JPH0687338U - 枚葉状処理物の搬送装置 - Google Patents
枚葉状処理物の搬送装置Info
- Publication number
- JPH0687338U JPH0687338U JP3185293U JP3185293U JPH0687338U JP H0687338 U JPH0687338 U JP H0687338U JP 3185293 U JP3185293 U JP 3185293U JP 3185293 U JP3185293 U JP 3185293U JP H0687338 U JPH0687338 U JP H0687338U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- conveying
- processed
- shafts
- pressing
- Prior art date
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- Pending
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- Cleaning In General (AREA)
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- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 水滴の流下及びパーティクルの除去を簡単に
行う。 【構成】 処理槽内に設置する被処理物を搬送する鍔付
搬送ローラを両側に有する搬送軸と、押えローラを両側
に有する押え用軸を共に、水平面に対して傾斜した状態
で設置した枚葉式処理物の搬送装置。
行う。 【構成】 処理槽内に設置する被処理物を搬送する鍔付
搬送ローラを両側に有する搬送軸と、押えローラを両側
に有する押え用軸を共に、水平面に対して傾斜した状態
で設置した枚葉式処理物の搬送装置。
Description
【0001】
本考案は枚数葉状物の搬送装置に関するものである。
【0002】
従来の装置は図4に示すように、枠体1の内部に洗浄等を行う処理槽2を設け ている。そして、処理槽2に間隔をおいて多数の搬送軸3,3,…を回転自在に 水平に横架し、各搬送軸3,3,…の一端にウォーム4を軸着し、各搬送軸3, 3,…と交差する駆動軸5に軸着したウォームホイル6と前記各ウォーム4とが 噛合うようになっている。端部に位置したウォームホイル6はモータ7によって 駆動されるウォーム8と噛合うようになっており、このウォーム8により駆動軸 5を回動させて全搬送軸3,3,…を回動させるようになっている。
【0003】 又、各搬送軸3,3,…の上方には押え用軸9,9,…が水平に横架され、処 理槽2外に位置した各搬送軸3と各押え用軸9には夫々噛合う歯車10、11を 軸着して搬送軸3の回転を押え用軸9に伝達して押え用軸9を反対方向に回転さ せるようになっている。 又、各搬送軸3,3,…の両側にはガラス基板等の被処理物12を支持する当 接面が平面状の鍔付搬送ローラ13,13を設け、各押え用軸9,9,…には被 処理物10を押える当接面が平面状の押えローラ14,14を取付けている。
【0004】
従来装置は前記のように構成したもので、被処理物12を搬送ローラ13,1 3に押えローラ14,14が押圧することにより、水平状態で搬送し、洗浄等の 処理を行うものであるが、洗浄工程、乾燥工程時に被処理物に付着した水滴及び パーティクル15が滞溜するという問題があった。
【0005】 そこで、本考案においては被処理物を傾斜させた状態で搬送して水滴の流下及 びパーティクルの除去を簡単に行うことができる処理物の搬送装置を提供しよう とするものである。
【0006】
本考案は前記課題を解決するために、処理槽内に設置する被処理物を搬送する 鍔付搬送ローラを両側に有する搬送軸と、押えローラを両側に有する押え用軸を 共に、水平面に対して傾斜した状態で設置した枚葉式処理物の搬送装置を構成す る。
【0007】
本考案は前記のように構成したもので、被処理物は傾斜している搬送軸と押え 用軸によって水平面に対して傾斜した状態で搬送される。
【0008】
本考案の実施例を図1乃至図3に基いて詳細に説明する。 枠体1に固定する処理槽2を枠体1に対して傾斜した状態で取付ける。したが って、処理槽2の両側壁は図1に示すように枠体1に対して傾斜した状態となり 、両側壁に対して直角に各搬送軸3,3,…と押え用軸9,9,…を横架すると 、両軸は水平面に対して傾斜した状態になる。
【0009】 これに伴い、モータ7も枠体1に対して傾斜した状態で枠体1に取付けること により、ウォーム8とウォームホイル6とウォーム4との相互の噛合いを円滑に 行えるようにする。 他は従来と同様なので、同一符号を付し説明を省略する。
【0010】 本実施例は前記のように構成したもので、被処理物12は水平面に対して傾斜 している各搬送軸3,3,…と各押え用軸9,9,…によって処理槽2内を傾斜 した状態で移動する。 それ故、被処理物12の表裏面に付着していたパーティクルは傾斜面に沿って 落下し、水滴は流下することになる。
【0011】
本考案は前記のような構成、作用を有するから、処理槽で洗浄工程を行う際に は、除去したパーティクルが再付着することなく、傾斜面に沿って落下し、乾燥 工程においては水滴が表裏面の傾斜に沿って流下し、水滴が残ることなく、確実 な乾燥を行うことができる。
【0012】
【図1】本考案の一実施例の断面図。
【図2】その一部拡大正面図。
【図3】平面図。
【図4】従来例の断面図。
1 枠体 2 処理槽 3 搬送軸 4 ウォーム 5 駆動軸 6 ウォームホイル 7 モータ 8 ウォーム 9 押え用軸 10 歯車 11 歯車 12 被処理物 13 鍔付搬送ローラ 14 押えローラ 15 水滴及びパーティクル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/68 A
Claims (1)
- 【請求項1】 処理槽内に設置する被処理物を搬送する
鍔付搬送ローラを両側に有する搬送軸と、押えローラを
両側に有する押え用軸を共に、水平面に対して傾斜した
状態で設置したことを特徴とする枚葉式処理物の搬送装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3185293U JPH0687338U (ja) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | 枚葉状処理物の搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3185293U JPH0687338U (ja) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | 枚葉状処理物の搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0687338U true JPH0687338U (ja) | 1994-12-22 |
Family
ID=12342591
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3185293U Pending JPH0687338U (ja) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | 枚葉状処理物の搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0687338U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013146727A (ja) * | 2011-12-22 | 2013-08-01 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置 |
-
1993
- 1993-05-24 JP JP3185293U patent/JPH0687338U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013146727A (ja) * | 2011-12-22 | 2013-08-01 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置 |
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