JPH065882U - Vacuum suction device - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワーク２３を吸着して持ち上げ、更に降ろし
て釈放する真空吸着装置について、ワーク２３を持ち上
げ、降ろすための専用の流体圧シリンダを不要とする。
【構成】 ケース１にピストン２を往復動自在に組合
せ、ピストン２の一端側にワーク２３に接離する吸着部
３を設け、ピストン２の他端側に真空ポンプ１９によっ
て真空引きされる気密的な空間６を設け、ピストン２を
バネ７によって一端側に弾性付勢し、吸着部３と空間６
を連通路９によって連通し、連通路９を開閉するパイロ
ット操作形のチェック弁１０を設け、真空引きの作用を
もってワーク２３とピストン２を持ち上げ、そして降ろ
す。
(57) [Summary] [Purpose] With respect to a vacuum suction device that sucks and lifts the work 23, and further lowers and releases the work 23, a dedicated fluid pressure cylinder for lifting and lowering the work 23 is not required. [Structure] A piston 1 is reciprocally combined with a case 1, an adsorbing portion 3 that comes in contact with and separates from a work 23 is provided on one end side of the piston 2, and an airtight vacuum is drawn by a vacuum pump 19 on the other end side of the piston 2. Space 6 is provided, and the piston 2 is elastically urged to one end side by the spring 7, so that the suction portion 3 and the space 6
Is provided with a communication passage 9, and a pilot operated check valve 10 for opening and closing the communication passage 9 is provided, and the work 23 and the piston 2 are lifted and lowered by the action of vacuuming.
Description
【０００１】[0001]
本考案は、ワークを吸着して持ち上げ、更に降ろして釈放する真空吸着装置に 関する。 The present invention relates to a vacuum suction device that suctions and lifts a work, and further lowers and releases the work.
【０００２】[0002]
公知の真空吸着装置は図５に示すような構成を備えている。作動は次のとおり である。 第一の流体圧シリンダ５１を作動させてピストン５２をケース５３とともに 下方へ移動させ、ピストン５２の下端に設けた吸着部５４をコンベア５５上のワ ーク５６に押し付ける。吸着部５４は環状のシール部材５７を備えており、また はシール部材５７に代えて図６に示すようなパッド５８を備えている。ピストン ５２とケース５３の間には流体圧シリンダ５１の推力がそのままの大きさで吸着 部５４やワーク５６に作用することがないように緩衝用のバネ５９が介装されて いる。 電磁弁６０を切り換え、真空ポンプ６１を作動させて吸着部５４の内側を真 空引きし、吸着部５４にワーク５６を吸着させる。吸着部５４と電磁弁６０の間 にはワーク５６が真空吸着されたことを検出するための圧力検出スイッチ６２が 設けられている。 流体圧シリンダ５１を復帰動作させてケース５３を引き上げ、更にピストン ５２をワーク５６とともに引き上げる。 第二の流体圧シリンダ６３を作動させてワーク５６を第一の流体圧シリンダ ５１、ケース５３およびピストン５２とともに所定位置に移動させる。 第一の流体圧シリンダ５１を再度作動させてワーク５６をケース５３および ピストン５２とともに降ろす。 電磁弁６０を切り換えて吸着部５４の内側を大気開放し、吸着部５４からワ ーク５６を釈放する。 第一の流体圧シリンダ５１および第二の流体圧シリンダ６３をそれぞれ復帰 動作させる。 A known vacuum suction device has a structure as shown in FIG. The operation is as follows. The first fluid pressure cylinder 51 is operated to move the piston 52 downward together with the case 53, and the suction portion 54 provided at the lower end of the piston 52 is pressed against the work 56 on the conveyor 55. The suction portion 54 is provided with an annular seal member 57, and in place of the seal member 57, a pad 58 as shown in FIG. 6 is provided. A buffer spring 59 is interposed between the piston 52 and the case 53 so that the thrust of the fluid pressure cylinder 51 does not act on the suction portion 54 and the work 56 with the same magnitude. The electromagnetic valve 60 is switched, the vacuum pump 61 is operated, and the inside of the suction section 54 is vacuum-emptied, and the workpiece 56 is suctioned to the suction section 54. A pressure detection switch 62 for detecting that the workpiece 56 is vacuum-adsorbed is provided between the adsorption portion 54 and the solenoid valve 60. The fluid pressure cylinder 51 is returned to raise the case 53, and further the piston 52 is pulled up together with the work 56. The second fluid pressure cylinder 63 is operated to move the work 56 together with the first fluid pressure cylinder 51, the case 53 and the piston 52 to a predetermined position. The first fluid pressure cylinder 51 is operated again to lower the work 56 together with the case 53 and the piston 52. The solenoid valve 60 is switched to open the inside of the adsorption unit 54 to the atmosphere, and the work 56 is released from the adsorption unit 54. The first fluid pressure cylinder 51 and the second fluid pressure cylinder 63 are respectively returned and operated.
