度及び高い密度のものでなければならない。
れる損失（“引出し”損失）を最小にするため、この液
は低い粘度及び高い密度のものでなければならない。
(j) この液の沸点及び蒸気圧は試験が行なわれるのに
十分に高く、しかも試験タンクから除去後に部品の表面
から残留液の迅速蒸発ができるのに十分に低くなければ
ならない。蒸発の比較的低い潜熱は同じ理由で有益であ
る。
十分に高く、しかも試験タンクから除去後に部品の表面
から残留液の迅速蒸発ができるのに十分に低くなければ
ならない。蒸発の比較的低い潜熱は同じ理由で有益であ
る。
本出願人は現在すべての前記の要件、特に要件(d)を満
足させる液を見出した。幾つかの従来使用される物質は
電熱器表面上のホツトスポツトで毒性分解生成物（例え
ば、極めて毒性のペルフルオロ−イソブチレン）を形成
し勝ちであり、そして他のものはあまりに低く沸騰性で
あり、従つて使用時に高い蒸発性（“引出し”）損失を
生ずることに注目すべきである。
足させる液を見出した。幾つかの従来使用される物質は
電熱器表面上のホツトスポツトで毒性分解生成物（例え
ば、極めて毒性のペルフルオロ−イソブチレン）を形成
し勝ちであり、そして他のものはあまりに低く沸騰性で
あり、従つて使用時に高い蒸発性（“引出し”）損失を
生ずることに注目すべきである。
本発明は１００℃以上の温度で不活性液体に浸漬により
電気部品又はエレクトロニツク部品から生ずる起泡を検
出する、これらの部品を漏れ試験する方法において、試
験される部品を主としてペルフルオロペルヒドロフルオ
レンＣ13Ｆ22を含む液体に浸漬することを特徴とする前
記の方法を供する。次にこの部品をこの液から取出しそ
して水気を切る。この方法の感度限界は約１０-2ＣＣＳ
／秒である。
電気部品又はエレクトロニツク部品から生ずる起泡を検
出する、これらの部品を漏れ試験する方法において、試
験される部品を主としてペルフルオロペルヒドロフルオ
レンＣ13Ｆ22を含む液体に浸漬することを特徴とする前
記の方法を供する。次にこの部品をこの液から取出しそ
して水気を切る。この方法の感度限界は約１０-2ＣＣＳ
／秒である。
より大きな感度に対して、米国ミリタリ−スタンダード
２０２Ｆ（試験条件Ｅ）及び米国ミリタリ−スタンダー
ド８８３Ｅ（試験条件Ｃ及びＥ）の両方によれば、漏れ
試験のため浸漬する前に、この部品に実質上１００℃以
下で沸騰する不活性液体（例えば、フルオロカーボン）
を含浸させる試験が特定される。これは内部空所に保持
される低沸点液が漏れ試験工程中蒸気泡として沸騰する
ことを引起こし、約１０-5ＣＣＣ／秒に感度を増大す
る。
２０２Ｆ（試験条件Ｅ）及び米国ミリタリ−スタンダー
ド８８３Ｅ（試験条件Ｃ及びＥ）の両方によれば、漏れ
試験のため浸漬する前に、この部品に実質上１００℃以
下で沸騰する不活性液体（例えば、フルオロカーボン）
を含浸させる試験が特定される。これは内部空所に保持
される低沸点液が漏れ試験工程中蒸気泡として沸騰する
ことを引起こし、約１０-5ＣＣＣ／秒に感度を増大す
る。
プルフルオロペルヒドロフルオレンは化学文献によく記
載される公知の化合物である（例えば、Teterahedron
１９６３、第１９巻、第１８９３−１９０１頁を参照せ
よ）。これは水白色（water-white ）液体であり、その
顕著な物理的性質を下記の表に示す： ペルフルオロペルヒドロフルオレンの物理的性質 ペルフルオルペルヒドロフルオレンの調整は例えば、Ｍ
ｃＢｅｅ等の米国特許第２，４５９，７８０号（例３を
参照せよ）に記載される。
載される公知の化合物である（例えば、Teterahedron
１９６３、第１９巻、第１８９３−１９０１頁を参照せ
よ）。これは水白色（water-white ）液体であり、その
顕著な物理的性質を下記の表に示す： ペルフルオロペルヒドロフルオレンの物理的性質 ペルフルオルペルヒドロフルオレンの調整は例えば、Ｍ
ｃＢｅｅ等の米国特許第２，４５９，７８０号（例３を
参照せよ）に記載される。
試験されるべき電気部品又はエレクロニツク部品に好ま
しくは漏れ試験の前に比較的低い沸点の液を含浸させ
る。好適な低沸点液は例えばＦＬＵＴＥＣ ＰＰ５０
（ペルフルオロ ｎ−ペンタン、沸点２９℃）及びＦＬ
ＵＴＥＣ ＰＰ１（ペルフルオロ ｎ−ヘキサン、沸点
５７℃）であり、ＦＬＵＴＥＣはＩＳＯケミカルズ社の
