JPH0659205A

JPH0659205A - 偏向走査装置

Info

Publication number: JPH0659205A
Application number: JP22923892A
Authority: JP
Inventors: Hirofumi Hori; 浩文堀; Hideaki Watabe; 英昭渡部; Kenichi Tomita; 健一冨田
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1992-08-05
Filing date: 1992-08-05
Publication date: 1994-03-04
Anticipated expiration: 2015-07-24
Also published as: JP3069444B2

Abstract

(57)【要約】【目的】走査開始信号検出系の組付けが簡単である偏
向走査装置を実現する。【構成】回転多面鏡２によって偏向走査されたレーザ
光Ｌ₂ の一部分Ｌ₃ は、走査開始信号として検出ミラー
４によって反射されて光ファイバ検出器５に導入され
る。光ファイバ検出器５は長尺の支持体５ａの一端に保
持され、支持体５ａの他端は、検出ミラー４の反射点の
直下に枢着されている。検出ミラー４の取付角度を調節
する替わりに、支持体５ａを枢動させることによって光
ファイバ検出器５を検出ミラー４の反射点まわりに回動
させ、光ファイバ検出器５が反射光Ｌ₄ を受光する位置
で筐体６に支持体５ａを固定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、レーザプリンタやレー
ザファクシミリ等に用いられる偏向走査装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】レーザプリンタやレーザファクシミリ等
に用いられる偏向走査装置の一例を図１４に示す。

【０００３】半導体レーザユニット１０１から発せられ
たレーザ光Ｌ₀ は、複数の鏡面１０２ａ〜１０２ｆから
なる反射面を有する回転多面鏡１０２によって偏向走査
され、複数のレンズ１０３ａ，１０３ｂからなる結像レ
ンズ系１０３を経て感光ドラムＤ₀ の感光体に結像し、
回転多面鏡１０２の回転による主走査、および感光ドラ
ムＤ₀ による副走査によって感光体に静電潜像を形成す
る。回転多面鏡１０２によって偏向走査されたレーザ光
Ｌ₀ の一部分Ｌ_p は走査開始信号として検出ミラー１０
４によって反射され、光ファイバチューブからなる光フ
ァイバ検出器１０５によって受光され、図示しないコネ
クタによって電気的なトリガ信号に変換される。半導体
レーザユニット１０１は、このトリガ信号を受けて画像
を形成するための書込み変調を開始する。なお、光ファ
イバ検出器１０５は、光ファイバチューブの受光端をレ
ーザ光Ｌ_p の光路に沿って回転多面鏡１０２の反射面か
ら測定した距離が、感光ドラムＤ₀ の表面をレーザ光Ｌ
₀ の光路に沿って回転多面鏡１０２の反射面から測定し
た距離と同じになる位置に配置される。なお、半導体レ
ーザユニット１０１、回転多面鏡１０２、結像レンズ系
１０３、検出ミラー１０４と光ファイバ検出器１０５か
らなる走査開始信号検出系等は筐体１０６内に収容さ
れ、筐体１０６の開口は図示しないふたによって閉塞さ
れる。

【０００４】図１２の（ａ）〜（ｃ）は検出ミラー１０
４およびこれを支持するミラーホルダ１０４ａの詳細を
拡大して示すものでミラーホルダ１０４ａは、図１２の
（ａ）および（ｂ）にそれぞれ平面図および立面図で示
すように、板金製のＬ形の本体１１１を有し、本体１１
１は立上り部分１１１ａと基部１１１ｂからなり、検出
ミラー１０４は立上り部分１１１ａの表面に接着あるい
は押えバネ等によって固着される。検出ミラー１０４を
取付けたミラーホルダ１０４ａは基台１１２に固定ねじ
１１３によって固定され、基台１１２は図示しないねじ
によって偏向走査装置の筐体１０６（図１４に示す）に
固着される。本体１１１の基部１１１ｂは、図１２の
（ｃ）に分解した状態で示すように、基台１１２に一体
的に設けられた管状ピン１１４を遊嵌させる穴１１５
と、固定ねじ１１３を遊嵌させる円弧状の長穴１１６を
有し、管状ピン１１４はカム１１７の中心穴１１８に嵌
合する。カム１１７は本体１１１の立上り部分１１１ａ
の裏面に押圧されるカム面１１７ａを有する。

