JPH0660958U

JPH0660958U - Heating vaporizer for ICP mass spectrometry

Info

Publication number: JPH0660958U
Application number: JP003355U
Authority: JP
Inventors: 良治高沢; 良知中川
Original assignee: セイコー電子工業株式会社
Priority date: 1993-02-08
Filing date: 1993-02-08
Publication date: 1994-08-23

Abstract

(57)【要約】【目的】試料加熱用ボートを伸縮自在な構造体によっ
て支持し、破損の防止とともに、長寿命化を可能にす
る。【構成】試料用ボート１は伸縮可能な構造となってい
る電極２、２にて支持され、押さえ板３によって固定さ
れている。また、電極２、２は絶縁支持体９にて支持さ
れ、ボルト８にてベース６に固定されている。【効果】脆性材料よりなる試料用ボート１は伸縮可能
な構造となっている電極２、２にて支持されいるため、
試料加熱により試料用ボート１に生じる熱膨張は、電極
の伸縮性により吸収され、熱応力が解消される。従っ
て、試料用ボートに破損しなくなり、長寿命化する。 (57) [Abstract] [Purpose] The sample heating boat is supported by a flexible structure that prevents damage and extends the service life. [Structure] The sample boat 1 is supported by electrodes 2 having an expandable structure and is fixed by a pressing plate 3. The electrodes 2 and 2 are supported by an insulating support 9 and fixed to the base 6 by bolts 8. [Effect] Since the sample boat 1 made of a brittle material is supported by the electrodes 2 and 2 having a stretchable structure,
The thermal expansion generated in the sample boat 1 by heating the sample is absorbed by the elasticity of the electrode, and the thermal stress is eliminated. Therefore, the sample boat is not damaged and the life is extended.

Description

[Detailed description of the device]

【０００１】[0001]

[Industrial applications]

本考案は、マイクロリッターの微少試料を加熱し、そして原子化させて、その後誘導結合プラズマ質量分析装置（ＩＣＰ−ＭＳと言う）に導入すための、ＩＣＰ−ＭＳ加熱気化装置に関するものである。 The present invention relates to an IC P-MS heating vaporizer for heating and atomizing a microliter sample of a microliter and then introducing it into an inductively coupled plasma mass spectrometer (ICP-MS). is there.

【０００２】[0002]

[Prior art]

従来のＩＣＰ−ＭＳ加熱気化装置は、図２に示すものである。分析するための微少な試料１１を載置するための試料用ボート１は、発熱体でできている。試料用ボート１の両端は、電極２、２に接続されており、試料ボート用１に電流が流れる。その電流により試料用ボート１は発熱し、試料１１は加熱、気化する。試料用ボート１の両端と各電極２、２は、押さえ板３、３により固定されている。各電極２、２は、ベース６に絶縁支持体９を介して、電極押さえ板４により固定して取りつけられている。 The conventional ICP-MS heating vaporizer is shown in FIG. The sample boat 1 for mounting a minute sample 11 for analysis is made of a heating element. Both ends of the sample boat 1 are connected to the electrodes 2 and 2, and a current flows through the sample boat 1. The current causes the sample boat 1 to generate heat, and the sample 11 is heated and vaporized. Both ends of the sample boat 1 and the electrodes 2 and 2 are fixed by pressing plates 3 and 3. The electrodes 2 and 2 are fixedly attached to the base 6 via the insulating support 9 by the electrode pressing plate 4.

【０００３】[0003]

[Problems to be solved by the device]

しかし、従来のＩＣＰ質量分析用加熱気化装置では、試料用ボート１に電流を流すと、試料ボート用１は発熱し、その発熱により各電極２、２も加熱される。従って、試料ボート用１と、各電極２、２は熱膨張を起こす。それらの熱膨張により、試料用ボート１には、圧縮方向（図２に於いて水平方向の圧縮方向）の応力が発生する。一般に、機械的強度の弱い試料用ボート１は、その圧縮応力に耐えられず、破損することが多々あった。 However, in the conventional heating vaporizer for ICP mass spectrometry, when a current is applied to the sample boat 1, the sample boat 1 generates heat, and the heat generation also heats the electrodes 2 and 2. Therefore, the sample boat 1 and the electrodes 2 and 2 undergo thermal expansion. Due to these thermal expansions, a reaction in the compression direction (horizontal compression direction in FIG. 2) is generated in the sample boat 1. In general, the sample boat 1 having low mechanical strength could not withstand the compressive stress and was often broken.

【０００４】そこで、本考案は、従来のこのような欠点を解決するためのものである。つまり、本考案の目的は、試料用ボート１が、昇温時における、電極２、２及び試料用ボート１の熱膨張により、破損しないようにすることである。Therefore, the present invention is to solve the above-mentioned conventional drawbacks. That is, an object of the present invention is to prevent the sample boat 1 from being damaged by thermal expansion of the electrodes 2 and 2 and the sample boat 1 when the temperature is raised.

【０００５】[0005]

【課題を解決するための手段】本考案は、上記課題を解決するために、分析するための微少試料を載置するための試料用ボートと、前記試料用ボートの両端にて電気的に接続され、前記試料用ボートの長手方向の熱膨張を吸収するために、前記長手方向に伸縮自在な構造を有する電極と、前記試料用ボートの両端と前記電極とを固定する押さえ板と、前記電極を絶縁支持材を介して支持するベースよりなるＩＣＰ質量分析用加熱気化装置である。[Means for Solving the Problems] In order to solve the above problems, the present invention provides a sample boat for mounting a small sample for analysis and an electrical connection between both ends of the sample boat. An electrode having a structure that is connected and is capable of expanding and contracting in the longitudinal direction in order to absorb thermal expansion in the longitudinal direction of the sample boat; a pressing plate that fixes both ends of the sample boat and the electrode; The heating vaporizer for ICP mass spectrometry comprises a base that supports electrodes through an insulating support material.

