JPH0661962U - プレート状のサブストレートを保持しかつ搬送するための装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 温度作用による変形、コーティングプロセス
後の著しく面倒な洗浄並びにアーク発生のような欠点が
回避され、かつ、確実で安定した経済的なプロセス経過
が保証されるような、サブストレート支持装置を提供す
ることにある。 【構成】 真空処理設備、例えば真空コーティング設備
及びエッチング設備内でかつこの設備を介して、有利に
は垂直位置でプレート状のサブストレートを保持しかつ
搬送するための装置が、ほぼ多部分から成るフレームか
ら構成されていて、このフレーム内にサブストレートを
受容するための桁材が差し嵌められていてかつこの桁材
に、サブストレートを固定するための保持部材が設けら
れており、フレーム及び桁材が僅かな熱容量及び高い耐
熱性を有しかつエッジの鋭いコーナを持たない開かれた
薄板成形体から形成されており、全てのフレーム構成部
材及び桁材が互いに解離可能に結合されている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、真空処理設備、例えば真空コーティング設備及びエッチング設備内 でかつこの設備を介して、有利には垂直位置でプレート状のサブストレートを保 持しかつ搬送するための装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

上記形式の装置によって一作業過程で多数のサブストレートを処理することが できる。このよう設備の市場で要求された高いサブストレート・処理能力に基づ き、このようなサブストレート支持装置を設備の生産性を考慮して構成すること が極めて重要である。

【０００３】 異なる形状のサブストレート及び異なるタイプの設備を考慮したサブストレー ト支持装置は既に公知である。従って、プレート状のサブストレートが水平位置 又は垂直位置で通過運動する設備が公知である。

【０００４】 垂直位置でコーティングするためにサブストレートは、同様に垂直位置で処理 設備を介して移動する例えば骨組状のサブストレート支持装置内に差し込まれる 。このサブストレート支持装置は通常鋼管から成る剛性的な方形のフレームから 構成され、このフレーム内にはサブストレートを受容するために不動に取り付け られた桁材が設けられている。

【０００５】 この桁材は不都合には設備の処理区分において、サブストレート自体と同じプ ロセス条件にされされる。これによって桁材は、一方では高い周囲温度（サブス トレート温度はほぼ４２０℃である）によってかつ他方ではコーティングプロセ ス中の沈積によって、著しい摩耗にされされる。

【０００６】 桁材は、一方ではサブストレートの正確な位置決めに不都合な影響を及ぼさな いようにするために温度作用によって変形されてはならず、かつ、他方では桁材 上の残渣層が次ぎのコーティングプロセスにおいて層質に不都合な影響を及ぼす ために全てのコーティング残渣を簡単に、迅速にしかも完全に洗浄されねばなら ない。

【０００７】 更に高周波数（ＨＦ）・励起による処理プロセスの場合には桁材と室壁との間 で制御不能なアーク発生が生ぜしめられ、これによって同様にコーティング結果 に不都合な影響が及ぼされる。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

本考案の課題は、温度作用による変形、コーティングプロセス後の著しく面倒 な洗浄並びにアーク発生のような上記欠点が回避され、かつ、確実で安定した経 済的なプロセス経過が保証されるような、サブストレート支持装置を提供するこ とにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

前記課題は本考案によれば、保持兼搬送装置がほぼ多部分から成るフレームか ら構成されていて、このフレーム内にサブストレートを受容するための桁材が差 し嵌められていてかつこの桁材に、サブストレートを固定するための保持部材が 設けられており、フレーム及び桁材が僅かな熱容量及び高い耐熱性を有しかつエ ッジの鋭いコーナを持たない開かれた薄板成形体から形成されており、全てのフ レーム構成部材及び桁材が互いに解離可能に結合されていることによって解決さ れた。

【００１０】

【考案の効果】

有利には本考案によるサブストレート支持装置は、セグメント構造に基づき任 意のサブストレートサイズを考慮して調節可能できかつ個々のセグメント交換を 可能にする、極めて簡単な機械的な構造を有している。

