JPH0658745A - 凹凸観測装置 - Google Patents
凹凸観測装置Info
- Publication number
- JPH0658745A JPH0658745A JP16967193A JP16967193A JPH0658745A JP H0658745 A JPH0658745 A JP H0658745A JP 16967193 A JP16967193 A JP 16967193A JP 16967193 A JP16967193 A JP 16967193A JP H0658745 A JPH0658745 A JP H0658745A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【目的】観測対象の平坦面に生成された皺などの凹凸を
高精度に検査する。 【構成】遮蔽体４と投光装置５と撮像装置６とから成
る。遮蔽体４は被検査品３の表面上を覆うもので、被検
査品３との間には微小間隙８が形成される。投光装置５
は微小間隙８より遮蔽体４の内側へ板状光を照射する。
撮像装置６は被検査品３の上方に配置され、対物レンズ
１４を遮蔽体４の内側に位置決めする。
高精度に検査する。 【構成】遮蔽体４と投光装置５と撮像装置６とから成
る。遮蔽体４は被検査品３の表面上を覆うもので、被検
査品３との間には微小間隙８が形成される。投光装置５
は微小間隙８より遮蔽体４の内側へ板状光を照射する。
撮像装置６は被検査品３の上方に配置され、対物レンズ
１４を遮蔽体４の内側に位置決めする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、紙や布などのシート
状物の表面に生成される皺の有無を観測したり、物体の
平坦面に生成されるうねりや凹凸の有無を観測したりす
るのに用いられる凹凸観測装置に関する。
状物の表面に生成される皺の有無を観測したり、物体の
平坦面に生成されるうねりや凹凸の有無を観測したりす
るのに用いられる凹凸観測装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば紙などに印刷を施す場合、紙の表
面に皺が生じていると、適正な印刷が困難である。また
柔軟で可撓性のあるシート状物を焼成して固化するよう
な場合に、シート状物に皺が生じていると、適正な焼成
品を得ることが困難である。従ってこの種の皺の有無を
検査した上で所定の加工工程へ移行させるのが望まし
い。
面に皺が生じていると、適正な印刷が困難である。また
柔軟で可撓性のあるシート状物を焼成して固化するよう
な場合に、シート状物に皺が生じていると、適正な焼成
品を得ることが困難である。従ってこの種の皺の有無を
検査した上で所定の加工工程へ移行させるのが望まし
い。
【０００３】
【発明が解決しようとする問題点】従来はこの種検査を
人間が眼で見て行っていたが、検査結果にばらつきがあ
り、また高速かつ高精度の検査を行うのが困難である。
このため自動検査装置の出現が望まれているが、現在の
ところ、その種の装置は未だ提案されていない。
人間が眼で見て行っていたが、検査結果にばらつきがあ
り、また高速かつ高精度の検査を行うのが困難である。
このため自動検査装置の出現が望まれているが、現在の
ところ、その種の装置は未だ提案されていない。
【０００４】この発明は、上記問題に着目してなされた
もので、観測対象の平坦面に生成された皺などの凹凸を
高精度に検査し得る凹凸観測装置を提供することを目的
とする。
もので、観測対象の平坦面に生成された皺などの凹凸を
高精度に検査し得る凹凸観測装置を提供することを目的
とする。
【０００５】
【問題点を解決するための手段】この発明は、観測対象
の平坦面に生成された凹凸を観測するための凹凸観測装
置であって、遮蔽体と投光装置と撮像装置とを具備して
いる。前記遮蔽体は、観測対象の平坦面上を覆いかつ平
坦面との間に微小間隙が生ずるよう配置される。前記投
光装置は、前記遮蔽体の外側に前記微小間隙に向けて配
置され、微小間隙より遮蔽体の内側へ板状光を前記平坦
面と平行に照射することが可能となっている。前記撮像
装置は、観測対象の平坦面の上方に配置され、対物レン
ズを遮蔽体の内側に平坦面と対向させて位置決めされ
る。
の平坦面に生成された凹凸を観測するための凹凸観測装
置であって、遮蔽体と投光装置と撮像装置とを具備して
いる。前記遮蔽体は、観測対象の平坦面上を覆いかつ平
坦面との間に微小間隙が生ずるよう配置される。前記投
光装置は、前記遮蔽体の外側に前記微小間隙に向けて配
置され、微小間隙より遮蔽体の内側へ板状光を前記平坦
面と平行に照射することが可能となっている。前記撮像
装置は、観測対象の平坦面の上方に配置され、対物レン
ズを遮蔽体の内側に平坦面と対向させて位置決めされ
る。
【０００６】また請求項２の発明にかかる凹凸観測装置
では、前記遮蔽体の内面が光吸収体となっている。
では、前記遮蔽体の内面が光吸収体となっている。
【０００７】
【作用】遮蔽体で覆われた皺などの凹凸を有する平坦面
に対し、板状光を平行に照射すると、凹凸に光が当たっ
てその部分のみが光るため、これを撮像装置で撮像する
と、画像上に凹凸部分に対応して高輝度部分が現れる。