【０００５】検出ミラー１０４の組付けに際して、ま
ず、カム１１７を回動することで本体１１１の立上り部
分１１１ａを基部１１１ｂに対して図１２の（ｂ）に矢
印Ｂで示す方向に枢動させ、本体１１１の立上り部分１
１１ａと基部１１１ｂのなす角度（以下、「あおり角」
という。）αを修正する。あおり角αは、本体１１１の
立上り部分１１１ａに検出ミラー１０４を取付けること
で検出ミラー１０４の重さによって板金製の本体１１１
に歪が発生するため、各ミラーホルダ１０４ａごとに検
出ミラー１０４を取付けた後にこのような修正を必要と
する。管状ピン１１４のねじ穴にねじ１１９を締付ける
ことで、カム１１７を管状ピン１１４に固定したのち、
レーザ光Ｌ_p を検出ミラー１０４に照射しつつ、本体１
１１を管状ピン１１４のまわりに矢印Ｃで示すように回
動し、光ファイバ検出器１０５がレーザ光Ｌ_p の反射光
を受光するときの回動位置で、固定ねじ１１３を基台１
１２のねじ穴１１２ａに締付ける。なお、光ファイバ検
出器の光ファイバの受光端の開口は極めて小面積である
うえに、図１３に示すようにレーザ光Ｌ_p と検出器ミラ
ー１０４の反射面のなす角度（以下、「取付角度」とい
う。）βが例えばθだけ変化すると、検出ミラー１０４
の反射光の光路はもとの光路に対して２θだけずれるた
め、取付角度βの調節には極めて高い精度が要求され
る。このために、検出ミラー１０４やミラーホルダ１０
４ａの本体１１１、カム１１７、基台１１２等の部品は
高い寸法精度が必要であり、従って、これらの製造コス
トは高い。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、前述のように、走査開始信号検出系の
組付けが極めて複雑であるうえに、構造が複雑で高価な
ミラーホルダを用いなければならず、偏向走査装置の製
造コスト上昇の一因となっている。

【０００７】本発明は上記従来の技術の有する未解決の
課題に鑑みてなされたものであり、走査開始信号検出系
の組付けが簡単であり、構造が複雑で高価なミラーホル
ダを用いる必要のない偏向走査装置を提供することを目
的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明の装置は、複数の鏡面を有する回転多面鏡
と、該回転多面鏡によって偏向走査されたレーザ光の一
部分を反射する検出ミラーと、該検出ミラーの反射光を
受光する走査開始信号検出器と、該走査開始信号検出器
を、前記検出ミラーの反射点のまわりの所定の回動路に
沿って案内する案内手段からなることを特徴とする。

【０００９】また、複数の鏡面を有する回転多面鏡と、
該回転多面鏡によって偏向走査されたレーザ光の一部分
を反射する検出ミラーと、該検出ミラーの反射光を受光
する走査開始信号検出器からなる偏向走査装置であっ
て、前記検出ミラーが、前記偏向走査装置の筐体の一部
分に保持されており、前記筐体に設けられた切込によっ
て前記筐体の一部分が枢動自在であってもよい。

【００１０】また、複数の鏡面を有する回転多面鏡と、
該回転多面鏡によって偏向走査されたレーザ光の一部分
を反射する検出ミラーと、該検出ミラーの反射光を受光
する走査開始信号検出器からなる偏向走査装置であっ
て、前記検出ミラーの一部分が、前記偏向走査装置の筐
体に設けられた係止溝または係止孔に所定の範囲内で枢
動自在に係止されていてもよい。

【００１１】また、複数の鏡面を有する回転多面鏡と、
該回転多面鏡によって偏向走査されたレーザ光の一部分
を反射する検出ミラーと、該検出ミラーの反射光を受光
する走査開始信号検出器からなる偏向走査装置であっ
て、前記検出ミラーが、合成樹脂材料で一体的に作られ
た立上り部分とこれを支持する基部からなるＬ形の本体
を有し、前記立上り部分が反射膜の蒸着によって形成さ
れた反射面を備えており、前記基部が前記偏向走査装置
の筐体に枢着されていてもよい。

【００１２】さらに、複数の鏡面を有する回転多面鏡
と、該回転多面鏡によって偏向走査されたレーザ光の一
部分を反射する検出ミラーと、該検出ミラーの反射光を
受光する走査開始信号検出器からなる偏向走査装置であ
って、前記検出ミラーが、透明な材料で作られた平板状
の本体と、該本体に反射膜の蒸着によって形成された反
射面を有し、前記本体がこれを支持する基台に一体的に
設けられた支持ピンまたは支持枠を嵌合させる凹所を備
えており、該凹所に塗布された紫外線硬化型の接着剤に
よって前記支持ピンまたは支持枠に接着されていてもよ
い。

