JPH0664748A - 磁気浮上真空搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空中で搬送されるウエハ等の搬送対象物が
落下してくる粒子によって汚染されることを防止するこ
とができる磁気浮上真空搬送装置を提供する。 【構成】 隔壁２で形成され内部が真空状態に保持され
た真空トンネル１と、真空トンネル１内に配置された搬
送台３と、搬送台３を非接触状態にて浮上支持する複数
の浮上用電磁石４と、前記搬送台３を走行移動させるリ
ニアモータ６とを備えた磁気浮上真空搬送装置におい
て、搬送台３に搬送対象物を覆う防塵部１２を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気浮上真空搬送装置に
係り、特に真空中でウエハ等の搬送対象物を載置し磁力
により浮上させて軌道に対して非接触状態にして走行せ
しめる搬送台の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】真空中においては気流がないかあっても
極くわずかであり、真空容器の壁に付着している粒子を
剥離させたり、床面の粒子を舞い上げたりするようなこ
とはほんどない。従って、真空中ではクラス０の空間を
創りだせる可能性があるので、近年では半導体製造プロ
セスばかりでなく、ウエハをプロセス装置に運ぶ搬送系
やウエハの保管まで真空で行う傾向になりつつある。こ
の場合、ウエハを真空中で搬送するに際して、その多く
は真空トンネル内をウエハ搬送用の搬送台（カート）に
ウエハを載せ磁力などによって浮かし、外部から磁気な
どの力をかけることにより搬送する。

【０００３】始め真空トンネルはクリーンであるが、ウ
エハ表面に塗布されているレジストや、ウエハ裏面に付
着しているレジストが剥離し落下する等して発生する粒
子、プロセス装置から流入する粒子、バルブの開閉によ
る発塵によって発生する粒子などが、長時間使用するに
従って真空トンネルの壁に付着し、汚染される。汚染粒
子は粒径が大きく、多くなるにつれ、付着力であるファ
ンデルワルス力と重力すなわち粒子の自重とのバランス
をくずし壁から剥離し落下する。この場合、真空中では
気流が存在しないかあってもごくわずかなので粒子は垂
直に落下する。そして、落下する粒子は搬送中のウエハ
が真下にあればウエハに付着しこれを汚染する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上述の事情に
鑑みなされたもので、真空中で搬送されるウエハ等の搬
送対象物が落下してくる粒子によって汚染されることを
防止することができる磁気浮上真空搬送装置を提供する
ことを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ため、本発明の磁気浮上真空搬送装置は、隔壁で形成さ
れ内部が真空状態に保持された真空トンネルと、該真空
トンネル内に配置された搬送台と、該搬送台を非接触状
態にて浮上支持する複数の浮上用電磁石と、前記搬送台
を走行移動させるリニアモータとを備えた磁気浮上真空
搬送装置において、前記搬送台に搬送対象物を覆う防塵
部を設けたことを特徴とするものである。

【０００６】

【作用】前述した構成からなる本発明によれば、搬送台
にウエハ等の搬送対象物を覆う防塵部を設けたため、搬
送対象物を落下してくる粒子の汚染から防止することが
できる。

【０００７】

【実施例】以下、本発明に係る磁気浮上真空搬送装置の
一実施例を図１乃至図３を参照して説明する。図１にお
いて、磁気浮上真空搬送装置は、隔壁２によって形成さ
れ内部が真空状態に保持された真空トンネル１と、真空
トンネル１内に配置された搬送台３とを備えている。真
空トンネル１の上部には左右に搬送台３を非接触状態に
て浮上支持する浮上用電磁石４，４が配設されている。

【０００８】一方、真空トンネル２の下部には、搬送台
３を走行移動させるリニアモータ６と、変位センサ８，
８が配置されている。図示されていないが、浮上用電磁
石４、リニアモータ６及び変位センサ８は、搬送台進行
方向（図１の紙面に直角な方向）に等間隔にて設置され
ている。そして、電磁ブレーキ（図示せず）が搬送台３
が停止するべき位置に設けられている。

【０００９】前述のように構成された磁気浮上真空搬送
装置の動作を簡単に説明すると、変位センサ８は該セン
サから搬送台３までの垂直方向距離を検出し、検出結果
を図示しない浮上制御装置へ出力する。この浮上制御装
置は変位センサ８からの出力に応答して、浮上用電磁石
４に供給される電流を増減し、搬送台３に作用する磁気
的吸引力を制御する。以て搬送台３を垂直方向に非接触
にて安定して浮上させることができる。そして、リニア
モータ６により搬送台３を進行方向（図１の紙面に垂直
な方向）に付勢し走行せしめる。

【００１０】次に、搬送台３の詳細構造を図２を参照し
て説明する。図２（ａ）に示す搬送台３は箱状に形成さ
れており、その下部３ａにウエハ１０を載置するための
載置台１１が設けられ、その上部３ｂがウエハを落下す
る粒子から保護する防塵部になっている。また、符号３
ｃはウエハ１０を出し入れするための開口である。