に対し、板状光を平行に照射すると、凹凸に光が当たっ
てその部分のみが光るため、これを撮像装置で撮像する
と、画像上に凹凸部分に対応して高輝度部分が現れる。
【０００８】請求項２の凹凸観測装置では、遮蔽体の内
面が光吸収体であるので、遮蔽体の内面での反射光の発
生が防止され、鮮明な画像が得られる。
面が光吸収体であるので、遮蔽体の内面での反射光の発
生が防止され、鮮明な画像が得られる。
【０００９】
【実施例】第１図は、この発明の一実施例にかかる凹凸
観測装置１の外観を示している。この凹凸観測装置１は
ベルトコンベヤ２による搬送路沿いに配置され、このベ
ルトコンベヤ２上の各被検査品３につき皺の発生の有無
を次々に自動検査する。この実施例では、被検査品３は
紙片や合成樹脂シートのようなシート状物であるが、こ
れに限らないことは勿論であり、また皺のみならず、物
体表面に生じたうねりや凹凸などの検査にも適用でき
る。
観測装置１の外観を示している。この凹凸観測装置１は
ベルトコンベヤ２による搬送路沿いに配置され、このベ
ルトコンベヤ２上の各被検査品３につき皺の発生の有無
を次々に自動検査する。この実施例では、被検査品３は
紙片や合成樹脂シートのようなシート状物であるが、こ
れに限らないことは勿論であり、また皺のみならず、物
体表面に生じたうねりや凹凸などの検査にも適用でき
る。
【００１０】図示例の凹凸観測装置１は、遮蔽体４と投
光装置５と撮像装置６とを含み、撮像装置６は画像処理
装置７に接続されている。遮蔽体４は、被検査品３の平
坦な表面に外部の照明光が当たるのを阻止するためのも
ので、被検査品３の表面上を覆いかつ第２図に示すよう
に、被検査品３の表面との間に１〜２mm程度の微小間隙
８が生ずるようにベルトコンベヤ２の真上に配置され
る。この遮蔽体４の内面は光を吸収して反射光を発生さ
せないための無反射面となっている。この無反射面は遮
蔽体４の内面に無反射の塗料を塗ったり、無反射シート
を貼付するなどにより形成される。
光装置５と撮像装置６とを含み、撮像装置６は画像処理
装置７に接続されている。遮蔽体４は、被検査品３の平
坦な表面に外部の照明光が当たるのを阻止するためのも
ので、被検査品３の表面上を覆いかつ第２図に示すよう
に、被検査品３の表面との間に１〜２mm程度の微小間隙
８が生ずるようにベルトコンベヤ２の真上に配置され
る。この遮蔽体４の内面は光を吸収して反射光を発生さ
せないための無反射面となっている。この無反射面は遮
蔽体４の内面に無反射の塗料を塗ったり、無反射シート
を貼付するなどにより形成される。
【００１１】投光装置５は、微小間隙８より遮蔽体４の
内側へ板状光９を被検査品３の表面と平行に照射するた
めのもので、光ファイバ１０の先端を前記遮蔽体４の外
側で前記微小間隙８に向けて配置される。図示例の投光
装置５はケース内にハロゲンランプや蛍光灯などの光源
を内蔵し、その光源に前記光ファイバ１０の一端を接続
し、その他端をケース外へ引き出して前記微小間隙８に
対向位置させたものである。
内側へ板状光９を被検査品３の表面と平行に照射するた
めのもので、光ファイバ１０の先端を前記遮蔽体４の外
側で前記微小間隙８に向けて配置される。図示例の投光
装置５はケース内にハロゲンランプや蛍光灯などの光源
を内蔵し、その光源に前記光ファイバ１０の一端を接続
し、その他端をケース外へ引き出して前記微小間隙８に
対向位置させたものである。
【００１２】前記微小間隙８は投光装置５からの投射光
のみを遮蔽体４の内部へ導くためのものであるが、この
実施例の場合、光ファイバ１０の先端面を発して拡がっ
た光を微小間隙８に相当する厚みに絞って板状光９とな
す作用がある。
のみを遮蔽体４の内部へ導くためのものであるが、この
実施例の場合、光ファイバ１０の先端面を発して拡がっ
た光を微小間隙８に相当する厚みに絞って板状光９とな
す作用がある。
【００１３】なおこの実施例では、１本の光ファイバを
用いているが、板状光９の幅を広げるために、複数本の
光ファイバを一列に並べて用いてもよく、また板状体の
光ファイバを用いてもよい。また前記板状光９は、前記
微小間隙８にて形成する以外に、第５図に示すように、
光源１１の近傍にスリット板１２を設け、光源１１から
の光をスリット１３を通過させることにより形成しても
よい。この場合の微小間隙８は板状光の生成作用はな
い。
用いているが、板状光９の幅を広げるために、複数本の
光ファイバを一列に並べて用いてもよく、また板状体の
光ファイバを用いてもよい。また前記板状光９は、前記
微小間隙８にて形成する以外に、第５図に示すように、
光源１１の近傍にスリット板１２を設け、光源１１から
の光をスリット１３を通過させることにより形成しても
よい。この場合の微小間隙８は板状光の生成作用はな
い。
【００１４】前記撮像装置６は、被検査品３の表面を真
上位置より撮像するためのもので、対物レンズ１４を前
記遮蔽体４の内側であって被検査品３の表面と対向させ
て位置決め配置される。この撮像装置６で得た画像は画
像処理装置７に送られて２値化などの前処理が行われた
後、その２値画像から皺の有無を判別してその判別結果
を表示部１５に表示する。
上位置より撮像するためのもので、対物レンズ１４を前
