JPH0660815A - プラズマディスプレイパネル及びその製造方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネル及びその製造方法Info
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- JPH0660815A JPH0660815A JP4107167A JP10716792A JPH0660815A JP H0660815 A JPH0660815 A JP H0660815A JP 4107167 A JP4107167 A JP 4107167A JP 10716792 A JP10716792 A JP 10716792A JP H0660815 A JPH0660815 A JP H0660815A
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- insulating substrate
- substrate
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Landscapes
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】高精細・高密度のマトリックス状にセルが配設
されたプラズマディスプレイパネルでは、セルピッチが
小さくなると隔壁の幅のバラツキが開口率に与える影響
が大となり、明るさのバラツキが大となる。この改善方
法を提供。 【構成】従来の隔壁は、厚膜印刷法により誘電体ペース
トを数回に渡り印刷し形成していたため、スクリーンの
バラツキ及び印刷時のペーストのだれ等により隔壁幅は
約５０μｍ程バラツイていた。本発明は、この従来の隔
壁にかえて、４２６合金等の金属シートをエッチング法
にて細状に形成し使用する。金属のエッチング品である
ため隔壁幅のバラツキは２０μｍ程度におさえることが
でき、放電セルの開口率のバラツキによる明るさのバラ
ツキを改善することが可能となった。
されたプラズマディスプレイパネルでは、セルピッチが
小さくなると隔壁の幅のバラツキが開口率に与える影響
が大となり、明るさのバラツキが大となる。この改善方
法を提供。 【構成】従来の隔壁は、厚膜印刷法により誘電体ペース
トを数回に渡り印刷し形成していたため、スクリーンの
バラツキ及び印刷時のペーストのだれ等により隔壁幅は
約５０μｍ程バラツイていた。本発明は、この従来の隔
壁にかえて、４２６合金等の金属シートをエッチング法
にて細状に形成し使用する。金属のエッチング品である
ため隔壁幅のバラツキは２０μｍ程度におさえることが
でき、放電セルの開口率のバラツキによる明るさのバラ
ツキを改善することが可能となった。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はプラズマディスプレイパ
ネルに関する。
ネルに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のａｃ形プラズマディスプレイパネ
ルを、対向放電型であり放電セルがマトリックス状に配
設された高精彩・高密度のハイデンシティＰＤＰを例に
とり説明する。
ルを、対向放電型であり放電セルがマトリックス状に配
設された高精彩・高密度のハイデンシティＰＤＰを例に
とり説明する。
【０００３】図４（ａ）に示すプラズマディスプレイ
は、前面ガラス基板１上にＣＶＤにてＳｎＯ2 膜を形成
した後フォトリソグラフィーにて透明電極３を形成し、
その上の全面を誘電体層５にて被覆する。次に、透明電
極３に直行させて隔壁７を形成する。この隔壁７は、放
電セルの隔壁と放電ギャップの寸法だしを兼ね、発光洩
れ防止のため黒色顔料を添加した誘電体により、厚膜印
刷法で通常２回以上印刷を行い所定の高さ寸法（約５０
μｍ）となるように形成される。
は、前面ガラス基板１上にＣＶＤにてＳｎＯ2 膜を形成
した後フォトリソグラフィーにて透明電極３を形成し、
その上の全面を誘電体層５にて被覆する。次に、透明電
極３に直行させて隔壁７を形成する。この隔壁７は、放
電セルの隔壁と放電ギャップの寸法だしを兼ね、発光洩
れ防止のため黒色顔料を添加した誘電体により、厚膜印
刷法で通常２回以上印刷を行い所定の高さ寸法（約５０
μｍ）となるように形成される。
【０００４】又、一方の後面ガラス基板２上に厚膜印刷
法にて銀電極４を形成し、その上の全面を誘電体層６に
