JPH0665322A - 単分散性共重合体及びその製造方法 - Google Patents
単分散性共重合体及びその製造方法Info
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- JPH0665322A JPH0665322A JP24145492A JP24145492A JPH0665322A JP H0665322 A JPH0665322 A JP H0665322A JP 24145492 A JP24145492 A JP 24145492A JP 24145492 A JP24145492 A JP 24145492A JP H0665322 A JPH0665322 A JP H0665322A
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- Japan
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- copolymer
- polymer
- monomer
- monodisperse
- styrene
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レジスト材料用ポリマーとしての要求性能を
充たす、新規な単分散性共重合体及びその製造方法を提
供すること。 【構成】 下記化１で表される単位及び下記化２で表さ
れる単位からなる単分散性共重合体。 【化１】 【化２】
充たす、新規な単分散性共重合体及びその製造方法を提
供すること。 【構成】 下記化１で表される単位及び下記化２で表さ
れる単位からなる単分散性共重合体。 【化１】 【化２】
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、新規な共重合体及びそ
の製造方法に関し、特に機能性高分子として優れた、単
分散性の共重合体及びその製造方法に関する。
の製造方法に関し、特に機能性高分子として優れた、単
分散性の共重合体及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来技術】機能性高分子は、コンピューター等に使用
されるＬＳＩ（大規模集積回路）等を製造する際の高解
像度のリソグラフィー用レジスト材料用ポリマーとして
多く使用されている。近年、ＬＳＩ製造技術の発展に伴
い、ＬＳＩの集積度が益々高密度化され、かかる高密度
化に対応することのできる高解像度及び高現像性を有す
るレジスト材料が要求されている。
されるＬＳＩ（大規模集積回路）等を製造する際の高解
像度のリソグラフィー用レジスト材料用ポリマーとして
多く使用されている。近年、ＬＳＩ製造技術の発展に伴
い、ＬＳＩの集積度が益々高密度化され、かかる高密度
化に対応することのできる高解像度及び高現像性を有す
るレジスト材料が要求されている。
【０００３】レジスト材料の解像度を高めるためには、
使用する高分子の分子量分布を狭くする（単分散性）こ
とが有効であるということが、理論的に知られている。
従来、このようなレジスト材料用ポリマーとしてノボラ
ック樹脂が使用されているが、この場合、分子量分布を
制御するために分別という手法が行われていた（例え
ば、特開昭６２─１２１７５４号公報）。しかしなが
ら、このような分別という手法は操作が複雑であるのみ
ならず時間がかかるという欠点がある上、厳しくなる要
求性能に対して十分に追随することが困難であるので、
本質的な問題解決が望まれている。
使用する高分子の分子量分布を狭くする（単分散性）こ
とが有効であるということが、理論的に知られている。
従来、このようなレジスト材料用ポリマーとしてノボラ
ック樹脂が使用されているが、この場合、分子量分布を
制御するために分別という手法が行われていた（例え
ば、特開昭６２─１２１７５４号公報）。しかしなが
ら、このような分別という手法は操作が複雑であるのみ
ならず時間がかかるという欠点がある上、厳しくなる要
求性能に対して十分に追随することが困難であるので、
本質的な問題解決が望まれている。
【０００４】一方、酸により容易に脱離される官能基を
有すると共に該官能基の脱離前後で溶解度が異なる化学
増幅型のレジスト材料は、その作業性が優れるところか
ら、ＬＳＩ等の製造効率を向上させるために、種々検討
されている。このような化学増幅型のレジスト材料用ポ
リマーとしては、耐プラズマ性に優れるスチレン誘導体