【００１３】

【作用】走査開始信号検出器の組付けに際して、所定の
回動路に沿って走査開始信号器を移動させ、該走査開始
信号検出器が検出ミラーの反射光を受光する位置に組付
けることができる。

【００１４】また、検出ミラーが筐体の一部分に保持さ
れ、該筐体の一部分が枢動自在であれば、検出ミラーの
組付けに際して、前記筐体の一部分を枢動させること
で、これに保持された検出ミラーをその反射光が走査開
始信号検出器によって受光される角度に調節することが
できる。

【００１５】また、検出ミラーの一部分が筐体に設けら
れた係止溝または係止孔に所定の範囲内で枢動自在に係
止されていれば、その範囲内で検出ミラーを枢動させる
ことで、検出ミラーの反射光が走査開始信号検出器によ
って受光される角度に調節することができる。

【００１６】さらに、検出ミラーが合成樹脂材料で一体
的に作られた立上り部分とこれを支持する基部からなる
Ｌ形の本体を有し、前記立上り部分が反射膜の蒸着によ
って形成された反射面を備えており、前記基部が筐体に
枢動されていれば、検出ミラーの軽量化が容易であり、
かつ取付角度の調節も簡単である。

【００１７】また、複数の鏡面を有する回転多面鏡と、
該回転多面鏡によって偏向走査されたレーザ光の一部分
を反射する検出ミラーと、該検出ミラーの反射光を受光
する走査開始信号検出器からなる偏向走査装置であっ
て、前記検出ミラーが、透明な材料で作られた平板状の
本体と、該本体に反射膜の蒸着によって形成された反射
面を有し、前記本体がこれを支持する基台に一体的に設
けられた支持ピンまたは支持枠を嵌合させる凹所を備え
ており、該凹所に塗布された紫外線硬化型の接着剤によ
って前記支持ピンまたは支持枠に接着されていれば、気
化成分を含む接着剤を用いることなく検出ミラーを基台
に固着することができる。

【００１８】

【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

【００１９】図１は第１実施例を示すもので、（ａ）は
その模式平面図、（ｂ）は走査開始信号検出系のみを取
出して拡大して示す拡大部分斜視図である。偏向走査装
置Ｅ₁ は、レーザ光Ｌ₁ を発生する半導体レーザユニッ
ト１と、複数の鏡面２ａ〜２ｆを有する回転多面鏡２
と、球面レンズ３ａおよびトーリックレンズ３ｂからな
る結像レンズ系３と、検出ミラー４および走査開始信号
検出器である光ファイバ検出器５からなる走査開始信号
検出系Ｓ₁ を有し、半導体レーザユニット１から発生さ
れたレーザ光Ｌ₁ は図示しないモータによって矢印Ａ₁
の方向に回転する回転多面鏡２によって矢印Ａ₂ の方向
に偏向走査され、結像レンズ系３を経て回転ドラムＤ₁
の感光体に結像し、回転多面鏡２の回転による主走査、
および回転ドラムＤ₁ の回転による副走査によって感光
体に静電潜像を形成する。なお、半導体レーザユニット
１、回転多面鏡２、結像レンズ系３、検出ミラー４およ
び光ファイバ検出器５は筐体６内に収容され、筐体６の
開口は図示しないふたによって閉塞される。

【００２０】走査開始信号検出系Ｓ₁ は、回転多面鏡２
によって偏向走査されたレーザ光Ｌ₂ の一部分Ｌ₃ を走
査開始信号として検出ミラーによって反射し、反射光を
光ファイバ検出器５によって受光して、図示しないコネ
クタに導入し、ここで電気的なトリガ信号に変換する。
半導体レーザユニット１はこのトリガ信号を受けて画像
を形成するための書込み変調を開始する。走査開始信号
検出系Ｓ₁ の検出ミラー４は、偏向走査装置Ｅ₁ の筐体
６に固着された一対の脚部４１ａ，４１ｂを有する平板
状のミラーホルダ４１の表面に接着されている。また、
光ファイバ検出器５は、案内手段である長尺の支持体５
ａの一端に一体的に設けられた支持部材５ｂに支持さ
れ、支持体５ａの他端は、検出ミラー４の反射点を通っ
て回転多面鏡２の回転軸と平行にのびる軸を中心軸とす
る枢着ピン５ｃによって筐体６に枢着されている。