て被覆する。次に、銀電極４に直行させて隔壁８を形成
する。この隔壁８は、前面ガラス基板の時と同様に形成
する。このようにして形成した前面ガラス基板と後面ガ
ラス基板とを、図４（ｂ）に示すように、互いの隔壁を
直交させ、隔壁に囲まれた放電セルを形成するように相
対向させて組合せ、その周辺をフリットガラスにて気密
封止し、内部に放電可能な希ガスを導入して成るもので
あった。
法にて銀電極４を形成し、その上の全面を誘電体層６に
て被覆する。次に、銀電極４に直行させて隔壁８を形成
する。この隔壁８は、前面ガラス基板の時と同様に形成
する。このようにして形成した前面ガラス基板と後面ガ
ラス基板とを、図４（ｂ）に示すように、互いの隔壁を
直交させ、隔壁に囲まれた放電セルを形成するように相
対向させて組合せ、その周辺をフリットガラスにて気密
封止し、内部に放電可能な希ガスを導入して成るもので
あった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この従来のプラズマデ
ィスプレイパネルでは隔壁を厚膜印刷により形成してい
るため、隔壁の幅のバラツキを少なく抑えることが困難
であった。即ち、まずスクリーンの寸法精度により、指
定線幅にたいして±１０μｍほどバラツキを生じる。
又、プリント時のペーストのだれ（レベリング）により
スクリーンの線幅にたいし、２０〜５０μｍほど太くな
ってしまう。
ィスプレイパネルでは隔壁を厚膜印刷により形成してい
るため、隔壁の幅のバラツキを少なく抑えることが困難
であった。即ち、まずスクリーンの寸法精度により、指
定線幅にたいして±１０μｍほどバラツキを生じる。
又、プリント時のペーストのだれ（レベリング）により
スクリーンの線幅にたいし、２０〜５０μｍほど太くな
ってしまう。
【０００６】このバラツキの程度は放電セルピッチが大
きい時は問題にはならないが、高精細になればなるほど
問題となる。例えば、放電セルピッチが０．４ｍｍ、ス
クリーンの指定線幅が０．１２ｍｍとすると、隔壁の線
幅のバラツキは、０．１３〜０．１８ｍｍとなる。縦横
とも同じ放電セルピッチ、同じ隔壁線幅として放電セル
の開口面積のバラツキをみると０．０７２９〜０．０４
８４ｍｍ2 であり最大の開口面積と最小の開口面積との
比は、約１：０．６６４でその差は、約３３．６％もあ
る。従って、この開口面積のバラツキは放電発光の光量
のバラツキとなり、輝度への影響はないが、明るさが変
化するため表示品位に重大な影響を及ぼす問題点があっ
た。
きい時は問題にはならないが、高精細になればなるほど
問題となる。例えば、放電セルピッチが０．４ｍｍ、ス
クリーンの指定線幅が０．１２ｍｍとすると、隔壁の線
幅のバラツキは、０．１３〜０．１８ｍｍとなる。縦横
とも同じ放電セルピッチ、同じ隔壁線幅として放電セル
の開口面積のバラツキをみると０．０７２９〜０．０４
８４ｍｍ2 であり最大の開口面積と最小の開口面積との
比は、約１：０．６６４でその差は、約３３．６％もあ
る。従って、この開口面積のバラツキは放電発光の光量
のバラツキとなり、輝度への影響はないが、明るさが変
化するため表示品位に重大な影響を及ぼす問題点があっ
た。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のプラズマディス
プレイパネルは、厚膜印刷による従来の隔壁にかえて、
網状の金属シートで成る隔壁を前面ガラス基板と後面ガ
ラス基板との間に備えている。
プレイパネルは、厚膜印刷による従来の隔壁にかえて、
網状の金属シートで成る隔壁を前面ガラス基板と後面ガ
ラス基板との間に備えている。
【０００８】
【作用】隔壁をエッチング法により金属シートより形成
することにより、隔壁の幅のバラツキを精度良く抑える
ことができる。指定線幅にたいして約±１０μｍほどの
バラツキに抑えることができる。従って、隔壁の線幅の
バラツキは、０．１１〜０．１３ｍｍとなり、放電セル
の開口面積のバラツキは０．０８４１〜０．０７２９ｍ
ｍ2 で、最大の開口面積と最小の開口面積との比は、約
１：０．８６７でその差は、約１３．３％となり、２
０．３％もの大幅な改善効果を期待できる。
することにより、隔壁の幅のバラツキを精度良く抑える
ことができる。指定線幅にたいして約±１０μｍほどの
バラツキに抑えることができる。従って、隔壁の線幅の
バラツキは、０．１１〜０．１３ｍｍとなり、放電セル
の開口面積のバラツキは０．０８４１〜０．０７２９ｍ
