JPH0659619B2 - ポリシング装置の定盤への研磨布貼替え方法 - Google Patents
ポリシング装置の定盤への研磨布貼替え方法Info
- Publication number
- JPH0659619B2 JPH0659619B2 JP58221824A JP22182483A JPH0659619B2 JP H0659619 B2 JPH0659619 B2 JP H0659619B2 JP 58221824 A JP58221824 A JP 58221824A JP 22182483 A JP22182483 A JP 22182483A JP H0659619 B2 JPH0659619 B2 JP H0659619B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface plate
- polishing
- polishing cloth
- supply port
- abrasive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明は、研磨布を貼着した上定盤と下定盤との間に被
加工物を挿入して相対的に回転させかつ両定盤間に上定
盤を通して研磨布に開孔した複数の研磨剤供給口から研
磨剤を供給しつつポリシングするポリシング装置の上定
盤に貼着される研磨布の貼替え方法に関する。
加工物を挿入して相対的に回転させかつ両定盤間に上定
盤を通して研磨布に開孔した複数の研磨剤供給口から研
磨剤を供給しつつポリシングするポリシング装置の上定
盤に貼着される研磨布の貼替え方法に関する。
［発明の技術的背景とその問題点］ この種のポリシング装置は、互いに反対方向へ回転する
上定盤と下定盤の相対向する面の一方、または両方に研
磨布を貼着し、これらの定盤間にウエハなどの被加工物
をキャリヤに保持させて置き、かつこのキャリヤをイン
ターナル歯車及び太陽歯車に噛合させて自転及び公転さ
せることにより、前記研磨布を貼着した定盤と被加工物
とを相対的に回転ないし移動させて被加工物表面をポリ
シングするもので、通常第１図に示すような構成となっ
ている。
上定盤と下定盤の相対向する面の一方、または両方に研
磨布を貼着し、これらの定盤間にウエハなどの被加工物
をキャリヤに保持させて置き、かつこのキャリヤをイン
ターナル歯車及び太陽歯車に噛合させて自転及び公転さ
せることにより、前記研磨布を貼着した定盤と被加工物
とを相対的に回転ないし移動させて被加工物表面をポリ
シングするもので、通常第１図に示すような構成となっ
ている。
すなわち、第１図に示すように、１は上定盤、２は下定
盤で、これらの相対向する表面には研磨布３，４が貼着
されているとともに、下定盤２はベアリング押え５、中
空軸６、ベアリング７，７及び軸受金８を介しベース９
に回転可能に支持され、かつ中空軸６に取付けたギヤ１
０により図示しない駆動源から回転が付与されるように
なっている一方、上定盤１は、フレーム１１に固定され
たメインシリンダ１２のピストンロッド１３にカップリ
ング１６を介して上下動可能に懸垂されている。
盤で、これらの相対向する表面には研磨布３，４が貼着
されているとともに、下定盤２はベアリング押え５、中
空軸６、ベアリング７，７及び軸受金８を介しベース９
に回転可能に支持され、かつ中空軸６に取付けたギヤ１
０により図示しない駆動源から回転が付与されるように
なっている一方、上定盤１は、フレーム１１に固定され
たメインシリンダ１２のピストンロッド１３にカップリ
ング１６を介して上下動可能に懸垂されている。
そして、前記中空軸６内には、ベアリング１７，１７、
後述する中空軸１８並びにベアリング１９，１９を介し
て軸２０が回転可能に挿入され、この軸２０はその下端
に取付けられたギヤ２１を介して図示しない駆動源から
前記中空軸６とは逆方向の回転を与え得るようになって
いるとともに、その上端にはスプライン軸２０ａが取付
けられ、このスプライン軸２０ａは、前記上定盤１を懸