【０００３】[0003]
上記従来技術には次の問題がある。すなわちワーク５６を持ち上げ、更に降ろ すのに専用の流体圧シリンダ５１が必要であって、当該真空吸着装置の駆動機構 およびその制御が複雑である。 The above conventional technique has the following problems. That is, the dedicated hydraulic cylinder 51 is required to lift and lower the work 56, and the drive mechanism of the vacuum suction device and its control are complicated.
【０００４】[0004]
本考案は以上の点に鑑み、上記従来技術にみられる問題を解消すべく案出され たものであって、この目的を達成するため、ケースにピストンを往復動自在に組 合せ、前記ピストンの一端側にワークに接離する吸着部を設け、前記ピストンの 他端側に真空ポンプによって真空引きされる気密的な空間を設け、前記ピストン をバネによって一端側に弾性付勢し、前記吸着部と前記空間を連通路によって連 通し、前記連通路を開閉するパイロット操作形のチェック弁を設けた真空吸着装 置を提供する。またこれに加えて、ピストンにマグネットが取り付けられ、ケー スに前記ピストンの位置を検出する磁気近接形のリードスイッチが取り付けられ ていることを特徴とする真空吸着装置を提供する。 In view of the above points, the present invention has been devised to solve the above-mentioned problems in the prior art, and in order to achieve this object, a piston is reciprocally combined with a case and the piston An adsorbing part that comes in contact with and separates from a work is provided on one end side, and an airtight space that is evacuated by a vacuum pump is provided on the other end side of the piston. There is provided a vacuum adsorption device provided with a pilot-operated check valve that opens and closes the communication passage by communicating the space with the space. In addition to this, a magnet is attached to the piston, and a magnetic proximity type reed switch for detecting the position of the piston is attached to the case.
【０００５】[0005]
本考案の真空吸着装置は次のように作動する。尚、使用に先立って空間を第一 の電磁弁を介して真空ポンプに接続し、チェック弁を第二の電磁弁を介してパイ ロット圧力供給源に接続する。またパイロット操作形のチェック弁は通常閉弁し て連通路を閉じており、パイロット圧力が供給されると開弁して連通路を開くも のである。 The vacuum suction device of the present invention operates as follows. Prior to use, the space is connected to the vacuum pump via the first solenoid valve, and the check valve is connected to the pilot pressure supply source via the second solenoid valve. The pilot-operated check valve is normally closed to close the communication passage, and when pilot pressure is supplied, it is opened to open the communication passage.