ｍ2 で、最大の開口面積と最小の開口面積との比は、約
１：０．８６７でその差は、約１３．３％となり、２
０．３％もの大幅な改善効果を期待できる。
【０００９】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１０】図１（ａ）は本発明の一実施例を示すプラ
ズマディスプレイパネルの一部分の断面図であり、図１
（ｂ）は前面ガラス基板と後面ガラス基板とを離した部
分模式図である。
ズマディスプレイパネルの一部分の断面図であり、図１
（ｂ）は前面ガラス基板と後面ガラス基板とを離した部
分模式図である。
【００１１】図に示すように、前面ガラス基板１上にＣ
ＶＤにてＳｎＯ2 膜を形成した後フォトリソグラフィー
にて透明電極３を形成し、その上の全面を誘電体層５に
て被覆する。又、一方の後面ガラス基板２上に厚膜印刷
法にて銀電極４を形成し、その上の全面を誘電体層６に
て被覆する。次に、板厚約１００μｍの金属シートにて
エッチング法により網状に形成した隔壁９を、後面ガラ
ス基板２上に乗せた位置合わせを行なった後、図１
（ｂ）に示すように、後面ガラス基板に相対向させて全
面ガラス基板１を乗せ、前面ガラス基板１と隔壁９と後
面ガラス基板２との間の位置合わせを行い封入クリップ
にて固定し、基板周辺に予め設置されたフリットガラス
を溶着し気密封止し、一旦、７×１０-7Ｔｏｒｒまで排
気した後、約３００Ｔｏｒｒの圧力までネオンガスを導
入して封止し、プラズマディスプレイパネルとして完成
した。
ＶＤにてＳｎＯ2 膜を形成した後フォトリソグラフィー
にて透明電極３を形成し、その上の全面を誘電体層５に
て被覆する。又、一方の後面ガラス基板２上に厚膜印刷
法にて銀電極４を形成し、その上の全面を誘電体層６に
て被覆する。次に、板厚約１００μｍの金属シートにて
エッチング法により網状に形成した隔壁９を、後面ガラ
ス基板２上に乗せた位置合わせを行なった後、図１
（ｂ）に示すように、後面ガラス基板に相対向させて全
面ガラス基板１を乗せ、前面ガラス基板１と隔壁９と後
面ガラス基板２との間の位置合わせを行い封入クリップ
にて固定し、基板周辺に予め設置されたフリットガラス
を溶着し気密封止し、一旦、７×１０-7Ｔｏｒｒまで排
気した後、約３００Ｔｏｒｒの圧力までネオンガスを導
入して封止し、プラズマディスプレイパネルとして完成
した。
【００１２】次に、第２の実施例を説明する。
【００１３】本実施例は、上述の第１の実施例と次の点
が異なる。即ち、隔壁９の材質が４２６合金となってい
ることである。この４２６合金で出来た隔壁９は、酸化
処理を実施後使用する。この他は第１の実施例と同じで
ある。
が異なる。即ち、隔壁９の材質が４２６合金となってい
ることである。この４２６合金で出来た隔壁９は、酸化
処理を実施後使用する。この他は第１の実施例と同じで
ある。
【００１４】第３の実施例を、図２を参照しながら説明
する。
する。
【００１５】本実施例は、上述の第１の実施例と次の点
がことなる。即ち、図２（ａ），（ｂ）に示すように隔
壁９の１個のセルに当たる部分に少なくとも１個以上の
切り欠け１０を有する。この他は第１の実施例と同じで
ある。
がことなる。即ち、図２（ａ），（ｂ）に示すように隔
壁９の１個のセルに当たる部分に少なくとも１個以上の
切り欠け１０を有する。この他は第１の実施例と同じで
ある。
【００１６】第４の実施例を、図３を参照しながら説明
する。
する。
【００１７】本実施例は、上述の第１の実施例と次の点
がことなる。即ち、図３に示すように、金属シートをエ
ッチング法により形成した隔壁９は網状となっている
が、その四隅に全面基板及び後面基板より外に突き出す
突起部１１を設けている。この他は第１の実施例と同じ
である。
がことなる。即ち、図３に示すように、金属シートをエ
ッチング法により形成した隔壁９は網状となっている
が、その四隅に全面基板及び後面基板より外に突き出す
突起部１１を設けている。この他は第１の実施例と同じ
である。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば下
記の効果が得られる。
記の効果が得られる。
【００１９】（１）隔壁をエッチング法により金属シー
トより形成することにより、隔壁の幅のバラツキを精度
良く抑えることができる。指定線幅にたいして約±１０
μｍほどのバラツキに抑えることができる。従って、隔
壁の線幅のバラツキは、０．１１〜０．１３ｍｍとな