米国登録商標である。
しくは漏れ試験の前に比較的低い沸点の液を含浸させ
る。好適な低沸点液は例えばＦＬＵＴＥＣ ＰＰ５０
（ペルフルオロ ｎ−ペンタン、沸点２９℃）及びＦＬ
ＵＴＥＣ ＰＰ１（ペルフルオロ ｎ−ヘキサン、沸点
５７℃）であり、ＦＬＵＴＥＣはＩＳＯケミカルズ社の
米国登録商標である。
本発明を更に下記の例に関して説明する。
例：シーリングの一体性についてエレクロニツク部品の
試験 (a) 使用した方法：米国ミリタリ−スタンダード２０
２Ｆ、８、７、８２、方法１１２Ｄ（シール試験条件
Ｄ） 既に認められた検出流体、例えばＦＬＵＴＥＣＰＰ９
（ペルフルオロメサルデカリン、異性体と混合した）、
及び別の流体としてペルフルオロペルヒドロフルオレン
を使用して、前記の方法に定められた工程により、不適
当なシールを有する多数のエレクトロニツク部品を試験
した。１２５℃で２０秒の間試験液に試料を浸漬した。
４試料を試験し、そして各試料で３回試験を行なつた。
試験 (a) 使用した方法：米国ミリタリ−スタンダード２０
２Ｆ、８、７、８２、方法１１２Ｄ（シール試験条件
Ｄ） 既に認められた検出流体、例えばＦＬＵＴＥＣＰＰ９
（ペルフルオロメサルデカリン、異性体と混合した）、
及び別の流体としてペルフルオロペルヒドロフルオレン
を使用して、前記の方法に定められた工程により、不適
当なシールを有する多数のエレクトロニツク部品を試験
した。１２５℃で２０秒の間試験液に試料を浸漬した。
４試料を試験し、そして各試料で３回試験を行なつた。
下記の結果が得られた。
この試験を２回、３回と繰返した時、各々の試料で同じ
結果が得られた。
結果が得られた。
(b) 使用した方法：米国ミリタリ−スタンダード８８
３Ｂ、３１、８、７７、方法１０１４、試験条件Ｃ。
３Ｂ、３１、８、７７、方法１０１４、試験条件Ｃ。
ヘリウム微細漏れ試験を失敗した多数のエレクトロニツ
ク部品を再試験した。この工程は検出液体としてＦＬＵ
ＴＥＣ ＰＰ１（ペルフルオロ ｎ−ヘキサン）を有す
る真空／圧力室に７５ポンド／インチ２で２時間部品を
入れることを含む。フルオロカーボン起泡試験に失敗し
た部品に対して同一の工程を使用して、即ち１２５℃で
２０秒の浸漬で漏れが示された。
ク部品を再試験した。この工程は検出液体としてＦＬＵ
ＴＥＣ ＰＰ１（ペルフルオロ ｎ−ヘキサン）を有す
る真空／圧力室に７５ポンド／インチ２で２時間部品を
入れることを含む。フルオロカーボン起泡試験に失敗し
た部品に対して同一の工程を使用して、即ち１２５℃で
２０秒の浸漬で漏れが示された。
下記の結果が得られた。
結論 前記のデータによりペルフルオロペルヒドロフルオレン
が前記の米国ミリタリ−スペツクに定められた試験で使
用に適した媒体であることが確認される。
が前記の米国ミリタリ−スペツクに定められた試験で使
用に適した媒体であることが確認される。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 コリン ロバート サージエント イギリス国ブリストル，ネイルシー，ワヤ ツツ クロース 16
Claims (3)
- 【請求項１】試験されるべき電気部品又はエレクトロニ
ツク（電子）部品を１００℃以上の温度で不活性液体に
浸漬してこの部品から生ずる泡を検出して電気部品又は
エレクトロニツク部品を漏れ試験する方法において、試
験されるべき部品を浸漬する液体が主としてペルフルオ
ロペルヒドロフルオレンＣ13Ｆ22を含むことを特徴とす
る前記の方法。 - 【請求項２】主としてペルフルオロペルヒドロフルオレ
ンを含む前記の液体中に漏れ試験のため部品を浸漬する
前に、実質上１００℃以下で沸騰する液体を部品に含浸
させることを更に含む、特許請求の範囲第１項に記載し
た方法。 - 【請求項３】実質的１００℃以下で沸騰する前記の液体
がペルフルオロ ｎ−ペンタン又はペルフルオロ ｎ−
ヘキサンである、特許請求の範囲第２項に記載した方
法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB858516948A GB8516948D0 (en) | 1985-07-04 | 1985-07-04 | Leak-testing fluids |