のポリマーが知られている。
有すると共に該官能基の脱離前後で溶解度が異なる化学
増幅型のレジスト材料は、その作業性が優れるところか
ら、ＬＳＩ等の製造効率を向上させるために、種々検討
されている。このような化学増幅型のレジスト材料用ポ
リマーとしては、耐プラズマ性に優れるスチレン誘導体
のポリマーが知られている。
【０００５】
【発明が解決しょうとする課題】しかしながら、レジス
ト材料用ポリマーとして使用されるスチレン誘導体のポ
リマーは、従来、ラジカル重合法或いは縮重合法により
製造されるため、分子量や分子量分布を制御することが
困難であり、レジスト材料用ポリマーとしての要求性能
を十分に満たす単分散性のスチレン誘導体のポリマーを
製造することが困難であった。そこで、本発明者等はス
チレン誘導体のポリマーについて鋭意検討した結果、レ
ジスト材料用ポリマーとしての要求性能を満たす、新規
な単分散性の共重合体及びその製造方法を見出し本発明
に到達した。
ト材料用ポリマーとして使用されるスチレン誘導体のポ
リマーは、従来、ラジカル重合法或いは縮重合法により
製造されるため、分子量や分子量分布を制御することが
困難であり、レジスト材料用ポリマーとしての要求性能
を十分に満たす単分散性のスチレン誘導体のポリマーを
製造することが困難であった。そこで、本発明者等はス
チレン誘導体のポリマーについて鋭意検討した結果、レ
ジスト材料用ポリマーとしての要求性能を満たす、新規
な単分散性の共重合体及びその製造方法を見出し本発明
に到達した。
【０００６】従って、本発明の第１の目的は、レジスト
材料用ポリマーとしての要求性能を充たす、新規な単分
散性の共重合体を提供することにある。本発明の第２の
目的は、レジスト材料用ポリマーとして要求性能を充た
すと共に、任意の分子量に制御するができる、新規な単
分散性の共重合体の製造方法を提供することにある。
材料用ポリマーとしての要求性能を充たす、新規な単分
散性の共重合体を提供することにある。本発明の第２の
目的は、レジスト材料用ポリマーとして要求性能を充た
すと共に、任意の分子量に制御するができる、新規な単
分散性の共重合体の製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の上記の諸目的
は、下記化４で表される単位及び下記化５で表される単
位からなる単分散性共重合体、及びその製造方法によっ
て達成された。
は、下記化４で表される単位及び下記化５で表される単
位からなる単分散性共重合体、及びその製造方法によっ
て達成された。
【化４】
【化５】
【０００８】本発明において、単分散性とは、共重合体
の重量平均分子量ＭW と数平均分子量Ｍn の比ＭW ／Ｍ
n が１．０１〜１．５０であることを意味する。重量平
均分子量は、リビング重合させる場合にあってはモノマ
ーの重量と開始剤のモル数から計算することにより、又
は光散乱法を用いて容易に求められる。また、数平均分
子量は膜浸透圧計を用いて容易に測定される。
の重量平均分子量ＭW と数平均分子量Ｍn の比ＭW ／Ｍ
n が１．０１〜１．５０であることを意味する。重量平
均分子量は、リビング重合させる場合にあってはモノマ
ーの重量と開始剤のモル数から計算することにより、又
は光散乱法を用いて容易に求められる。また、数平均分
子量は膜浸透圧計を用いて容易に測定される。
【０００９】分子量分布の評価は、ゲルパーミェーショ
ンクロマトグラフィー（ＧＰＣ）によって行うことがで
き、分子構造は赤外線吸収（ＩＲ）スペクトル又は1 Ｈ
─ＮＭＲスペクトルによって容易に確認することができ
る。また、共重合体のランダム性については、ＤＳＣに
より測定するＴｇ（ガラス転移点）の測定によって容易
に確認することができる。
ンクロマトグラフィー（ＧＰＣ）によって行うことがで
き、分子構造は赤外線吸収（ＩＲ）スペクトル又は1 Ｈ
─ＮＭＲスペクトルによって容易に確認することができ
る。また、共重合体のランダム性については、ＤＳＣに
より測定するＴｇ（ガラス転移点）の測定によって容易
に確認することができる。
【００１０】本発明の化４及び化５で表される単位から
なる単分散性共重合体は、下記化６で表されるモノマー
とスチレンモノマーとをアニオン重合させることにより
容易に製造することができる。
なる単分散性共重合体は、下記化６で表されるモノマー
とスチレンモノマーとをアニオン重合させることにより
容易に製造することができる。