【００１１】 専ら開かれた成形体のみを使用することによって洗浄を問題なく行なうことが できる、即ち、例えばサンドブラストの際に及び次いで行なわれる湿式洗浄の際 に桁材上に残渣が残ることはない。

【００１２】 温度問題は高耐熱性の材料を使用することによって解決される。従ってサブス トレート保持クランプは例えばデユラサーム（Duratherm）から製作されかつこ れによって有利にはほぼ６００℃の場合にも弾性的である。

【００１３】 支持構成部材を高周波数で使用するのに適するように面取りすることによって 有利にはアーク発生が阻止される。

【００１４】 更に本考案によるサブストレート支持装置はセグメント構造に基づき選択的に 手動着脱からロボット操作に装備変えできる。

【００１５】 本考案の有利な構成はその他の請求項に記載されている。

【００１６】

【実施例】

相互間隔を置いて垂直に配置された２つの支持部材１，２（第１図参照）の間 には、２つの水平なプレート状の結合薄板３，４が設けられていて、この場合結 合薄板はそれぞれ、支持部材１，２の下端もしくは上端に固定されている。支持 部材１，２及び結合薄板３，４は方形のフレーム７を形成する。

【００１７】 このフレーム７内には、それぞれ不変な相互間隔を置いて配置された水平な桁 材５，５′,...が設けられている。個々の桁材の間の残された中間スペース内に は処理すべき方形のサブストレート６，６′,...が差し嵌められている。図面で はコーティングすべきサブストレート正面側を図示している。

【００１８】 支持部材１（第２図参照）はＵ字形の成形体から製作されかつ、成形体の開か れた背面１２がフレーム７に面しないように、配置されている。成形体の中央の ウェブ内には、支持部材１の長手方向で孔列として配置された孔８，８′,...が 設けられている。

【００１９】 水平の桁材５はほぼＵ字形の成形体として構成されていて、この成形体は開か れた背面１３並びに２つの別の外側のウェブ１４，１５を有している。桁材５の 端面には孔を有する扁平な保持薄板１０が溶接されていて、この場合この孔の孔 間隔は支持部材１内の孔８，８′,...の孔間隔に相応している。桁材５と支持部 材１とはねじ９，９′,...を介して互いに解離可能に結合されている。

【００２０】 帯状のばね鋼から、ほぼ６００℃の温度の場合でも弾性的な締付けばね１１が 製作され、この場合この締付けばねは側方から見てほぼ横向きの二重のＺ字形状 を有している。締付けばね１１は一端で桁材５のウェブ１４上に締め付けられる のに対して、締付けばねの自由な他端にはサブストレート６が載設される。

【００２１】 サブストレート６は上縁部で、隣接する桁材５′のウェブ１５′に被せ嵌めら れる別の締付けばね１１′によって保持される（第３図参照）。

【００２２】 支持部材の上端を互いに結合する結合薄板４（第４図参照）は上縁部１７の斜 面及び下縁部１８の段状の折曲げ部を以って扁平に形成されている。結合薄板４ の背面には、下縁部１８に対して平行に延びる別のＬ字形薄板１６が固定されて いる。結合薄板４の端面には、ねじ９，９′,...を介して支持部材１に固定され る、孔を備えた扁平な保持薄板１０′が設けられている。

【図面の簡単な説明】

【図１】サブストレートを差し嵌められた本考案による
サブストレート支持装置の側面図。

【図２】第１図Ｘで示したコーナ結合部分の拡大斜視
図。

【図３】サブストレートを差し嵌められた２つの桁材の
斜視図。

【図４】第１図Ｙで示した上側のコーナ結合部分の拡大
斜視図。

【符号の説明】

１，２ 支持部材 ３，４ 結合部材 ５，５′,... 桁材 ６，６′,... サブストレート ７ フレーム ８，８′,... 孔 ９，９′,... ねじ １０ 保持薄板 １１，１１′ 締付けばね １２，１３ 背面 １４，１５，１５′ ウェブ １６ Ｌ字形薄板 １７ 上縁部 １８ 下縁部