【０００６】 チェック弁を閉弁して連通路を閉じた状態で真空ポンプを作動させて空間を 真空引きし、バネの弾性に抗してピストンを持ち上げる。マグネットと磁気近接 形のリードスイッチが設けられている場合には、ピストンが持ち上げられたこと がこのリードスイッチによって検出される。ケースは動かない。 ピストンの下方にワークを持って来る。 第二の電磁弁を切り換えてパイロット圧力供給源からチェック弁にパイロッ ト圧力を供給し、チェック弁を開弁させて連通路を開く。連通路を開くとこの連 通路を介して空間が大気開放されるためにピストンがバネによって下降する。こ のとき真空ポンプは作動させたままである。 ピストンが下降するとその一端に設けた吸着部がワークに接触し、吸着部の 内側が大気と遮断される。 吸着部の内側が大気と遮断されるとこの内側が真空引きされ、吸着部にワー クが吸着される。同時に空間が再度真空引きされ、ピストンがワークとともにバ ネの弾性に抗して持ち上げられる。マグネットと磁気近接形のリードスイッチが 設けられている場合には、ピストンが持ち上げられたことがこのリードスイッチ によって検出される。またこの場合は吸着部にワークが吸着されない限りピスト ンが持ち上げられることがないために、吸着部にワークが吸着されたことがリー ドスイッチによって検出される。 第一の電磁弁を切り換えて空間を大気開放し、ピストンをバネによって下降 させる。同時に吸着部の内側が大気開放されるために吸着部からワークが釈放さ れる。 第一の電磁弁を再度切り換えて空間を真空ポンプに接続し、同時に第二の電 磁弁を再度切り換えてチェック弁を閉弁させ、連通路を閉じる。連通路を閉じる と空間が大気と遮断されて真空引きされ、ピストンがバネの弾性に抗して持ち上 げられ、の初期状態に戻る。With the check valve closed and the communication passage closed, the vacuum pump is operated to evacuate the space, and the piston is lifted against the elasticity of the spring. If a magnet and a magnetic proximity type reed switch are provided, the fact that the piston has been lifted is detected by this reed switch. The case does not move. Bring the work below the piston. The pilot pressure is supplied from the pilot pressure supply source to the check valve by switching the second solenoid valve, and the check valve is opened to open the communication passage. When the communication passage is opened, the space is opened to the atmosphere through this communication passage, and the piston is lowered by the spring. At this time, the vacuum pump remains activated. When the piston descends, the suction part provided at one end contacts the work, and the inside of the suction part is shut off from the atmosphere. When the inside of the adsorption unit is cut off from the atmosphere, the inside is evacuated and the work is adsorbed to the adsorption unit. At the same time, the space is evacuated again, and the piston is lifted together with the work against the elasticity of the panel. If a magnet and a magnetic proximity type reed switch are provided, the reed switch detects that the piston has been lifted. Further, in this case, the piston is not lifted unless the work is adsorbed to the adsorbing portion, so that the work piece is adsorbed to the adsorbing portion is detected by the lead switch. The first solenoid valve is switched to open the space to the atmosphere, and the piston is lowered by the spring. At the same time, the work is released from the adsorption part because the inside of the adsorption part is open to the atmosphere. The first solenoid valve is switched again to connect the space to the vacuum pump, and at the same time the second electromagnetic valve is switched again to close the check valve and close the communication passage. When the communication passage is closed, the space is cut off from the atmosphere and a vacuum is drawn, and the piston is lifted against the elasticity of the spring and returns to the initial state of.
【０００７】[0007]
つぎに本考案の実施例を図面にしたがって説明する。 Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
【０００８】 図１に示すように、ケース１にピストン２が往復動自在に組み合わされ、ピス トン２の下端に吸着部３が設けられている。図示した吸着部３は環状のシール部 材４を備えているが、図６に示したようなパッド５８を備えたものであっても良 い。ピストン２の外周にＯリング等のパッキン５が嵌着されて該部を摺動自在に シールしており、ピストン２の上端側にこのピストン２とケース１に囲まれて気 密的な空間６が設けられ、この空間６にピストン２を下方へ向けて弾性付勢する バネ７が収容されている。８はピストン２の抜止め部材である。As shown in FIG. 1, a piston 1 is reciprocally combined with a case 1, and a suction portion 3 is provided at a lower end of the piston 2. Although the suction unit 3 shown in the drawing is provided with the annular seal member 4, it may be provided with the pad 58 as shown in FIG. A packing 5 such as an O-ring is fitted around the outer periphery of the piston 2 to slidably seal the portion. The airtight space 6 is surrounded by the piston 2 and the case 1 on the upper end side of the piston 2. Is provided, and a spring 7 that elastically biases the piston 2 downward is accommodated in the space 6. Reference numeral 8 is a retaining member for the piston 2.
