JPH0663885A - 搬送用ロボットの試料把持部の静電チャックへの供電手段 - Google Patents
搬送用ロボットの試料把持部の静電チャックへの供電手段Info
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- JPH0663885A JPH0663885A JP23890692A JP23890692A JPH0663885A JP H0663885 A JPH0663885 A JP H0663885A JP 23890692 A JP23890692 A JP 23890692A JP 23890692 A JP23890692 A JP 23890692A JP H0663885 A JPH0663885 A JP H0663885A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】非接触の状態で静電チャックへの供電を可能に
する搬送用ロボットの試料把持部の静電チャックへの供
電手段を提供する。 【構成】搬送用ロボットの試料把持部の静電チャック３
への供電手段は、電力を供給する発振器４と、固定され
た一次コイル２を接続すると共に、搬送用ロボットの試
料把持部に左右に回転自在な二次コイル１を一次コイル
２と同軸状に設け、一次コイル２によって二次コイル１
に誘導起電力を発生させる。
する搬送用ロボットの試料把持部の静電チャックへの供
電手段を提供する。 【構成】搬送用ロボットの試料把持部の静電チャック３
への供電手段は、電力を供給する発振器４と、固定され
た一次コイル２を接続すると共に、搬送用ロボットの試
料把持部に左右に回転自在な二次コイル１を一次コイル
２と同軸状に設け、一次コイル２によって二次コイル１
に誘導起電力を発生させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は真空内で使用される搬
送用ロボットの試料把持部の静電チャックへの供電手段
に関するものである。
送用ロボットの試料把持部の静電チャックへの供電手段
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の静電チャックへの供電手
段は、搬送用ロボットの試料把持部の静電チャックと、
固定された供電供給部との間に配線を施していた。即
ち、搬送用ロボットの試料把持部が運動できるに十分な
長さをもって配線されていたり、あるいは、３６０°エ
ンドレスで回転できるようにスリップリングやロータリ
ーコネクター等を経由して配線されていた。
段は、搬送用ロボットの試料把持部の静電チャックと、
固定された供電供給部との間に配線を施していた。即
ち、搬送用ロボットの試料把持部が運動できるに十分な
長さをもって配線されていたり、あるいは、３６０°エ
ンドレスで回転できるようにスリップリングやロータリ
ーコネクター等を経由して配線されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の静電チャックへ
の供電手段は、上記のように搬送用ロボットの試料把持
部が運動できるように、搬送用ロボットの試料把持部の
静電チャックと固定された供電供給部との間を配線して
いるが、搬送用ロボットの試料把持部の運動が頻繁に繰
り返されると、断線したり、あるいは配線の絶縁物が接
触により剥がれて危険になる問題があった。
の供電手段は、上記のように搬送用ロボットの試料把持
部が運動できるように、搬送用ロボットの試料把持部の
静電チャックと固定された供電供給部との間を配線して
いるが、搬送用ロボットの試料把持部の運動が頻繁に繰
り返されると、断線したり、あるいは配線の絶縁物が接
触により剥がれて危険になる問題があった。
【０００４】また、ゴミの発生を問題とする半導体製造
装置に搬送用ロボットの試料把持部の静電チャックへの
供電の場合には、配線が他の部分と擦られて非常に多く
のゴミが発生する問題があった。
装置に搬送用ロボットの試料把持部の静電チャックへの
供電の場合には、配線が他の部分と擦られて非常に多く
のゴミが発生する問題があった。
【０００５】更に、３６０°エンドレスで回転できるよ
うにスリップリングやロータリーコネクター等を用いて
配線することも考えられるが、配線が絡まなくなるの
で、ゴミの発生が防止できず、真空中では接触部からの
ガスの発生や耐熱などに問題があった。
うにスリップリングやロータリーコネクター等を用いて
配線することも考えられるが、配線が絡まなくなるの
で、ゴミの発生が防止できず、真空中では接触部からの
ガスの発生や耐熱などに問題があった。
【０００６】この発明の目的は、従来の上記問題を解決
して、非接触の状態で静電チャックへの供電を可能にす
る搬送用ロボットの試料把持部の静電チャックへの供電
手段を提供することである。
して、非接触の状態で静電チャックへの供電を可能にす
る搬送用ロボットの試料把持部の静電チャックへの供電
手段を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の搬送用ロボットの試料把持部の静電チャ