【００２１】走査開始信号検出系Ｓ₁ の組立ては、検出
ミラー４によってレーザ光Ｌ₃ を反射させつつ支持体５
ａを枢着ピン５ｃのまわりに回動させて光ファイバ検出
器５が検出ミラー４の反射光Ｌ₄ を受光する回動位置を
みつけ、そこで支持体５ａを筐体６に固定する。支持体
５ａを固定するには、その一部分を筐体６に接着するの
が望ましい。本実施例によれば、検出ミラー４の取付角
度を調節する替わりに、支持体５ａを回動させて光ファ
イバ検出器５の取付位置を調節するものであるから、検
出ミラー４の取付角度を調節する場合に比べて誤差の許
容値が２倍であるばかりでなく、支持体５ａの回動角度
が微小であっても支持体５ａの自由端に支持された光フ
ァイバ検出器５の変位量が大きいために、光ファイバ検
出器５が検出ミラー４の反射光Ｌ₄ を受光する回動位置
をみつけるのは極めて容易である。さらに、支持体５ａ
を回動させても光ファイバ検出器５と検出ミラー４の反
射面の距離は不変であるため、光ファイバ検出器５に入
射する反射光Ｌ₄ の焦点位置がずれることもない。

【００２２】図２は本実施例の変形例を説明するもの
で、本変形例は、前記支持体５ａを用いる替わりに、筐
体６の所定箇所に、検出ミラー４の反射点を通って回転
多面鏡２の回転軸と平行にのびる軸を中心軸とする円弧
状の案内溝１６ａを設け、該案内溝１６ａに沿って光フ
ァイバ検出器１５の脚部１５ａ，１５ｂを摺動させるこ
とで、光ファイバ検出器１５が反射光Ｌ₄ を受光する位
置をみつけるものである。なお、案内溝の替わりに筐体
の所定箇所に円筒状の案内面を設けてみてもよい。

【００２３】図３は第２実施例を示すもので、（ａ）は
その模式平面図、（ｂ）は検出ミラーの取付部分を示す
部分斜視図である。偏向走査装置Ｅ₂ は、第１実施例と
同様に半導体レーザユニット２１と、複数の鏡面を有す
る回転多面鏡２２と、球面レンズ２３ａおよびトーリッ
クレンズ２３ｂからなる結像レンズ系２３と、検出ミラ
ー２４および走査開始信号検出器である光ファイバ検出
器２５からなる走査開始信号検出系Ｓ₂ を有し、これら
は筐体２６内に収容され、筐体２６の開口は図示しない
ふたによって閉塞される。

【００２４】検出ミラー２４は筐体２６の一部分である
ミラーホルダ２４ａに接着される。筐体２６とミラーホ
ルダ２４ａの連結部は切込である断面Ｖ字形の切欠２６
ａによって局部的に薄肉となっており、ミラーホルダ２
４ａを筐体２６に対して弾力的に回動自在に連結するヒ
ンジを構成している。走査開始信号検出系Ｓ₂ の組立て
は、走査開始信号であるレーザ光（図示せず）を検出ミ
ラー２４によって反射させつつ、ミラーホルダ２４ａを
筐体２６に対して枢動させて反射光が光ファイバ検出器
２５によって受光される枢動位置をみつけ、そこでミラ
ーホルダ２４ａの端縁２４ｂを筐体２６に接着する。

【００２５】本実施例はミラーホルダが筐体の一部分で
あり、筐体に形成されたヒンジのまわりにミラーホルダ
を枢動させることで検出ミラーの取付角度を調節するも
のであるため、前記角度の調節が簡単であるうえに、製
造部品点数を大幅に削減できる。なお、検出ミラーをミ
ラーホルダに接着する替わりに、筐体の成形時に検出ミ
ラーをミラーホルダ内に一体的に埋込むこともできる。
また、筐体の成形時にミラーホルダの所定箇所に金属の
反射膜を蒸着することによって、検出ミラーと一体であ
るミラーホルダを作成することもできる。

【００２６】図４は第３実施例を示すもので、（ａ）は
その模式平面図、（ｂ）は検出ミラーの取付部分を拡大
して示す拡大部分断面図である。偏向走査装置Ｅ₃ は、
第１実施例と同様に半導体レーザユニット３１と、複数
の鏡面を有する回転多面鏡３２と、球面レンズ３３ａお
よびトーリックレンズ３３ｂからなる結像レンズ系３３
と、検出ミラー３４および走査開始信号検出器である光
ファイバ検出器３５からなる走査開始信号検出系Ｓ₃ を
有し、これらは筐体３６内に収容され、筐体３６の開口
は図示しないふたによって閉塞される。

【００２７】検出ミラー３４の一部分である一端３４ａ
は筐体３６と一体的に設けられた係止部材３６ａの係止
溝３６ｂに係止され、他端は筐体３６に設けられた凹所
３６ｃに係合される。係止溝３６ｂの幅Ｗ₁ は検出ミラ
ー３４の厚さの１割増程度であり、検出ミラー３４はこ
の幅Ｗ₁ と凹所３６ｃの幅Ｗ₂ の許す範囲において枢動
自在である。なお、凹所３６ｃの幅Ｗ₂ は検出ミラー３
４の厚さの２倍程度が望ましい。