Claims (19)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空処理設備、例えば真空コーティング
   設備及びエッチング設備内でかつこの設備を介して、有
   利には垂直位置でプレート状のサブストレート（６，
   ６′,...）を保持しかつ搬送するための装置において、
   前記装置がほぼ多部分から成るフレーム（７）から構成
   されていて、このフレーム（７）内にサブストレート
   （６，６′,...）を受容するための桁材（５，
   ５′,...）が差し嵌められていてかつこの桁材（５，
   ５′,...）に、サブストレート（６，６′,...）を固定
   するための保持部材が設けられており、フレーム（７）
   及び桁材（５，５′,...）が僅かな熱容量及び高い耐熱
   性を有しかつエッジの鋭いコーナを持たない開かれた薄
   板成形体から形成されており、全てのフレーム構成部材
   及び桁材（５，５′,...）が互いに解離可能に結合され
   ていることを特徴とする、プレート状のサブストレート
   を保持しかつ搬送するための装置。
2. 【請求項２】 フレーム（７）が相互間隔を置いて垂直
   に配置された支持部材（１，２）から形成されていて、
   この支持部材（１，２）が水平な部材（３，４）によっ
   て結合されている、請求項１記載の装置。
3. 【請求項３】 フレーム（７）が垂直に真空設備内で保
   持されかつ案内されている、請求項２記載の装置。
4. 【請求項４】 垂直な支持部材（１，２）が桁材（５，
   ５′,...）を受容するための孔（８，８′,...）を有し
   ている、請求項１から３までのいずれか１項記載の装
   置。
5. 【請求項５】 桁材（５，５′,...）が水平にしかも互
   いに平行に配置されている、請求項１記載の装置。
6. 【請求項６】 桁材（５，５′,...）間の間隔が可変で
   ある、請求項５記載の装置。
7. 【請求項７】 フレームセグメント（１，２，３，４，
   ５，５′,...）が互いにねじ結合されている、請求項１
   から６までのいずれか１項記載の装置。
8. 【請求項８】 桁材（５，５′,...）がフレーム（７）
   にねじ結合されている、請求項１から７までのいずれか
   １項記載の装置。
9. 【請求項９】 フレーム（７）及び桁材（５，
   ５′,...）が中空室を有していない、請求項１から８ま
   でのいずれか１項記載の装置。
10. 【請求項１０】 フレーム（７）及び桁材（５，
    ５′,...）の成形体の開放側（１２，１３）がサブスト
    レート（６，６′,...）に面していない、請求項９記載
    の装置。
11. 【請求項１１】 フレーム（７）及び桁材（５，
    ５′,...）が特殊鋼から製作されている、請求項１から
    １０までのいずれか１項記載の装置。
12. 【請求項１２】 保持部材がサブストレート（６，
    ６′,...）を掛止するために締付けばね（１１，１
    １′,...）として形成されている、請求項１から１１ま
    でのいずれか１項記載の装置。
13. 【請求項１３】 締付けばね（１１，１１′,...）が薄
    板又は線材から一体に製作されている、請求項１２記載
    の装置。
14. 【請求項１４】 締付けばね(１１，１１′,...)が、４
    ００℃以上の運転温度の場合でもまだ弾性的な材料から
    製作されている、請求項１３記載の装置。
15. 【請求項１５】 締付けばね（１１，１１′,...）が桁
    材（５，５′,...）に被せ嵌め可能である、請求項１か
    ら１４までのいずれか１項記載の装置。
16. 【請求項１６】 サブストレート（６，６′,...）が端
    面でのみ締付けばね（１１，１１′,...）に接触してい
    る、請求項１から１５までのいずれか１項記載の装置。
17. 【請求項１７】 装置の全ての構成部材（１，２，３，
    ４，５，５′,...、９，９′,...、１１，１１′,...）
    が個々に解離可能にしかも交換可能に互いに結合されて
    いる、請求項１から１６までのいずれか１項記載の装
    置。
18. 【請求項１８】 ２つのフレーム（７）が背中合わせに
    共通の脚部部材上に配置されている、請求項１から１７
    までのいずれか１項記載の装置。
19. 【請求項１９】 両フレーム（７）間に上向きに開いた
    中間スペースが形成されている、請求項１８記載の装
    置。