ックへの供電手段は、電力を供給する発振器に、固定さ
れた一次コイルを接続すると共に、搬送用ロボットの試
料把持部に左右に回転自在な二次コイルを一次コイルと
同軸状に設け、一次コイルによって二次コイルに誘導起
電力を発生させることを特徴とするものである。
に、この発明の搬送用ロボットの試料把持部の静電チャ
ックへの供電手段は、電力を供給する発振器に、固定さ
れた一次コイルを接続すると共に、搬送用ロボットの試
料把持部に左右に回転自在な二次コイルを一次コイルと
同軸状に設け、一次コイルによって二次コイルに誘導起
電力を発生させることを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】この発明においては、発振器より固定された一
次コイルに電力を供給すると、一次コイルに磁束が生
じ、その磁束が二次コイルと鎖交して、二次コイルに誘
導起電力が発生するようになる。そして、二次コイルに
発生した誘導起電力は搬送用ロボットの試料把持部の静
電チャックへ供電される。静電チャックでは試料を静電
エネルギーによって吸着する。誘導起電力を静電チャッ
クに供電する場合、静電チャック自身がキャパシタンス
であるため、二次コイルとの共振を考慮する必要があ
る。吸着する試料の有無により、静電チャックのキャパ
シタンスが変化するので、固定した周波数の励磁では共
振が外れていまう。そのため、二次コイルと静電チャッ
クのキャパシタンスとで決まる発振器で一次コイルに電
力を供給すると、いつも共振状態になり、効率のよい供
電が可能になる。
次コイルに電力を供給すると、一次コイルに磁束が生
じ、その磁束が二次コイルと鎖交して、二次コイルに誘
導起電力が発生するようになる。そして、二次コイルに
発生した誘導起電力は搬送用ロボットの試料把持部の静
電チャックへ供電される。静電チャックでは試料を静電
エネルギーによって吸着する。誘導起電力を静電チャッ
クに供電する場合、静電チャック自身がキャパシタンス
であるため、二次コイルとの共振を考慮する必要があ
る。吸着する試料の有無により、静電チャックのキャパ
シタンスが変化するので、固定した周波数の励磁では共
振が外れていまう。そのため、二次コイルと静電チャッ
クのキャパシタンスとで決まる発振器で一次コイルに電
力を供給すると、いつも共振状態になり、効率のよい供
電が可能になる。
【０００９】
【実施例】以下、この発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。この発明の第１実施例は図１に示さ
れており、同図において、搬送用ロボットの試料把持部
に左右に回転自在な二次コイル１が固定された一次コイ
ル２と同軸状に設けられ、その二次コイル１は搬送用ロ
ボットの試料把持部の静電チャック３に接続されてい
る。図２は第１実施例の電気回路を示しており、同図に
よれば、固定された一次コイル２は自励発振器４に接続
され、その自励発振器４より一次コイル２に電力が供給
されている。
しながら説明する。この発明の第１実施例は図１に示さ
れており、同図において、搬送用ロボットの試料把持部
に左右に回転自在な二次コイル１が固定された一次コイ
ル２と同軸状に設けられ、その二次コイル１は搬送用ロ
ボットの試料把持部の静電チャック３に接続されてい
る。図２は第１実施例の電気回路を示しており、同図に
よれば、固定された一次コイル２は自励発振器４に接続
され、その自励発振器４より一次コイル２に電力が供給
されている。
【００１０】このような第１実施例において、自励発振
器４より固定された一次コイル２に電力を供給すると、
一次コイル２に磁束が生じ、その磁束が二次コイル１と
鎖交して、二次コイル１に誘導起電力が発生するように
なる。そして、二次コイル１に発生した誘導起電力は搬
送用ロボットの試料把持部の静電チャック３へ供電され
る。静電チャック３では試料（図示せず）を静電エネル
ギーによって吸着する。誘導起電力を静電チャック３に
供電する場合、静電チャック３自身がキャパシタンスで
あるため、二次コイル１との共振を考慮する必要があ
る。吸着する試料の有無により、静電チャック３のキャ
パシタンスが変化するので、固定した周波数の励磁では
共振が外れていまう。そのため、二次コイル１と静電チ
ャック３のキャパシタンスとで決まる自励発振器４で一
次コイル２に電力を供給すると、いつも共振状態にな
り、効率のよい供電が可能になる。
器４より固定された一次コイル２に電力を供給すると、
一次コイル２に磁束が生じ、その磁束が二次コイル１と
鎖交して、二次コイル１に誘導起電力が発生するように
なる。そして、二次コイル１に発生した誘導起電力は搬
送用ロボットの試料把持部の静電チャック３へ供電され
る。静電チャック３では試料（図示せず）を静電エネル
ギーによって吸着する。誘導起電力を静電チャック３に
供電する場合、静電チャック３自身がキャパシタンスで
あるため、二次コイル１との共振を考慮する必要があ
る。吸着する試料の有無により、静電チャック３のキャ