り、放電セルの開口面積のバラツキは．０．８４１〜
０．０７２９ｍｍ2 で、最大の開口面積と最小の開口面
積との比は、約１：０．８６７でその差は、約１３．３
％となり、約２０％もの大幅な改善効果を期待できる。
従って、放電セルの開口面積のバラツキが、約２０％も
低減でき放電発光の光量のバラツキも低減できるため、
明るさの安定した表示品位の良いａｃ形プラズマディス
プレイパネルを提供できる。
トより形成することにより、隔壁の幅のバラツキを精度
良く抑えることができる。指定線幅にたいして約±１０
μｍほどのバラツキに抑えることができる。従って、隔
壁の線幅のバラツキは、０．１１〜０．１３ｍｍとな
り、放電セルの開口面積のバラツキは．０．８４１〜
０．０７２９ｍｍ2 で、最大の開口面積と最小の開口面
積との比は、約１：０．８６７でその差は、約１３．３
％となり、約２０％もの大幅な改善効果を期待できる。
従って、放電セルの開口面積のバラツキが、約２０％も
低減でき放電発光の光量のバラツキも低減できるため、
明るさの安定した表示品位の良いａｃ形プラズマディス
プレイパネルを提供できる。
【００２０】この例では、放電セルピッチが０．４ｍｍ
のものであったが、上記効果は放電セルピッチが大きい
時はほとんどないが、高精細になればなるほど著しい効
果が期待できる。
のものであったが、上記効果は放電セルピッチが大きい
時はほとんどないが、高精細になればなるほど著しい効
果が期待できる。
【００２１】（２）隔壁９の材質１２４２６合金を用い
ると、ガラスである基板の材質と熱膨張率が近ずき、か
つ封着用のフリットガラスとの濡れ性も向上するため、
封着時の熱膨張による位置ずれを防止でき、かつ封着部
で隔壁９を固定する場合は封着部の機械的強度を改善で
きる。この４２６合金は、酸化処理が施されているため
無反射処理も同時に可能となる利点も有する。
ると、ガラスである基板の材質と熱膨張率が近ずき、か
つ封着用のフリットガラスとの濡れ性も向上するため、
封着時の熱膨張による位置ずれを防止でき、かつ封着部
で隔壁９を固定する場合は封着部の機械的強度を改善で
きる。この４２６合金は、酸化処理が施されているため
無反射処理も同時に可能となる利点も有する。
【００２２】（３）隔壁９の１個のセルに当たる部分に
少なくとも１個以上の切り欠けを有するので、排気時及
びネオンガスを導入時各セルに均等、かつ速やかに排気
及びネオンガス導入が可能となる利点を有する。
少なくとも１個以上の切り欠けを有するので、排気時及
びネオンガスを導入時各セルに均等、かつ速やかに排気
及びネオンガス導入が可能となる利点を有する。
【００２３】（４）シート状となった隔壁９に、全面基
板及び後面基板より外に突き出す突起部１１が設けられ
ているため、この突起部１１により位置合わせが効率良
く実施出来、かつ封着時この突起部１１も同時に封着し
隔壁９の固定も同時に実施できる利点を有する。
板及び後面基板より外に突き出す突起部１１が設けられ
ているため、この突起部１１により位置合わせが効率良
く実施出来、かつ封着時この突起部１１も同時に封着し
隔壁９の固定も同時に実施できる利点を有する。
【図１】本発明による第１の実施例の一部の断面図及
び、部分模式図。
び、部分模式図。
【図２】本発明による第３の実施例の一部の断面図及
び、部分模式図。
び、部分模式図。
【図３】本発明による第４の実施例の模式図。
【図４】従来例の一部の断面図及び、部分模式図。
１ 前面ガラス基板 ２ 後面ガラス基板 ３ 透明電極 ４ 銀電極 ５ 誘電体層 ６ 誘電体層 ７ 隔壁 ８ 隔壁 ９ 隔壁 １０ 切り欠け １１ 突起部
Claims (2)
- 【請求項１】 誘電体膜にて被覆された多数のストライ
プ状の放電電極をその一主面上に少なくとも有する第一
の絶縁基板と、誘電体層膜にて被覆された多数のストラ
イプ状の放電電極を少なくとも有し、前記第一の絶縁基
板に対して所定の放電ギャップを保って対向・配置せし
めた第二の絶縁基板と、少なくとも前記一方または双方
の絶縁基板の電極上かつ放電セル間に設けられた多数の
隔壁とを有し、前記絶縁基板周辺を気密封止し、内部に
放電可能な希ガスを導入して成るプラズマディスプレイ
パネルにおいて、前記隔壁が網状の金属シートで成るこ
とを特徴とするプラズマディスプレイパネル。 - 【請求項２】 誘電体膜にて被覆された多数のストライ
プ状の放電電極を第１の絶縁基板の一主面上に形成し、
誘電体膜にて被覆された多数のストライプ状の放電電極