【化６】
【００１１】本発明においては、化６で表されるモノマ
ーとスチレンモノマーとをアニオン重合させる際に、単
分散性を良好とする観点から公知のリビングアニオン開
始剤を使用することが好ましく、特に有機金属化合物を
使用することが好ましい。好ましい有機金属化合物とし
ては、例えばｎ─ブチルリチウム、ｓｅｃ─ブチルリチ
ウム、ｔｅｒｔ─ブチルリチウム、ナトリウムナフタレ
ン、アントラセンナトリウム、α─メチルスチレンテト
ラマージナトリウム、クミルカリウム、クミルセシウム
等の有機アルカリ金属化合物等が挙げられる。
ーとスチレンモノマーとをアニオン重合させる際に、単
分散性を良好とする観点から公知のリビングアニオン開
始剤を使用することが好ましく、特に有機金属化合物を
使用することが好ましい。好ましい有機金属化合物とし
ては、例えばｎ─ブチルリチウム、ｓｅｃ─ブチルリチ
ウム、ｔｅｒｔ─ブチルリチウム、ナトリウムナフタレ
ン、アントラセンナトリウム、α─メチルスチレンテト
ラマージナトリウム、クミルカリウム、クミルセシウム
等の有機アルカリ金属化合物等が挙げられる。
【００１２】本発明においては、アニオン重合を、非溶
媒系で行わせることができるが、反応速度の調整が容易
である等の観点から、有機溶媒中で行わせることが好ま
しい。好ましい有機溶媒としては、ベンゼン、トルエン
等の芳香族炭化水素溶媒、テトラヒドロフラン、ジオキ
サン、テトラヒドロピラン等の環状エーテル溶媒、ジメ
トキシエタン、ｎ─ヘキサン、シクロヘキサン等の脂肪
族炭化水素溶媒等が挙げられる。
媒系で行わせることができるが、反応速度の調整が容易
である等の観点から、有機溶媒中で行わせることが好ま
しい。好ましい有機溶媒としては、ベンゼン、トルエン
等の芳香族炭化水素溶媒、テトラヒドロフラン、ジオキ
サン、テトラヒドロピラン等の環状エーテル溶媒、ジメ
トキシエタン、ｎ─ヘキサン、シクロヘキサン等の脂肪
族炭化水素溶媒等が挙げられる。
【００１３】これらの有機溶媒は単独で使用しても混合
して使用しても良いが、特にテトラヒドロフランを使用
することが好ましい。重合反応に際する有機溶媒中のモ
ノマー（化６で表されるモノマー及びスチレンモノマ
ー）の濃度は１〜４０重量％とすることが好ましい。重
合反応は、酸素等との反応を防止する観点から、高真空
下或いは窒素等の不活性ガスの存在下で行わせることが
好ましい。反応温度は、−１００℃から反応溶液の沸点
温度までの範囲で適宜選択することができるが、テトラ
ヒドロフラン溶媒を使用した場合には−７８℃〜０℃の
範囲が、またベンゼン溶媒を使用した場合には室温が好
ましい。
して使用しても良いが、特にテトラヒドロフランを使用
することが好ましい。重合反応に際する有機溶媒中のモ
ノマー（化６で表されるモノマー及びスチレンモノマ
ー）の濃度は１〜４０重量％とすることが好ましい。重
合反応は、酸素等との反応を防止する観点から、高真空
下或いは窒素等の不活性ガスの存在下で行わせることが
好ましい。反応温度は、−１００℃から反応溶液の沸点
温度までの範囲で適宜選択することができるが、テトラ
ヒドロフラン溶媒を使用した場合には−７８℃〜０℃の
範囲が、またベンゼン溶媒を使用した場合には室温が好
ましい。
【００１４】重合反応を約１０分〜１０時間行わせるこ
とによって、化４及び化５の単位を有する単分散性共重
合体を得ることができる。重合反応の停止は、例えばメ
タノール、水、メチルブロマイド等の停止剤を添加する
ことにより行うことができ、これによって所望の分子量
の共重合体を容易に得ることができる。この場合、重合
反応中の活性末端はアニオン特有の色を有しているの
で、この色の有無により容易に重合反応の停止を確認す
ることができる。
とによって、化４及び化５の単位を有する単分散性共重
合体を得ることができる。重合反応の停止は、例えばメ
タノール、水、メチルブロマイド等の停止剤を添加する
ことにより行うことができ、これによって所望の分子量
の共重合体を容易に得ることができる。この場合、重合
反応中の活性末端はアニオン特有の色を有しているの
で、この色の有無により容易に重合反応の停止を確認す
ることができる。
【００１５】共重合体としてランダム共重合体を得る場
合には、化６で表されるモノマーとスチレンモノマーと
を予め混合し、得られた混合物を重合させれば良く、共
重合体としてブロック重合体を得る場合には、一方のモ
ノマーを重合させた後、他方のモノマーを添加し、再度