記遮蔽体４の内側であって被検査品３の表面と対向させ
て位置決め配置される。この撮像装置６で得た画像は画
像処理装置７に送られて２値化などの前処理が行われた
後、その２値画像から皺の有無を判別してその判別結果
を表示部１５に表示する。
【００１５】つぎに上記構成の凹凸観測装置１につい
て、その動作を説明する。いま投光装置５を駆動する
と、光ファイバ１０の先端面より光が照射され、前記微
小間隙８を経て板状光９となり、遮蔽体４の内側へ被検
査品３の表面と平行に進行する。もし被検査品３の表面
に皺が生じていなければ、板状光９はそのまま通過して
被検査品３の表面に当たらない。もし被検査品３の表面
に皺が生じていると、第３図に示す如く、板状光９は皺
１６の凸部１７や凹部１８に当たって反射光を生じさ
せ、その部分のみが光ることになる。
て、その動作を説明する。いま投光装置５を駆動する
と、光ファイバ１０の先端面より光が照射され、前記微
小間隙８を経て板状光９となり、遮蔽体４の内側へ被検
査品３の表面と平行に進行する。もし被検査品３の表面
に皺が生じていなければ、板状光９はそのまま通過して
被検査品３の表面に当たらない。もし被検査品３の表面
に皺が生じていると、第３図に示す如く、板状光９は皺
１６の凸部１７や凹部１８に当たって反射光を生じさ
せ、その部分のみが光ることになる。
【００１６】この被検査品３の表面を撮像装置６により
真上から撮像すると、皺が生じていない被検査品につい
ては真暗な画像となる。一方皺が生じた被検査品につい
ては真暗な背景中に前記凸部１７や凹部１８に相当する
高輝度部分が現れた画像となる。この画像を画像処理装
置７に取り込んで２値化すると、第４図に示すように、
高輝度部分２０が白画素、背景部分２１が黒画素として
現れた２値画像となる。
真上から撮像すると、皺が生じていない被検査品につい
ては真暗な画像となる。一方皺が生じた被検査品につい
ては真暗な背景中に前記凸部１７や凹部１８に相当する
高輝度部分が現れた画像となる。この画像を画像処理装
置７に取り込んで２値化すると、第４図に示すように、
高輝度部分２０が白画素、背景部分２１が黒画素として
現れた２値画像となる。
【００１７】画像処理装置１ではこの２値画像１９をラ
スタースキャンし、２値画像１９中の白画素数を計数し
て、その計数値を所定のしきい値と比較する。もし計数
値がしきい値より大きければ被検査品３は皺が発生した
不良品であると判断し、またしきい値未満であれば被検
査品３は皺が発生していない良品であると判断し、その
判断結果を表示部１５に表示することになる。
スタースキャンし、２値画像１９中の白画素数を計数し
て、その計数値を所定のしきい値と比較する。もし計数
値がしきい値より大きければ被検査品３は皺が発生した
不良品であると判断し、またしきい値未満であれば被検
査品３は皺が発生していない良品であると判断し、その
判断結果を表示部１５に表示することになる。
【００１８】
【発明の効果】この発明は上記の如く、観測対象の平坦
面上を遮蔽体で覆い、観測対象と遮蔽体との間の微小間
隙より遮蔽体の内側へ板状光を平坦面と平行に照射し
て、その平坦面の画像を撮像装置で撮像するようにした
から、観測対象の平坦面に生成された皺などの凹凸が高
輝度部分として観測し得、人手を介することなく、高速
かつ高精度に凹凸の自動検査が可能である。
面上を遮蔽体で覆い、観測対象と遮蔽体との間の微小間
隙より遮蔽体の内側へ板状光を平坦面と平行に照射し
て、その平坦面の画像を撮像装置で撮像するようにした
から、観測対象の平坦面に生成された皺などの凹凸が高
輝度部分として観測し得、人手を介することなく、高速
かつ高精度に凹凸の自動検査が可能である。
【００１９】また請求項２の発明では、遮蔽体の内面が
光吸収体であるから、遮蔽体の内面での反射光の発生を
防止し得、これにより鮮明な画像を得ることができ、検
査精度が向上する。
光吸収体であるから、遮蔽体の内面での反射光の発生を
防止し得、これにより鮮明な画像を得ることができ、検
査精度が向上する。
【図１】この発明の一実施例にかかる凹凸観測装置の外
観を示す斜面図である。
観を示す斜面図である。
【図２】凹凸の観測状況を示す断面図である。
【図３】高輝度部分の発生状態を示す説明図である。
【図４】高輝度部分を含む２値画像を示す説明図であ
る。
る。
【図５】投光装置の他の実施例を示す断面図である。
１ 凹凸観測装置 ４ 遮蔽体 ５ 投光装置 ６ 撮像装置 ８ 微小間隙 １４ 対物レンズ
Claims (2)
- 【請求項１】 観測対象の平坦面に生成された凹凸を観
測するための凹凸観測装置であって、 遮蔽体と投光装置と撮像装置とを有し、 前記遮蔽体は、観測対象の平坦面上を覆いかつ平坦面と
の間に微小間隙が生ずるよう配置され、 前記投光装置は、前記遮蔽体の外側に前記微小間隙に向
けて配置され、微小間隙より遮蔽体の内側へ板状光を前
記平坦面と平行に照射することが可能であり、 前記撮像装置は、観測対象の平坦面の上方に配置され、
対物レンズを遮蔽体の内側に平坦面と対向させて位置決
めされて成る凹凸観測装置。 - 【請求項２】 前記遮蔽体の内面は、光吸収体である請