パシタンスが変化するので、固定した周波数の励磁では
共振が外れていまう。そのため、二次コイル１と静電チ
ャック３のキャパシタンスとで決まる自励発振器４で一
次コイル２に電力を供給すると、いつも共振状態にな
り、効率のよい供電が可能になる。
【００１１】次に、図３は第２実施例を示しており、同
図において、５は搬送用ロボットの試料把持部のアー
ム、６は鉄芯でり、その他の符号で図１の第１実施例と
同一符号は同一又は相当部分を示すので説明を省略す
る。図４は第２実施例の電気回路を示しており、自励発
振器４にはピックアップコイル８が接続されている。
図において、５は搬送用ロボットの試料把持部のアー
ム、６は鉄芯でり、その他の符号で図１の第１実施例と
同一符号は同一又は相当部分を示すので説明を省略す
る。図４は第２実施例の電気回路を示しており、自励発
振器４にはピックアップコイル８が接続されている。
【００１２】
【発明の効果】この発明は、上器のように搬送用ロボッ
トの試料把持部に左右に回転自在な二次コイルを一次コ
イルと同軸状に設け、一次コイルによって二次コイルに
誘導起電力を発生させるようにしているので、非接触の
状態で静電チャックへの供電が可能になり、接触による
ダストの発生が少なくなると共に、真空中に配置される
のがコイルのみなので、放出ガスを少なくすることが出
来る。また、自励発振器を用いているので、試料の有無
にかかわらず、静電チャックへの供電が可能になる。
トの試料把持部に左右に回転自在な二次コイルを一次コ
イルと同軸状に設け、一次コイルによって二次コイルに
誘導起電力を発生させるようにしているので、非接触の
状態で静電チャックへの供電が可能になり、接触による
ダストの発生が少なくなると共に、真空中に配置される
のがコイルのみなので、放出ガスを少なくすることが出
来る。また、自励発振器を用いているので、試料の有無
にかかわらず、静電チャックへの供電が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１実施例の説明図
【図２】この発明の第１実施例の電気回路図
【図３】この発明の第２実施例の説明図
【図４】この発明の第２実施例の電気回路図
１・・・・・・・二次コイル ２・・・・・・・一次コイル ３・・・・・・・静電チャック ４・・・・・・・自励発振器
Claims (1)
- 【請求項１】電力を供給する発振器に、固定された一次
コイルを接続すると共に、搬送用ロボットの試料把持部
に左右に回転自在な二次コイルを一次コイルと同軸状に
設け、一次コイルによって二次コイルに誘導起電力を発
生させることを特徴とする搬送用ロボットの試料把持部
の静電チャックへの供電手段。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23890692A JP3293891B2 (ja) | 1992-08-14 | 1992-08-14 | 搬送用ロボットの試料把持部の静電チャックへの供電手段、及びその供電手段を有する搬送用ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23890692A JP3293891B2 (ja) | 1992-08-14 | 1992-08-14 | 搬送用ロボットの試料把持部の静電チャックへの供電手段、及びその供電手段を有する搬送用ロボット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0663885A true JPH0663885A (ja) | 1994-03-08 |
| JP3293891B2 JP3293891B2 (ja) | 2002-06-17 |
Family
ID=17037030
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23890692A Expired - Fee Related JP3293891B2 (ja) | 1992-08-14 | 1992-08-14 | 搬送用ロボットの試料把持部の静電チャックへの供電手段、及びその供電手段を有する搬送用ロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3293891B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1217655A1 (de) * | 2000-12-23 | 2002-06-26 | VenTec Gesellschaft für Venturekapital und Unternehmensberatung | Methode zur Handhabung dünner Wafer |
| JP2007123334A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Nikon Corp | ステージ装置、露光装置、デバイスの製造方法 |