重合反応を行わせれば良い。リビングアニオン重合を行
わせた場合には、モノマーは１００％反応するので、使
用するモノマーの量と添加されるリビングアニオン開始
剤のモル数（分子数）を調整することにより、得られる
ポリマーの分子量を適宜制御することができる。
合には、化６で表されるモノマーとスチレンモノマーと
を予め混合し、得られた混合物を重合させれば良く、共
重合体としてブロック重合体を得る場合には、一方のモ
ノマーを重合させた後、他方のモノマーを添加し、再度
重合反応を行わせれば良い。リビングアニオン重合を行
わせた場合には、モノマーは１００％反応するので、使
用するモノマーの量と添加されるリビングアニオン開始
剤のモル数（分子数）を調整することにより、得られる
ポリマーの分子量を適宜制御することができる。
【００１６】このようにして得られた共重合体の分子量
分布は単分散性となる（Ｍw ／Ｍn＝１．０１〜１．５
０）。本発明においては、共重合体の数平均分子量を５
００〜５００，０００の範囲とすることができるが、特
に３，０００〜３００，０００の範囲とすることが好ま
しい。また、前記化４又は化５で表される繰り返し単位
を任意の割合で含有する共重合体を製造することもでき
るが、通常は、（化４で表される繰り返し単位）／（化
５で表される繰り返し単位）のモル比が（０．０１〜９
９．９９）／（９９．９９〜０．０１）の範囲とする。
分布は単分散性となる（Ｍw ／Ｍn＝１．０１〜１．５
０）。本発明においては、共重合体の数平均分子量を５
００〜５００，０００の範囲とすることができるが、特
に３，０００〜３００，０００の範囲とすることが好ま
しい。また、前記化４又は化５で表される繰り返し単位
を任意の割合で含有する共重合体を製造することもでき
るが、通常は、（化４で表される繰り返し単位）／（化
５で表される繰り返し単位）のモル比が（０．０１〜９
９．９９）／（９９．９９〜０．０１）の範囲とする。
【００１７】
【発明の効果】本発明の新規な共重合体は、分子量分布
が狭く単分散性であるので、高解像度のレジスト材料用
ポリマーとしての要求性能を満たす。特に、化４で表さ
れるポリマーとポリスチレンのランダム共重合体はレジ
スト材料用ポリマーとして好適である。また、本発明の
製造方法によると、分子量を任意に制御することができ
るので、用途に適した物性の単分散性共重合体を容易に
製造することができる。
が狭く単分散性であるので、高解像度のレジスト材料用
ポリマーとしての要求性能を満たす。特に、化４で表さ
れるポリマーとポリスチレンのランダム共重合体はレジ
スト材料用ポリマーとして好適である。また、本発明の
製造方法によると、分子量を任意に制御することができ
るので、用途に適した物性の単分散性共重合体を容易に
製造することができる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明を実施例により更に詳述する
が、本発明はこれによって限定されるものではない。
が、本発明はこれによって限定されるものではない。
【００１９】実施例１．２リットルのフラスコに溶媒と
してテトラヒドロフラン１０００ｍｌ、及び開始剤とし
てｎ─ブチルリチウム４×１０-3モルを仕込み、混合し
て−７８℃に冷却した後、ｐ─メトキシメトキシスチレ
ン４５ｇとスチレン５ｇを混合した溶液を添加し、１時
間攪拌しながら重合反応を行わせたところ、反応液は赤
色を呈した。次いで、得られた反応溶液に反応停止剤と
してメタノールを添加し、重合反応を停止させた後該溶
液をメタノール中に注ぎ、得られた重合体を沈澱させ、
分離・乾燥して白色の重合体２９．５ｇを得た。
してテトラヒドロフラン１０００ｍｌ、及び開始剤とし
てｎ─ブチルリチウム４×１０-3モルを仕込み、混合し
て−７８℃に冷却した後、ｐ─メトキシメトキシスチレ
ン４５ｇとスチレン５ｇを混合した溶液を添加し、１時
間攪拌しながら重合反応を行わせたところ、反応液は赤
色を呈した。次いで、得られた反応溶液に反応停止剤と
してメタノールを添加し、重合反応を停止させた後該溶
液をメタノール中に注ぎ、得られた重合体を沈澱させ、
分離・乾燥して白色の重合体２９．５ｇを得た。
【００２０】得られた重合体は、1 Ｈ─ＮＭＲスペクト
ルから、スチレン部分１０％及びｐ─メトキシメトキシ
スチレン部分９０％を、各々ランダムに有するランダム
共重合体であることが確認された。また、ＤＳＣにより
測定したＴｇは１１０℃であった。更に、ＧＰＣ溶出曲
線（図１）から、単分散性の共重合体（ＭW ／Ｍn ＝
１．１３）であることが確認された。また、膜浸透圧測
定法によって測定した数平均分子量は、１．１×１０4
ｇ／モルであった。
ルから、スチレン部分１０％及びｐ─メトキシメトキシ
スチレン部分９０％を、各々ランダムに有するランダム
共重合体であることが確認された。また、ＤＳＣにより
測定したＴｇは１１０℃であった。更に、ＧＰＣ溶出曲
線（図１）から、単分散性の共重合体（ＭW ／Ｍn ＝
１．１３）であることが確認された。また、膜浸透圧測
定法によって測定した数平均分子量は、１．１×１０4
ｇ／モルであった。
【００２１】尚、1 Ｈ─ＮＭＲの結果は下記の通りであ
る。 １．４〜２．２ｐｐｍ：（ブロード，３Ｈ，−ＣＨ2 −
ＣＨ−） ３．５〜４．０ｐｐｍ：（ブロード，３Ｈ，−ＯＣ
Ｈ3 ） ５．０〜５．５ｐｐｍ：（ブロード，２Ｈ，−Ｏ−ＣＨ
2 Ｏ−） ６．０〜７．０ｐｐｍ：（ブロード，４Ｈ，Ｃ 6 Ｈ4 ）
る。 １．４〜２．２ｐｐｍ：（ブロード，３Ｈ，−ＣＨ2 −
ＣＨ−） ３．５〜４．０ｐｐｍ：（ブロード，３Ｈ，−ＯＣ
Ｈ3 ） ５．０〜５．５ｐｐｍ：（ブロード，２Ｈ，−Ｏ−ＣＨ
2 Ｏ−） ６．０〜７．０ｐｐｍ：（ブロード，４Ｈ，Ｃ 6 Ｈ4 ）
【００２２】実施例２．２リットルのフラスコに、溶媒
としてテトラヒドロフラン１．５リットル及び開始剤と
してクミルセシウム２×１０-3モルを仕込み、混合して
−７８℃に冷却し、次いでｐ─メトキシメトキシスチレ
ン６０ｇとスチレン４０ｇとをテトラヒドロフラン２０
０ｍｌに溶解した溶液を添加し、２時間攪拌しながら重
合反応させたところ、反応溶液は赤色を呈した。次い
で、反応溶液に反応停止剤としてメタノールを添加して
重合反応を停止させた後、該溶液をメタノール中に注
ぎ、得られた重合体を沈澱させ、分離・乾燥して白色の
重合体１００ｇを得た。
としてテトラヒドロフラン１．５リットル及び開始剤と
してクミルセシウム２×１０-3モルを仕込み、混合して
−７８℃に冷却し、次いでｐ─メトキシメトキシスチレ
ン６０ｇとスチレン４０ｇとをテトラヒドロフラン２０
０ｍｌに溶解した溶液を添加し、２時間攪拌しながら重
合反応させたところ、反応溶液は赤色を呈した。次い
で、反応溶液に反応停止剤としてメタノールを添加して
重合反応を停止させた後、該溶液をメタノール中に注
ぎ、得られた重合体を沈澱させ、分離・乾燥して白色の
重合体１００ｇを得た。
【００２３】得られた重合体の1 Ｈ─ＮＭＲスペクトル
から実施例１と同様の特性吸収が観測され、スチレン部
分４０％及びｐ─メトキシメトキシスチレン部分６０％
を、各々ランダムに有するランダム共重合体であること
が確認された。更に、ＧＰＣ溶出曲線（図２）から、得
られた共重合体が単分散性の共重合体（ＭW ／Ｍn ＝
１．２１）であることが確認された。尚、膜浸透圧測定
法によって測定した共重合体の数平均分子量は、４．１
×１０4 ｇ／モルであった。
から実施例１と同様の特性吸収が観測され、スチレン部
分４０％及びｐ─メトキシメトキシスチレン部分６０％
を、各々ランダムに有するランダム共重合体であること
が確認された。更に、ＧＰＣ溶出曲線（図２）から、得
られた共重合体が単分散性の共重合体（ＭW ／Ｍn ＝
１．２１）であることが確認された。尚、膜浸透圧測定
法によって測定した共重合体の数平均分子量は、４．１
×１０4 ｇ／モルであった。
【００２４】実施例３．２リットルのフラスコに、溶媒
としてテトラヒドロフラン１，５００ｍｌ及び開始剤と
してｎ−ブチルリチウム８×１０-3モルを仕込み、−７
８℃に冷却した後、ｐ─メトキシメトキシスチレン５０
ｇを添加して１時間反応させた。次いで、スチレン２０
ｇを添加し、１時間攪拌しながら重合反応を行わせたと
ころ、反応液は赤色を呈した。次いで、得られた反応溶
液に、反応停止剤としてメタノールを添加して重合を停
止させた後、該溶液をメタノール中に注ぎ、得られた重
合体を沈澱させ、分離・乾燥して白色の重合体７０ｇを
得た。
としてテトラヒドロフラン１，５００ｍｌ及び開始剤と
してｎ−ブチルリチウム８×１０-3モルを仕込み、−７
８℃に冷却した後、ｐ─メトキシメトキシスチレン５０
ｇを添加して１時間反応させた。次いで、スチレン２０
ｇを添加し、１時間攪拌しながら重合反応を行わせたと
ころ、反応液は赤色を呈した。次いで、得られた反応溶
液に、反応停止剤としてメタノールを添加して重合を停
