JPH0661208A - 自動薬液秤量装置 - Google Patents
自動薬液秤量装置Info
- Publication number
- JPH0661208A JPH0661208A JP4207744A JP20774492A JPH0661208A JP H0661208 A JPH0661208 A JP H0661208A JP 4207744 A JP4207744 A JP 4207744A JP 20774492 A JP20774492 A JP 20774492A JP H0661208 A JPH0661208 A JP H0661208A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウエット処理装置に用いる自動薬液秤量装置
において、少量の薬液でも正確、確実で、且つ、安全な
秤量装置を得る。 【構成】 薬液ボトル１内に入った薬液２は、３ポンプ
１と４フィルタ−によって循環され、パ−チィクル除去
される。薬液を秤量する際、パ−チィクル除去された薬
液は逆止弁１７を通って秤量槽としてのシリンダ６に導
入される。シリンダ６への薬液の導入はピストン１４を
ピストン駆動用モ−タ１６によりゆっくり正確に動かす
ことにより行われる。秤量センサ９は秤量したい薬液量
の位置にセットされており、秤量センサ９の位置にセン
サ感知用ラインが来るとセンサが感知し自動的にピスト
ン１４はストップするようになっている。薬液の秤量が
終了すると、ウエハ−処理槽内で薬液を調合する際には
ピストン１４が押し出され、秤量された薬液は、薬液供
給用バルブとしての逆止弁１８を通りウエハ−処理槽内
に導入される。
において、少量の薬液でも正確、確実で、且つ、安全な
秤量装置を得る。 【構成】 薬液ボトル１内に入った薬液２は、３ポンプ
１と４フィルタ−によって循環され、パ−チィクル除去
される。薬液を秤量する際、パ−チィクル除去された薬
液は逆止弁１７を通って秤量槽としてのシリンダ６に導
入される。シリンダ６への薬液の導入はピストン１４を
ピストン駆動用モ−タ１６によりゆっくり正確に動かす
ことにより行われる。秤量センサ９は秤量したい薬液量
の位置にセットされており、秤量センサ９の位置にセン
サ感知用ラインが来るとセンサが感知し自動的にピスト
ン１４はストップするようになっている。薬液の秤量が
終了すると、ウエハ−処理槽内で薬液を調合する際には
ピストン１４が押し出され、秤量された薬液は、薬液供
給用バルブとしての逆止弁１８を通りウエハ−処理槽内
に導入される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハ−のウエ
ット処理装置に関するものである。
ット処理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】最近の超ＬＳＩ製造工程においては、微
細化、高密度化、更には、超クリ−ン化が押し進められ
てきている。シリコンウエハ−のウエット処理工程であ
る、洗浄工程やウエットエッチング工程においても、正
確なエッチングおよび洗浄を行なう必要があるため、薬
液の秤量を正確にする必要がある。更に、わずかなウエ
ットエッチングを行なうためには極少量の薬液を秤量す
る必要性がある。
細化、高密度化、更には、超クリ−ン化が押し進められ
てきている。シリコンウエハ−のウエット処理工程であ
る、洗浄工程やウエットエッチング工程においても、正
確なエッチングおよび洗浄を行なう必要があるため、薬
液の秤量を正確にする必要がある。更に、わずかなウエ
ットエッチングを行なうためには極少量の薬液を秤量す
る必要性がある。
【０００３】従来の自動薬液秤量装置の一例を図３に示
す。図３において、１は薬液ボトル、２は薬液、３は薬
液を循環させるポンプ１、４は循環する薬液のパ−チィ
クルを除去するためのフィルタ−、５は薬液ボトル内の
薬液を秤量槽に導入するためのポンプ２、６は秤量槽、
７は秤量された薬液、８は薬液のオ−バ−フロ−用パイ
プ、９は秤量位置で薬液を止めるための秤量センサ、１
０は薬液オ−バ−フロ−時に働くストップセンサ、１１
はウエハ−処理槽へ秤量された薬液を導入する際必要な
薬液供給用バルブ、１２はウエハ−処理槽、１３は洗浄
液である。
す。図３において、１は薬液ボトル、２は薬液、３は薬
液を循環させるポンプ１、４は循環する薬液のパ−チィ
クルを除去するためのフィルタ−、５は薬液ボトル内の
