JPH0663561A - フッ素含有水用処理装置 - Google Patents
フッ素含有水用処理装置Info
- Publication number
- JPH0663561A JPH0663561A JP24730792A JP24730792A JPH0663561A JP H0663561 A JPH0663561 A JP H0663561A JP 24730792 A JP24730792 A JP 24730792A JP 24730792 A JP24730792 A JP 24730792A JP H0663561 A JPH0663561 A JP H0663561A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluorine
- containing water
- packed tower
- storage tank
- water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Removal Of Specific Substances (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】フッ素含有水貯槽と、着脱自在な粒状炭酸カル
シウム充填塔と、該貯槽からフッ素含有水を充填塔へ送
液するための配管と、充填塔から出た処理水を該貯槽へ
返送するための循環用配管とから構成されたフッ素含有
水用処理装置。 【効果】半導体製造分野などから排出されるフッ素含有
廃液をそれぞれ個別に大がかりな配管工事が不要で経済
的有利に処理し、該廃液中のフッ素を高純度のフッ化カ
ルシウムとして回収することができる。
シウム充填塔と、該貯槽からフッ素含有水を充填塔へ送
液するための配管と、充填塔から出た処理水を該貯槽へ
返送するための循環用配管とから構成されたフッ素含有
水用処理装置。 【効果】半導体製造分野などから排出されるフッ素含有
廃液をそれぞれ個別に大がかりな配管工事が不要で経済
的有利に処理し、該廃液中のフッ素を高純度のフッ化カ
ルシウムとして回収することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフッ素含有水用処理装
置、さらに詳しくは、半導体製造分野などから排出され
るフッ素含有廃液、特に濃厚系フッ素含有廃液をそれぞ
れ個別に大がかりな配管工事が不要で経済的有利に処理
し、該廃液中のフッ素を再資源として利用可能な高純度
のフッ化カルシウムとして回収するためのフッ素含有水
用処理装置に関するものである。
置、さらに詳しくは、半導体製造分野などから排出され
るフッ素含有廃液、特に濃厚系フッ素含有廃液をそれぞ
れ個別に大がかりな配管工事が不要で経済的有利に処理
し、該廃液中のフッ素を再資源として利用可能な高純度
のフッ化カルシウムとして回収するためのフッ素含有水
用処理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体製造分野やその関連分野、
あるいは各種金属材料、単結晶材料、光学系材料などの
表面処理分野などにおいては、多量のエッチング剤が使
用されており、そして、このエッチング剤としては、主
にフッ化水素や、フッ化水素とフッ化アンモニウムを主
成分とするエッチング剤が用いられている。フッ化水素
を主成分とするエッチング剤は、通常フッ素をＨＦとし
て０.９重量％程度を含む薬剤であって大量に用いられ
ており、一方、フッ化水素及びフッ化アンモニウムを主
成分として含むエッチング剤（バッファードフッ酸）
は、その使用量は少ないものの、フッ素をＨＦとして通
常７重量％程度含有していることから、これらのエッチ
ング剤は廃水系統へ移行した際、高濃度フッ素含有廃液
となる。一方、エッチング途中やエッチング終了時に
は、これらのエッチング剤で処理された材料を大量の洗
浄水で洗浄するため、その洗浄工程からは、大量の低濃
度フッ素含有廃液が排出される。このようなフッ素含有
廃液は、一般的には総合排水中に流入されている。この
総合排水のフッ素の除去は、通常水酸化カルシウムや塩
化カルシウムなどのカルシウム化合物を添加して、フッ
化カルシウムとして不溶化し、固液分離したのち、再度
その処理液にアルミニウム塩やマグネシウム塩を添加
