JPH0644624A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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JPH0644624A
JPH0644624A JP21729692A JP21729692A JPH0644624A JP H0644624 A JPH0644624 A JP H0644624A JP 21729692 A JP21729692 A JP 21729692A JP 21729692 A JP21729692 A JP 21729692A JP H0644624 A JPH0644624 A JP H0644624A
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JP
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magneto
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JP21729692A
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English (en)
Inventor
Hajime Yuzurihara
肇 譲原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Publication of JPH0644624A publication Critical patent/JPH0644624A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 2層膜タイプの磁性膜を有する光磁気記録媒
体において、さらに高感度化及び高C/N化を図り、記
録の大容量化及び高速転送レート化に充分対応できるよ
うにする。 【構成】 基板1上に、干渉層2、再生層3、記録層
4、保護層5及び反射層6をその順に積層した構成とす
る。再生層3及び記録層4をそれぞれ異なる組成のTb
DyFeCo非晶質合金膜により形成し、再生層3にお
けるCo組成は記録層4におけるCo組成より大とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はレーザー光を用いて情報
の記録、再生、消去を行う光磁気ディスク等の光磁気記
録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】光磁気ディスク等の光磁気記録媒体はレ
ーザー光を用いて情報の記録、再生及び消去を行うため
従来からの光ディスクと同様に記憶容量が大きく、しか
も記録層に磁性体を用いているため書き換えが可能であ
る。また、非接触で記録、再生ができ、塵埃の影響もう
けないことから信頼性にも優れている。記録層に使用さ
れる材料としては希土類−遷移金属(RE−TM)非晶
質合金が粒界ノイズがなくスパッタリングを用いること
によって容易に垂直磁化膜になるため現在主流となって
いる。
【0003】一方、光磁気ディスクを用いたファイルシ
ステムは今後さらに大容量化及び高速転送レート化が進
み、そのため記録層はC/Nを左右するカー回転角(θ
k)が大きく、記録感度に影響を与えるキュリー温度
(Tc)が低くかつビットサイズ(磁区)を1μm以下
で安定させるための保磁力(Hc)が大きい材料である
ことが要求される。しかし、すべての条件を同時に充分
満足するRE−TM非晶質合金は存在しないため、性質
の異なるRE−TM非晶質合金を組み合わせ多層膜構造
にする等の工夫を行っているのが現状である。
【0004】このような多層膜構造の磁性膜を持つ光磁
気記録媒体は交換結合型の光磁気記録媒体と呼ばれてい
る。その中で2層膜タイプの媒体では再生層と記録層と
を別々に設けており、再生層にはキュリー温度(Tc)
が高く、保磁力(Hc)が小さくかつカー回転角(θ
k)が大きい材料が使用され、記録層にはキュリー温度
(Tc)が低くかつ保磁力(Hc)の大きな材料が使用
される。このような構成において、従来より、再生層に
はGdFe、GdFeCo、Bi置換YIG等が使用さ
れ、記録層にはTbFe、TbFeCo等が使用されて
いる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の材料を用いた2層膜タイプの磁性膜によっても大容量
化及び高速転送レート化に充分対応できるものとはいえ
ず、さらに高感度化及び高C/N化された光磁気記録媒
体の実現が要望されていた。
【0006】本発明は、このような従来技術の実情に鑑
みてなされたもので、より一層の高感度化及び高C/N
化を図った光磁気記録媒体を提供することを目的とす
る。
【0007】
【課題を解決するための手段及び作用】上記目的を達成
するため、本発明によれば、基板上に少なくとも干渉
層、再生層、記録層及び保護層をその順に積層してなる
光磁気記録媒体において、再生層及び記録層がそれぞれ
下記一般式化1及び化2で表わされる非晶質合金膜から
なり、かつ再生層におけるCo組成が記録層におけるC
o組成より大きいことを特徴とする光磁気記録媒体が提
供される。
【化1】 (但し、0.3≦x≦0.5、0.80≦y≦0.8
5、0.15<z≦0.19である)
【化2】 (但し、0.3≦x≦0.5、0.88≦y≦0.9
3、0.20<z≦0.25である)さらに本発明によ
れば、上記において、再生層の膜厚が記録層の膜厚より
も薄く、200Å以下であることを特徴とする光磁気記
録媒体が提供される。
【0008】以下本発明の光磁気記録媒体の構成につい
て図1に沿って説明する。図1は本発明による光磁気記
録媒体の一構成例を模式的に示す断面図で、プリグルー
ブ付透明基板1上に干渉層(保護層)2、再生層3、記
録層4、保護層5及び反射層6を順次積層した構成とな
っている。
【0009】基板1には、ポリカーボネイト(PC)、
ポリメチルメタクリレート(PMMA)、アモルファス
ポリオレフィン(APO)等の樹脂からなる溝付き成形
基板が使用されるが、これに限定されない。基板形状は
ディスク状が好ましく、厚みは通常0.6〜1.2mm
程度である。
【0010】干渉層(保護層)2は基板1と再生層3及
び記録層4との間に設置される。この干渉層2には屈折
率の高い(2.0以上が好ましい)透明な材料を用い、
この層における再生光の多重反射を利用してみかけのカ
ー回転角を増大させ、それによりキャリアレベルを上
げ、C/Nを向上させることを目的としている。さら
に、再生層3及び記録層4に用いるRE−TM非晶質合
金の選択酸化(REの酸化)による腐食を防ぐ保護層と
しての役割を備えている必要がある。従って、干渉層2
に使用される好ましい材料としては、SiO2,Ta2
5,Al23−Ta25,SiN,SiON,SiBO
N等を挙げることができる。膜厚は500〜2000
Å、好ましくは800〜1200Åである。