【００２８】検出ミラー３４の組付けは、その両端をそ
れぞれ係止溝３６ｂおよび凹所３６ｃに挿入したのち、
走査開始信号であるレーザ光（図示せず）を検出ミラー
３４によって反射させつつ、検出ミラー３４を係止溝３
６ｂのまわりに枢動させて反射光が光ファイバ検出器３
５によって受光される枢動位置をみつけ、そこで検出ミ
ラー３４と筐体３６の間に接着剤を塗布したスペーサ３
７を挿入し、これを検出ミラー３４および筐体３６に接
着する。なお、スペーサ３７自体が接着剤で作られてい
てもよい。

【００２９】本実施例は筐体に設けられた係止溝に検出
ミラーを係止させ、筐体と検出ミラーの間に不定形のス
ぺーサを挿入するだけで検出ミラーを固定するものであ
るため、検出ミラーの取付角度の調節が簡単であるうえ
に検出ミラーを固定するための寸法精度の高い部品を必
要としない。

【００３０】図５は本実施例の変形例を示すもので、
（ａ）は検出ミラーの取付部分のみを示す部分模式平面
図、（ｂ）はこれを拡大して示す拡大部分斜視図であ
る。本変形例の筐体４６は、係止部材３６ａおよび凹所
３６ｃの替わりに一対の係止孔である角形の切欠４６
ａ，４６ｂを有し、両者にそれぞれ検出ミラー４４の一
端に一体的に設けられた検出ミラーの一部分であるＬ形
の立上り係止片４４ａ，４４ｂを係止させる。これによ
って、検出ミラー４４を筐体４６に対して所定の角度だ
け枢動自在に係止する。検出ミラー４４の組付けは、前
述と同様の方法で検出ミラー４４の取付角度を調節した
うえで筐体４６と検出ミラー４４の間に接着剤を塗布し
たスペーサ４４ｃを挿入し、これを検出ミラー４４およ
び筐体４６に接着する。

【００３１】図６は第４実施例を示すもので、偏向走査
装置Ｅ₄ は、第１実施例と同様に半導体レーザユニット
５１と、球面レンズ５３ａおよびトーリックレンズ５３
ｂからなる結像レンズ系５３と、検出ミラー５４および
走査開始信号検出器である光ファイバ検出器５５からな
る走査開始信号検出系Ｓ₄ を有し、これらは筐体５６内
に収容され、筐体５６の開口は図示しないふたによって
閉塞される。検出ミラー５４は立上り部分５７ａと基部
５７ｂからなる合成樹脂製の本体５７を有し、基部５７
ｂは、その幅を立上り部分５７ａから遠ざかるにつれて
徐々に縮小する台形の板状体である。

【００３２】図７に示すように、検出ミラー５４の本体
５７の立上り部分５７ａは、高反射金属膜の蒸着によっ
て形成された反射面５８を有する。また、本体５７の基
部５７ｂには、立上り部分５７ａと反対側に突出するピ
ン５７ｃが一体的に設けられ、ピン５７ｃは筐体５６固
定されたに基台６０の穴６０ａに枢動自在に嵌挿され
る。基部５７ｂは、さらに、円弧状の長穴６０ｂを有
し、長穴６０ｂは、本体５７を基台６０に固定するため
の固定ねじ６１を遊嵌させる。本実施例の検出ミラー５
４は一体的に成形された合成樹脂製の本体５７に直接高
反射金属膜を蒸着することによって形成された反射面５
８を有するため極めて軽量であり、また、Ｌ形のミラー
ホルダに別体として製造された検出ミラーを取付ける場
合のように、あおり角の調節を必要としない。検出ミラ
ー５４の組付けは、ピン５７ｃを基台６０の穴６０ａに
挿入し、反射面５８に走査開始信号であるレーザ光Ｌ₅
を照射しつつ、検出ミラー５４をピン５７ｃの中心軸の
まわりに回動させてレーザ光Ｌ₅ の反射光が光ファイバ
検出器５５によって受光される回動位置をみつけ、そこ
で、長穴６０ｂに遊嵌する固定ねじ６１を締付けること
で検出ミラー５４を基台６０に固定する。