し、その水酸化物へのフッ素吸着−固液分離を行った
り、あるいはフッ素吸着樹脂でイオン交換分離するな
ど、高度処理を施して放流する方法がとられている。し
かしながら、この総合廃水として処理する方法において
は、該総合廃水中のフッ素濃度が大幅に変動するのに対
応して、大過剰の水酸化カルシウムや塩化カルシウムな
どのカルシウム化合物の添加が必要となり、薬剤を多量
に要する上、固液分離されたフッ素カルシウムは再資源
化するには不純物が多く、不適当な汚泥が多量に発生す
るのを免れないという問題がある。そこで、濃厚系フッ
素含有廃液と希薄系フッ素含有廃液とに分別し、濃厚系
廃液を集めて処理する方法が提案されている。濃厚系廃
液が分別排出されれば、それを総合廃水処理系へ一定量
注入して濃度変動を低くして処理できるし、また、炭酸
カルシウム剤と接触させて、フッ素をフッ化カルシウム
として回収することも可能である。しかしながら、プラ
ント建設時に分別排出管を設けなかった場合に、新たに
分別排出管を改造して設けるには多額の費用を必要とす
るし、多くの場合、配管設置面積の余裕がなく、施工で
きないのが実状である。また、フッ素廃液から、炭酸カ
ルシウムを用いてフッ化カルシウムとして回収する場合
には、廃液中のフッ素濃度、酸の種類やその濃度などの
液組成が回収物のフッ化カルシウム純度に影響するの
で、分別の仕様や精度が、フッ化カルシウムの再資源化
の可否を決めるカギになっている。
あるいは各種金属材料、単結晶材料、光学系材料などの
表面処理分野などにおいては、多量のエッチング剤が使
用されており、そして、このエッチング剤としては、主
にフッ化水素や、フッ化水素とフッ化アンモニウムを主
成分とするエッチング剤が用いられている。フッ化水素
を主成分とするエッチング剤は、通常フッ素をＨＦとし
て０.９重量％程度を含む薬剤であって大量に用いられ
ており、一方、フッ化水素及びフッ化アンモニウムを主
成分として含むエッチング剤（バッファードフッ酸）
は、その使用量は少ないものの、フッ素をＨＦとして通
常７重量％程度含有していることから、これらのエッチ
ング剤は廃水系統へ移行した際、高濃度フッ素含有廃液
となる。一方、エッチング途中やエッチング終了時に
は、これらのエッチング剤で処理された材料を大量の洗
浄水で洗浄するため、その洗浄工程からは、大量の低濃
度フッ素含有廃液が排出される。このようなフッ素含有
廃液は、一般的には総合排水中に流入されている。この
総合排水のフッ素の除去は、通常水酸化カルシウムや塩
化カルシウムなどのカルシウム化合物を添加して、フッ
化カルシウムとして不溶化し、固液分離したのち、再度
その処理液にアルミニウム塩やマグネシウム塩を添加
し、その水酸化物へのフッ素吸着−固液分離を行った
り、あるいはフッ素吸着樹脂でイオン交換分離するな
ど、高度処理を施して放流する方法がとられている。し
かしながら、この総合廃水として処理する方法において
は、該総合廃水中のフッ素濃度が大幅に変動するのに対
応して、大過剰の水酸化カルシウムや塩化カルシウムな
どのカルシウム化合物の添加が必要となり、薬剤を多量
に要する上、固液分離されたフッ素カルシウムは再資源
化するには不純物が多く、不適当な汚泥が多量に発生す
るのを免れないという問題がある。そこで、濃厚系フッ
素含有廃液と希薄系フッ素含有廃液とに分別し、濃厚系
廃液を集めて処理する方法が提案されている。濃厚系廃
液が分別排出されれば、それを総合廃水処理系へ一定量
注入して濃度変動を低くして処理できるし、また、炭酸
カルシウム剤と接触させて、フッ素をフッ化カルシウム
として回収することも可能である。しかしながら、プラ
ント建設時に分別排出管を設けなかった場合に、新たに
分別排出管を改造して設けるには多額の費用を必要とす
るし、多くの場合、配管設置面積の余裕がなく、施工で
きないのが実状である。また、フッ素廃液から、炭酸カ
ルシウムを用いてフッ化カルシウムとして回収する場合
には、廃液中のフッ素濃度、酸の種類やその濃度などの
液組成が回収物のフッ化カルシウム純度に影響するの
で、分別の仕様や精度が、フッ化カルシウムの再資源化
の可否を決めるカギになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
事情のもとで、半導体製造分野などから排出されるフッ