【0011】本発明の特徴は再生層3及び記録層4にあ
る。両層ともTbDyFeCo非晶質合金で構成される
が、再生層3及び記録層4にそれぞれ異なる特性を持た
せるため、各元素の割合は異なっている。即ち、再生層
3及び記録層4はそれぞれ下記一般式化1及び化2で表
わされる組成となっており、しかも再生層3におけるC
o組成は記録層4におけるCo組成より大きく設定され
ている。
【化1】 (但し、0.3≦x≦0.5、0.80≦y≦0.8
5、0.15<z≦0.19である)
【化2】 (但し、0.3≦x≦0.5、0.88≦y≦0.9
3、0.20<z≦0.25である)
【0012】TbDyFeCoは現在主流のTbFeC
oに比べてより高感度であり、各元素の含有量を調整す
ることでキュリー温度(Tc)、保磁力(Hc)等を自
由にコントロールすることができる。中でもDy量はキ
ュリー温度(Tc)に反映し、Dy量をTb量に対して
多くするとキュリー温度(Tc)を130℃前後まで低
くすることが可能である。また、Co量はカー回転角
(θk)に反映し、Co量が増加するとともにカー回転
角は大きくなる。しかし、Coが多くなるとキュリー温
度(Tc)が高くなるため、感度は低下する。
【0013】一方、高感度化及び高C/N化のために
は、再生層3はカー回転角(θk)が0.4°以上と大
きいことが好ましく、保磁力(Hc)は1〜6KOe
で、記録層4と同じかあるいは小さいのが好ましく、キ
ュリー温度(Tc)は230〜300℃であるのが好ま
しい。また、記録層4はキュリー温度(Tc)が200
℃以下と低く、かつ保磁力(Hc)が10KOe以上と
大きいことが好ましい。
【0014】これらの条件は再生層3及び記録層4のR
E−TM非晶質合金の組成を上記一般式化1及び化2の
ように規定することにより満足することができる。特に
再生層3において大きなカー回転角(θk)を得るため
には、再生層3のCo組成が記録層4のCo組成より大
きく、再生層3の膜厚が記録層4の膜厚より薄いことが
望ましい。再生層3の膜厚を薄くする程度は、記録層4
の1/2以下が好ましい。再生層3の膜厚が記録層4の
膜厚の1/2より大きいと、再生層3の方がキュリー温
度(Tc)が高いため記録が形成されにくく、高感度化
が妨げられる。またカー回転角(θk)は反射光による
効果であるため、再生層3の膜厚をあまり厚くする必要
はなく、逆に、極端に薄くすると自己反磁界で面内に磁
化が傾くことがあるので、ある程度の厚みが必要であ
る。従って、再生層3の膜厚としては50〜200Åが
好ましく、記録層4の膜厚としては150〜250Åが
好ましく、しかも再生層3と記録層4の比は1:2以下
であるのが好ましい。
【0015】保護層5は空気中からの水分により再生層
3、記録層4の腐食を防止するためと、これらを機械的
な損傷から防止するために設けられる。保護層5の材料
としては干渉層2と同様な材料を用いることができる
が、それ以外の材料も使用可能である。保護層5の膜厚
は厚すぎると記録感度の向上にも大きな影響を及ぼすた
め600Å以下であるのが好ましい。
【0016】反射膜タイプの媒体とする場合には、反射
層6を保護層5の上に設ける。この反射層6を設ける
と、基板面側から光を入射してカー回転角(θk)を信
号として読み出す際に、再生層3から読み出された信
号、すなわちカー回転角(θk)の信号と記録層4を透
過してファラデー回転した信号とが重なり、見かけ上の
回転角を大きくすることができる。反射層6の材料とし
てはAl,Ni,Cr,Mo,Pt,Au等、あるいは
これらの合金を使用することができる。また、膜厚は3
00〜1000Åが適当である。
【0017】干渉層2、再生層3、記録層4、保護層
5、反射層6を形成する手段としては、スパッタリン
グ、イオンプレーティング等の物理蒸着法、プラズマC
VDのような化学蒸着法が用いられる。
【0018】また、層構成は図1に示した以外に、反射
層6を設けないもの、反射層6の上に5〜10μm厚の
有機保護膜(カバー層)を設けたもの、一対の媒体を接
着剤で貼り合わせたもの等、適宜の構成とすることがで
きる。
【0019】
【実施例】以下本発明の実施例を述べるが、本発明はこ
れら実施例に限定されるものではない。
【0020】実施例1〜5 直径130mm、厚さ1.2mmのプリグルーブ付きポ
リカーボネート基板をスパッタ装置の真空槽内に設置
し、圧力が5×10-7torr以下になるまで真空排気し
た。次いで、真空槽内にArとN2の混合ガスを導入
し、圧力を3×10-3torrに調整し、Siターゲットに
よりパワー2kWのrfマグネトロンスパッタ装置によ
り、基板上に干渉層としてSiN膜を1100Å厚に形
成し、次いで表1に示す組成のTbDyFeCo合金タ
ーゲットを用いてDCマグネトロンスパッタ法により再
生層及び記録層を順に表1に示す厚さに形成した。そし
て、その上に、干渉層形成と同様な方法で、保護層とし
てSiN膜を300Å厚に形成した後、さらにその上
に、AlTi(Ti:1atm%)合金ターゲットを使
用してDCマグネトロンスパッタ法により反射層を45
0Å厚に形成した。最後に、反射層上に有機保護膜(商
品名:SD301;大日本インキ社製)を4μm厚に形
成し、本発明による光磁気記録媒体とした。
【0021】比較例1、2 上記実施例において、再生層を設けずかつ記録層組成及
び膜厚を表1に示したものとしたこと以外は同様にし
て、光磁気記録媒体を作製し、比較例とした。
【0022】上記実施例及び比較例で作製した光磁気記
録媒体における再生層及び記録層の膜厚、組成、保磁力
(Hc)、キュリー温度(Tc)、カー回転角(θk)
を表1に示す。
【0023】
【表1】
【0024】上記実施例及び比較例の光磁気記録媒体の
C/Nと記録感度について以下の記録・再生条件で評価
した。その結果を表1に併せて示す。 (記録・再生条件) ・記録半径 30mm ・記録周波数 6.1MHz(パルス幅36
nsec) ・ディスク回転数 3000rpm ・記録/消去磁界 −200Oe/250Oe ・レーザー波長 780nm ・記録レーザーパワー 3〜12mW ・再生レーザパワー 1.5mW
【0025】表1から、実施例の媒体は比較例の媒体に
比べ、大きいカー回転角(θk)が得られるとともに、
高C/N及び高感度が図れることが確認された。
【発明の効果】本発明によれば、干渉層及び再生層を設
けた2層膜タイプの光磁気記録媒体において、再生層及
び記録層に特定組成でかつ再生層におけるCo組成が記
録層におけるCo組成より大きい非晶質合金を用いたの
で、より一層の高感度化及び高感度化を図ることがで
き、ファイルの大容量化及び高速転送レート化に充分対
応しうる光磁気記録媒体の提供が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による光磁気記録媒体の一構成例を模式
的に示す断面図である。
【符号の説明】
1 基板 2 干渉層(保護層) 3 再生層 4 記録層 5 保護層 6 反射層