垂するカップリング１６のスプライン穴１６ａに着脱可
能に係合するようになっている。
後述する中空軸１８並びにベアリング１９，１９を介し
て軸２０が回転可能に挿入され、この軸２０はその下端
に取付けられたギヤ２１を介して図示しない駆動源から
前記中空軸６とは逆方向の回転を与え得るようになって
いるとともに、その上端にはスプライン軸２０ａが取付
けられ、このスプライン軸２０ａは、前記上定盤１を懸
垂するカップリング１６のスプライン穴１６ａに着脱可
能に係合するようになっている。
また、前記上下両定盤１，２間には、第２図及び第３図
に詳図するように、保持孔２２ａ内に被加工物Ａを嵌入
保持して位置規制するキャリヤ２２が複数個介在されて
いて、このキャリヤ２２の外周部には歯車部２２ｂが形
成され、この歯車部２２ｂを前記中空軸１８の上端に設
けた太陽歯車２３及び軸受金８にベアリング２４，２４
を介して回転可能に取付けたインターナル歯車２５に噛
合させるとともに、これら太陽歯車２３及びインターナ
ル歯車２５を図示しない駆動源からギヤ２６，２７によ
って回転させることにより、キャリヤ２２を自転及び公
転させるようになっている。
に詳図するように、保持孔２２ａ内に被加工物Ａを嵌入
保持して位置規制するキャリヤ２２が複数個介在されて
いて、このキャリヤ２２の外周部には歯車部２２ｂが形
成され、この歯車部２２ｂを前記中空軸１８の上端に設
けた太陽歯車２３及び軸受金８にベアリング２４，２４
を介して回転可能に取付けたインターナル歯車２５に噛
合させるとともに、これら太陽歯車２３及びインターナ
ル歯車２５を図示しない駆動源からギヤ２６，２７によ
って回転させることにより、キャリヤ２２を自転及び公
転させるようになっている。
すなわち、上記したポリシング装置は、上定盤１を上動
させて開状態にする一方、下定盤２上に複数の被加工物
Ａ…をキャリヤ２２の保持孔２２ａに嵌入させて載置
し、次いでメインシリンダ１２の作動により前記上定盤
１を所定の下降位置に下降させて上定盤１を被加工物Ａ
…に挟圧力、つまり所定の値に設定された加工圧力を付
与して被加工物Ａ…を上下の研磨布３，４間で挟圧し、
図示しない駆動源によりギヤ１０，２１，２６，２７を
介して上下両定盤１，２及び太陽歯車２３、インターナ
ル歯車２５をそれぞれ回転させて被加工物Ａ…のポリシ
ング加工を行なうようになっているものである。
させて開状態にする一方、下定盤２上に複数の被加工物
Ａ…をキャリヤ２２の保持孔２２ａに嵌入させて載置
し、次いでメインシリンダ１２の作動により前記上定盤
１を所定の下降位置に下降させて上定盤１を被加工物Ａ
…に挟圧力、つまり所定の値に設定された加工圧力を付
与して被加工物Ａ…を上下の研磨布３，４間で挟圧し、
図示しない駆動源によりギヤ１０，２１，２６，２７を
介して上下両定盤１，２及び太陽歯車２３、インターナ
ル歯車２５をそれぞれ回転させて被加工物Ａ…のポリシ
ング加工を行なうようになっているものである。
さらにまた、上記した定盤１，２間には、被加工物Ａ…
を効率良くかつ、高精度にポリシングするために、研磨
剤が供給されるようになっているもので、その研磨剤供
給装置は第４図に示すような構成となっている。
を効率良くかつ、高精度にポリシングするために、研磨
剤が供給されるようになっているもので、その研磨剤供
給装置は第４図に示すような構成となっている。
上記研磨剤供給装置２８は、図示しない供給源から第５
図に示す複数の供給口２９ａが開孔形成されたトレイ２
９に研磨剤３０を補給し、これらトレイ２９の供給口２
９ａ…から自由落下する研磨剤３０をそれぞれホース３
１…を介して第６図に示すように複数の供給口３２が貫
設された上定盤１に供給するとともに、研磨布３に形成
した供給口３３から被加工物Ａ…のポリシング面に研磨
剤３０を供給してなる構成を有している。
図に示す複数の供給口２９ａが開孔形成されたトレイ２
９に研磨剤３０を補給し、これらトレイ２９の供給口２
９ａ…から自由落下する研磨剤３０をそれぞれホース３