素含有廃液、特に濃厚系フッ素含有廃液を、それぞれ個
別に大がかりな配管工事が不要で経済的有利に処理し、
該廃液中のフッ素を再資源として利用可能な高純度のフ
ッ化カルシウムとして回収するためのフッ素含有水用処
理装置を提供することを目的としてなされたものであ
る。
事情のもとで、半導体製造分野などから排出されるフッ
素含有廃液、特に濃厚系フッ素含有廃液を、それぞれ個
別に大がかりな配管工事が不要で経済的有利に処理し、
該廃液中のフッ素を再資源として利用可能な高純度のフ
ッ化カルシウムとして回収するためのフッ素含有水用処
理装置を提供することを目的としてなされたものであ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記目的
を達成するために鋭意研究を重ねた結果、半導体製造分
野などの各エッチング工程における廃エッチング剤貯槽
に、それぞれ着脱自在な粒状炭酸カルシウム充填塔を設
け、該充填塔にフッ素含有廃液を循環通液することで、
廃液処理とフッ素をフッ化カルシウムとして回収するこ
とのできる装置により、その目的を達成しうることを見
い出し、この知見に基づいて本発明を完成するに至っ
た。すなわち、本発明は、フッ素含有水貯槽と、着脱自
在な粒状炭酸カルシウム充填塔と、該貯槽からフッ素含
有水を充填塔へ送液するための配管と、充填塔から出た
処理水を該貯槽へ返送するための循環用配管とから構成
されたフッ素含有水用処置装置を提供するものである。
を達成するために鋭意研究を重ねた結果、半導体製造分
野などの各エッチング工程における廃エッチング剤貯槽
に、それぞれ着脱自在な粒状炭酸カルシウム充填塔を設
け、該充填塔にフッ素含有廃液を循環通液することで、
廃液処理とフッ素をフッ化カルシウムとして回収するこ
とのできる装置により、その目的を達成しうることを見
い出し、この知見に基づいて本発明を完成するに至っ
た。すなわち、本発明は、フッ素含有水貯槽と、着脱自
在な粒状炭酸カルシウム充填塔と、該貯槽からフッ素含
有水を充填塔へ送液するための配管と、充填塔から出た
処理水を該貯槽へ返送するための循環用配管とから構成
されたフッ素含有水用処置装置を提供するものである。
【０００５】以下、添付図面に従って本発明を詳細に説
明する。図１は本発明のフッ素含有水用処理装置の１例
を示す概略図であって、まず、フッ素含有水１はフッ素
含有水貯槽２に入れる。フッ素の組成については、フッ
化水素系でもフッ化アンモニウム系のいずれでもよい
が、フッ素濃度は高濃度になると除去率が低下するの
で、通常５０ｇ・Ｆ／リットル以下、好ましくは２５ｇ
・Ｆ／リットル以下になるように脱塩水や水道水などの
希釈水３によって希釈する。該貯槽２には、フッ素含有
水を粒状炭酸カルシウム充填塔４へ送液するための配管
５と、充填塔４から出た処理水を貯槽２へ返送するため
の循環用配管６が設けられている。また、送液用配管５
及び循環用配管６には、充填塔４を自在に着脱しうるよ
うに、循環ポンプ７を貯槽２側に付設する場合は、それ
ぞれワンタッチジョイント（例えばカプラ）やクランプ
バンドＢ,Ｂ'が設けられ、一方、ポンプ７を充填塔４側
に付設する場合はワンタッチジョイント（例えばカプ
ラ）やクランプバンドＡ,Ａ'が設けられるが、この場合
でも充填塔４のみを再生工場に持ち運びができるよう
に、Ｂ,Ｂ'も設けるのが望ましい。
明する。図１は本発明のフッ素含有水用処理装置の１例
を示す概略図であって、まず、フッ素含有水１はフッ素
含有水貯槽２に入れる。フッ素の組成については、フッ
化水素系でもフッ化アンモニウム系のいずれでもよい
が、フッ素濃度は高濃度になると除去率が低下するの
で、通常５０ｇ・Ｆ／リットル以下、好ましくは２５ｇ
・Ｆ／リットル以下になるように脱塩水や水道水などの
希釈水３によって希釈する。該貯槽２には、フッ素含有
水を粒状炭酸カルシウム充填塔４へ送液するための配管
５と、充填塔４から出た処理水を貯槽２へ返送するため
の循環用配管６が設けられている。また、送液用配管５
及び循環用配管６には、充填塔４を自在に着脱しうるよ
うに、循環ポンプ７を貯槽２側に付設する場合は、それ
ぞれワンタッチジョイント（例えばカプラ）やクランプ
バンドＢ,Ｂ'が設けられ、一方、ポンプ７を充填塔４側
に付設する場合はワンタッチジョイント（例えばカプ