を第二の絶縁基板の一主面上に形成し、少なくとも前記
一方または蓋方の絶縁基板の電極上かつ放電セル間に多
数の隔壁を形成し、前記第一の絶縁基板と第二の絶縁基
板を所定の放電ギャップを保って相対向せしめて組合
せ、その周辺をフリットガラスで気密封止し、内部に放
電可能な希ガスを導入して成るプラズマディスプレイパ
ネルの製造方法において、金属シートのエッチングによ
り網状に形成された隔壁を、前記組立・気密封止時、前
記放電セルに位置合わせ後、第一の絶縁基板と第二の絶
縁基板との間に封着設置することを特徴とするプラズマ
ディスプレイパネルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4107167A JPH0660815A (ja) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | プラズマディスプレイパネル及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4107167A JPH0660815A (ja) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | プラズマディスプレイパネル及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0660815A true JPH0660815A (ja) | 1994-03-04 |
Family
ID=14452188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4107167A Withdrawn JPH0660815A (ja) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | プラズマディスプレイパネル及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0660815A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998054743A1 (en) * | 1997-05-28 | 1998-12-03 | Hitachi, Ltd. | Gas discharge type display panel and display device prepared from the same |
| US6437507B2 (en) | 1997-11-07 | 2002-08-20 | Lg Electronics Inc. | Hollow cathode type color PDP |
| KR100362488B1 (ko) * | 2000-06-16 | 2002-11-23 | 엘지마이크론 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널의 후면판 제조방법 |
| JP2003516605A (ja) * | 1999-08-03 | 2003-05-13 | ▲東▼南大学 | プラズマディスプレイ・パネル |
| KR100542765B1 (ko) * | 2003-05-23 | 2006-01-20 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널 |
| USRE39488E1 (en) | 1999-11-24 | 2007-02-13 | Lg Electronics Inc. | Plasma display panel |
| CN1311505C (zh) * | 2004-04-30 | 2007-04-18 | 东南大学 | 一种低电容等离子体显示板 |
| US7423378B2 (en) | 1999-11-24 | 2008-09-09 | Lg Electronics Inc. | Plasma display panel having grooves in dielectric layer |
-
1992
- 1992-04-27 JP JP4107167A patent/JPH0660815A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
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