１…を介して第６図に示すように複数の供給口３２が貫
設された上定盤１に供給するとともに、研磨布３に形成
した供給口３３から被加工物Ａ…のポリシング面に研磨
剤３０を供給してなる構成を有している。
ところが、このような従来のポリシング装置にあって
は、ホース３１…の端部に連結された研磨剤供給用継手
３４…が上定盤１の供給口３２の受口側にねじ止めされ
ているため、着脱が非常に困難であるばかりでなく、上
定盤１自体が上プレート３５、中間プレート３６及び下
プレート３７をボルト３８，３９により重合した三枚構
造になっていることから、研磨布３を貼替える場合、ボ
ルト３９を外してから研磨布３が貼着された下プレート
３７を機外に取出して古い研磨布を引き剥し除去し、次
いで下プレート３７の貼着面を上向きにして載置した
後、その貼着面に新しい研磨布３を貼り、さらに下プレ
ート３７の供給口３２…に対応する位置に穴明け工具を
研磨布３側から差込んで研磨布３に供給口３３…を穴明
けした後、再び下プレート３７を中プレート３６に重ね
合わせてボルト３９により固定するといった手段により
貼替え作業が行なわれているために、上定盤１の分解・
組立て作業が面倒であり、しかもその繰返しによって上
定盤の平坦度に狂いが生じ易く、被加工物の加工精度が
低下し、また研磨布への穴明けに際して、穴明けカスが
スラリー供給口３２…に残り易く、その排除が困難であ
ったり、さらには上定盤自体が三枚構造であるためにコ
スト高になるなど、種々の問題があった。
は、ホース３１…の端部に連結された研磨剤供給用継手
３４…が上定盤１の供給口３２の受口側にねじ止めされ
ているため、着脱が非常に困難であるばかりでなく、上
定盤１自体が上プレート３５、中間プレート３６及び下
プレート３７をボルト３８，３９により重合した三枚構
造になっていることから、研磨布３を貼替える場合、ボ
ルト３９を外してから研磨布３が貼着された下プレート
３７を機外に取出して古い研磨布を引き剥し除去し、次
いで下プレート３７の貼着面を上向きにして載置した
後、その貼着面に新しい研磨布３を貼り、さらに下プレ
ート３７の供給口３２…に対応する位置に穴明け工具を
研磨布３側から差込んで研磨布３に供給口３３…を穴明
けした後、再び下プレート３７を中プレート３６に重ね
合わせてボルト３９により固定するといった手段により
貼替え作業が行なわれているために、上定盤１の分解・
組立て作業が面倒であり、しかもその繰返しによって上
定盤の平坦度に狂いが生じ易く、被加工物の加工精度が
低下し、また研磨布への穴明けに際して、穴明けカスが
スラリー供給口３２…に残り易く、その排除が困難であ
ったり、さらには上定盤自体が三枚構造であるためにコ
スト高になるなど、種々の問題があった。
［発明の目的］ 本発明は、上記した事情にもとづいてなされたもので、
その目的とするところは、上定盤を分解することなく研
磨布の貼替え作業が簡単に行なうことができるポリシン
グ装置の定盤への研磨布の貼替え方法を提供することに
ある。
その目的とするところは、上定盤を分解することなく研
磨布の貼替え作業が簡単に行なうことができるポリシン
グ装置の定盤への研磨布の貼替え方法を提供することに
ある。
［発明の概要］ 上記した目的を達成させるために、本発明は、上下一対
の定盤の少なくとも上定盤に研磨布を貼着し、かつこの
上定盤に研磨剤供給口を受口側に大径口部となるように
段付き形成して貫設するとともに、この供給口の受口側
大径口部に研磨剤用継手を脱着自在に挿入保持させて研
磨剤を供給しつつ前記上下両定盤間に配設される被加工
物をポリシングするポリシング装置の前記上定盤に研磨
布を貼替えるにあたり、前記上定盤に無開孔の研磨布を
貼着し、次いで前記継手が外された状態にある供給口の
受口側大径口部か穴明け工具を差込んで前記研磨布に小
径な研磨剤供給口を穴明けしてなることを特徴とするも
のである。
の定盤の少なくとも上定盤に研磨布を貼着し、かつこの
上定盤に研磨剤供給口を受口側に大径口部となるように