薬液を秤量槽に導入するためのポンプ２、６は秤量槽、
７は秤量された薬液、８は薬液のオ−バ−フロ−用パイ
プ、９は秤量位置で薬液を止めるための秤量センサ、１
０は薬液オ−バ−フロ−時に働くストップセンサ、１１
はウエハ−処理槽へ秤量された薬液を導入する際必要な
薬液供給用バルブ、１２はウエハ−処理槽、１３は洗浄
液である。
【０００４】図３を用いて以下従来の自動薬液秤量装置
の動作を説明する。薬液ボトル１内に入った薬液２は、
ポンプ１（３）とフィルタ−４によって循環され、パ−
チィクル除去されている。
の動作を説明する。薬液ボトル１内に入った薬液２は、
ポンプ１（３）とフィルタ−４によって循環され、パ−
チィクル除去されている。
【０００５】薬液を秤量する際、パ−チィクル除去され
た薬液をポンプ５にて秤量槽６に導入する。秤量センサ
９は秤量したい薬液量の位置にセットされており、秤量
センサ９の位置に薬液が来るとセンサが感知し自動的に
薬液はストップするようになっている。ストップセンサ
１０とオ−バ−フロ−用パイプ８は、秤量センサ９が誤
動作した場合等安全のために設けられている。薬液の秤
量が終了すると、洗浄液を調合する際に薬液供給用バル
ブ１１を開け秤量した薬液を洗浄槽に導入する。
た薬液をポンプ５にて秤量槽６に導入する。秤量センサ
９は秤量したい薬液量の位置にセットされており、秤量
センサ９の位置に薬液が来るとセンサが感知し自動的に
薬液はストップするようになっている。ストップセンサ
１０とオ−バ−フロ−用パイプ８は、秤量センサ９が誤
動作した場合等安全のために設けられている。薬液の秤
量が終了すると、洗浄液を調合する際に薬液供給用バル
ブ１１を開け秤量した薬液を洗浄槽に導入する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
自動薬液秤量装置であると、ポンプ５にて秤量槽６内に
薬液を導入する際、薬液が波立つことがある。したがっ
て、秤量センサ９の位置で確実に安定して薬液がストッ
プしないという問題点を有する。
自動薬液秤量装置であると、ポンプ５にて秤量槽６内に
薬液を導入する際、薬液が波立つことがある。したがっ
て、秤量センサ９の位置で確実に安定して薬液がストッ
プしないという問題点を有する。
【０００７】更に、秤量の量が少なくなるに従い、ポン
プを用いた秤量は正確さがなくなる。
プを用いた秤量は正確さがなくなる。
【０００８】更に、ポンプを用いない場合においても、
例えば、窒素での圧送や高さと重力を利用した場合、秤
量槽内の薬液が波立ち正確な位置で薬液がストップしな
い。又、秤量センサ９、ストップセンサ１０が電気的に
故障した場合には薬液は供給されつづけ、薬液ボトルが
空になるまでオ−バ−フロ−用パイプから流れ続け、安
全上も好ましくない。
例えば、窒素での圧送や高さと重力を利用した場合、秤
量槽内の薬液が波立ち正確な位置で薬液がストップしな
い。又、秤量センサ９、ストップセンサ１０が電気的に
故障した場合には薬液は供給されつづけ、薬液ボトルが
空になるまでオ−バ−フロ−用パイプから流れ続け、安
全上も好ましくない。
【０００９】そこで本発明は、ウエット処理装置に用い
る自動薬液秤量装置において、少量の薬液でも正確、確
実で、且つ、安全な秤量装置を得ることを目的とする。
る自動薬液秤量装置において、少量の薬液でも正確、確
実で、且つ、安全な秤量装置を得ることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明の自動薬液秤量装置は、薬液秤量容器である
シリンダ−と、薬液を導入するピストンと、ピストンの
動きを感知させるセンサ感知箇所と、センサ感知箇所を
感知するストップセンサと、ピストンを自動で動かすピ
ストン駆動用モ−タと、シリンダ−内へ薬液を導入する
際開く薬液導入バルブと、シリンダ−内から秤量された
薬液を排出する際開く薬液排出バルブを有する自動薬液
秤量装置とする。
めに本発明の自動薬液秤量装置は、薬液秤量容器である
シリンダ−と、薬液を導入するピストンと、ピストンの
動きを感知させるセンサ感知箇所と、センサ感知箇所を
感知するストップセンサと、ピストンを自動で動かすピ
ストン駆動用モ−タと、シリンダ−内へ薬液を導入する
際開く薬液導入バルブと、シリンダ−内から秤量された
薬液を排出する際開く薬液排出バルブを有する自動薬液
秤量装置とする。
【００１１】