| GB8516948 | 1985-07-04 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6263830A JPS6263830A (ja) | 1987-03-20 |
| JPH0658280B2 true JPH0658280B2 (ja) | 1994-08-03 |
Family
ID=10581784
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61157767A Expired - Lifetime JPH0658280B2 (ja) | 1985-07-04 | 1986-07-04 | 電気部品又はエレクトロニツク部品の漏れ試験法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4736621A (ja) |
| JP (1) | JPH0658280B2 (ja) |
| GB (1) | GB8516948D0 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5369983A (en) * | 1992-04-17 | 1994-12-06 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Detection medium and method for use in hermetic seal testing |
| US5354999A (en) * | 1993-04-02 | 1994-10-11 | Neff Charles E | Leak detection achieved by detection of light transmitted through an opaque layer interrupted by a passing bubble |
| US6223586B1 (en) | 1998-12-23 | 2001-05-01 | Visteon Global Technologies, Inc. | Micro-electromechanical device inspection |
| EP1522838B1 (en) * | 2003-10-10 | 2010-09-22 | Greatbatch Ltd. | Leak testing of hermetic enclosures for implantable energy storage devices |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2459780A (en) * | 1945-09-24 | 1949-01-25 | Purdue Research Foundation | Anellated polycarbocyclic perfluorocompounds |
| US3548636A (en) * | 1968-09-30 | 1970-12-22 | Nasa | Method for detecting leaks in hermetically sealed containers |
| US3738158A (en) * | 1972-04-06 | 1973-06-12 | Us Air Force | Gross leak vacuum and pressure chamber assembly |
-
1985
- 1985-07-04 GB GB858516948A patent/GB8516948D0/en active Pending
-
1986
- 1986-07-04 JP JP61157767A patent/JPH0658280B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1986-07-07 US US06/882,234 patent/US4736621A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB8516948D0 (en) | 1985-08-07 |
| US4736621A (en) | 1988-04-12 |
| JPS6263830A (ja) | 1987-03-20 |
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