【００３３】図８は本実施例の変形例を示すもので、本
変形例の検出ミラー６４は、立上がり部分６７ａと基部
６７ｂからなる本体６７を有し、本体６７は透明な合成
樹脂材料によって一体的に成形され、立上がり部分６７
ａは高反射金属膜の蒸着によって形成された反射面６８
を有する。また、本体６７の基部６７ｂには立上がり部
分６７ａと反対側に突出するピン６７ｃが一体的に設け
られ、ピン６７ｃは基台７０に設けられた穴７０ａに枢
動自在に嵌挿される。さらに、基台７０は本体６７の基
部６７ｂとの接触面に凹所７０ｂを有し、凹所７０ｂに
は紫外線硬化型の接着剤７１が充填される。検出ミラー
６４を基台７０に固定させるには、紫外線照射器７２か
ら発生された紫外線を透明な本体６７の基部６７ｂに照
射し、基台７０の凹所７０ｂに充填された接着剤７１を
硬化させる。本変形例は、本体に円弧状の長溝を設ける
必要がないため、検出ミラーの本体の作成が一層簡単で
あり、また、検出ミラーの組付けに当たってピンのまわ
りの回動角度が限定されることなく、さらに、固定ねじ
を締付ける場合に比べて取付作業が簡単で取付誤差が発
生するおそれもない。

【００３４】図９は、図７や図８に示した検出ミラーの
本体の立上り部分に高反射金属膜を蒸着する蒸着装置を
説明するもので、（ａ）は天板を取りはずした状態で示
す模式平面図、（ｂ）は模式断面図である。蒸着装置Ｖ
₀ は、図示上面に、図７または図８に示した検出ミラー
の本体５７または６７と同様の複数の検出ミラーの本体
５７１〜５８３を搭載する回転テーブルＶ₁ と、これを
所定の方向へ回転駆動するモータ軸Ｖ₂ を有し、各検出
ミラーの本体５７１〜５８３のピン５７１ｃ〜５８３ｃ
は回転テーブルＶ₁ に設けられた穴に嵌挿される。検出
ミラーの本体５７１〜５８３はそれぞれの立上り部分５
７１ａ〜５８３ａが回転テーブルＶ₁ の外周縁において
互に隣接して１個の筒状面Ｔ₁ を形成し、基部５７１ａ
〜５８３ａが前記円筒面の径方向内側に位置するように
搭載される。前記筒状面Ｔ₁ のうえに回転テーブルＶ₁
と同様の天板Ｖ₃ をかぶせたのち、必要であれば天板Ｖ
₃に検出ミラーの本体５７１〜５８３と同様の検出ミラ
ーの本体を搭載し、これによって形成された筒状面Ｔ₂
に天板Ｖ₄ をかぶせる。回転テーブルＶ₁ を回転させつ
つ、蒸着ノズルＶ₅ から前記筒状面Ｔ₁ ，Ｔ₂ に向って
金属蒸気を発生させる。

【００３５】図７および図８の検出ミラーは、本体の基
部が立上り部分から遠ざかるにつれて徐々に縮小する台
形の板状体であるため、これらを多数回転テーブルＶ₁
および天板Ｖ₃ に放射状に載置することができる。上述
の蒸着装置は、天板以外のマスキング手段を必要とする
ことなく、検出ミラー１個当りの蒸着処理に要する時間
を大きく短縮することができる。

【００３６】図１０は、第５実施例の検出ミラーのみを
示す分解斜視図であって、本実施例の検出ミラー８４
は、透明な材料で作られた板状の本体８７を有し、本体
８７は、片面に高反射金属膜の蒸着によって形成された
反射面８８を有し、また、両側縁にはそれぞれ凹所であ
る長溝８７ａ，８７ｂが設けられる。本体８７を支持す
る基台８９はその一端に立設された一対の支持ピン８９
ａ，８９ｂを有し、支持ピン８９ａ，８９ｂはそれぞれ
検出ミラー８４の本体８７の長溝８７ａ，８７ｂに沿っ
て摺動自在である。

【００３７】検出ミラー８４の組付けは以下のように行
われる。本体８７の各長溝８７ａ，８７ｂに紫外線硬化
型の接着剤を塗布したのち、基台８９の支持ピン８９
ａ，８９ｂをそれぞれ本体８７の長溝８７ａ，８７ｂに
沿って摺動させ、本体８７の下端を基台８９の上面に当
接させたのち、各長溝８７ａ，８７ｂに紫外線を照射し
て前記接着剤を硬化させる。次いで、基台８９を図示し
ないねじによって偏向走査装置の筐体に固着する。