【作用】本発明は、自動薬液秤量装置として、薬液を導
入するピストンと、ピストンの動きを感知させるセンサ
感知箇所と、センサ感知箇所を感知するストップセンサ
と、ピストンを自動で動かすピストン駆動用モ−タと、
シリンダ−内へ薬液を導入する際開く薬液導入バルブ
と、シリンダ−内から秤量された薬液を排出する際開く
薬液排出バルブを有するため、ピストンを正確にゆっく
り動かすことにより、正確な量の薬液を確実に秤量する
ことか可能となる。
入するピストンと、ピストンの動きを感知させるセンサ
感知箇所と、センサ感知箇所を感知するストップセンサ
と、ピストンを自動で動かすピストン駆動用モ−タと、
シリンダ−内へ薬液を導入する際開く薬液導入バルブ
と、シリンダ−内から秤量された薬液を排出する際開く
薬液排出バルブを有するため、ピストンを正確にゆっく
り動かすことにより、正確な量の薬液を確実に秤量する
ことか可能となる。
【００１２】更に、薬液量が少量の場合においてもシリ
ンダ−や、ピストンを細くするなど、構造を変えること
により簡単に確実な秤量ができる。又、薬液面でセンサ
感知するのではなく、ピストン内側に設けられたセンサ
感知箇所で感知するため、センサの感知と停止位置も正
確である。又、センサが誤動作した場合でも、機械的に
ピストンをストップさせることにより、薬液のオ−バ−
フロ−や薬液ボトル内の薬液が空になることなく安全上
も好ましい。したがって、その効果は非常に大きい。
ンダ−や、ピストンを細くするなど、構造を変えること
により簡単に確実な秤量ができる。又、薬液面でセンサ
感知するのではなく、ピストン内側に設けられたセンサ
感知箇所で感知するため、センサの感知と停止位置も正
確である。又、センサが誤動作した場合でも、機械的に
ピストンをストップさせることにより、薬液のオ−バ−
フロ−や薬液ボトル内の薬液が空になることなく安全上
も好ましい。したがって、その効果は非常に大きい。
【００１３】
【実施例】以下本発明の一実施例の自動薬液秤量装置を
図１を用いて説明する。図１において、１は薬液ボト
ル、２は薬液、３は薬液を循環させるポンプ１、４は循
環する薬液のパ−チィクルを除去するためのフィルタ
−、６は薬液秤量槽としてのシリンダ、７は秤量された
薬液、９は秤量位置で薬液を止めるための秤量センサ、
１０は薬液秤量点で働くストップセンサ、１２はウエハ
−処理槽、１３は洗浄液、１４は秤量槽内に薬液を導入
するためのピストン、１５はピストン内側に設けたセン
サ感知用ライン（感知箇所）、１６はピストンを自動で
動かすためのピストン駆動用モ−タ、１７はシリンダ−
内へ薬液を導入する際開く薬液導入バルブとしての逆止
弁１、１８はシリンダ−内から秤量された薬液を排出す
る際開く薬液排出バルブとしての逆止弁２である。
図１を用いて説明する。図１において、１は薬液ボト
ル、２は薬液、３は薬液を循環させるポンプ１、４は循
環する薬液のパ−チィクルを除去するためのフィルタ
−、６は薬液秤量槽としてのシリンダ、７は秤量された
薬液、９は秤量位置で薬液を止めるための秤量センサ、
１０は薬液秤量点で働くストップセンサ、１２はウエハ
−処理槽、１３は洗浄液、１４は秤量槽内に薬液を導入
するためのピストン、１５はピストン内側に設けたセン
サ感知用ライン（感知箇所）、１６はピストンを自動で
動かすためのピストン駆動用モ−タ、１７はシリンダ−
内へ薬液を導入する際開く薬液導入バルブとしての逆止
弁１、１８はシリンダ−内から秤量された薬液を排出す
る際開く薬液排出バルブとしての逆止弁２である。
【００１４】以下、本実施例の自動薬液秤量装置の動作
を説明する。薬液ボトル１内に入った薬液２は、３ポン
プ１と４フィルタ−によって循環され、パ−チィクル除
去されている。薬液を秤量する際、パ−チィクル除去さ
れた薬液は逆止弁１７を通って秤量槽としてのシリンダ
６に導入される。シリンダ６への薬液の導入はピストン
１４をピストン駆動用モ−タ１６によりゆっくり正確に
動かすことにより行われる。秤量センサ９は秤量したい
薬液量の位置にセットされており、秤量センサ９の位置
にセンサ感知用ラインが来るとセンサが感知し自動的に
ピストン１４はストップするようになっている。ストッ
プセンサ１０は、秤量センサ９が誤動作した場合等安全
のために設けられている。更に、機械的にピストンが抜
けないような構造になっている。薬液の秤量が終了する
と、ウエハ−処理槽内で薬液を調合する際にはピストン
１４が押し出され、秤量された薬液は、薬液供給用バル