段付き形成して貫設するとともに、この供給口の受口側
大径口部に研磨剤用継手を脱着自在に挿入保持させて研
磨剤を供給しつつ前記上下両定盤間に配設される被加工
物をポリシングするポリシング装置の前記上定盤に研磨
布を貼替えるにあたり、前記上定盤に無開孔の研磨布を
貼着し、次いで前記継手が外された状態にある供給口の
受口側大径口部か穴明け工具を差込んで前記研磨布に小
径な研磨剤供給口を穴明けしてなることを特徴とするも
のである。
［発明の実施例］ 以下、本発明を第７図から第１３図に示す一実施例を参
照しながら詳細に説明する。なお、本発明の図示の実施
例において、第１図から第６図に示す従来構造のポリシ
ング装置と構成が重複する部分は同一符号を用い説明を
省略する。
照しながら詳細に説明する。なお、本発明の図示の実施
例において、第１図から第６図に示す従来構造のポリシ
ング装置と構成が重複する部分は同一符号を用い説明を
省略する。
すなわち、本発明は、第７図及び第８図に示すように、
上定盤１を上プレート４０と下プレート４１とがボルト
４２で組付け固定された二枚構造にし、かつ上下両プレ
ート４０，４１間に冷却液流路４３を形成してなる構成
を有するとともに、上定盤１に貫通される研磨剤供給口
４４…の受口側を大径口部４４ａに段付き形成し、この
大径口部４４ａに研磨剤３０が補給されたトレイ２９の
供給口２９ａに一端が連結されたホース３１…、他端の
研磨剤供給用継手４５の挿入部４５ａを着脱自在に挿入
保持させてなるもので、これら継手４５は、本体４６の
一端にホース３１を挿入し、キャップ４７をねじ込むこ
とによりホース３１に結合させてなる構成を有し、キャ
ップ４７を握って押し引きすることにより前記供給口４
４の大径口部４４ａに容易に着脱できるようになってい
るとともに、前記挿入部４５ａには、封止用のＯリング
４８が設けられている。
上定盤１を上プレート４０と下プレート４１とがボルト
４２で組付け固定された二枚構造にし、かつ上下両プレ
ート４０，４１間に冷却液流路４３を形成してなる構成
を有するとともに、上定盤１に貫通される研磨剤供給口
４４…の受口側を大径口部４４ａに段付き形成し、この
大径口部４４ａに研磨剤３０が補給されたトレイ２９の
供給口２９ａに一端が連結されたホース３１…、他端の
研磨剤供給用継手４５の挿入部４５ａを着脱自在に挿入
保持させてなるもので、これら継手４５は、本体４６の
一端にホース３１を挿入し、キャップ４７をねじ込むこ
とによりホース３１に結合させてなる構成を有し、キャ
ップ４７を握って押し引きすることにより前記供給口４
４の大径口部４４ａに容易に着脱できるようになってい
るとともに、前記挿入部４５ａには、封止用のＯリング
４８が設けられている。
次に、上定盤１に貼着された研磨布３が摩耗等により加
工能力が低下した際の貼替え手段を第９図を参照しなが
ら説明すると、まず古い研磨布３を下プレート４１から
引き剥して無開孔の新しい研磨布３に貼替える。次に、
下定盤２上に木製またはプラスチック製の刃受け部材４
９を載置し、予め研磨剤供給用継手４５を引き抜いた上
定盤１の供給口４４の受口側からその大径口部４４ａに
穴明け工具５０を差込み、その工具５０の先端を手で押
圧することにより研磨布３に供給口３３…を穴明けして
なるものである。
工能力が低下した際の貼替え手段を第９図を参照しなが
ら説明すると、まず古い研磨布３を下プレート４１から
引き剥して無開孔の新しい研磨布３に貼替える。次に、
下定盤２上に木製またはプラスチック製の刃受け部材４
９を載置し、予め研磨剤供給用継手４５を引き抜いた上
定盤１の供給口４４の受口側からその大径口部４４ａに
穴明け工具５０を差込み、その工具５０の先端を手で押
圧することにより研磨布３に供給口３３…を穴明けして
なるものである。
また、第１０図から第１３図は上記した研磨剤供給用継
手４５の挿入部４５ａと上定盤１の研磨剤供給口４４の
大径口部４４ａとの嵌合状態の他の実施例をそれぞれ示
し、第１０図に示すように、互いにテーパ状に嵌合させ
