JPH0659794U - 送り幅可変機構を有する枚葉式洗浄装置における乾燥装置 - Google Patents
送り幅可変機構を有する枚葉式洗浄装置における乾燥装置Info
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- JPH0659794U JPH0659794U JP459293U JP459293U JPH0659794U JP H0659794 U JPH0659794 U JP H0659794U JP 459293 U JP459293 U JP 459293U JP 459293 U JP459293 U JP 459293U JP H0659794 U JPH0659794 U JP H0659794U
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Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【目的】 水切用エアーナイフの設置角度を十分に調整
する。 【構成】 被洗浄物を搬送する両側の鍔付搬送ローラ
と、その上方に位置した押えローラとを間隔をおいて多
数設置し、上下の水切用エアーナイフを位置させる個所
の鍔付搬送ローラと押えローラは夫々片持搬送軸27,
27′と片持押え用軸に軸着し、搬送方向と平行する一
方側の鍔付搬送ローラと押えローラとを移動させて搬送
幅を可変にし、被洗浄物を搬送する両側の鍔付搬送ロー
ラと押えローラと夫々テーパー状に形成した送り幅可変
機構を有する枚葉式洗浄装置における乾燥装置を構成す
る。
する。 【構成】 被洗浄物を搬送する両側の鍔付搬送ローラ
と、その上方に位置した押えローラとを間隔をおいて多
数設置し、上下の水切用エアーナイフを位置させる個所
の鍔付搬送ローラと押えローラは夫々片持搬送軸27,
27′と片持押え用軸に軸着し、搬送方向と平行する一
方側の鍔付搬送ローラと押えローラとを移動させて搬送
幅を可変にし、被洗浄物を搬送する両側の鍔付搬送ロー
ラと押えローラと夫々テーパー状に形成した送り幅可変
機構を有する枚葉式洗浄装置における乾燥装置を構成す
る。
Description
【0001】
本考案は枚葉式洗浄装置における乾燥装置に関するものである。
【0002】
従来の装置は、図7乃至図10に示すように、飛散水受槽1に間隔をおいて多 数の搬送軸2,2,…を回転自在に横架し、各搬送軸2,2,…の一端にウォー ム3を軸着し、各搬送軸2,2,…と交差する駆動軸4に軸着したウォームホイ ール5と前記各ウォーム3とが噛合うようになっている。そして、端部に位置し たウォームホイール5は回転伝達モータ6によって駆動されるウォーム7と噛合 っており、このウォーム7により駆動軸4が回動する。 又、各搬送軸2,2,…の上方には押え用軸8,8,…が横架され、飛散水槽 1外に位置した各搬送軸2と各押え用軸8に夫々互いに当接する歯車9,10を 軸着して搬送軸2の回転を押え用軸8に伝達して押え用軸8を反対方向に回転さ せるようになっている。
【0003】 そして、各搬送軸2,2,…には、両側にガラス基板11を支持する当接面が 平面状の鍔付搬送ローラ12,13を設け、各押え用軸8,8,…にはガラス基 板11を押える当接面が平面状の押えローラ14,15を取付けている。尚、一 方の各鍔付搬送ローラ13と各押えローラ15は一枚のローラ移動用金具16に よって共動して対向する鍔付搬送ローラ12と押えローラ14とに対向する間隔 を調整してガラス基板11の巾方向に対処できるようになっている。ローラ移動 用金具16は両側に設けたローラ移動用螺子17,18と螺合しており、軸端に 夫々歯付プーリ19,20を軸着してタイミングベルト21を掛け、一方のロー ラ移動用螺子17に設けたハンドル22を回転させることにより両ローラ移動用 螺子17,18を回転させてローラ移動用金具16を移動させるようになっ ている。
【0004】 又、2個所の搬送軸2,2間には図8に示すように上下に水切用エアーナイフ 23,24を設けてガラス基板11上の水切を行うようになっている。
【0005】
従来装置は前記のように構成したもので、ガラス基板11を支持する搬送ロー ラ12,13は1本の搬送軸2に取付けているため、水切用エアーナイフ23, 24の取付位置に制約を受ける。例えば長さ240mmのガラス基板11を搬送 する場合、水切用エアーナイフ23,24の設置角度は4度しかとれなかった。 そのため、水切用エアーナイフ23,24の水切性能があがらず、ガラス基板1 1上に水滴が残るという問題点があった。 又、ガラス基板11を搬送する搬送ローラ12,13と押えローラ14,15 は共に当接面が平面状に形成されているため、ガラス基板11との接触面積が大 きく、押えローラ及び搬送ローラからの汚染を防止することができなかった。