求項１に記載された凹凸観測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16967193A JPH0718695B2 (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 凹凸観測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16967193A JPH0718695B2 (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 凹凸観測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0658745A true JPH0658745A (ja) | 1994-03-04 |
| JPH0718695B2 JPH0718695B2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=15890758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16967193A Expired - Fee Related JPH0718695B2 (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 凹凸観測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0718695B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1051595A (ja) * | 1996-07-31 | 1998-02-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像処理システム |
| JP2005274173A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Japan Science & Technology Agency | ウエハー基板、液晶ディスプレイ用透明ガラス等の被検査物の表面上の異物・表面検査方法およびその装置 |
| JP2008275563A (ja) * | 2007-05-07 | 2008-11-13 | Dainippon Printing Co Ltd | 検査画像形成装置、検査装置、検査画像形成方法、及び検査方法 |
| JP2012018060A (ja) * | 2010-07-07 | 2012-01-26 | East Japan Railway Co | 車輪形状測定装置 |
| JP2019138762A (ja) * | 2018-02-09 | 2019-08-22 | 東芝Ｉｔコントロールシステム株式会社 | 外観検査装置 |
| US11906446B2 (en) | 2021-03-09 | 2024-02-20 | Honda Motor Co., Ltd. | Method of inspecting surface and surface inspection apparatus |
-
1993
- 1993-06-15 JP JP16967193A patent/JPH0718695B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1051595A (ja) * | 1996-07-31 | 1998-02-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像処理システム |
| JP2005274173A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Japan Science & Technology Agency | ウエハー基板、液晶ディスプレイ用透明ガラス等の被検査物の表面上の異物・表面検査方法およびその装置 |
| JP2008275563A (ja) * | 2007-05-07 | 2008-11-13 | Dainippon Printing Co Ltd | 検査画像形成装置、検査装置、検査画像形成方法、及び検査方法 |
| JP2012018060A (ja) * | 2010-07-07 | 2012-01-26 | East Japan Railway Co | 車輪形状測定装置 |
| JP2019138762A (ja) * | 2018-02-09 | 2019-08-22 | 東芝Ｉｔコントロールシステム株式会社 | 外観検査装置 |
| US11906446B2 (en) | 2021-03-09 | 2024-02-20 | Honda Motor Co., Ltd. | Method of inspecting surface and surface inspection apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0718695B2 (ja) | 1995-03-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |