JPH0664168A - インクジェットプリンタヘッド及びその製作方法 - Google Patents

インクジェットプリンタヘッド及びその製作方法

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JPH0664168A
JPH0664168A JP4261352A JP26135292A JPH0664168A JP H0664168 A JPH0664168 A JP H0664168A JP 4261352 A JP4261352 A JP 4261352A JP 26135292 A JP26135292 A JP 26135292A JP H0664168 A JPH0664168 A JP H0664168A
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pressure generating
printer head
plate
ink jet
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JP4261352A
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English (en)
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Masashi Shimozato
正志 下里
Osamu Tsutsumida
治 堤田
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Toshiba Tec Corp
Original Assignee
Tokyo Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 一対の本体プレートを接合して形成する圧力
室に圧力発生手段の加圧面を対向配置する構造のインク
ジェットプリンタヘッドにおいて、生産性が良好なイン
クジェットプリンタヘッドを得る。 【構成】 複数の圧電性部材２８の駆動部１９を連設し
た圧力発生手段２１を形成し、この圧力発生手段２１を
インサートした樹脂部材２３で本体プレート１４を形成
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、オンデマンド方式のイ
ンクジェットプリンタヘッド及びその製作方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】現在、静粛で高密度印刷が可能なプリン
タヘッドとして、オリフィスからインク滴を吐出させて
印刷用紙に付着させることで記録を行なうインクジェッ
トプリンタヘッドなどが実用化されている。
【０００３】例えば、オンデマンド方式のインクジェッ
トプリンタヘッドでは、一対の本体プレートを一体に接
合する接合面の一方に形成した凹部で圧力室を形成し、
この圧力室内に圧力発生手段の変位自在な加圧面を配置
した構造などとなっている。そして、このようなインク
ジェットプリンタヘッドでは、印刷画像に対応した駆動
電圧で圧力発生手段の加圧面を振動させて圧力室内のイ
ンクをオリフィスからインク滴として吐出させるように
なっている。
【０００４】そこで、ここでは特開平3-73348号公報に
開示されたインクジェットプリンタヘッドを従来例とし
て図２３に基づいて説明する。まず、このインクジェッ
トプリンタヘッド１は、一対の本体プレートである流路
プレート２と駆動プレート３とを一体に接合した構造と
なっており、前記流路プレート２と駆動プレート３との
接合面には個々に相対向する凹部４と駆動部である凸部
５とを連設している。ここで、圧力発生手段でもある前
記駆動プレート３は、前記凸部５間に位置する凹部６内
に弾性材７を充填することで接合面が平坦になってお
り、この駆動プレート３を一体に接合することで前記流
路プレート２の凹部４が圧力室８を形成している。この
ようにすることで、このインクジェットプリンタヘッド
１では、前記圧力室８内に位置する前記駆動プレート３
の凸部５の凸面が加圧面９となっており、この加圧面９
と前記駆動プレート３の基部１０とに駆動電源１１を接
続している。なお、このインクジェットプリンタヘッド
１では、実際には前記プレート２，３の前面にオリフィ
スプレート（図示せず）を一体に接合する構造となって
いる。
【０００５】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド１では、駆動電源１１の駆動電圧に
従って駆動プレート３の凸部５が伸縮するので、この凸
部５の加圧面９の変位で流路プレート２の圧力室８内の
インク（図示せず）を加圧してオリフィスからインク滴
として吐出する。なお、このインクジェットプリンタヘ
ッド１では、圧力室８内のインクを高効率に加圧するた
め、伸縮する凸部５の横幅を圧力室８よりも狭く形成し
て凸部５間を弾性材７で充填している。
【０００６】また、現在では上述のようなインクジェッ
トプリンタヘッドの圧力発生手段として、圧電性セラミ
ックを使用することが提案されている。この圧電性セラ
ミックは、耐蝕性や強度が良好であるので、圧力室など
を形成する構造材としても利用可能であり、その生産性
向上と高密度化とが要望されている。
【０００７】例えば、特開昭55-17575号公報に開示され
たインクジェットプリンタヘッドでは、平板状の圧電性
セラミックの表面を選択エッチングすることで多数の駆
動部を表面上に連設した櫛歯状の圧力発生手段を形成
し、このようにして形成した二枚の圧電性セラミックを
駆動部の端面同士で接合することで、これらの駆動部間
の空隙を圧力室として利用するようになっている。同様
に、特開昭62-56150号公報や特開昭63-129173号公報及
び特開平2-150355号公報に開示されたインクジェットプ
リンタヘッドでは、平板状の圧電性セラミックの片面や
両面にダイシング等の切削加工を行なうことで駆動部を
連設した櫛歯状の圧力発生手段を形成し、このようにし
て形成した圧電性セラミックの駆動部の端面上に平板状
のカバープレートを接合することで、やはり駆動部間の
空隙を圧力室として利用するようになっている。
【０００８】また、特開昭60-90770号公報や特開平3-10
845号公報に開示されたインクジェットプリンタヘッド
は、やはり切削加工等で多数の駆動部を表面上に連設し
た櫛歯状の圧力発生手段を形成し、この圧力発生手段の
駆動部の端面が当接する位置に弾力性を有する振動板を
設け、この振動板を介して駆動部と対向する位置に本体
プレートの凹部で圧力室を形成した構造となっている。
【０００９】しかし、上記公報に開示されたインクジェ
ットプリンタヘッドの製作方法では、何れも平板状の圧
電性セラミックから櫛歯状の圧力発生手段を形成するよ
うになっているが、これでは成形が困難であると共に加
工部にクラックなどが生じやすいので好ましくない。
【００１０】そこで、このような課題を解決するインク
ジェットプリンタヘッドの製作方法として本出願人が提
案した特願平3-161172号では、駆動部を連設した圧力発
生手段を圧電性セラミックの型成形の一つである射出成
形で形成することで、圧電性セラミック製の圧力発生手
段を均質に量産してインクジェットプリンタヘッドの生
産性を向上させるようになっている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】特開平3-73348号公報
に開示されたインクジェットプリンタヘッド１では、駆
動プレート３の凸部５間の凹部４内を弾性材７で充填す
ることで圧力室８内のインクを高効率に加圧するように
なっている。
【００１２】しかし、このようなインクジェットプリン
タヘッド１は、印刷品質を向上させるためにオリフィス
や圧力室８等の高密度化が要望されて駆動プレート３の
凹部４なども極めて微細なので、ここに弾性材７を充填
することは極めて困難で生産性が低下している。
【００１３】さらに、このインクジェットプリンタヘッ
ド１は、駆動プレート３と流路プレート２とを一体に接
合する際に微細な凸部５と凹部４とを精緻に位置決めす
る必要があるので、さらに生産性が低下している。
【００１４】また、本出願人が提案した特願平3-161172
号のインクジェットプリンタヘッドの製作方法では、駆
動部を連設した櫛歯状の圧力発生手段を圧電性セラミッ
クの射出成形で均質に量産できるようになっている。
【００１５】さらに、本出願人は櫛歯状の圧力発生手段
を圧電性セラミックの型成形の一つである押出成形で形
成することも提案したが、このような押出成形や射出成
形で櫛歯状の圧力発生手段を製作すると、これは駆動部
と平板状の基部との両方が圧電性セラミックで形成され
ることになる。
【００１６】そして、このような圧力発生手段の駆動部
に駆動電力を通電すると基部も電界が作用して変形する
ので、駆動部の動作特性が阻害されてクロストーク等が
発生する懸念がある。このようなクロストークを低減す
る手段としては、駆動部に対して基部を薄型化すること
が考えられるが、これでは型成形で製作する圧力発生手
段に破壊が発生しやすいので生産性が低下することにな
る。さらに、櫛歯状の圧力発生手段を射出成形や押出成
形で製作すると、例えば、一面に駆動部を連設して他面
は平坦な基部が焼成時に湾曲しやすいため、その歩留り
が低下して好ましくない。
【００１７】ここで、上述のようなインクジェットプリ
ンタヘッド等では、一対のプレートを超音波溶着等で接
合すると接合面以外の部分が加熱されず、接合の所要時
間も短いので生産性の向上に寄与することができる。こ
こで、このような超音波溶着は、一般的に接合面にエッ
ジと呼称する微細突起を接合面に突設し、このエッジを
溶融させることで接合を実現しているが、これではエッ
ジを製作するために生産性が低下するので、現在の技術
ではエッジを設けることなく超音波溶着を行なうことも
実施している。
【００１８】そこで、本出願人が図８に例示したような
プレート３２，３３をエッジを設けることなく試作して
超音波溶着で接合したところ、これは凹部３７間に位置
する部分は良好に溶着されるが、凹部３７の外方に位置
する部分を良好に溶着することは困難であることが判明
した。これは、凹部３７間に位置する部分は横幅が小さ
いためにエッジと同様に容易に溶融するが、凹部３７の
外方に位置する部分は横幅が大きいために溶融が困難で
あることに起因しており、この凹部３７の外方の部分が
溶着するまで作業を続行すると凹部３７間に位置する部
分は溶融が過剰になることも判明した。
【００１９】本発明は、高密度化が実現可能で生産性も
良好なインクジェットプリンタヘッドを得るものであ
る。
【００２０】また、本発明は、本体プレートを接合する
時の位置決めを容易にして生産性が良好なインクジェッ
トプリンタヘッドを得るものである。
【００２１】また、本発明は、本体プレートを超音波溶
着で良好に接合することが可能で生産性が良好なインク
ジェットプリンタヘッドを得るものである。
【００２２】また、本発明は、動作特性と生産性とが良
好なインクジェットプリンタヘッドの製作方法を得るも
のである。
【００２３】また、本発明は、クロストークを低減して
生産性が良好なインクジェットプリンタヘッドの製作方
法を得るものである。
【００２４】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
一対の本体プレートを一体に接合する接合面の少なくと
も一方に形成した凹部でオリフィスとインク供給路とが
各々連通した圧力室を形成し、この圧力室に圧力発生手
段の変位自在な加圧面を対向配置したインクジェットプ
リンタヘッドにおいて、圧電性部材で複数の駆動部を連
設した前記圧力発生手段を形成し、この圧力発生手段を
インサートした樹脂部材で前記本体プレートの少なくと
も一方を形成し、この本体プレートの表面に対向配置し
た前記圧力発生手段の圧電性部材の駆動部で前記加圧面
を形成した。
【００２５】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、圧力発生手段をインサートした樹脂部材で
凹部を接合面に形成した本体プレートを形成し、この本
体プレートに接合する本体プレートを平板状に形成し
た。
【００２６】請求項３記載の発明は、二個の本体プレー
トの接合面の各部の横幅を同等とする凹部を前記本体プ
レートの少なくとも一方の接合面に形成して超音波溶着
した。
【００２７】請求項４記載の発明は、所定方向に分極し
た多数の駆動部を表面上に連設した櫛歯状の圧力発生手
段を設け、この圧力発生手段の駆動部をオリフィスとイ
ンク供給路とが連通した圧力室に対向配置し、前記イン
ク供給路から供給して前記圧力室内に保持したインクを
前記圧力発生手段の駆動部の変形で加圧して前記オリフ
ィスから吐出させるインクジェットプリンタヘッドにお
いて、多数の駆動部を基部上に連設した基材を圧電性セ
ラミックの型成形で形成し、この基材を前記駆動部の一
面で非圧電性基板に接合し、この非圧電性基板上に位置
する前記基材の基部を切除して前記圧力発生手段を形成
する。
【００２８】請求項５記載の発明は、所定方向に分極し
た多数の駆動部を表面上に連設した櫛歯状の圧力発生手
段を設け、この圧力発生手段の駆動部をオリフィスとイ
ンク供給路とが連通した圧力室に対向配置し、前記イン
ク供給路から供給して前記圧力室内に保持したインクを
前記圧力発生手段の駆動部の変形で加圧して前記オリフ
ィスから吐出させるインクジェットプリンタヘッドにお
いて、薄板状の基部の表面上に連続的に突設した多数の
駆動部を補強部で連結した基材を圧電性セラミックの型
成形で形成し、この基材を前記基部の裏面で非圧電性基
板に接合し、この非圧電性基板上に位置する前記基材の
補強部を切除して前記圧力発生手段を形成する。
【００２９】
【作用】請求項１記載の発明は、圧力発生手段をインサ
ートする樹脂部材を圧電性部材の駆動部間に確実に充填
できるので、高密度化が実現可能で生産性も良好なイン
クジェットプリンタヘッドを得ることができる。
【００３０】請求項２記載の発明は、平板状の本体プレ
ートを接合する時の位置決めを容易にできるので、生産
性が良好なインクジェットプリンタヘッドを得ることが
できる。
【００３１】請求項３記載の発明は、二個の本体プレー
トの接合面の各部の横幅を同等とする凹部を前記本体プ
レートの少なくとも一方の接合面に形成して超音波溶着
したことにより、二個の本体プレートの接合面の各部が
同等に溶融するので、本体プレートを良好に接合するこ
とが可能で生産性が良好なインクジェットプリンタヘッ
ドを得ることができる等の効果を有するものである。
【００３２】請求項４記載の発明は、圧力発生手段は駆
動部に通電する駆動電力のために非圧電性基板が変形す
ることはないので、駆動部の動作特性が良好でクロスト
ークの発生等も防止できる。さらに、圧電性セラミック
の射出成形や押出成形の焼成時に基材の基部が湾曲する
などしても、この基材を矯正しながら非圧電性基板に接
合して基部を切除することで形状精度が極めて良好な圧
力発生手段を得ることもできるので、動作特性と生産性
とが良好なインクジェットプリンタヘッドの製作方法を
得ることができる。
【００３３】請求項５記載の発明は、圧力発生手段では
補強部で変形防止や強度確保が行なわれた基材の基部を
極度に薄型化してクロストークを極度に低減することが
できるので、クロストークを低減できるので生産性が良
好なインクジェットプリンタヘッドの製作方法を得るこ
とができる。
【００３４】
【実施例】請求項１記載の発明の第一の実施例を図１な
いし図６に基づいて説明する。まず、本実施例のインク
ジェットプリンタヘッド１２は、図１及び図５及び図６
等に例示するように、一対の本体プレートである流路プ
レート１３と駆動プレート１４とを一体に接合した構造
となっており、前記流路プレート１３の接合面にはオリ
フィス１５と圧力室１６とインク流入路１６ａとインク
槽１７とインク供給路１７ｂとを一体に形成する細長い
凹部１８を連設させている。そして、前記駆動プレート
１４は、圧電性セラミックからなる細長い圧電性部材２
８の駆動部１９を表面に連続的に突設した平板状の絶縁
基板２０で圧力発生手段２１を形成し、この圧力発生手
段２１を前記圧電性部材２８の駆動部１９の上面２２が
露出するように樹脂部材２３にインサートした構造とな
っている。そこで、このインクジェットプリンタヘッド
１２では、前記流路プレート１３と前記駆動プレート１
４とを一体に接合することで前記圧力室１６内に前記圧
電性部材２８の駆動部１９の上面２２を対向配置させ、
これら圧電性部材２８の駆動部１９の上面２２を前記圧
力発生手段２１の加圧面としている。なお、このインク
ジェットプリンタヘッド１２では、前記圧電性部材２８
の駆動部１９の上面２２には個別電極２４が形成されて
おり、前記圧電性部材２８の駆動部１９と前記絶縁基板
２０との境界面に共通電極２５を形成している。
【００３５】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド１２では、電極２４，２５間に選択
的に印加する駆動電圧に従って駆動プレート１４の圧電
性部材２８の駆動部１９が突出方向に伸縮するので、こ
の圧電性部材２８の駆動部１９の上面２２の変位で流路
プレート１３の圧力室１６内のインク（図示せず）を加
圧してオリフィス１５から吐出させる。この時、駆動プ
レート１４の樹脂部材２３は伸縮する圧電性部材２８の
駆動部１９と共に変形することになるが、ＰＺＴ(Lead
Zirco Titanate）等の圧電性セラミックからなる圧電性
部材２８の駆動部１９の伸縮は1.0(μm)程度と微少で急
速なので、柔軟な樹脂部材２３は容易に変形することに
なる。なお、このようなインクジェットプリンタヘッド
１２で、圧力室１６内のインクを加圧する手段として
は、印加電圧で圧力発生手段２１の圧電性部材２８の駆
動部１９を急速に突出させることの他、予め印加電圧で
後退させておいた圧電性部材２８の駆動部１９を印加電
圧の停止で急激に初期状態に復元させることなども可能
である。
【００３６】ここで、このインクジェットプリンタヘッ
ド１２の製作方法を図２ないし図６に基づいて以下に説
明する。まず、表裏面にアルミニウム等の金属膜２６，
２７を成膜した平板状のＰＺＴ等の圧電性セラミックか
らなる圧電性部材２８を板厚方向に分極し、図２に例示
するように、この圧電性部材２８をガラスやセラミック
等からなる絶縁基板２０上に、例えば、嫌気性接着剤で
圧接により電気的に接合する。この時、このような接合
としては各種方法が実施可能であり、例えば、導電性接
着剤や金属ソルダーや導電ペースト等を利用することで
金属膜２７を省略することも考えられる。なお、圧電性
部材２８の板厚は0.05〜1.0(mm）程度で望ましくは0.1
〜0.5(mm）となっており、その長さは1.0 〜30(mm)程度
となっている。
【００３７】つぎに、上述のように絶縁基板２０上に一
体化された圧電性部材２８をダイシング加工で分断する
ことで、図３に例示するように、複数の駆動部１９を表
面に連設した圧力発生手段２１を形成する。この時、分
断された圧電性部材２８の駆動部１９の横幅は0.05〜1.
0(mm）とされ、これらの圧電性部材２８の駆動部１９を
確実に分断するためにダイシング加工は圧電性部材２８
の板厚よりも微少に深く行なわれる。そして、このよう
にして圧電性部材２８と共に金属膜２６，２７を分断す
ることで、これらの金属膜２６，２７は各圧電性部材２
８の駆動部１９の電極２４，２５となる。この時、これ
らの電極２４，２５は、例えば、既存の薄膜技術で絶縁
基板２０の後縁部までプリント配線等で延長できる。
【００３８】なお、ここでは絶縁基板２０の全長にダイ
シング加工を行なうことで説明したが、このようなダイ
シング加工は圧電性部材２８を分断できれば絶縁基板２
０には不要である。さらに、この絶縁基板２０と圧電性
部材２８の駆動部１９とからなる圧力発生手段２１と同
一形状の圧力発生手段（図示せず）を、例えば、圧電性
セラミックの射出成形で一体に形成することも実施可能
である。
【００３９】つぎに、上述のようにして形成した圧力発
生手段２１を樹脂部材２３にインサートして射出成形す
ることで、図４に例示するように、表面に圧電性部材２
８の駆動部１９の上面２２が露出した駆動プレート１４
を形成する。この時、樹脂部材２３の後端面から絶縁基
板２０の後縁部を突出させることで、この絶縁基板２０
の後縁部まで延長している電極２４，２５に駆動電源
（図示せず）をＦＰＣ(Flexible Printed Circuit)等で
接続できる。
【００４０】なお、ここでは駆動プレート１４の樹脂部
材２３の表面に圧力発生手段２１の圧電性部材２８の駆
動部１９の上面２２が露出することを例示したが、この
ような圧電性部材２８の駆動部１９の上面２２を樹脂部
材２３の薄膜下に位置させることや、露出した圧電性部
材２８の駆動部１９の上面２２上に専用の保護膜（図示
せず）を成膜することなども可能であり、このようにす
ることでインクによる個別電極２４の腐蝕を防止するこ
とができる。また、このような駆動プレート１４の樹脂
部材２３は、成形性、インクに対する耐蝕性、流路プレ
ート１３との接合性、弾性率、硬度等を考慮して選択す
る。例えば、ＰＰＳ(Polyphenylenesulfide)、ＰＥＳ(P
olyethersulfone)、ＰＳＦ(Polysulfone）、ＰＰＯ(Pol
yphenylene Oxide）、ＰＰＥ(Polyphenylen Ether)、Ｐ
ＥＥＫ(Polyethereetherketone)、ＰＥＴ(Polyethylene
terephthalate）、ＰＢＴ(Polybutyleneterephthalat
e）、ＰＭＰ(Polymethylpentene）等が利用可能であ
る。なお、このような樹脂部材２３の成形温度が圧力発
生手段２１の圧電性部材２８の駆動部１９のキュリー点
より低ければ分極を維持できるので望ましいが、樹脂部
材２３の射出成形後でも駆動プレート１４にインサート
された圧力発生手段２１の圧電性部材２８の駆動部１９
を電極２４，２５への通電で分極することは容易であ
る。
【００４１】そして、上述のような駆動プレート１４と
は別に、オリフィス１５と圧力室１６とインク流入路１
６ａとインク槽１７とインク供給路１７ｂとなる凹部１
８を連設した流路プレート１３を樹脂やセラミック等の
射出成形で形成し、図５に例示するように、この流路プ
レート１３と駆動プレート１４とを一体に接合すること
で、図６に例示するように、前面にオリフィス１５を連
設したインクジェットプリンタヘッド１２を得ることが
できる。
【００４２】このようにすることで、このインクジェッ
トプリンタヘッド１２では、駆動プレート１４の圧電性
部材２８の駆動部１９間を柔軟な樹脂部材２３で充填し
て接合面を平坦に成形することで、流路プレート１３の
圧力室１６を良好に密閉してインクを高効率に加圧する
ようになっている。そして、このインクジェットプリン
タヘッド１２では、印刷品質を向上させるために流路プ
レート１３のオリフィス１５や圧力室１６等と共に駆動
プレート１４の圧力発生手段２１の圧電性部材２８の駆
動部１９を高密度化しても、この圧力発生手段２１をイ
ンサートする樹脂部材２３を圧電性部材２８の駆動部１
９間に確実に充填できるので生産性が極めて良好であ
る。
【００４３】なお、このインクジェットプリンタヘッド
１２では、例えば、流路プレート１３に凹部１８として
形成するオリフィス１５の横幅と深さとは0.02〜0.08(m
m)程度で、圧力室１６の横幅は0.05〜1.0(mm）程度で深
さは0.02〜0.2(mm）程度となり、このような寸法の凹部
１８は樹脂の射出成形で容易に形成することができる。
また、このような流路プレート１３の圧力室１６の横幅
や前後長は、駆動プレート１４の圧電性部材２８の駆動
部１９の上面２２と同一か微少に大きい寸法で形成さ
せ、この圧電性部材２８の駆動部１９や圧力室１６の前
後長でインク滴の吐出性能を調節することができる。
【００４４】なお、このような流路プレート１３の材料
は、駆動プレート１４の場合と同様に成形性、インクに
対する耐蝕性、駆動プレート１４との接合性、弾性率、
硬度等を考慮して選択するが、駆動プレート１４の樹脂
部材２３は圧力発生手段２１の圧電性部材２８の駆動部
１９と共に良好に変形するように柔軟性が要求されるの
に対し、流路プレート１３の材料は圧力損失を防止する
ために硬度が要求される。しかし、互いの接合性や温度
変化による伸長や生産性などを考慮すると流路プレート
１３と駆動プレート１４とを同一材料で形成することが
望ましいので、例えば、駆動プレート１４の樹脂部材２
３と同一の柔軟な樹脂にガラスフィラーを混入した硬質
な複合材で流路プレート１３を形成することなどが実施
可能である。なお、このような流路プレート１３は板厚
0.5 〜5.0(mm）程度に形成され、その凹部１８を遮蔽し
ない溶着等で駆動プレート１４と接合することができれ
ば材料を共通化することは要しない。
【００４５】さらに、このようなインクジェットプリン
タヘッド１２では、インク内の気泡（図示せず）を良好
に排出するため、インクに対するオリフィス１５や圧力
室１６の親液性が良好な材料でプレート１３，１４を形
成することが望ましい。この時、樹脂はガラス、金属及
びセラミックよりも親液性が低いが、これは既存の技術
であるプラズマ処理やグラフト重合等によって容易に改
善することができる。一方、オリフィス１５が位置する
プレート１３，１４の前面は、インク滴が良好に吐出さ
れるように親液性が低いことが要望されるので、上述の
ような親液性を向上させるための処理を行なう場合は、
プレート１３，１４の前面をマスクすることや、処理後
にプレート１３，１４の前面を研磨することが望まし
い。さらに、このようなインクジェットプリンタヘッド
１２の前面に既存の技術であるフッ素雰囲気中でのプラ
ズマ処理を行なうことで、よりインクに対する親液性を
低下させることも実施可能である。
【００４６】また、本実施例のインクジェットプリンタ
ヘッド１２では、駆動プレート１４に圧力発生手段２１
をインサートして流路プレート１３に凹部１８を形成す
ることを例示したが、本発明は上記構造に限定するもの
ではなく、一対の本体プレートの両方に凹部を形成する
ことや圧力発生手段をインサートすることなども実施可
能である。
【００４７】さらに、第二の実施例としては図７に例示
するように、駆動プレート１４の圧電性部材２８の駆動
部１９の二個に対して一個の割合で圧力室１６を形成し
た流路プレート２９を設けることで、圧力室１６と対向
しない駆動プレート１４の圧電性部材２８の駆動部１９
を流路プレート２９の支柱とするインクジェットプリン
タヘッド３０なども実施可能である。このようにするこ
とで、流路プレート２９を柔軟な樹脂部材２３の他に強
固な圧電性部材２８の駆動部１９も支持するので、経年
変化等による流路プレート２９の変形を防止することが
できる。
【００４８】なお、上述したインクジェットプリンタヘ
ッド１２等では、プレート１３，１４等を一体に接合す
る際に微細な圧力室１６と圧電性部材２８の駆動部１９
とを精緻に位置決めする必要はある。そこで、このよう
な課題を解決したインクジェットプリンタヘッドとし
て、請求項１及び２記載の発明の第三の実施例を図８な