【０００６】[0006]

[Action]

上記のように構成されたＩＣＰ質量分析装置用加熱気化装置において、一対の電極の間に試料用ボートに電流が流れ、試料用ボートはそれ自体の電気抵抗により電気加熱される。この熱により試料用ボートに熱膨張が生じる。この試料用ボートの熱膨張は、両端あるいは片側に設けられた伸縮自在な構造体よって吸収され、試料用ボートには、破損を招く圧縮方向の応力はなくなり、加熱気化装置用試料用ボートの長寿命化がはかられる。 In the heating vaporizer for an ICP mass spectrometer configured as described above, a current flows through the sample boat between the pair of electrodes, and the sample boat is electrically heated by its own electrical resistance. This heat causes thermal expansion of the sample boat. The thermal expansion of this sample boat is absorbed by the expandable structure provided at both ends or one side, and the sample boat is free from the stress in the compressive direction that would cause damage. The life of the boat can be extended.

【０００７】[0007]

【Example】

以下に本考案の実施例を図面に基づいて説明する。図１において、試料用ボート１はその中央に微少試料を載置するための窪みが設けられており、その両端は電極２、２に電気的に接続されている。電極２、２には、溝５が対抗方向に交互に形成されており、図上の左右（水平）方向に伸縮自在な構成になっている。また、試料用ボート１の両端はそれぞれ押さえ板４、４とネジ７、７により電極２、２に固定されている。なお、一般に、試料用ボート１には、タングステン、タンタル等の高融点金属やクラファイト材料が使用されており、それらは、一般的に脆性材料であり、小さな応力にて破損しやすい。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In FIG. 1, a sample boat 1 is provided with a recess at the center for mounting a small sample, and both ends thereof are electrically connected to electrodes 2 and 2. Grooves 5 are alternately formed in the electrodes 2 and 2 in the opposite direction, so that the electrodes 5 can expand and contract in the left-right (horizontal) direction in the drawing. Further, both ends of the sample boat 1 are fixed to the electrodes 2 and 2 by pressing plates 4 and 4 and screws 7 and 7, respectively. In general, refractory metals such as tungsten and tantalum and Clafite materials are used for the sample boat 1, and these are generally brittle materials and are easily damaged by a small stress.

【０００８】電極２、２は絶縁支持体９にて支持され、そしてボルト８にてベース６に固定されている。電極２、２とボルト８、８の間に電極押さえ板４が介されている。また、電極２、２の端面には、リード線１０、１０が接続されている。リード線１０、１０には、図示しない電源により電力が、電極２、２を介して試料用ボート１に供給される。The electrodes 2 and 2 are supported by an insulating support 9 and fixed to a base 6 by bolts 8. An electrode pressing plate 4 is interposed between the electrodes 2 and 2 and the bolts 8 and 8. Lead wires 10 and 10 are connected to the end surfaces of the electrodes 2 and 2. Power is supplied to the lead wires 10 and 10 by a power source (not shown) to the sample boat 1 via the electrodes 2 and 2.

【０００９】その電力により試料用ボート１に通電加熱する。電極２、２は、それらの一端を絶縁支持体９、９にて固定されていながらも、電極２、２に形成されている複数の溝５にて試料用ボート１の熱膨張による形状、寸法の変移分を容易に吸収され、極めて安定した機能を維持することができる。The sample boat 1 is electrically heated by the electric power. The electrodes 2 and 2 have their ends fixed by the insulating supports 9 and 9, but have a shape due to the thermal expansion of the sample boat 1 due to the plurality of grooves 5 formed in the electrodes 2 and 2. The dimensional variation can be easily absorbed, and the extremely stable function can be maintained.

【００１０】本実施例では、一対の電極２、２の両方に複数の溝５を設けたが、一方の電極２のみに、複数の溝５を設けてもよい。In this embodiment, the plurality of grooves 5 are provided in both the pair of electrodes 2, 2, but the plurality of grooves 5 may be provided in only one of the electrodes 2.

【００１１】[0011]

[Effect of device]

本考案は以上説明したように、ＩＣＰ質量分析装置用加熱気化装置において、試料用ボートを伸縮自在な構造体により支持したことにより、試料用ボートの熱膨張により破損を防止する効果があるとともに、試料用ボートの長寿命化がはかられ、その実用的価値は極めて高い。 INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, the present invention has the effect of preventing damage due to thermal expansion of the sample boat by supporting the sample boat with the expandable structure in the heating vaporizer for the ICP mass spectrometer. The sample boat has a long life and its practical value is extremely high.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】図１は、本考案に関わるＩＣＰ質量分析装置用
加熱気化装置の断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a heating vaporizer for an ICP mass spectrometer according to the present invention.

【図２】図２は、従来のＩＣＰ質量分析装置用加熱気化
装置の断面図である。FIG. 2 is a sectional view of a conventional heating vaporizer for an ICP mass spectrometer.

[Explanation of symbols]

１試料用ボート２電極３押さえ板５溝６ベース９絶縁支持体 1 Sample Boat 2 Electrode 3 Holding Plate 5 Groove 6 Base 9 Insulating Support

Claims

[Scope of utility model registration request]

1. In a heating vaporizer for ICP mass spectrometry used in an ICP mass spectrometer, a sample boat for mounting a small sample for analysis is electrically connected to both ends of the sample boat. In order to absorb the thermal expansion in the longitudinal direction of the sample boat, an electrode having a structure capable of expanding and contracting in the longitudinal direction, a pressing plate for fixing both ends of the sample boat and the electrode, and the electrode ICP characterized by comprising a base supported through an insulating support material
Heating vaporizer for mass spectrometry.