ラ）やクランプバンドＡ,Ａ'が設けられるが、この場合
でも充填塔４のみを再生工場に持ち運びができるよう
に、Ｂ,Ｂ'も設けるのが望ましい。
【０００６】充填塔４は、密開型上向流で通液循環する
構造が有利である。下向流通液としてもよいが、この場
合、反応によって二酸化炭素ガスが発生して、塔内が水
切れ状態となるおそれがあるので上向流の方が望まし
い。また、充填塔４は開放型でもよいが、反応によって
はアンモニアガスを生成することがあるので、ガス、液
をともに貯槽２へ流入させ、ここでガス分離するのがよ
い。さらに、充填塔内の粒状炭酸カルシウムが流動化す
るように、充填塔下部から空気を吹き込むのもよい（図
示せず）。該粒状炭酸カルシウムの粒子径は０.１〜０.
５mmの範囲にあるのが望ましい。
構造が有利である。下向流通液としてもよいが、この場
合、反応によって二酸化炭素ガスが発生して、塔内が水
切れ状態となるおそれがあるので上向流の方が望まし
い。また、充填塔４は開放型でもよいが、反応によって
はアンモニアガスを生成することがあるので、ガス、液
をともに貯槽２へ流入させ、ここでガス分離するのがよ
い。さらに、充填塔内の粒状炭酸カルシウムが流動化す
るように、充填塔下部から空気を吹き込むのもよい（図
示せず）。該粒状炭酸カルシウムの粒子径は０.１〜０.
５mmの範囲にあるのが望ましい。
【０００７】また、充填塔内の炭酸カルシウムがフッ化
カルシウムに完全に変換したことを、例えば入口及び出
口液のフッ素濃度から判断して、炭酸カルシウム充填塔
を新しい炭酸カルシウム充填塔と入れ替える。この際、
充填塔内に貯留している液は有害であるので、空気など
で置換（図示せず）後に、洗浄水で洗浄するのがよい。
この洗浄水は炭酸カルシウム量に対して５重量倍以下程
度でよく、また貯槽２に戻してもよいし、フッ素濃度が
低いので総合廃水系へ排出してもよい。次に、貯槽２内
のフッ素濃度が低下し、処理ができたことを確認してか
ら排出する（図示せず）。該フッ素濃度を確認するため
には、貯槽内が均一化するように機械撹拌や空気撹拌を
行うのが望ましい。その場合、空気撹拌の方がアンモニ
アガスの放出により、炭酸カルシウム接触時の反応が促
進し、処理水の水質がよくなるので有利である。また、
炭酸カルシウム充填塔の材質については、フッ素や酸に
より腐食されないものであればよく、特に制限はない。
さらに、該炭酸カルシウム充填塔は２塔以上の直列通液
が好ましく、また、処理液排水やろ材流動化のために間
欠通液としてもよい。
カルシウムに完全に変換したことを、例えば入口及び出
口液のフッ素濃度から判断して、炭酸カルシウム充填塔
を新しい炭酸カルシウム充填塔と入れ替える。この際、
充填塔内に貯留している液は有害であるので、空気など
で置換（図示せず）後に、洗浄水で洗浄するのがよい。
この洗浄水は炭酸カルシウム量に対して５重量倍以下程
度でよく、また貯槽２に戻してもよいし、フッ素濃度が
低いので総合廃水系へ排出してもよい。次に、貯槽２内
のフッ素濃度が低下し、処理ができたことを確認してか
ら排出する（図示せず）。該フッ素濃度を確認するため
には、貯槽内が均一化するように機械撹拌や空気撹拌を
行うのが望ましい。その場合、空気撹拌の方がアンモニ
アガスの放出により、炭酸カルシウム接触時の反応が促
進し、処理水の水質がよくなるので有利である。また、
炭酸カルシウム充填塔の材質については、フッ素や酸に
より腐食されないものであればよく、特に制限はない。
さらに、該炭酸カルシウム充填塔は２塔以上の直列通液
が好ましく、また、処理液排水やろ材流動化のために間
欠通液としてもよい。
【０００８】
【実施例】次に実施例により本発明をさらに詳細に説明
するが、本発明はこれらの例によってなんら限定される
ものではない。
するが、本発明はこれらの例によってなんら限定される
ものではない。
【０００９】実施例１ 図１においてＢ,Ｂ'部にカプラを設けた試験装置を用い
て実施した。試薬ＮＨ4Ｆ及びＨ2ＳｉＦ６を溶解した１
０００mlのフッ素含有水をそれぞれ調製した。０.３２m
m径の炭酸カルシウム粒子を充填したカラムに、上記フ
ッ素含有水を上向流でＳＶ１２（１２００ml／hr）の流
速で通液し、その処理液を原液タンクに戻し循環して１
２時間後の原液タンク（処理液タンク）内のフッ素濃度