いし図１１に基づいて説明する。なお、前述したインク
ジェットプリンタヘッド１２等と同一の部分は同一の名
称及び符号を用いて説明も省略する。
【００４９】まず、本実施例のインクジェットプリンタ
ヘッド３１は、図８、図１０及び図１１等に例示するよ
うに、一対の本体プレートであるカバープレート３２と
メインプレート３３とを一体に接合した構造となってお
り、前記カバープレート３２は単純な平板として形成さ
せている。一方、前記メインプレート３３は、オリフィ
ス３４と圧力室３５とインク流入路３５ａとインク槽３
６とインク供給路３６ａとを一体に形成する細長い凹部
３７を接合面に連設させている。この凹部３７の圧力室
３５内に圧電性部材２８の駆動部１９の上面２２が露出
するように圧力発生手段２１を樹脂部材３８にインサー
トしている。
【００５０】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド３１では、電極２４，２５間に選択
的に印加する駆動電圧に従ってメインプレート３３の圧
電性部材２８の駆動部１９が突出方向に伸縮するので、
この圧電性部材２８の駆動部１９の上面２２の変位で圧
力室３５内のインク（図示せず）を加圧させてオリフィ
ス３４から吐出させる。
【００５１】ここで、このインクジェットプリンタヘッ
ド３１の製作方法を図９ないし図１１に基づいて以下に
説明する。まず、前述したインクジェットプリンタヘッ
ド１２と同様に、表裏面に金属膜２６，２７を成膜した
平板状の圧電性部材２８を板厚方向に分極して絶縁基板
２０上に接合し、この絶縁基板２０上の圧電性部材２８
をダイシング加工で駆動部１９に分断して圧力発生手段
２１を形成する。
【００５２】つぎに、上述のようにして形成した圧力発
生手段２１を樹脂部材３８にインサートして射出成形す
ることで、図９に例示するように、接合面に凹部３７を
連設させて圧力室３５内に圧電性部材２８の駆動部１９
の上面２２が露出したメインプレート３３を形成する。
なお、このようなメインプレート３３の樹脂部材３８
は、成形性、インクに対する耐蝕性、カバープレート３
２との接合性、弾性率、硬度等を考慮して選択させる
が、請求項１記載の発明の実施例として前述したインク
ジェットプリンタヘッド１２では、圧力発生手段２１の
圧電性部材２８の駆動部１９間の充填が主目的である樹
脂部材２３は柔軟性を重要視するのに対し、本実施例の
インクジェットプリンタヘッド３１では、圧力室３５等
の形成も目的とする樹脂部材３８は弾性と硬度とをバラ
ンスさせる必要がある。そこで、このようなメインプレ
ート３３の樹脂部材３８の材料としては、ＰＥＴやＰＢ
ＴやＰＭＰなどのように極めて柔軟な樹脂は好適ではな
いので、例えば、ＰＰＳ、ＰＥＳ、ＰＳＦ、ＰＰＯ、Ｐ
ＰＥ、ＰＥＥＫ等の利用が考えられる。しかし、例え
ば、このような樹脂の弾性率や硬度等はガラスフィラー
の混入で調整可能であるので、このような処理加工を行
なうことで各種の材料が利用可能である。
【００５３】そして、図１０に例示するように、上述の
ようなメインプレート３３とは別に用意したガラス基板
やセラミック基板等からなるカバープレート３２をメイ
ンプレート３３上に一体に接合することで、図１１に例
示するように、前面にオリフィス３４を連設させたイン
クジェットプリンタヘッド３１を得ることができる。
【００５４】このようにすることで、このインクジェッ
トプリンタヘッド３１では、メインプレート３３の圧電
性部材２８の駆動部１９間は柔軟な樹脂部材３８を充填
させているので、圧力室３５内のインクを高効率に加圧
することができる。そして、このインクジェットプリン
タヘッド３１では、印刷品質を向上させるためにオリフ
ィス３４や圧力室３５等と共にメインプレート３３の圧
力発生手段２１の圧電性部材２８の駆動部１９を高密度
化しても、この圧力発生手段２１をインサートする樹脂
部材３８を圧電性部材２８の駆動部１９間に確実に充填
できるので生産性が極めて良好である。
【００５５】そして、このインクジェットプリンタヘッ
ド３１では、圧力発生手段２１をインサートしたメイン
プレート３３に圧力室３５等となる凹部３７を形成させ
てカバープレート３２は平板なので、このカバープレー
ト３２とメインプレート３３とは位置決めを容易に接合
することができ、その作業が簡易で生産性が極めて良好
である。なお、実際にはオリフィス３４が位置するイン
クジェットプリンタヘッド３１の前面は平面である必要
があるので、この位置ではプレート３２，３３を位置決
めする必要があるが、これも接合後に前面を研磨等する
ことで位置決め精度を低下させて生産性を向上させるこ
とができる。
【００５６】ここで、上述したインクジェットプリンタ
ヘッド３１等では、一対のプレート３２，３３を超音波
溶着等で接合すると接合面以外の部分が加熱されず、接
合の所要時間も短いので生産性の向上に寄与することが
できる。そこで、このようなインクジェットプリンタヘ
ッドとして、請求項１ないし３記載の発明の実施例を図
１２及び図１３に基づいて説明する。なお、前述したイ
ンクジェットプリンタヘッド３１と同一の部分は同一の
名称及び符号を用いて説明も省略する。まず、このイン
クジェットプリンタヘッド３９では、一対の本体プレー
トであるカバープレート３２とメインプレート４０とを
超音波溶着で一体に接合した構造となっており、このメ
インプレート４０は、オリフィス３４や圧力室３５等を
一体に形成する細長い凹部３７の外方や幅広の間隙など
に凹部４１〜４３を形成することで、その接合面の各部
の横幅が同等となっている。
【００５７】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド３９では、前述したインクジェット
プリンタヘッド３１と同様に、メインプレート４０の圧
電性部材２８の駆動部１９を伸縮させて圧力室３５内の
インク（図示せず）をオリフィス３４から吐出させる。
【００５８】そして、このインクジェットプリンタヘッ
ド３９は、やはり前述したインクジェットプリンタヘッ
ド３１と同様にプレート３２，４０を製作するが、これ
らのプレート３２，４０を超音波溶着で接合するように
なっている。この時、このインクジェットプリンタヘッ
ド３９では、メインプレート４０は凹部３７，４１〜４
３によって接合面の各部の横幅が同等となっているの
で、この接合面では超音波溶着による溶融が各部で同等
に生じることになり、その接合面にエッジを設けること
なく各部でカバープレート３２に超音波溶着で良好に接
合することになる。
【００５９】なお、このインクジェットプリンタヘッド
３９では、オリフィス３４や圧力室３５となる凹部３７
の他にも凹部４１〜４３を形成することで実質的にメイ
ンプレート４０を肉抜きすることにもなるので、これは
軽量化にも寄与することができ、さらに、このようにし
て形成した凹部４１〜４３をインク槽などに利用するこ
とも実施可能である。また、このインクジェットプリン
タヘッド３９では、プレート３２，４０の接合面の横幅
を各部で同等にする凹部４１〜４３を凹部３７と共にメ
インプレート４０に形成することで生産性向上に寄与す
ることを例示したが、このような凹部４１〜４３をカバ
ープレート３２に形成することも実施可能である。
【００６０】つぎに、請求項４記載の発明の実施例を図
１４ないし図２１に基づいて説明する。まず、ここで例
示するインクジェットプリンタヘッド４４では、図１５
に例示するように、上面に所定形状の凹凸を形成させた
流路プレート４５と、弾力性を有する薄板状の振動板４
６と、下面に多数の駆動部４７を連設させた櫛歯状の圧
力発生手段４８と、下面に凹部４９を形成させたカバー
プレート５０とを順次接合した構造となっている。ここ
で、このインクジェットプリンタヘッド４４では、前記
流路プレート４５の凹部を前記振動板４６で密閉するこ
とでオリフィス５１や圧力室５２等を形成させており、
この圧力室５２上の位置で前記振動板４６に前記圧力発
生手段４８の駆動部４７が当接している。そして、この
インクジェットプリンタヘッド４４の圧力発生手段４８
は、圧電性セラミックで形成させて上下方向に分極した
前記駆動部４７を別体の非圧電性基板５３上に接合した
構造となっており、図１６に例示するように、前記駆動
部４７の端面と裏面とには電極５４，５５を形成させて
いる。
【００６１】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド４４では、駆動電力を電極５４，５
５間に通電すると圧力発生手段４８の駆動部４７は上下
方向に伸縮して振動板４６の所定位置を上下方向に変位
させるので、この振動板４６下に位置する所定の圧力室
５２内のインク（図示せず）を加圧させてオリフィス５
１から吐出させる。
【００６２】ここで、上述のようなインクジェットプリ
ンタヘッド４４の各部の製作方法の一例を以下に詳述す
る。まず、前記圧力発生手段４８の圧電性セラミックを
ＰＺＴで形成する場合、ＴｉＯ2 とＰｂＯとＺｒＯ2 及
び特性改善剤からなるセラミック原料を混合して乾燥さ
せ、これを仮焼してから有機バインダと混練する。そし
て、これを粉砕して形成した成形材料である粉体を、射
出成形機で所定形状の金型内に注入して櫛歯状の成形品
（グリーン成形体）を形成する。そこで、この成形品内
の有機成分を脱脂炉で揮発させてから焼成（本焼結）す
ることで、図１４（ａ）に例示するように、平板状の基
部５６の表面上に直方体状の駆動部４７を連続的に突設
させた基材５７を形成し、同図（ｂ）に例示するよう
に、この基材５７の駆動部４７の端面上に電極５５を既
存の薄膜技術で形成する。つぎに、同図（ｃ）に例示す
るように、基材５７を駆動部４７の端面の電極５５で非
圧電性基板５３上に接合し、同図（ｄ）に例示するよう
に、この非圧電性基板５３上に駆動部４７のみが残存す
るように基材５７の基部５６を研磨加工やダイシング加
工等で切除することで、別体の非圧電性基板５３上に多
数の駆動部４７を連設させた櫛歯状の圧力発生手段４８
を形成させる。
【００６３】なお、上述のようにして型成形の一つであ
る射出成形で櫛歯状に形成した圧力発生手段４８は、所
望により研磨等の仕上加工を施し、その駆動部４７の端
面に電極５４を形成させる。そして、この圧力発生手段
４８を80〜120(℃）のシリコンオイル内に配置して各電
極５４，５５間に２〜５(kＶ／mm）の電界を印加するこ
とで、この圧力発生手段４８の駆動部４７を電極５４，
５５の対向方向に分極させる。なお、上述のような圧力
発生手段４８は、ＰＺＴの二成分系に複合ペロブスカイ
ト酸化物を加えた三成分系でも実施可能である。
【００６４】また、このインクジェットプリンタヘッド
４４では、圧力発生手段４８の基材５７を圧電性セラミ
ックの射出成形で形成させているので生産性が極めて良
好である。そして、このように射出成形で製作した櫛歯
状の基材５７は、一面に駆動部４７を連設させて他面は
平坦な形状となっているので焼成時に湾曲しやすいが、
この場合でも基材５７を矯正しながら非圧電性基板５３
に接合して基部５６を切除することで形状精度が極めて
良好な圧力発生手段４８を得ることができる。
【００６５】さらに、このインクジェットプリンタヘッ
ド４４では、上述のようにして製作した圧力発生手段４
８は圧電性セラミック製の駆動部４７を非圧電性基板５
３上に連設させた構造となるので、駆動部４７に通電す
る駆動電力のために非圧電性基板５３が変形することは
なく、駆動部４７の動作特性が良好でクロストークの発
生等も防止できる。
【００６６】また、このようなインクジェットプリンタ
ヘッド４４において、圧力室５２やオリフィス５１を形
成するプレート４５，５０等もセラミックの射出成形で
形成することで、その生産性や形状精度及び耐久性を向
上させることも実施可能である。なお、このインクジェ
ットプリンタヘッド４４では、圧力発生手段４８の駆動
部５８の基材５７は断面形状が均一なので、これは射出
成形の他に押出成形でも製作可能である。
【００６７】さらに、本実施例では圧力発生手段４８の
駆動部４７が振動板４６を介して圧力室５２に対向する
形状のインクジェットプリンタヘッド４４を例示した
が、本発明は上記構造に限定するものではなく、図１７
及び図１８に例示するように、駆動部５８が圧力室５９
に直接的に対向するインクジェットプリンタヘッド６０
なども実施可能である。このインクジェットプリンタヘ
ッド６０は、図１７に例示するように、非圧電性基板６
１の下面に圧電性セラミック製の駆動部５８を連設した
圧力発生手段６２と、上面に凹凸を形成させた流路プレ
ート６３とを一体に接合し、この流路プレート６３の凹
部からなる圧力室５９と連通する位置にオリフィス６４
を形成させたオリフィスプレート６５を、一体に接合さ
せた前記圧力発生手段６２と流路プレート６３との前面
に取付けた構造となっている。なお、このインクジェッ
トプリンタヘッド６０でも、図１８に例示するように、
前記圧力発生手段６２の駆動部５８を上下方向に分極し
て端面と裏面とに電極６６，６７を形成させているの
で、これらの電極６６，６７間に駆動電力を通電すると
駆動部５８が上下方向に伸縮して圧力室５９内のインク
がオリフィス６４から吐出することになる。
【００６８】さらに、上述したインクジェットプリンタ
ヘッド４４，６０では、駆動部４７，５８や圧力室５
２，５９等を平行に連設することを例示したが、本発明
は上記構造に限定するものでもなく、図１９に例示する
ように、円弧状の非圧電性基板６８上に駆動部６９を放
射状に配置した圧力発生手段７０を設け、駆動部６９や
圧力室に対してオリフィスを高密度配置したインクジェ
ットプリンタヘッド（図示せず）なども実施可能であ
る。また、このような圧力発生手段７０の駆動部６９の