【０００９】 ピストン２に吸着部３の内側と空間６を連通する連通路９が設けられ、この連 通路９に該連通路９を開閉するパイロット操作形のチェック弁１０が設けられて いる。チェック弁１０は、図２に示すように、弁体１１、弁座１２、パイロット バネ１３およびパイロットピストン１４を備えており、通常は弁体１１がパイロ ットバネ１３に押されて弁座１２に押し付けられているために閉弁して連通路９ を閉じているが、パイロット圧力が導入されるとパイロットピストン１４が移動 して弁体１１をパイロットバネ１３の弾性に抗して押圧するために開弁して連通 路９を開く。The piston 2 is provided with a communication passage 9 that communicates the inside of the adsorption portion 3 and the space 6, and the communication passage 9 is provided with a pilot operated check valve 10 that opens and closes the communication passage 9. As shown in FIG. 2, the check valve 10 includes a valve body 11, a valve seat 12, a pilot spring 13 and a pilot piston 14. Normally, the valve body 11 is pushed by the pilot spring 13 and pressed against the valve seat 12. Therefore, the communication passage 9 is closed by closing the valve, but when pilot pressure is introduced, the pilot piston 14 moves to open the valve body 11 against the elasticity of the pilot spring 13. Open the communication path 9 by opening the valve.
【００１０】 ピストン２の外周に環状のマグネット１５が取り付けられ、ケース１の外側に 磁気近接形のリードスイッチ１６が取り付けられている。リードスイッチ１６は 図示した状態においてマグネット１５より上方に取り付けられており、このとき はマグネット１５との距離が遠いためにマグネット１５の磁気を検知しないが、 ピストン２が持ち上げられてマグネット１５が近付くとマグネット１５の磁気を 検知し、これによりピストン２が持ち上げられたことを検出する。リードスイッ チ１６はアンプ１７に接続され、アンプ１７によって次工程が自動的に開始され る。尚、この磁気検出を可能とするため、ピストン２とケース１はそれぞれアル ミ、ステンレス、樹脂等の非磁性体によって成形されている。An annular magnet 15 is attached to the outer circumference of the piston 2, and a magnetic proximity type reed switch 16 is attached to the outside of the case 1. The reed switch 16 is attached above the magnet 15 in the illustrated state. At this time, the magnet 15 does not detect the magnetism because it is far from the magnet 15, but when the piston 2 is lifted and the magnet 15 approaches. The magnetism of the magnet 15 is detected to detect that the piston 2 has been lifted. The lead switch 16 is connected to the amplifier 17, and the amplifier 17 automatically starts the next process. In order to enable this magnetic detection, the piston 2 and the case 1 are molded from a non-magnetic material such as aluminum, stainless steel, and resin.
【００１１】 上記構成の真空吸着装置は次のように作動する。尚、使用に先立って空間６を 第一の電磁弁１８を介して真空ポンプ１９に接続し、チェック弁１０を第二の電 磁弁２０を介してパイロット圧力供給源２１に接続する。また当該真空吸着装置 をワークを吸着した状態で所定位置まで移動させるため、図３に示すように、ー ス１を流体圧シリンダ２２に接続する。この流体圧シリンダ２２は従来技術にお ける第二の流体圧シリンダ６３に相当するものである。The vacuum suction device configured as described above operates as follows. Prior to use, the space 6 is connected to the vacuum pump 19 via the first electromagnetic valve 18, and the check valve 10 is connected to the pilot pressure supply source 21 via the second electromagnetic valve 20. Further, in order to move the vacuum suction device to a predetermined position while suctioning the work, as shown in FIG. 3, the case 1 is connected to the fluid pressure cylinder 22. The fluid pressure cylinder 22 corresponds to the second fluid pressure cylinder 63 in the prior art.