【0006】 そこで、本考案においては水切用エアーナイフの設置角度を大きくとることが できると共に、ガラス基板とローラとの接触を小さくしてガラス基板の汚染を防 止することができる装置を提供しようとするものである。
【0007】
本考案は前記課題を解決するために、被洗浄物を搬送する両側の鍔付搬送ロー ラと、その上方に位置した押えローラとを間隔をおいて多数設置し、上下の水切 用エアーナイフを位置させる個所の鍔付搬送ローラと押えローラは夫々片持搬送 軸と片持押え用軸に軸着し、搬送方向と平行する一方側の鍔付搬送ローラと押え ローラとを軸上を移動させて搬送幅を可変にした送り幅可変機構を有する枚葉式 洗浄装置における乾燥装置を構成する。
【0008】 又、被洗浄物を搬送する両側の各鍔付搬送ローラと押えローラとを夫々テーパ ー状に形成した送り幅可変機構を有する枚葉式洗浄装置における乾燥装置を構成 する。
【0009】
本考案は前記のように構成したもので、テーパー状の鍔付搬送ローラとテーパ ー状の押えローラで被洗浄物を搬送し、片持搬送軸と片持押え用軸との間に設け た上下の水切用エアーナイフで大きく傾斜角度を調整してエアーを噴射させて乾 燥を行う。
【0010】
本考案の実施例を図1乃至図6に基いて詳細に説明する。 飛散水槽1の搬送方向と平行な両側面の両端に夫々軸受具25,25´,26 ,26´を固定し、夫々駆動軸4,4´を回転自在に軸支している。そして、駆 動軸4の軸受具25側に従来と同様にウォームホイール5を軸着し、回転伝達モ ータ6に設けたウォーム7と噛合って駆動軸4は回転させる。この駆動軸4には 端部のウォームホイール5と他に間隔をおいて2個所に同様なウォームホイール 5を軸着しており、搬入側の端部に位置したウォームホイール5と噛合うウォー ム3を飛散水槽1に横架した搬送軸2に軸着している。この搬送軸2の他方の軸 端にもウォーム3´を軸着し、駆動軸4´に軸着したウォームホイール5´と噛 合うようになっている。 他の2個所のウォームホイール5と噛合うウォーム3は飛散水槽1の片側の側 壁のみで支持されている短い片持搬送軸27,27に軸着している。
【0011】 前記搬入側に位置した搬送軸2と片持搬送軸27,27との間には搬送軸2, 2を飛散水槽1に横架し、搬出側に位置した片持搬送軸27の搬出側にも搬送軸 2を飛散水槽1に横架している。そして搬入側端部の搬送軸2と同様に他の各搬 送軸2,2,…の回転伝達モータ6と反対する側の軸端に夫々ウォーム3´,3 ´を軸着して駆動軸4´に軸着した各ウォームホイール5´と噛合って搬送軸2 ,2…を回動させるようになっている。又、前記片持搬送軸27,27と対向す る短い片持搬送軸27´,27´を飛散水槽1の片側側壁のみで軸支しており、 この両片持搬送軸27´,27´にも夫々ウォーム3´,3´を軸着して駆動軸 4´のウォームホイール5´,5´と噛合っている。
【0012】 各搬送軸2,2,…の上方に押え用軸8,8,…が横架され、又、各片持搬送 軸27´,27´の上方にも同様な片持押え用軸28´,28´が横架され、駆 動軸4´側の飛散水槽1外に位置した搬送軸2,2,…と片持搬送軸27´,2 7´と各押え用軸8,8…,と片持押え用軸28´,28´に夫々互いに当接す る歯車9´,10´を軸着して各押え用軸8,8,…と片持押え用軸28´,2 8´を夫々搬送軸2,2…,と片持搬送軸27´,27´の反対方向に回転させ るようになっている。
【0013】 又、片持搬送軸27,27とその上方に片持で支持された片持押え用軸28, 28の飛散水槽1外に位置した個所には夫々互いに当接する歯車9,9,10, 10を軸着して、片持搬送軸27の回転を片持押え用軸28に逆方向へ回転させ るように伝動させる。
【0014】 又、搬送軸2,2,…の駆動軸4´側及び片持搬送軸27´,27´にはテー パー状をした鍔付搬送ローラ29,29,…を軸着し、押え用軸8,8,…及び 片持押え用軸28´,28´にテーパー状の押えローラ30,30…を軸着して ガラス基板11の端面のみを挾持するようになっている。
【0015】 一方、搬送軸2,2,…の駆動軸4側には夫々図3に示すようにキー溝31, 31,…を設けてテーパー状の鍔付搬送ローラ32,32,…を嵌合し、鍔付搬 送ローラ32,32,…の内側にキー溝31,31,…に挿入するピン(図示省 略)を突設しており、片持搬送軸27にも図5に示すように同様なキー溝33を 設け、一端に摺動管34を有するテーパー状の鍔付搬送ローラ32´,32´を 嵌合し、内面にキー溝33に挿入するピン35、35を夫々突設して片持搬送軸 27上を鍔付搬送ローラ32´,32´が摺動できるように形成している。