基材（図示せず）は断面形状が均一でないため、これは
押出成形では製作不能で射出成形で製作することにな
る。
【００６９】さらに、本実施例のインクジェットプリン
タヘッド４４等では、基材５７の平板状の基部５６の表
面上に連設させた直方体状の駆動部４７を端面で非圧電
性基板５３等に接合することを例示したが、本発明は上
記形式に限定するものではなく、基部に連設した駆動部
を一面で非圧電性基板に接続すれば良い。
【００７０】つまり、図２０（ａ）に例示するように、
横方向に細長い基部７１の前面に前後方向に細長い駆動
部７２を連設させた基材７３を型成形である射出成形や
押出成形で形成し、同図（ｂ),（ｃ）に例示するよう
に、この圧電性セラミック製の基材７３を駆動部７２の
上下面に電極７４，７５を形成してから下面で非圧電性
基板である非圧電性基板５３上に接合し、同図（ｄ）に
例示するように、この非圧電性基板５３上に駆動部７２
のみが残存するように基材７３の基部７１を研磨加工や
ダイシング加工等で切除することでも、一個の非圧電性
基板５３上に多数の駆動部７２を連設して圧力発生手段
７６を形成することができる。
【００７１】なお、上述したように射出成形で製作した
櫛歯状の基材５７，７３等は、一面に駆動部４７，７２
を連設させて他面は平坦な形状なので焼成時に湾曲しや
すいため、このような基材５７，７３は焼成後の形状を
矯正するなどして非圧電性基板５３に接合する必要があ
る。
【００７２】そこで、このような課題を解決する手段と
しては、図２１（ａ）に例示するように、薄板状の基部
７７の表面上に連続的に突設させた前後方向に細長い多
数の駆動部７８の前後端部を、ここでは基部の一部であ
る横方向に細長い補強部７９で連結した基材８０を圧電
性セラミックの射出成形で形成することも実施可能であ
る。この場合、この基材８０を、前後方向に細長い凹部
８１を横方向に連設させた平板状に形成することにな
り、同図（ｂ）に例示するように、この圧電性セラミッ
ク製の基材８０の上面に電極８２を形成してから、同図
（ｃ）に例示するように、この基材８０の上下を反転さ
せて駆動部７８を凹部８１間に位置する表面で非圧電性
基板５３上に電極８２を介して接合することになる。そ
して、同図（ｄ）に例示するように、この非圧電性基板
５３上に駆動部７８のみが残存するように基材８０の基
部７７と補強部７９とを研磨加工やダイシング加工等で
切除することでも、一個の非圧電性基板５３上に多数の
駆動部７８を連設して圧力発生手段８３を形成すること
ができる。
【００７３】そして、上述のようにして製作した圧力発
生手段７６，８３も圧電性セラミック製の駆動部７２，
７８を個々に分断させて非圧電性基板５３上に連設させ
た構造となるので、駆動部７２，７８に通電する駆動電
力のために非圧電性基板５３が変形することはなく、駆
動部７２，７８の動作特性が良好でインクジェットプリ
ンタヘッド（図示せず）のクロストークも防止できる。
さらに、上述した圧力発生手段８３の基材８０は、多数
の駆動部７８の前後端部を補強部７９で連結した構造と
なっているので基部７７を極度に薄型化しても強度を確
保することができ、このような基部７７を除去しない形
態の圧力発生手段を形成しても、そのクロストークを実
用上は問題とならない程度に低減することが可能であ
る。
【００７４】そこで、このような圧力発生手段を、ここ
では請求項５記載の発明の実施例として図２２に基づい
て説明する。まず、同図（ａ）に例示するように、前述
した圧力発生手段８３と同様に、薄板状の基部７７の表
面上に連続的に突設させた前後方向に細長い多数の駆動
部７８の前後端部を横方向に細長い補強部７９で連結し
た基材８０を圧電性セラミックの射出成形で形成する。
つぎに、同図（ｂ）に例示するように、この圧電性セラ
ミック製の基材８０の基部７７の下面に電極８４を形成
してから、同図（ｃ）に例示するように、この基材８０
を非圧電性基板５３上に電極８４を介して下面で接合
し、同図（ｄ）に例示するように、この非圧電性基板５
３上に駆動部７８と基部７７とが残存するように基材８
０の補強部７９のみを研磨加工やダイシング加工等で切
除する。
【００７５】このようにすることで、この圧力発生手段
８５では、底部を基部７７で連結させた多数の駆動部７
８を一個の非圧電性基板５３上に連設することになる
が、前述したように基部７７を極度に薄型化することで
クロストークを実用上は問題とならない程度に低減する
ことができる。さらに、この圧力発生手段８５の基材８
０は、多数の駆動部７８の前後端部を補強部７９で連結
した構造となっているので、基部７７を極度に薄型化し
ても強度を確保することができ、その焼成時の変形も防
止できるので非圧電性基板５３上に接合する際に矯正す
るような必要がなく、インクジェットプリンタヘッド
（図示せず）の生産性の向上に寄与することができる。
【００７６】なお、本発明で云う型成形とは、射出成形
と押出成形との何れか一方を意味しており、プレス加工
などを内包するものではない。
【００７７】
【発明の効果】請求項１記載の発明は、圧電性部材で複
数の駆動部を連設した圧力発生手段を形成し、この圧力
発生手段をインサートした樹脂部材で本体プレートの少
なくとも一方を形成し、この本体プレートの表面に対向
配置した圧力発生手段の圧電性部材の駆動部で加圧面を
形成したことにより、圧力発生手段をインサートする樹
脂部材は圧電性部材の駆動部間に確実に充填できるの
で、高密度化が実現可能で生産性も良好なインクジェッ
トプリンタヘッドを得ることができる等の効果を有する
ものである。
【００７８】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、圧力発生手段をインサートした樹脂部材で
凹部を接合面に形成した本体プレートを形成し、この本
体プレートに接合する本体プレートを平板状に形成した
ことにより、平板状の本体プレートを接合する時の位置
決めを容易にできるので、生産性が良好なインクジェッ
トプリンタヘッドを得ることができる等の効果を有する
ものである。
【００７９】請求項３記載の発明は、二個の本体プレー
トの接合面の各部の横幅を同等とする凹部を本体プレー
トの少なくとも一方の接合面に形成して超音波溶着した
ことにより、二個の本体プレートを接合すると接合面の
各部が同等に溶融するので、本体プレートを良好に接合
することが可能で生産性が良好なインクジェットプリン
タヘッドを得ることができる等の効果を有するものであ
る。
【００８０】請求項４記載の発明は、多数の駆動部を基
部上に連設した基材を圧電性セラミックの型成形で形成
し、この基材を駆動部の一面で非圧電性基板に接合し、
この非圧電性基板上に位置する基材の基部を切除して圧
力発生手段を形成することにより、この圧力発生手段は
駆動部に通電する駆動電力のために非圧電性基板が変形
することはないので、駆動部の動作特性が良好でクロス