を分析した。その結果、ＮＨ4Ｆ水溶液の場合、循環前
にはpHが６.６及びＦ濃度が２７,５００mg／リットルあ
ったものが１２時間循環後にはそれぞれ９.０及び１,２
５０mg／リットルとなった。また、Ｈ2ＳｉＦ６水溶液
の場合、循環前にはpHが１.０及びＦ濃度が１１,３００
mg／リットルあったものが、１２時間循環後には、それ
ぞれ２.８および３５０mg／リットルとなった。なお、
ＳＶ１２で１２時間循環したので、一過式に換算すると
ＳＶ１で１時間通液したことに相当する。
て実施した。試薬ＮＨ4Ｆ及びＨ2ＳｉＦ６を溶解した１
０００mlのフッ素含有水をそれぞれ調製した。０.３２m
m径の炭酸カルシウム粒子を充填したカラムに、上記フ
ッ素含有水を上向流でＳＶ１２（１２００ml／hr）の流
速で通液し、その処理液を原液タンクに戻し循環して１
２時間後の原液タンク（処理液タンク）内のフッ素濃度
を分析した。その結果、ＮＨ4Ｆ水溶液の場合、循環前
にはpHが６.６及びＦ濃度が２７,５００mg／リットルあ
ったものが１２時間循環後にはそれぞれ９.０及び１,２
５０mg／リットルとなった。また、Ｈ2ＳｉＦ６水溶液
の場合、循環前にはpHが１.０及びＦ濃度が１１,３００
mg／リットルあったものが、１２時間循環後には、それ
ぞれ２.８および３５０mg／リットルとなった。なお、
ＳＶ１２で１２時間循環したので、一過式に換算すると
ＳＶ１で１時間通液したことに相当する。
【００１０】比較例１ 実施例１において、フッ素含有水の流速をＳＶ１（１０
０ml／hr）とし、かつ一過式で１時間通液したこと以外
は、実施例１と同様にして実施した。その結果、ＮＨ4
Ｆ水溶液の場合、１時間通液後にはpHは９.０、Ｆ濃度
は２,５００mg／リットルとなった。また、Ｈ2ＳｉＦ6
水溶液の場合、１時間通液後にはpHは２.５、Ｆ濃度は
５９０mg／リットルとなった。
０ml／hr）とし、かつ一過式で１時間通液したこと以外
は、実施例１と同様にして実施した。その結果、ＮＨ4
Ｆ水溶液の場合、１時間通液後にはpHは９.０、Ｆ濃度
は２,５００mg／リットルとなった。また、Ｈ2ＳｉＦ6
水溶液の場合、１時間通液後にはpHは２.５、Ｆ濃度は
５９０mg／リットルとなった。
【００１１】
【発明の効果】本発明によると、半導体製造分野などか
ら排出されるフッ素含有廃液をそれぞれ個別に処理する
ことにより、フッ化カルシウム純度に悪影響を及ぼすも
のを容易に除外でき、高品質のフッ化カルシウムが得ら
れるとともに、原液組成濃度が安定するので運転管理が
容易である。また、処理水質を確認して排出できるの
で、処理が確実であり、総合廃水系への濃度負荷が小さ
く、安定化をもたらす。さらに、大がかりな配管工事が
不要で、経済的に有利である。本発明装置は、特に少量
発生する濃厚系フッ素含有廃液に適用するのが有利であ
るが、半導体製造工程から排出される他の小規模なフッ
素含有廃液の処理にも適用できる。
ら排出されるフッ素含有廃液をそれぞれ個別に処理する
ことにより、フッ化カルシウム純度に悪影響を及ぼすも
のを容易に除外でき、高品質のフッ化カルシウムが得ら
れるとともに、原液組成濃度が安定するので運転管理が
容易である。また、処理水質を確認して排出できるの
で、処理が確実であり、総合廃水系への濃度負荷が小さ
く、安定化をもたらす。さらに、大がかりな配管工事が
不要で、経済的に有利である。本発明装置は、特に少量
発生する濃厚系フッ素含有廃液に適用するのが有利であ
るが、半導体製造工程から排出される他の小規模なフッ
素含有廃液の処理にも適用できる。
【図１】図１は本発明のフッ素含有水用処理装置の１例
を示す概略図である。
を示す概略図である。
１ フッ素含有水 ２ フッ素含有水貯槽 ４ 粒状炭酸カルシウム充填塔 Ａ ワンタッチジョイント Ａ' ワンタッチジョイント Ｂ ワンタッチジョイント Ｂ' ワンタッチジョイント
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 伸 東京都新宿区西新宿３丁目４番７号 栗田 工業株式会社内 (72)発明者 高土居 忠 東京都新宿区西新宿３丁目４番７号 栗田 工業株式会社内 (72)発明者 三木 正博 大阪府大阪市阿倍野区帝塚山一丁目23番14 −521 (72)発明者 福留 敏郎 大阪府南河内郡千早赤阪村大字小吹68− 335 (72)発明者 前野 又五郎 大阪府和泉市光明台２−42−６