たり、第１１図に示すように、継手挿入部４５ａにリン
グ状の突起部４５ｂを形成して嵌合させたり、第１２図
に示すように、供給口４４のテーパ部周辺、あるいは第
１３図に示すように突起部４５ｂを有する継手挿入部４
５ａの周辺にそれぞれ柔軟性のあるプラスチックまたは
ゴム等の弾性材４４ｂを設けて水密性の向上を図るよう
に構成してなるものである。
手４５の挿入部４５ａと上定盤１の研磨剤供給口４４の
大径口部４４ａとの嵌合状態の他の実施例をそれぞれ示
し、第１０図に示すように、互いにテーパ状に嵌合させ
たり、第１１図に示すように、継手挿入部４５ａにリン
グ状の突起部４５ｂを形成して嵌合させたり、第１２図
に示すように、供給口４４のテーパ部周辺、あるいは第
１３図に示すように突起部４５ｂを有する継手挿入部４
５ａの周辺にそれぞれ柔軟性のあるプラスチックまたは
ゴム等の弾性材４４ｂを設けて水密性の向上を図るよう
に構成してなるものである。
その他、本発明は、本発明の要旨を変えない範囲で変更
実施可能なことは勿論である。
実施可能なことは勿論である。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、上定盤に貫通形
成される研磨剤供給口の受口側を大径口部に段付き形成
し、この大径口部に研磨剤供給用継手を容易に着脱自在
にする一方、研磨布の貼替えに際して、前記供給口の受
口側大径口部より穴明け工具を差込み可能にして研磨布
への供給口の穴明けを容易にしたことから、従来のよう
に上定盤を分解することなく研磨布の貼替え及び供給口
の穴明けができ、しかも大径口部の形成により研磨布の
穴明け時の穴明けカスの排除も容易にできるなど、作業
性の向上が期待でき、定盤の精度維持上においてもすぐ
れた効果を奏するものである。
成される研磨剤供給口の受口側を大径口部に段付き形成
し、この大径口部に研磨剤供給用継手を容易に着脱自在
にする一方、研磨布の貼替えに際して、前記供給口の受
口側大径口部より穴明け工具を差込み可能にして研磨布
への供給口の穴明けを容易にしたことから、従来のよう
に上定盤を分解することなく研磨布の貼替え及び供給口
の穴明けができ、しかも大径口部の形成により研磨布の
穴明け時の穴明けカスの排除も容易にできるなど、作業
性の向上が期待でき、定盤の精度維持上においてもすぐ
れた効果を奏するものである。
第１図はポリシング装置の一例を示す概略的断面図、第
２図は同じく要部の平面図、第３図は同じく要部縦断面
図、第４図は従来の研磨剤供給系の要部拡大断面図、第
５図は補給トレイの平面図、第６図は上定盤の平面図、
第７図は本発明に係る研磨剤供給系の一実施例を示す要
部断面図、第８図は同じく要部拡大断面図、第９図は研
磨布の貼替え及び穴明け工程を示す説明図、第１０図か
ら第１３図は本発明に係る研磨剤供給系の他の実施例を
それぞれ示す説明図である。 １……上定盤、２……下定盤、３……研磨布、２９……
トレイ、３０……研磨剤、３１……ホース、３３……研
磨布の供給口、４０……上プレート、４１……下プレー
ト、４２……ボルト、４４……研磨剤供給口、４４ａ…
…大径口部、４５……継手、４５ａ……挿入部、４８…
…Ｏリング、４９……刃受け部材、５０……穴明け工
具、Ａ……被加工物。
２図は同じく要部の平面図、第３図は同じく要部縦断面
図、第４図は従来の研磨剤供給系の要部拡大断面図、第
５図は補給トレイの平面図、第６図は上定盤の平面図、
第７図は本発明に係る研磨剤供給系の一実施例を示す要
部断面図、第８図は同じく要部拡大断面図、第９図は研
磨布の貼替え及び穴明け工程を示す説明図、第１０図か
ら第１３図は本発明に係る研磨剤供給系の他の実施例を
それぞれ示す説明図である。 １……上定盤、２……下定盤、３……研磨布、２９……
トレイ、３０……研磨剤、３１……ホース、３３……研
磨布の供給口、４０……上プレート、４１……下プレー
ト、４２……ボルト、４４……研磨剤供給口、４４ａ…
…大径口部、４５……継手、４５ａ……挿入部、４８…