【0016】 又、テーパー状の鍔付搬送ローラ32´,32´の上方に設けた押え用軸8, 8にはキー溝36,36を設けてテーパー状の押えローラ37,37を嵌合し、 内面に設けたピン(図示省略)をキー溝36に嵌合してテーパ状の押えローラ3 7を夫々押え用軸8上を摺動できるようになっている。 又、テーパー状の鍔付搬送ローラ32´,32´の上方に設けた片持押え用軸 28,28には、図5に示すように、キー溝38を設けて、一端に摺動管39を 有するテーパー状の押えローラ40を嵌合し、押えローラ40の内面にピン41 を突設してキー溝38に挿入して押えローラ40を片持押え用軸28上を摺動さ せるように形成している。
【0017】 又、各鍔付搬送ローラ32,32´及び押えローラ37,40には夫々移動用 溝42,42,…を設けてローラ移動用金具16の嵌合部43,43,…を嵌合 している。
【0018】 又ローラ移動用金具16には飛散水槽1の下側に横架した両移動用螺子17, 18が螺合しており、両移動用螺子17,18に夫々歯付プーリ19,20を固 定してタイミングベルト21を掛け、一方の移動用螺子17に取付けた移動用モ ータ44の駆動でローラ移動用金具16を移動させて、前記各鍔付搬送ローラ3 2,32´及び押えローラ37,40を夫々移動させてガラス基板11の幅に対 応させるようになっている。
【0019】 尚、上下の水切用エアーナイフ23,24は夫々片持搬送軸27,27´及び 片持押え用軸28,28´間に位置して傾斜角度を十分にとれるようになっ ている。
【0020】 本実施例は前記のように構成したもので、乾燥させようとするガラス基板11 の幅に応じてローラ移動用金具16を移動させて鍔付搬送ローラ32,32´及 び押えローラ37,40の位置を変化させて対向する鍔付搬送ローラ29と押え ローラ30との距離を調整する。 その後、両側の上下の水切用エアーナイ23,24の角度を調整した後に回転 伝達モータ6を駆動してガラス基板11の搬送を行い、その途中において上下の 水切用エアーナイフ23,24から噴射するエアーで水切りを行う。
【0021】
本考案は前記のような構成、作用を有するものでガラス基板はテーパー状の搬 送ローラとテーパー状の押えローラで搬送されるもので、ガラス基板は両側の端 面のみで支持されることになり、ローラによる汚染を防止することができる。 又、上下の水切用ナイフは軸が存在しない個所に位置しているので、傾斜角度 を大きく調整することができ、水切効果を十分に得ることができる。
【0022】
【図1】本考案に係る送り幅可変機構を有する枚葉式洗
浄装置における乾燥装置の一実施例の平面図。
浄装置における乾燥装置の一実施例の平面図。
【図2】図1におけるA−A´断面図。
【図3】図1におけるB−B´断面図。
【図4】鍔付搬送ローラと押えローラとを示す側面図。
【図5】移動側の片持用の鍔付搬送ローラと押えローラ
とを示す拡大断面図。
とを示す拡大断面図。
【図6】固定側の片持用の鍔付搬送ローラと押えローラ
とを示す側面図。
とを示す側面図。
【図7】従来装置の平面図。
【図8】図7のA−A´断面図。
【図9】図7のB−B´断面図。
【図10】鍔付搬送ローラと押えローラとを示す側面
図。
図。
1 飛散水槽 2 搬送軸 3 ウォーム 3´ ウォーム 4 駆動軸 4´ 駆動軸 5 ウォームホイール 5´ ウォームホイール 6 回転伝達モータ 7 ウォーム 8 押え用軸 9 歯車 9´ 歯車 10 歯車 10´ 歯車 11 ガラス基板 12 鍔付搬送ローラ 13 鍔付搬送ローラ 14 押えローラ 15 押えローラ 16 ローラ移動用金具 17 ローラ移動用螺子 18 ローラ移動用螺子 19 歯付プーリ 20 歯付プーリ 21 タイミングベルト 22 ハンドル 23 水切用エアーナイフ 24 水切用エアーナイフ 25 軸受具 25´ 軸受具 26 軸受具 26´ 軸受具 27 片持搬送軸 27´ 片持搬送軸 28 片持押え用軸 28´ 片持押え用軸 29 鍔付搬送ローラ 30 押えローラ 31 キー溝 32 鍔付搬送ローラ 32´ 鍔付搬送ローラ 33 キー溝 34 摺動管 35 ピン 36 キー溝 37 押えローラ 38 キー溝 39 摺動管 40 押えローラ 41 ピン 42 移動用溝 43 嵌合部 44 移動用モータ
