JPH0658683B2 - 測長装置 - Google Patents

測長装置

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JPH0658683B2
JPH0658683B2 JP59238989A JP23898984A JPH0658683B2 JP H0658683 B2 JPH0658683 B2 JP H0658683B2 JP 59238989 A JP59238989 A JP 59238989A JP 23898984 A JP23898984 A JP 23898984A JP H0658683 B2 JPH0658683 B2 JP H0658683B2
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JP
Japan
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image
measurement
measuring device
length measuring
contour
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JP59238989A
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JPS61116606A (ja
Inventor
輝昭 大野
信二郎 片桐
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Hitachi Ltd
Hitachi Naka Seiki Ltd
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Hitachi Ltd
Hitachi Naka Seiki Ltd
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/022—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of tv-camera scanning

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Image Analysis (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Image Processing (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は測長装置に係り、輪郭の不明確な、かつ夾雑物
等の存在し得る物体の微小寸法を測定するに好適な測長
装置に関する。
〔発明の背景〕
微小な粒体または超ＬＳＩのパターンなどの粒径、及び
パターン巾等の測定に、光学顕微鏡または走査電子顕微
鏡等が用いられている。この像をテレビカメラ等では一
旦フレームメモリ上に記憶せしめ、前記巾、又は径に相
当する断面の強度分布、プロフイルをテレビモニタ上に
表示して、所望の巾等を算出する。しかし、この方法で
は測定箇所が不明で、時に誤つた測定を行つていても測
定者には判らない欠点があつた。
〔発明の目的〕
本発明の目的は超ＬＳＩのレジストパターン、または鉄
鋼中の炭化物等の如く、輪郭の不明瞭な箇所のある非測
定物の寸法を計測するのに適した測長装置を提供するこ
とにある。
〔発明の実施例〕
第１図は画像をフレームメモリ上にとり込む１例であ
る。１はテレビカメラ、２は光学顕微鏡筒、３は超ＬＳ
Ｉウエハの如き非測定物、４は顕微鏡のホルダで、像は
ＡＤ変換器５により、デジタル像としてフレーメモリ６
に記憶される。記憶された像はＤＡ変換器８を通してテ
レビモニタ９により表示される。第２図はレジストパタ
ーンの像、およびＸ−Ｘ′の線で切つた断面の強度分布
とする。このパターンの巾を測定するに、頂部の巾Ａ、
分布の変曲点の巾Ｂ、またはある強度のしきい値の巾Ｃ
の何れかをとることが通常行われている。ところがレジ
ストの輪郭は第２図に示すように、陥没した欠陥もしく
は、エツチング残渣などが突起として存在し、ある判定
条件ではパターン巾の開始点と誤認せしめることが多
い。本発明になる測定の１例を第３図に示す。
レジストパターンはＸ及びＹの４本のカーソル線で囲ま
れた範囲を測定対象とする。カーソルはキーボード10よ
りコンピュータ11を経て、制御される。キーボードはた
とえば第５図に示すようなもので、Ｘ，Ｙ４本のカーソ
ルが自由に動くようになつている。カーソル制御用のキ
ーボードからの入力があると、コンピユータ１１はカー
ソル表示用メモリ７に書かれているデータを変更する。
カーソル表示用メモリの内容はＤＡ変換器８を通して通
常モニタ９上に表示される。つまり、像とカーソルは同
時にモニタ９上に表示される。パタンの巾の測長は上よ
り、カーソル線Ｘ１Ｘ２で挾さまれた範囲を等分に分割
された箇所が測長される。カーソル線Ｙ１Ｙ２を基準と
してパターンまでの長さを測定する。その際、水平走査
線と画像輪郭との交点を測長の開始点および終点、つま
りパターン検出点として、図の如く、像の輪郭に重ねて
表示すれば、前記の陥没した点Ｄ．Ｆ、夾雑物Ｅ等の障
害を容易に識別でき、また周辺の強度が不明瞭で、パタ
ーンの輪郭ではしきい値に達しない部分、たとえばＦな
どを避けることができる。
第４図はこれを避けて測長した例である。カーソルＹ１
Ｙ２をパターンに接近せしめ、またＸ１Ｘ２のカーソル
によつて、欠陥部を避けることができ、精度のよい測長
が可能となる。
なお、パターン測定の開始点や終点を測定点ないしは検
出点として像と重ね合せて表示するには、その地点の画
像データを最高輝度のデータに書き変えることによつて
実現できる。
〔発明の効果〕
本発明によれば測長の開始点、もしくは終点を両面の被
測定物周辺に重畳せしめることによつて、測定者が所望
の測定を行なつているか否かを確認でき、かつ、Ｘ及び
Ｙのカーソルによつて、測定精度を阻害する要因をとり
除くことができ、測長装置の使用上、実用に益するとこ
ろ大である。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明にもとづく一実施例を示す測長装置のブ
ロツク図、第２図は従来例による測定例、第３図，第４
図は本発明の一実施例による測定例、第５図は第１図の
キーボードの一具体例である。 １……テレビカメラ、２……鏡筒、３……被測定物、４
……ホルダ、５……ＡＤ変換器、６……フレームメモ
リ、７……カーソル表示用メモリ、８……ＤＡ変換器、
９……モニタ部、１０……キーボード、１１……コンピ
ュータ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 片桐 信二郎 茨城県勝田市市毛1040番地 日立那珂精器 株式会社内 (56)参考文献 特開 昭57−4134（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−123477（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−122107（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−82244（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−908（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−109902（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】フレームメモリに記憶された画像をモニタ
    ブラウン管を表示し、その画像上の所望箇所の距離を測
    定する測長装置において、 ＸおよびＹのカーソル線をもって測定の範囲を制限する
    手段と、 前記制限された範囲内において、測定しようとする画像
    の輪郭と水平走査線との交点を自動的に検出する手段
    と、 前記検出された交点を、測長の開始点および終点とし
    て、測定しようとする画像の輪郭上に重畳して表示する
    手段とを具備したことを特徴とする測長装置。
JP59238989A 1984-11-12 1984-11-12 測長装置 Expired - Lifetime JPH0658683B2 (ja)

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JPS61116606A JPS61116606A (ja) 1986-06-04
JPH0658683B2 true JPH0658683B2 (ja) 1994-08-03

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JPS6363907A (ja) * 1986-09-04 1988-03-22 Tamuron:Kk 非接触式高さ測定方法
FR2609551B1 (fr) * 1987-01-09 1991-09-20 Cattarino Yvan Procede et dispositif pour detecter et mesurer automatiquement la position de formes ou de nuances d'une image fournie par une camera video
JPH01250806A (ja) * 1988-03-31 1989-10-05 Nachi Fujikoshi Corp 幅寸法測定方法及びその装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6037949B2 (ja) * 1978-06-14 1985-08-29 株式会社東芝 画像表示装置
JPS55109902A (en) * 1979-02-16 1980-08-23 Hitachi Denshi Ltd Oblique image pickup correction system of subject size measuring instrument
JPS55122107A (en) * 1979-03-15 1980-09-19 Hitachi Denshi Ltd System for measuring dimension of photographic object

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