ブとしての逆止弁１８を通りウエハ−処理槽内に導入さ
れる。
を説明する。薬液ボトル１内に入った薬液２は、３ポン
プ１と４フィルタ−によって循環され、パ−チィクル除
去されている。薬液を秤量する際、パ−チィクル除去さ
れた薬液は逆止弁１７を通って秤量槽としてのシリンダ
６に導入される。シリンダ６への薬液の導入はピストン
１４をピストン駆動用モ−タ１６によりゆっくり正確に
動かすことにより行われる。秤量センサ９は秤量したい
薬液量の位置にセットされており、秤量センサ９の位置
にセンサ感知用ラインが来るとセンサが感知し自動的に
ピストン１４はストップするようになっている。ストッ
プセンサ１０は、秤量センサ９が誤動作した場合等安全
のために設けられている。更に、機械的にピストンが抜
けないような構造になっている。薬液の秤量が終了する
と、ウエハ−処理槽内で薬液を調合する際にはピストン
１４が押し出され、秤量された薬液は、薬液供給用バル
ブとしての逆止弁１８を通りウエハ−処理槽内に導入さ
れる。
【００１５】例えば、シリコンウエハ−洗浄時におい
て、よく用いられている希釈ＨＦ洗浄液を作製しようと
した場合、薬液ボトル内の薬液は４９％ＨＦで原液であ
る。希釈ＨＦとして、純水：ＨＦ＝５００：１を作製す
るときは、ウエハ−処理槽内の純水が３０リッタ−の場
合シリンダ−内には、６０ｃｃのＨＦを秤量すれば良
い。ＨＦを秤量するためピストンの材質はテフロンを用
いている。その他、配管等もテフロン系の素材である。
センサ感知用ラインは金属であるが、ピストンの内側に
張られており、またピストン内側は密閉されているた
め、薬液による腐食は生じない。
て、よく用いられている希釈ＨＦ洗浄液を作製しようと
した場合、薬液ボトル内の薬液は４９％ＨＦで原液であ
る。希釈ＨＦとして、純水：ＨＦ＝５００：１を作製す
るときは、ウエハ−処理槽内の純水が３０リッタ−の場
合シリンダ−内には、６０ｃｃのＨＦを秤量すれば良
い。ＨＦを秤量するためピストンの材質はテフロンを用
いている。その他、配管等もテフロン系の素材である。
センサ感知用ラインは金属であるが、ピストンの内側に
張られており、またピストン内側は密閉されているた
め、薬液による腐食は生じない。
【００１６】次に、他の実施例の自動薬液秤量装置を図
２を用いて説明する。図２は自動薬液秤量装置の秤量槽
部分の概略図である。図２において第１の実施例と異な
る点は、秤量槽としてのシリンダ６とピストン１４の形
状が異なる点のみである。本実施例は、極少量の薬液を
秤量する場合に用いる。シリンダ−６は、薬液が秤量さ
れる内側が細くなっており、又、ピストン１４もシリン
ダ−内に挿入される箇所は細くなっている。シリンダ−
とピストンの間の空気は空気抜き用穴１９を通る。
２を用いて説明する。図２は自動薬液秤量装置の秤量槽
部分の概略図である。図２において第１の実施例と異な
る点は、秤量槽としてのシリンダ６とピストン１４の形
状が異なる点のみである。本実施例は、極少量の薬液を
秤量する場合に用いる。シリンダ−６は、薬液が秤量さ
れる内側が細くなっており、又、ピストン１４もシリン
ダ−内に挿入される箇所は細くなっている。シリンダ−
とピストンの間の空気は空気抜き用穴１９を通る。
【００１７】本実施例の自動薬液秤量装置の動作も第一
の実施例と同じであるが、上記構造を取ることにより、
非常に極少量の薬液を秤量できる。
の実施例と同じであるが、上記構造を取ることにより、
非常に極少量の薬液を秤量できる。
【００１８】
【発明の効果】以上のように、本発明においては、自動
薬液秤量装置として、薬液を導入するピストンと、ピス
トンの動きを感知させるセンサ感知箇所と、センサ感知
箇所を感知するストップセンサと、ピストンを自動で動
かすピストン駆動用モ−タと、シリンダ−内へ薬液を導
入する際開く薬液導入バルブと、シリンダ−内から秤量
された薬液を排出する際開く薬液排出バルブを有するた
め、ピストンを正確にゆっくり動かすことにより、正確
な量の薬液を確実に秤量することか可能となる。更に、
薬液量が少量の場合においてもシリンダ−や、ピストン
を細くするなど、構造を変えることにより簡単に確実な
秤量ができる。又、薬液面でセンサ感知するのではな
く、ピストン内側に設けられたセンサ感知箇所で感知す
るため、センサの感知と停止位置も正確である。又、セ
ンサが誤動作した場合でも、機械的にピストンをストッ
プさせることにより、薬液のオ−バ−フロ−や薬液ボト