【００３８】本実施例の検出ミラーは透明な材料で作ら
れた板状の本体に高反射金属膜を蒸着することによって
作成されるため、Ｌ形のミラーホルダに検出ミラーを接
着する場合あるいはこれに高反射金属膜を蒸着する場合
に比べて製造が容易である。さらに、本体が透明である
ために紫外線硬化型の接着剤によって本体と基台を接着
することができる。従って、従来の接着剤を用いた場合
のように接着剤の気化成分による反射面の汚染もない。

【００３９】図１１は本実施例の変形例を示すもので、
本変形例の検出ミラー９４は、透明な材料で作られた板
状の本体９７を有し、本体９７は、高反射金属膜の蒸着
によって形成された反射面９８と、その周囲を三方から
包囲する凹所であるＵ字形の切欠９７ａを有する。基台
９９はその一端に一体的に設けられたＵ字形の支持枠９
９ａを有し、該支持枠９９ａは本体９７の切欠９７ａに
嵌合自在である。本体９７の切欠９７ａに紫外線硬化型
の接着剤を塗布したのち、該切欠９７ａに基台９９の支
持枠を嵌合させ、紫外線を照射して前記接着剤を硬化さ
せる。

【００４０】

【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、以下に記載するような効果を奏する。

【００４１】検出ミラーおよび走査開始信号検出器から
なる走査開始信号検出系の組付けが簡単であり、構造が
複雑で高価なミラーホルダを用いる必要のない偏向走査
装置を実現する。

【００４２】請求項１の発明は、検出ミラーの取付角度
を調節する必要がない偏向走査装置を実現する。

【００４３】請求項４の発明は、筐体の一部分を枢動さ
せるだけで検出ミラーの取付角度を調節できる偏向走査
装置を実現する。

【００４４】請求項８の発明は、筐体に検出ミラーを係
止させてこれを枢動させるだけで検出ミラーの取付角度
を調節できる偏向走査装置を実現する。

【００４５】請求項１０の発明は、検出ミラーの軽量化
が容易であり、かつ筐体に対する組付けが簡単である偏
向走査装置を実現する。

【００４６】請求項１３の発明は、接着剤の気化成分に
よって検出ミラーの反射面を汚染するおそれのない偏向
走査装置を実現する。

【００４７】その結果、組立てが簡単で製造コストの低
い偏向走査装置を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例を示すもので、（ａ）はその模式平
面図、（ｂ）は走査開始信号検出系を拡大して示す拡大
部分斜視図である。

【図２】第１実施例の変形例の走査開始信号検出系を説
明する拡大部分斜視図である。

【図３】第２実施例を示すもので、（ａ）はその模式平
面図、（ｂ）は検出ミラーおよびその取付部分を示す部
分斜視図である。

【図４】第３実施例を示すもので、（ａ）はその模式平
面図、（ｂ）は検出ミラーおよびその取付部分を示す拡
大部分平面図である。

【図５】第３実施例の変形例を示すもので、（ａ）は検
出ミラーおよびその取付部分を示す模式部分断面図、
（ｂ）は検出ミラーおよびその取付部分を拡大して示す
拡大部分斜視図である。

【図６】第４実施例を示す模式平面図である。

【図７】第４実施例の検出ミラーを示すもので、（ａ）
はその断面図、（ｂ）はその平面図である。

【図８】第４実施例の変形例を示すもので、（ａ）は検
出ミラーの断面図、（ｂ）はその平面図である。

【図９】図７または図８の検出ミラーの本体に反射膜を
蒸着する装置を示すもので、（ａ）は最上段の天板を取
りはずした状態で示す模式平面図、（ｂ）は模式断面図
である。

【図１０】第５実施例の検出ミラーを分解して示す分解
斜視図である。

【図１１】第５実施例の変形例の検出ミラーを分解して
示す分解斜視図である。

【図１２】従来のミラーホルダを説明するもので、
（ａ）はその平面図、（ｂ）は立面図、（ｃ）はこれを
分解して示す分解斜視図である。

【図１３】従来の検出ミラーの取付角度を調節する方法
を示す説明図である。

【図１４】偏向走査装置を説明する模式平面図である。

【符号の説明】

Ｓ₁ ，Ｓ₂ ，Ｓ₃ ，Ｓ₄ 走査開始信号検出系１，２１，３１，５１半導体レーザユニット２，２２，３２，５２回転多面鏡３，２３，３３，５３結像レンズ系４，２４，３４，４４，５４，６４，８４，９４検
出ミラー５，２５，３５，５５光ファイバ検出器６，２６，３６，４６，５６筐体５ａ支持体５ｂ支持部材５ｃ枢着ピン１５ａ，１５ｂ脚部１６ａ案内溝２４ａ，４１ミラーホルダ２６ａ，４６ａ，４６ｂ，９７ａ切欠３７，４４ｃスペーサ３６ａ係止部材４４ａ，４４ｂ係止片５７，６７，８７，９７本体５７ａ，６７ａ立上り部分５７ｂ，６７ｂ基部５７ｃ，６７ｃピン５８，６８，８８，９８反射面６１固定ねじ７１接着剤８７ａ，８７ｂ長溝８９，９９基台８９ａ，８９ｂ支持ピン９９ａ支持枠

