JPH0664180U - Ｉｃハンドラにおける搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ＩＣハンドラのデバイス搬送において、被測
定物の供給、供給側から測定部への被測定物の搬送、測
定、測定部から回収側への被測定物の搬送、測定された
被測定物の回収の一連の操作で、測定終了から次に搬送
された被測定物の測定開始までのインデックスタイムを
短くすることを目的としている。 【構成】 上記目的を達成するために、本考案において
は、供給側ステージ、測定部、回収側ステージを一つの
円周上に位置し、その各部の上部に搬送部が位置するよ
うに回転する搬送アームを構成する。各搬送部は、吸着
部、上下機構を具備し、被測定物を吸着、固定、開放す
る。これにより、インデックスタイムは、搬送アームが
一方向に一回回転し、吸着部が一回上下する時間のみに
なる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、供給側ステージから測定部、測定部から回収側ステージへ被測定 物を同時に搬送し、測定部での被測定物の測定終了から次に搬送する被測定物の 測定開始までの時間であるインデックスタイムを短縮するＩＣハンドラにおける 搬送装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来のＩＣハンドラにおける測定部へのデバイス搬送は、図３に示すように行 う。

【０００３】 つまり、図３（ａ）に示すように、まず搬送アームを下方に下げ供給側ステー ジ上の被測定物と測定部上の測定を終了した被測定物を吸着する。搬送アームは 被測定物を吸着したまま上方に戻り、続いて左方に搬送する。

【０００４】 さらに、図３（ｂ）に示すように、搬送アームを下方に下げる事で次に測定す る被測定物を測定部に測定のため固定し、同時に測定を終了した被測定物を回収 側ステージに開放する。その後、固定された被測定物を測定中に次に搬送される 被測定物を供給側ステージに供給する。測定が終了すると搬送アームは上方に戻 り、続いて右方に移動する。この間に、回収側ステージ上の測定を終了した被測 定物を回収する。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

従来のデバイス搬送においては、供給側から測定部への被測定物の搬送と、測 定部から回収側への被測定物の搬送、及び、被測定物の測定中に供給側へ次に測 定する被測定物の供給を同時に行うが、次に測定する被測定物の吸着には、搬送 アームが右方に戻る必要がある。このため、インデックスタイムが長くなるとい う問題点があった。

【０００６】 本考案は、このインデックスタイムを短くすることを目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、本考案においては、供給側ステージ、測定部、回 収側ステージを一つの円周上に位置し、その各部の上部に搬送部が位置するよう に回転する搬送アームを構成する。各搬送部は、吸着部、上下機構を具備し、被 測定物を吸着、固定、開放する。

【０００８】

【作用】

供給側ステージ上の搬送部は、プレスにより吸着部を押し下げステージ上の被 測定物を吸着し、上下機構により持ち上げる。その後、次に測定する被測定物を ステージ上に供給する。測定部上の搬送部は、吸着した被測定物をプレスにより 押し下げ測定部に測定のため固定し測定を開始する。回収側ステージ上の搬送部 は、吸着した被測定物をプレスにより押し下げステージ上に被測定物を開放する 。その後、吸着部は上下機構により持ち上げる。続いて、ステージ上に開放した 被測定物を回収する。

【０００９】 測定を終了すると測定された被測定物を上下機構により持ち上げ、搬送アーム が回転し、以上のような操作を繰り返す。このため、インデックスタイムは、搬 送アームが一方向に一回回転し、吸着部が一回上下する時間のみになる。

【００１０】

【実施例１】 実施例を図に基づいて説明する。図１のように一つの円周上に位置する供給側 ステージ１、測定部２、回収側ステージ３と、その上部に搬送部９が位置するよ うな搬送アーム４を設ける。

【００１１】 供給側ステージでは被測定物を吸着し持ち上げ、同時に次に搬送する被測定物 を供給する。また、測定部では被測定物を測定部上に測定のため固定し、測定を 実行する。回収側ステージでは被測定物をステージ上に開放し、開放した被測定 物を回収する。

【００１２】 測定が終了すると、測定部上の被測定物を吸着し持ち上げる。この時、供給側 ステージ上の吸着部には次に測定する被測定物を吸着しており、回収側ステージ 上の吸着部は開放している。この状態で搬送アームを時計回りに９０度回転させ る。

【００１３】 供給側ステージ上には次に搬送する被測定物があり、吸着部はそれを吸着し持 ち上げる。同時にその次に搬送する被測定物を供給する。測定部では吸着してい る被測定物を測定部上に測定のため固定し、測定を実行する。回収側ステージで は吸着している測定済みの被測定物をステージ上に開放し、開放した被測定物を 回収する。

【００１４】 以上の一連の操作を一定方向の回転動作と共に実行する。この方法によりイン デックスタイムは、搬送アームが一方向に一回回転し、吸着部が一回上下する時 間のみとなり、インデックスタイムを短縮できる。

【００１５】

【実施例２】 図１及び図２では、一つの搬送部に一つの吸着部を備えているが、一つの搬送 部に四個など複数個の吸着部を備える。これにより一度に複数個の測定・搬送が でき、時間当たりの処理個数であるスループットを向上できる。

【００１６】

【実施例３】 図１では、四個の搬送部を備えているが、八個、十二個など多数個の搬送部を 備える。これにより一回の回転角度を小さくできインデックスタイムを短縮でき る。

【００１７】

【実施例４】 図１では、一連の操作を一定方向の回転動作と共に実行しているが、搬送部を 一個または二個で構成し、逆回転動作を混えて一連の操作を実行する。これによ り機構部の簡素化ができる。

【００１８】

【考案の効果】

本考案は、以上説明したように構成されているので、インデックスタイムは搬 送アームが一方向に一回回転し、吸着部が一回上下する時間のみとなり、従来の 方式に比べ、その時間を四分の一の１秒程度に短縮できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の上面図である。

【図２】本考案の側面図である。

【図３】従来の搬送装置の側面図である。

【符号の説明】

１ 供給側ステージ ２ 測定部 ３ 回転側ステージ ４ 搬送アーム ５ 被測定物 ６ 吸着部 ７ 上下機構 ８ プレス ９ 搬送部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項】 ＩＣハンドラにおいて、一つの円周上にあ
   る供給側ステージ（１）、測定部（２）、回収側ステー
   ジ（３）と、その各上部にある搬送部（９）で構成さ
   れ、搬送部には被測定物（５）を吸着、固定及び開放す
   るための吸着部（６）上下機構（７）を具備したＩＣハ
   ンドラにおける搬送装置。