ル内の薬液が空になることなく安全上も好ましい。した
がって、その効果は非常に大きい。
薬液秤量装置として、薬液を導入するピストンと、ピス
トンの動きを感知させるセンサ感知箇所と、センサ感知
箇所を感知するストップセンサと、ピストンを自動で動
かすピストン駆動用モ−タと、シリンダ−内へ薬液を導
入する際開く薬液導入バルブと、シリンダ−内から秤量
された薬液を排出する際開く薬液排出バルブを有するた
め、ピストンを正確にゆっくり動かすことにより、正確
な量の薬液を確実に秤量することか可能となる。更に、
薬液量が少量の場合においてもシリンダ−や、ピストン
を細くするなど、構造を変えることにより簡単に確実な
秤量ができる。又、薬液面でセンサ感知するのではな
く、ピストン内側に設けられたセンサ感知箇所で感知す
るため、センサの感知と停止位置も正確である。又、セ
ンサが誤動作した場合でも、機械的にピストンをストッ
プさせることにより、薬液のオ−バ−フロ−や薬液ボト
ル内の薬液が空になることなく安全上も好ましい。した
がって、その効果は非常に大きい。
【図１】本発明の一実施例における自動薬液秤量装置の
概略図
概略図
【図２】他の実施例の薬液秤量槽部分の概略図
【図３】従来の自動薬液秤量装置の概略図
１ 薬液ボトル ２ 薬液 ３ ポンプ１ ４ フィルタ− ５ ポンプ２ ６ 秤量槽 ７ 秤量された薬液 ８ オ−バ−フロ−用パイプ ９ 秤量センサ １０ ストップセンサ １１ 薬液供給用バルブ １２ ウエハ−処理槽 １３ 洗浄液 １４ ピストン １５ センサ感知用ライン １６ ピストン駆動用モ−タ １７ 逆止弁１ １８ 逆止弁２ １９ 空気抜き用穴
Claims (2)
- 【請求項１】薬液秤量容器であるシリンダ−と、薬液を
導入するピストンと、ピストンの動きを感知させるセン
サ感知箇所と、センサ感知箇所を感知するストップセン
サと、ピストンを自動で動かすピストン駆動用モ−タ
と、シリンダ−内へ薬液を導入する際開く薬液導入バル
ブと、シリンダ−内から秤量された薬液を排出する際開
く薬液排出バルブとを有することを特徴とする自動薬液
秤量装置。 - 【請求項２】薬液を混入する薬液ボトルと、ボトル内の
薬液を循環させるポンプと、循環する薬液内のパ−チィ
クルを除去するフィルタ−と、薬液秤量容器へ薬液を導
入する薬液導入ラインを設けたことを特徴とする請求項
１記載の自動薬液秤量装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4207744A JPH0661208A (ja) | 1992-08-04 | 1992-08-04 | 自動薬液秤量装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4207744A JPH0661208A (ja) | 1992-08-04 | 1992-08-04 | 自動薬液秤量装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0661208A true JPH0661208A (ja) | 1994-03-04 |
Family
ID=16544821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4207744A Pending JPH0661208A (ja) | 1992-08-04 | 1992-08-04 | 自動薬液秤量装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0661208A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101288515B1 (ko) * | 2006-12-18 | 2013-07-26 | 주식회사 케이씨텍 | 습식처리장비의 약액 칭량장치 |
-
1992
- 1992-08-04 JP JP4207744A patent/JPH0661208A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101288515B1 (ko) * | 2006-12-18 | 2013-07-26 | 주식회사 케이씨텍 | 습식처리장비의 약액 칭량장치 |
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