【００１２】 チェック弁１０を閉弁して連通路９を閉じた状態で真空ポンプ１９を作動さ せて空間６を真空引きし、バネ７の弾性に抗してピストン２を持ち上げる（図１ →図３）。リードスイッチ１６によってピストン２が持ち上げられたことが検出 される。ケース１は動かない。 ピストン２の下方にワーク２３を持って来る。ワーク２３はコンベア２４に よって運ばれて来る。 第二の電磁弁２０を切り換えてパイロット圧力供給源２１からチェック弁１ ０にパイロット圧力を供給し、チェック弁１０を開弁させて連通路９を開く。連 通路９を開くと、この連通路９を介して空間６が大気開放されるために、ピスト ン２がバネ７によって下降する。このとき真空ポンプ１９は作動させたままであ る。 ピストン２が下降すると吸着部３がワーク２３に接触し、吸着部３の内側が 大気と遮断される。 吸着部３の内側が大気と遮断されるとこの内側が真空引きされ、吸着部３に ワーク２３が吸着される。同時に空間６が再度真空引きされ、ピストン２がワー ク２３とともにバネ７の弾性に抗して持ち上げられる。リードスイッチ１６によ って吸着部３にワーク２３が吸着されたこと、およびピストン２が持ち上げられ たことが検出される。 流体圧シリンダ２２を作動させてワーク２３をケース１およびピストン２と ともに所定位置に移動させる。 第一の電磁弁１８を切り換えて空間６を大気開放し、ピストン２をバネ７に よって下降させる。同時に吸着部３の内側が大気開放されるために吸着部３から ワーク２３が釈放される。 第一の電磁弁１８を再度切り換えて空間６を真空ポンプ１９に接続し、同時 に第二の電磁弁２０を再度切り換えてチェック弁１０を閉弁させ、連通路９を閉 じる。連通路９を閉じると空間６が大気と遮断されて真空引きされ、ピストン２ がバネ７の弾性に抗して持ち上げられる。リードスイッチ１６によってピストン ２が持ち上げられたことが検出される。 流体圧シリンダ２２を復帰動作させ、の初期状態に戻る。With the check valve 10 closed and the communication passage 9 closed, the vacuum pump 19 is operated to evacuate the space 6 and lift the piston 2 against the elasticity of the spring 7 (FIG. 1 → (Figure 3). The reed switch 16 detects that the piston 2 has been lifted. Case 1 does not move. Bring the work 23 below the piston 2. The work 23 is carried by the conveyor 24. The second solenoid valve 20 is switched to supply pilot pressure from the pilot pressure supply source 21 to the check valve 10, and the check valve 10 is opened to open the communication passage 9. When the communication passage 9 is opened, the space 6 is opened to the atmosphere through the communication passage 9, so that the piston 2 is lowered by the spring 7. At this time, the vacuum pump 19 is still operating. When the piston 2 descends, the suction part 3 comes into contact with the work 23, and the inside of the suction part 3 is shut off from the atmosphere. When the inside of the suction unit 3 is cut off from the atmosphere, the inside of the suction unit 3 is evacuated and the work 23 is sucked by the suction unit 3. At the same time, the space 6 is evacuated again, and the piston 2 is lifted together with the work 23 against the elasticity of the spring 7. The reed switch 16 detects that the work 23 is adsorbed to the adsorption portion 3 and that the piston 2 is lifted. The fluid pressure cylinder 22 is operated to move the work 23 together with the case 1 and the piston 2 to a predetermined position. The first solenoid valve 18 is switched to open the space 6 to the atmosphere, and the piston 2 is lowered by the spring 7. At the same time, the work 23 is released from the suction part 3 because the inside of the suction part 3 is opened to the atmosphere. The first solenoid valve 18 is switched again to connect the space 6 to the vacuum pump 19, and at the same time, the second solenoid valve 20 is switched again to close the check valve 10 and close the communication passage 9. When the communication passage 9 is closed, the space 6 is cut off from the atmosphere and a vacuum is drawn, and the piston 2 is lifted up against the elasticity of the spring 7. The reed switch 16 detects that the piston 2 has been lifted. The fluid pressure cylinder 22 is returned to the initial state of.