止させた後、該溶液をメタノール中に注ぎ、得られた重
合体を沈澱させ、分離・乾燥して白色の重合体７０ｇを
得た。
【００２５】得られた重合体の1 Ｈ─ＮＭＲスペクトル
から実施例１と同様の特性吸収が観測され、スチレン２
８．５％及びｐ−メトキシメトキシスチレン７１．５％
からなる、各ブロック鎖を有する共重合体であることが
確認された。また、ＧＰＣ溶出曲線（図３）から、得ら
れた共重合体が極めて単分散性の高い共重合体であるこ
とが確認された。尚、膜浸透圧測定法によって測定した
共重合体の数平均分子量は、８，０００ｇ／モルであっ
た。
から実施例１と同様の特性吸収が観測され、スチレン２
８．５％及びｐ−メトキシメトキシスチレン７１．５％
からなる、各ブロック鎖を有する共重合体であることが
確認された。また、ＧＰＣ溶出曲線（図３）から、得ら
れた共重合体が極めて単分散性の高い共重合体であるこ
とが確認された。尚、膜浸透圧測定法によって測定した
共重合体の数平均分子量は、８，０００ｇ／モルであっ
た。
【図１】実施例１で得られた重合体（数平均分子量１
１，０００ｇ／モル）のＧＰＣ溶出曲線である。
１，０００ｇ／モル）のＧＰＣ溶出曲線である。
【図２】実施例２で得られた重合体（数平均分子量４
１，０００ｇ／モル）のＧＰＣ溶出曲線である。
１，０００ｇ／モル）のＧＰＣ溶出曲線である。
【図３】実施例３で得られた重合体（数平均分子量８，
０００ｇ／モル）のＧＰＣ溶出曲線である。
０００ｇ／モル）のＧＰＣ溶出曲線である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 八木橋 不二夫 神奈川県川崎市高津区坂戸３丁目２番１号 信越化学工業株式会社コーポレートリサ ーチセンター内 (72)発明者 五十野 寿信 新潟県長岡市学校町１−３−19
Claims (5)
- 【請求項１】下記化１で表される単位及び下記化２で表
される単位からなる単分散性共重合体。 【化１】 【化２】 - 【請求項２】共重合体が化１で表される単位と化２で表
される単位のランダム共重合体である請求項１に記載の
単分散性共重合体。 - 【請求項３】下記化３で表されるモノマーとスチレンモ
ノマーとをアニオン重合させることを特徴とする請求項
１に記載の単分散性共重合体の製造方法。 【化３】 - 【請求項４】化３で表されるモノマーとスチレンモノマ
ーとを予め混合させた後重合せしめる請求項３に記載の
単分散性共重合体の製造方法。 - 【請求項５】一方のモノマーを重合させた後、他方のモ
ノマーを添加して重合せしめる請求項３に記載の単分散
性共重合体の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24145492A JPH0665322A (ja) | 1992-08-19 | 1992-08-19 | 単分散性共重合体及びその製造方法 |
| US08/109,050 US5412050A (en) | 1992-08-19 | 1993-08-19 | Polymer having a narrow dispersion of molecular weight and a manufacturing process thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24145492A JPH0665322A (ja) | 1992-08-19 | 1992-08-19 | 単分散性共重合体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0665322A true JPH0665322A (ja) | 1994-03-08 |
Family
ID=17074555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24145492A Pending JPH0665322A (ja) | 1992-08-19 | 1992-08-19 | 単分散性共重合体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0665322A (ja) |
-
1992
- 1992-08-19 JP JP24145492A patent/JPH0665322A/ja active Pending
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