…Ｏリング、４９……刃受け部材、５０……穴明け工
具、Ａ……被加工物。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田澤 進一 静岡県沼津市大岡2068の３ 東芝機械株式 会社沼津事業所内 (72)発明者 遠藤 正美 静岡県沼津市大岡2068の３ 東芝機械株式 会社沼津事業所内 (56)参考文献 特公 昭40−12678（ＪＰ，Ｂ１) 特公 昭53−11098（ＪＰ，Ｂ２) 実公 昭59−20938（ＪＰ，Ｙ２)
Claims (1)
- 【請求項１】上下一対の定盤の少なくとも上定盤に研磨
布を貼着し、かつこの上定盤に研磨剤供給口を受口側が
大径口部となるように段付き形成して貫設するととも
に、この供給口の受口側大径口部に研磨剤用継手を脱着
自在に挿入保持させて研磨剤を供給しつつ前記上下両定
盤間に配設される被加工物をポリシングするポリシング
装置の前記上定盤に研磨布を貼替えるにあたり、 前記上定盤に無開孔の研磨布を貼着し、次いで前記継手
が外された状態にある供給口の受口側大径口部から穴明
け工具を差込んで前記研磨布に小径な研磨剤供給口を穴
明けしてなることを特徴とするポリシング装置の定盤へ
の研磨布貼替え方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58221824A JPH0659619B2 (ja) | 1983-11-25 | 1983-11-25 | ポリシング装置の定盤への研磨布貼替え方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58221824A JPH0659619B2 (ja) | 1983-11-25 | 1983-11-25 | ポリシング装置の定盤への研磨布貼替え方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60114464A JPS60114464A (ja) | 1985-06-20 |
| JPH0659619B2 true JPH0659619B2 (ja) | 1994-08-10 |
Family
ID=16772759
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58221824A Expired - Lifetime JPH0659619B2 (ja) | 1983-11-25 | 1983-11-25 | ポリシング装置の定盤への研磨布貼替え方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0659619B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0631618A (ja) * | 1992-07-13 | 1994-02-08 | Koei Sangyo Kk | ラップ盤 |
| JP5671735B2 (ja) * | 2011-01-18 | 2015-02-18 | 不二越機械工業株式会社 | 両面研磨装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS594758B2 (ja) * | 1976-07-19 | 1984-01-31 | 東芝電気器具株式会社 | 自動販売機の商品排出装置 |
| JPS5920938U (ja) * | 1982-07-29 | 1984-02-08 | トヨタ自動車株式会社 | プレス装置におけるワ−クの位置決め案内機構 |
-
1983
- 1983-11-25 JP JP58221824A patent/JPH0659619B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60114464A (ja) | 1985-06-20 |
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