| US7292426B2 (en) | 2003-10-01 | 2007-11-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Substrate holding system and exposure apparatus using the same |
| JP2012514544A (ja) * | 2009-01-11 | 2012-06-28 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ロボットおよびロボットの電気エンドエフェクタに電気的に接続するシステム、装置、および方法 |
| JP2013235991A (ja) * | 2012-05-10 | 2013-11-21 | Ulvac Japan Ltd | 給電装置 |
| CN107615472A (zh) * | 2015-05-29 | 2018-01-19 | 株式会社爱发科 | 带静电卡盘的运输机器人的控制系统 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012077296A1 (ja) * | 2010-12-07 | 2012-06-14 | 株式会社アルバック | 給電装置 |
-
1992
- 1992-08-14 JP JP23890692A patent/JP3293891B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1217655A1 (de) * | 2000-12-23 | 2002-06-26 | VenTec Gesellschaft für Venturekapital und Unternehmensberatung | Methode zur Handhabung dünner Wafer |
| US7292426B2 (en) | 2003-10-01 | 2007-11-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Substrate holding system and exposure apparatus using the same |
| US7466531B2 (en) | 2003-10-01 | 2008-12-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Substrate holding system and exposure apparatus using the same |
| US7660098B2 (en) | 2003-10-01 | 2010-02-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Substrate holding system and exposure apparatus using the same |
| US7733625B2 (en) | 2003-10-01 | 2010-06-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Substrate holding system and exposure apparatus using the same |
| JP2007123334A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Nikon Corp | ステージ装置、露光装置、デバイスの製造方法 |
| JP2012514544A (ja) * | 2009-01-11 | 2012-06-28 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ロボットおよびロボットの電気エンドエフェクタに電気的に接続するシステム、装置、および方法 |
| US8692500B2 (en) | 2009-01-11 | 2014-04-08 | Applied Materials, Inc. | Systems, apparatus and methods for making an electrical connection to a robot |
| JP2013235991A (ja) * | 2012-05-10 | 2013-11-21 | Ulvac Japan Ltd | 給電装置 |
| CN107615472A (zh) * | 2015-05-29 | 2018-01-19 | 株式会社爱发科 | 带静电卡盘的运输机器人的控制系统 |
| KR20180012295A (ko) | 2015-05-29 | 2018-02-05 | 가부시키가이샤 알박 | 정전 척을 장착한 반송 로봇의 제어 시스템 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3293891B2 (ja) | 2002-06-17 |
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