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の鏡面を有する回転多面鏡と、該回
転多面鏡によって偏向走査されたレーザ光の一部分を反
射する検出ミラーと、該検出ミラーの反射光を受光する
走査開始信号検出器と、該走査開始信号検出器を、前記
検出ミラーの反射点のまわりの所定の回動路に沿って案
内する案内手段からなる偏向走査装置。
【請求項２】案内手段が、検出ミラーの反射点を通っ
て回転多面鏡の回転軸と平行にのびる軸のまわりに回動
自在な長尺の支持体であることを特徴とする請求項１記
載の偏向走査装置。
【請求項３】案内手段が、検出ミラーの反射点を通っ
て回転多面鏡の回転軸と平行にのびる軸のまわりに円弧
状にのびる案内溝または案内面であることを特徴とする
請求項１記載の偏向走査装置。
【請求項４】複数の鏡面を有する回転多面鏡と、該回
転多面鏡によって偏向走査されたレーザ光の一部分を反
射する検出ミラーと、該検出ミラーの反射光を受光する
走査開始信号検出器からなる偏向走査装置であって、前
記検出ミラーが、前記偏向走査装置の筐体の一部分に保
持されており、前記筐体に設けられた切込によって前記
筐体の一部分が枢動自在であることを特徴とする偏向走
査装置。
【請求項５】検出ミラーが筐体の一部分に接着されて
いることを特徴とする請求項４記載の偏向走査装置。
【請求項６】検出ミラーが筐体の一部分に一体的に埋
込まれていることを特徴とする請求項４または５記載の
偏向走査装置。
【請求項７】検出ミラーが筐体の一部分の表面に蒸着
された反射膜であることを特徴とする請求項４または５
記載の偏向走査装置。
【請求項８】複数の鏡面を有する回転多面鏡と、該回
転多面鏡によって偏向走査されたレーザ光の一部分を反
射する検出ミラーと、該検出ミラーの反射光を受光する
走査開始信号検出器からなる偏向走査装置であって、前
記検出ミラーの一部分が、前記偏向走査装置の筐体に設
けられた係止溝または係止孔に所定の範囲内で枢動自在
に係止されていることを特徴とする偏向走査装置。
【請求項９】検出ミラーの他の部分と筐体の間にスペ
ーサが挿入され、該スペーサが前記検出ミラーと前記筐
体に接着されていることを特徴とする請求項８記載の偏
向走査装置。
【請求項１０】複数の鏡面を有する回転多面鏡と、該
回転多面鏡によって偏向走査されたレーザ光の一部分を
反射する検出ミラーと、該検出ミラーの反射光を受光す
る走査開始信号検出器からなる偏向走査装置であって、
前記検出ミラーが、合成樹脂材料で一体的に作られた立
上り部分とこれを支持する基部からなるＬ形の本体を有
し、前記立上り部分が反射膜の蒸着によって形成された
反射面を備えており、前記基部が前記偏向走査装置の筐
体に枢着されていることを特徴とする偏向走査装置。
【請求項１１】検出ミラーの本体が透明な合成樹脂材
料で作られており、その基部が、紫外線硬化型の接着剤
によって筐体に固定されていることを特徴とする請求項
９記載の偏向走査装置。
【請求項１２】検出ミラーの本体の基部の幅が、立上
り部分から遠ざかるにつれて縮小していることを特徴と
する請求項９または１０記載の偏向走査装置。
【請求項１３】複数の鏡面を有する回転多面鏡と、該
回転多面鏡によって偏向走査されたレーザ光の一部分を
反射する検出ミラーと、該検出ミラーの反射光を受光す
る走査開始信号検出器からなる偏向走査装置であって、
前記検出ミラーが、透明な材料で作られた平板状の本体
と、該本体に反射膜の蒸着によって形成された反射面を
有し、前記本体がこれを支持する基台に一体的に設けら
れた支持ピンまたは支持枠を嵌合させる凹所を備えてお
り、該凹所に塗布された紫外線硬化型の接着剤によって
前記支持ピンまたは支持枠に接着されていることを特徴
とする偏向走査装置。