Claims (1)
- 【請求項１】フッ素含有水貯槽と、着脱自在な粒状炭酸
カルシウム充填塔と、該貯槽からフッ素含有水を充填塔
へ送液するための配管と、充填塔から出た処理水を該貯
槽へ返送するための循環用配管とから構成されたフッ素
含有水用処置装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24730792A JP3375154B2 (ja) | 1992-08-24 | 1992-08-24 | フッ素含有水用処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24730792A JP3375154B2 (ja) | 1992-08-24 | 1992-08-24 | フッ素含有水用処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0663561A true JPH0663561A (ja) | 1994-03-08 |
| JP3375154B2 JP3375154B2 (ja) | 2003-02-10 |
Family
ID=17161468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24730792A Expired - Lifetime JP3375154B2 (ja) | 1992-08-24 | 1992-08-24 | フッ素含有水用処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3375154B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06254571A (ja) * | 1993-03-09 | 1994-09-13 | Kurita Water Ind Ltd | フッ素含有水の処理方法 |
| JPH08148457A (ja) * | 1994-11-15 | 1996-06-07 | Tadahiro Omi | ウェットステーション並びにそのウェットステーションを用いたウェット洗浄方法及びウェット洗浄装置 |
| JP2005038823A (ja) * | 2003-07-02 | 2005-02-10 | Toyota Motor Corp | 固体高分子型燃料電池システム |
| JP2009078240A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-16 | Seiko Epson Corp | 廃液処理装置及び継手管 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5901288B2 (ja) | 2011-12-28 | 2016-04-06 | 三菱重工メカトロシステムズ株式会社 | 排水処理装置 |
-
1992
- 1992-08-24 JP JP24730792A patent/JP3375154B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06254571A (ja) * | 1993-03-09 | 1994-09-13 | Kurita Water Ind Ltd | フッ素含有水の処理方法 |
| JPH08148457A (ja) * | 1994-11-15 | 1996-06-07 | Tadahiro Omi | ウェットステーション並びにそのウェットステーションを用いたウェット洗浄方法及びウェット洗浄装置 |
| JP2005038823A (ja) * | 2003-07-02 | 2005-02-10 | Toyota Motor Corp | 固体高分子型燃料電池システム |
| JP2009078240A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-16 | Seiko Epson Corp | 廃液処理装置及び継手管 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3375154B2 (ja) | 2003-02-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4880656B2 (ja) | 水処理装置および水処理方法 | |