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に少なくとも干渉層、再生層、記
    録層及び保護層をその順に積層してなる光磁気記録媒体
    において、再生層及び記録層がそれぞれ下記一般式化1
    及び化2で表わされる非晶質合金膜からなり、かつ再生
    層におけるCo組成が記録層におけるCo組成より大き
    いことを特徴とする光磁気記録媒体。 【化1】 (但し、0.3≦x≦0.5、0.80≦y≦0.8
    5、0.15<z≦0.19である) 【化2】 (但し、0.3≦x≦0.5、0.88≦y≦0.9
    3、0.20<z≦0.25である)
  2. 【請求項2】 再生層の膜厚が記録層の膜厚よりも薄
    く、200Å以下であることを特徴とする請求項1に記
    載の光磁気記録媒体。
JP21729692A 1992-07-22 1992-07-22 光磁気記録媒体 Pending JPH0644624A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21729692A JPH0644624A (ja) 1992-07-22 1992-07-22 光磁気記録媒体

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JP21729692A JPH0644624A (ja) 1992-07-22 1992-07-22 光磁気記録媒体

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ID=16701919

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JP21729692A Pending JPH0644624A (ja) 1992-07-22 1992-07-22 光磁気記録媒体

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JP (1) JPH0644624A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07201089A (ja) * 1993-12-16 1995-08-04 Lg Electron Inc 光磁気ディスク及びその製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH07201089A (ja) * 1993-12-16 1995-08-04 Lg Electron Inc 光磁気ディスク及びその製造方法

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