【００１３】 したがって上記構成の真空吸着装置によれば、ワーク２３を持ち上げ、降ろす のに専用の流体圧シリンダ（従来技術における第一の流体圧シリンダ５１）を必 要とせず、当該真空吸着装置の駆動機構およびその制御を従来より簡単なものに することができる。Therefore, according to the vacuum suction device having the above-mentioned configuration, the dedicated fluid pressure cylinder (the first fluid pressure cylinder 51 in the prior art) is not required for lifting and lowering the work 23, and the work of the vacuum suction device is not required. The drive mechanism and its control can be made simpler than before.
【００１４】 尚、図４に示すように、ピストン２に連通路９のみを設け、チェック弁１０を ピストン２の外部に設けることが可能である。そして、この場合はピストン２に チェック弁１０を設けないためにピストン２を小型にすることができ、小物部品 の搬送用として特に有効である。他の構成は図１の実施例と同じである。As shown in FIG. 4, it is possible to provide only the communication passage 9 in the piston 2 and provide the check valve 10 outside the piston 2. In this case, since the piston 2 is not provided with the check valve 10, the piston 2 can be downsized, which is particularly effective for carrying small parts. The other structure is the same as that of the embodiment of FIG.
【００１５】[0015]
本考案は次の効果を奏する。すなわち、ケースにピストンを往復動自在に組合 せ、ピストンの一端側にワークに接離する吸着部を設け、ピストンの他端側に真 空ポンプによって真空引きされる気密的な空間を設け、ピストンをバネによって 一端側に弾性付勢し、吸着部と空間を連通路によって連通し、連通路を開閉する パイロット操作形のチェック弁を設けたために、ワークを持ち上げ、降ろすのに 専用の流体圧シリンダを必要とせず、当該真空吸着装置の駆動機構およびその制 御を従来より簡単なものにすることができる。またピストンにマグネットを取り 付け、ケースにピストンの位置を検出する磁気近接形のリードスイッチを取り付 けることによって、吸着部にワークが吸着されたこと、およびピストンが持ち上 げられたことが検出することができる。 The present invention has the following effects. That is, a piston is reciprocally combined in a case, an adsorption part that comes in contact with and separates from a work is provided at one end of the piston, and an airtight space that is evacuated by a vacuum pump is provided at the other end of the piston. Is elastically biased toward one end by a spring, and the suction part communicates with the space via a communication passage, and a pilot operated check valve that opens and closes the communication passage is provided, so it is a dedicated fluid pressure cylinder for lifting and lowering the work. It is possible to make the drive mechanism of the vacuum suction device and its control simpler than in the past, without the need for. A magnet is attached to the piston, and a magnetic proximity type reed switch that detects the position of the piston is attached to the case to detect that the workpiece is adsorbed to the adsorption part and that the piston is lifted. can do.
【図１】本考案の実施例に係る真空吸着装置の構造説明
図FIG. 1 is a structural explanatory view of a vacuum suction device according to an embodiment of the present invention.
【図２】チェック弁の構造説明図FIG. 2 is a structural explanatory diagram of a check valve.