| JP2670154B2 (ja) | 逆浸透膜分離プロセスを有する希土類の分離精製システム | |
| JP3087680B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
| JP3227760B2 (ja) | フッ素含有水の処理方法 | |
| JP3375154B2 (ja) | フッ素含有水用処理装置 | |
| JP3334142B2 (ja) | フッ素含有水の処理方法 | |
| JP3483482B2 (ja) | フッ素含有水の処理方法 | |
| JP3203745B2 (ja) | フッ素含有水の処理方法 | |
| JP2003315496A (ja) | イオン交換樹脂の再生方法及びそれに用いる再生剤の精製方法 | |
| JP2002224663A (ja) | Ｓｓ及びリンを含有する水からのリン除去・回収方法及び装置 | |
| JP2003071470A (ja) | フッ素含有水の処理方法及び処理装置 | |
| JP3697800B2 (ja) | 排水の処理方法 | |
| JP3252521B2 (ja) | リンス排水の処理方法 | |
| JP3175283B2 (ja) | フッ素含有水の処理方法 | |
| JP3175445B2 (ja) | フッ素含有水の処理方法 | |
| KR0161346B1 (ko) | 탑외 재생형 혼상식 복수 탈염설비의 이온교환수지 이송분리 재생방법 및 장치 | |
| JPH0839059A (ja) | 有機アルカリを含む半導体洗浄排水の回収方法 | |
| JP3559789B2 (ja) | フッ化カルシウム回収方法 | |
| JPH11156355A (ja) | フッ素含有水の処理方法 | |
| JP3466646B2 (ja) | フッ化水素及びフッ化アンモニウム含有水の処理方法 | |
| JP6299421B2 (ja) | フッ素含有水の処理方法及び処理装置 | |
| JPH08323350A (ja) | 含油排水の膜処理装置 | |
| JP3396919B2 (ja) | フッ素含有水からの水回収方法 | |
| JP2001192867A (ja) | アルミニウム材の表面処理方法 | |
| JP3364308B2 (ja) | 排水処理方法及びその装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020625 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20021024 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071129 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081129 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081129 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091129 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101129 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101129 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111129 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111129 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121129 Year of fee payment: 10 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121129 Year of fee payment: 10 |