トークの発生等も防止でき、さらに、圧電性セラミック
の射出成形や押出成形の焼成時に基材の基部が湾曲する
などしても、この基材を矯正しながら非圧電性基板に接
合して基部を切除することで形状精度が極めて良好な圧
力発生手段を得ることもできるので、動作特性と生産性
とが良好なインクジェットプリンタヘッドの製作方法を
得ることができる等の効果を有する。
【００８１】請求項５記載の発明は、薄板状の基部の表
面上に連続的に突設した多数の駆動部を補強部で連結し
た基材を圧電性セラミックの型成形で形成し、この基材
を基部の裏面で非圧電性基板に接合し、この非圧電性基
板上に位置する基材の補強部を切除して圧力発生手段を
形成することにより、この圧力発生手段では補強部で変
形防止や強度確保が行なわれた基材の基部を極度に薄型
化してクロストークを極度に低減することができるの
で、クロストークが低減できて生産性が良好なインクジ
ェットプリンタヘッドの製作方法を得ることができる等
の効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】請求項１記載の発明の第一の実施例のインクジ
ェットプリンタヘッドを示す縦断正面図である。
【図２】製作過程の本体プレートである駆動プレートを
示す斜視図である。
【図３】次段階の製作過程の駆動プレートを示す斜視図
である。
【図４】完成した駆動プレートを示す斜視図である。
【図５】インクジェットプリンタヘッドを示す分解斜視
図である。
【図６】斜視図である。
【図７】請求項１記載の発明の第二の実施例のインクジ
ェットプリンタヘッドを示す縦断正面図である。
【図８】請求項１及び２記載の発明の第三の実施例のイ
ンクジェットプリンタヘッドを示す縦断正面図である。
【図９】製作過程で完成したメインプレートを示す斜視
図である。
【図１０】インクジェットプリンタヘッドを示す分解斜
視図である。
【図１１】斜視図である。
【図１２】請求項１ないし３記載の発明の実施例のイン
クジェットプリンタヘッドを示す縦断正面図である。
【図１３】本体プレートであるメインプレートを示す平
面図である。
【図１４】請求項４記載の発明の実施例を示す製作工程
図である。
【図１５】インクジェットプリンタヘッドを示す分解斜
視図である。
【図１６】縦断正面図である。
【図１７】変形例を示す分解斜視図である。
【図１８】縦断正面図である。
【図１９】他の変形例の圧力発生手段を示す平面図であ
る。
【図２０】変形例を示す製作工程図である。
【図２１】他の変形例を示す製作工程図である。
【図２２】請求項５記載の発明の実施例を示す製作工程
図である。
【図２３】従来例のインクジェットプリンタヘッドを示
す縦断正面図である。
【符号の説明】
１２，３０，３１，３９，４４，６０ インクジ
ェットプリンタヘッド １３，１４，２９，３２，３３ 本体プレ
ート １５，３４，５１，６４ オリフィ
ス １６，３５，５２，５９ 圧力室 １８，３７，４１〜４３，４９，８１ 凹部 １９，４７，５８，６９，７２，７８ 駆動部 ２１，４８，６２，７０，７６，８３，８５ 圧力発生
手段 ２２ 加圧面 ２３，３８ 樹脂部材 ５３，６１，６８ 非圧電性
基板 ５６，７１，７７ 基部 ５７，７３，８０ 基材 ７９ 補強部
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年１２月２５日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正内容】
【図７】
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正内容】
【図８】

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 一対の本体プレートを一体に接合する接
    合面の少なくとも一方に形成した凹部でオリフィスとイ
    ンク供給路とが各々連通した圧力室を形成し、この圧力
    室に圧力発生手段の変位自在な加圧面を対向配置したイ
    ンクジェットプリンタヘッドにおいて、圧電性部材で複
    数の駆動部を連設した前記圧力発生手段を形成し、この
    圧力発生手段をインサートした樹脂部材で前記本体プレ
    ートの少なくとも一方を形成し、この本体プレートの表
    面に対向配置した前記圧力発生手段の圧電性部材の駆動
    部で前記加圧面を形成したことを特徴とするインクジェ
    ットプリンタヘッド。
  2. 【請求項２】 圧力発生手段をインサートした樹脂部材
    で凹部を接合面に形成した本体プレートを形成し、この
    本体プレートに接合する本体プレートを平板状に形成し
    たことを特徴とする請求項１記載のインクジェットプリ
    ンタヘッド。
  3. 【請求項３】 二個の本体プレートの接合面の各部の横
    幅を同等とする凹部を前記本体プレートの少なくとも一
    方の接合面に形成して超音波溶着したことを特徴とする
    請求項１及び２記載のインクジェットプリンタヘッド。
  4. 【請求項４】 所定方向に分極した多数の駆動部を表面
    上に連設した櫛歯状の圧力発生手段を設け、この圧力発
    生手段の駆動部をオリフィスとインク供給路とが連通し
    た圧力室に対向配置し、前記インク供給路から供給して
    前記圧力室内に保持したインクを前記圧力発生手段の駆
    動部の変形で加圧して前記オリフィスから吐出させるイ
    ンクジェットプリンタヘッドにおいて、多数の駆動部を
    基部上に連設した基材を圧電性セラミックの型成形で形
    成し、この基材を前記駆動部の一面で非圧電性基板に接
    合し、この非圧電性基板上に位置する前記基材の基部を
    切除して前記圧力発生手段を形成することを特徴とする
    インクジェットプリンタヘッドの製作方法。
  5. 【請求項５】 所定方向に分極した多数の駆動部を表面
    上に連設した櫛歯状の圧力発生手段を設け、この圧力発
    生手段の駆動部をオリフィスとインク供給路とが連通し
    た圧力室に対向配置し、前記インク供給路から供給して
    前記圧力室内に保持したインクを前記圧力発生手段の駆
    動部の変形で加圧して前記オリフィスから吐出させるイ
    ンクジェットプリンタヘッドにおいて、薄板状の基部の
    表面上に連続的に突設した多数の駆動部を補強部で連結
    した基材を圧電性セラミックの型成形で形成し、この基
    材を前記基部の裏面で非圧電性基板に接合し、この非圧
    電性基板上に位置する前記基材の補強部を切除して前記
    圧力発生手段を形成することを特徴とするインクジェッ
    トプリンタヘッドの製作方法。
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