【００１１】なお、図２（ａ）に示す搬送台３の内部に
仮想線に示すように着脱可能な防塵板１２を設けてもよ
い。この場合には、防塵部を構成する上部３ｂに加えて
防塵板１２がウエハ１０の粒子汚染を防止する。図２
（ａ）に示すタイプの搬送台３は、ウエハは搬送台３の
上部の防塵部によって覆われているので垂直に落下して
くる粒子に対しては効果がある。しかし、長時間使用し
てくると搬送台自身が汚れる可能性もある。この場合、
搬送台そのものが汚染源になるため搬送台ごと洗浄しな
くてはならず不合理である。この時、図２（ａ）の仮想
線に示すように搬送台３に取付けた防塵板１２は取り外
しが可能であるので搬送台３から外し、防塵板１２のみ
洗浄すればよい。結局、図２（ａ）のタイプの搬送台３
も取り外し可能な防塵板１２を設けることにより簡単な
洗浄でウエハを粒子汚染から防ぐことができる。

【００１２】図２（ｂ）に示す搬送台３は平板状に形成
されており、その上面にウエハ１０を載置するための載
置台１１が設けられるとともに着脱可能な防塵板１２が
設けられている。図２（ｂ）に示すタイプの搬送台３
は、防塵板１２の有無は直接ウエハの粒子汚染の度合い
を左右する。

【００１３】防塵板の材質は金属、テフロン、プロピレ
ン等なんでもよい。金属材料ならばＡｌ合金、Ｔｉ合金
など搬送台を浮上させる上で軽合金が望ましい。防塵板
の厚さは厚すぎると重くなり過ぎ、薄すぎると強度がな
く撓んでしまうため、０．５mm〜３mm程度が好ましい。

【００１４】防塵板の大きさはウエハよりも大きければ
大きいほど効果はあるが、通常はウエハの径よりも２０
パーセント程度大きければ十分である。防塵板とウエハ
の間隔は、ウエハを搬送台に搭載するときの真空ロボッ
トのアームの上に載せたウエハとのクリアランスを満足
すれば、狭ければ狭いほどよいが、３mm〜２０mm程度あ
ればよい。

【００１５】図３乃至図５は防塵板を搬送台に固定する
各種方法を示す説明図である。図３は防塵板を搬送台に
ボルトによって固定した例を示す。図３（ａ）は搬送台
３に支持台１４を設け、この支持台１４に平板状の防塵
板１２をボルト１５によって固定した例である。図３
（ｂ）は防塵板１２を搬送台３の上面にボルト１５によ
って固定した例を示し、図３（ｃ）は防塵板１２を搬送
台３の側面にボルト１５によって固定した例を示す。

【００１６】図４は防塵板を搬送台にスライドホルダに
よって固定した例を示す。即ち、搬送台３に板バネ状の
一対のスライドホルダ１６，１６がボルト１５によって
固定されている。そして、防塵板１２はその両側縁部１
２ａ，１２ａをスライドホルダ１６，１６に差し込むこ
とにより搬送台３に固定されている。

【００１７】図５は防塵板を搬送台に溝と突部の係合に
よって固定した例を示す。即ち、搬送台３に溝３ａ，３
ａを形成し、防塵板１２に突部１２ｂ，１２ｂを形成
し、この溝３ａと突部１２ａの係合によって防塵板１２
は搬送台３に固定されている。図５（ａ）は溝３ａを搬
送台３の上面に、突部１２ｂを防塵板１２の下端にそれ
ぞれ設けた例であり、図５（ｂ）は溝３ａを搬送台３の
側面に、突部１２ｂを防塵板１２の下部内面にそれぞれ
設けた例である。

【００１８】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、搬
送台にウエハ等の搬送対象物を覆う防塵部を設けたた
め、搬送対象物を落下してくる粒子の汚染から防止する
ことができる。また、防塵部を搬送台に対して着脱可能
にしたため、防塵部のみ洗浄することができ、搬送台全
体を洗浄する必要がない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る磁気浮上真空搬送装置の一実施例
を示す断面図である。

【図２】本発明に係る磁気浮上真空搬送装置における防
塵部の構造を示す説明図である。

【図３】本発明に係る磁気浮上真空搬送装置における防
塵板の取付け方法を示す説明図である。

【図４】本発明に係る磁気浮上真空搬送装置における防
塵板の取付け方法を示す説明図である。

【図５】本発明に係る磁気浮上真空搬送装置における防
塵板の取付け方法を示す説明図である。

【符号の説明】

１ 真空トンネル ２ 隔壁 ３ 搬送台 ４ 浮上用電磁石 ６ リニアモータ ８ 変位センサ １０ ウエハ １１ 載置台 １２ 防塵板 １５ ボルト １６ スライドホルダ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 隔壁で形成され内部が真空状態に保持さ
   れた真空トンネルと、該真空トンネル内に配置された搬
   送台と、該搬送台を非接触状態にて浮上支持する複数の
   浮上用電磁石と、前記搬送台を走行移動させるリニアモ
   ータとを備えた磁気浮上真空搬送装置において、前記搬
   送台に搬送対象物を覆う防塵部を設けたことを特徴とす
   る磁気浮上真空搬送装置。
2. 【請求項２】 前記防塵部は搬送台に着脱可能に設けら
   れた防塵板からなることを特徴とする請求項１記載の磁
   気浮上真空搬送装置。