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 // B08B 5/02 Z 2119−3B (72)考案者 渋谷 節男 東京都調布市柴崎2丁目1番地3 島田理 化工業株式会社内 (72)考案者 名倉 隆之 静岡県小笠郡大須賀町大渕12117 コーニ ングジャパン株式会社静岡事業センター内
Claims (2)
- 【請求項1】 被洗浄物を搬送する両側の鍔付搬送ロー
ラと、その上方に位置した押えローラとを間隔をおいて
多数設置し、上下の水切用エアーナイフを位置させる個
所の鍔付搬送ローラと押えローラは夫々片持搬送軸と片
持押え用軸に軸着し、搬送方向と平行する一方側の鍔付
搬送ローラと押えローラとを軸上を移動させて搬送幅を
可変にしたことを特徴とする送り幅可変機構を有する枚
葉式洗浄装置における乾燥装置。 - 【請求項2】 被洗浄物を搬送する両側の各鍔付搬送ロ
ーラと押えローラと夫々テーパー状に形成したことを特
徴とする請求項1記載の送り幅可変機構を有する枚葉式
洗浄装置における乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993004592U JP2592197Y2 (ja) | 1993-01-22 | 1993-01-22 | 送り幅可変機構を有する枚葉式洗浄装置における乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993004592U JP2592197Y2 (ja) | 1993-01-22 | 1993-01-22 | 送り幅可変機構を有する枚葉式洗浄装置における乾燥装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0659794U true JPH0659794U (ja) | 1994-08-19 |
| JP2592197Y2 JP2592197Y2 (ja) | 1999-03-17 |
Family
ID=11588318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993004592U Expired - Lifetime JP2592197Y2 (ja) | 1993-01-22 | 1993-01-22 | 送り幅可変機構を有する枚葉式洗浄装置における乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2592197Y2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005272061A (ja) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板の搬送装置及び搬送方法 |
| KR100767632B1 (ko) * | 2001-12-29 | 2007-10-17 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 기판용 반송장치 |
| JP2013084932A (ja) * | 2011-10-06 | 2013-05-09 | Bay Zu Prec Co Ltd | 基板搬送装置及び転動ユニット |
| CN112520309A (zh) * | 2020-11-23 | 2021-03-19 | 河北机电职业技术学院 | 一种动力损耗低的轧辊辅助传输机构 |
| CN112849913A (zh) * | 2021-02-23 | 2021-05-28 | 江苏太航信息科技有限公司 | 一种便于调节导向方向的自动化船舶输送机构 |
-
1993
- 1993-01-22 JP JP1993004592U patent/JP2592197Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100767632B1 (ko) * | 2001-12-29 | 2007-10-17 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 기판용 반송장치 |
| JP2005272061A (ja) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板の搬送装置及び搬送方法 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2592197Y2 (ja) | 1999-03-17 |
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