【図３】同真空吸着装置の作動説明図FIG. 3 is an operation explanatory view of the vacuum suction device.
【図４】本考案の他の実施例に係る真空吸着装置の構造
説明図FIG. 4 is a structural explanatory view of a vacuum suction device according to another embodiment of the present invention.
【図５】従来例に係る真空吸着装置の構造説明図FIG. 5 is a structural explanatory view of a vacuum suction device according to a conventional example.
【図６】吸着部の他の例を示す説明図FIG. 6 is an explanatory diagram showing another example of a suction unit.
１ ケース ２ ピストン ３ 吸着部 ４ シール部材 ５ パッキン ６ 空間 ７ バネ ８ 抜止め部材 ９ 連通路 １０ チェック弁 １１ 弁体 １２ 弁座 １３ パイロットバネ １４ パイロットピストン １５ マグネット １６ リードスイッチ １７ アンプ １８，２０ 電磁弁 １９ 真空ポンプ ２１ パイロット圧力供給源 ２２ 流体圧シリンダ ２３ ワーク ２４ コンベア 1 case 2 piston 3 adsorption part 4 seal member 5 packing 6 space 7 spring 8 retaining member 9 communication passage 10 check valve 11 valve body 12 valve seat 13 pilot spring 14 pilot piston 15 magnet 16 reed switch 17 amplifier 18, 20 solenoid valve 19 Vacuum pump 21 Pilot pressure supply source 22 Fluid pressure cylinder 23 Work piece 24 Conveyor
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成５年４月１３日[Submission date] April 13, 1993
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】図４[Name of item to be corrected] Figure 4
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図４】 [Figure 4]
Claims (2)
自在に組合せ、前記ピストン（２）の一端側にワーク
（２３）に接離する吸着部（３）を設け、前記ピストン
（２）の他端側に真空ポンプ（１９）によって真空引き
される気密的な空間（６）を設け、前記ピストン（２）
をバネ（７）によって一端側に弾性付勢し、前記吸着部
（３）と前記空間（６）を連通路（９）によって連通
し、前記連通路（９）を開閉するパイロット操作形のチ
ェック弁（１０）を設けた真空吸着装置。1. A piston (2) is reciprocally combined with a case (1), and an adsorbing portion (3) that comes into contact with and separates from a work (23) is provided at one end of the piston (2). ) Is provided with an airtight space (6) which is evacuated by a vacuum pump (19), and the piston (2)
Is elastically urged toward one end by a spring (7), the suction part (3) and the space (6) are communicated with each other by a communication passage (9), and the communication passage (9) is opened and closed. A vacuum adsorption device provided with a valve (10).
トン（２）にマグネット（１５）が取り付けられ、ケー
ス（１）に前記ピストン（２）の位置を検出する磁気近
接形のリードスイッチ（１６）が取り付けられているこ
とを特徴とする真空吸着装置。2. The vacuum suction device according to claim 1, wherein a magnet (15) is attached to the piston (2), and a magnetic proximity type reed switch (16) for detecting the position of the piston (2) is attached to the case (1). ) Is attached to the vacuum suction device.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5163492U JPH065882U (en) | 1992-07-01 | 1992-07-01 | Vacuum suction device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5163492U JPH065882U (en) | 1992-07-01 | 1992-07-01 | Vacuum suction device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH065882U true JPH065882U (en) | 1994-01-25 |
Family
ID=12892281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5163492U Withdrawn JPH065882U (en) | 1992-07-01 | 1992-07-01 | Vacuum suction device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065882U (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012192515A (en) * | 2011-03-14 | 2012-10-11 | Gimatic Spa | Vacuum-actuated handling device |
-
1992
- 1992-07-01 JP JP5163492U patent/JPH065882U/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012192515A (en) * | 2011-03-14 | 2012-10-11 | Gimatic Spa | Vacuum-actuated handling device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19961003 |