JPH0666281A

JPH0666281A - 真空ポンプ用軸封装置

Info

Publication number: JPH0666281A
Application number: JP21902592A
Authority: JP
Inventors: Kotaro Naya; 孝太郎納谷; Shinji Mihashi; 晋司三橋; Hisaaki Fushimi; 寿晃伏見; Riichi Uchida; 利一内田; Eiichi Sato; 栄一佐藤
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1992-08-18
Filing date: 1992-08-18
Publication date: 1994-03-08

Abstract

(57)【要約】【目的】万一オイルシールから潤滑油が漏れた場合で
も、ポンプ機内へのオイルミストの侵入を防ぎ、またオ
イルシールの摺動部の冷却および長寿命化を図り得る真
空ポンプ用軸封装置を提供すること。【構成】ケーシング２に、これの内周面とロータ３の
外周面間の隙間２３に環状に連通する周溝２５と、ケー
シング２の外部から前記周溝２５に大気ガスを導入する
第１の連通孔２６を設けて構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ロータの回転軸を油潤
滑軸受により支持し、かつオイルフリーのポンプ機内へ
の潤滑油の侵入を防止するオイルシールを設けた真空ポ
ンプ用軸封装置に係り、特にオイルシールから潤滑油が
漏洩し、オイルミストが発生したときの、前記オイルフ
リーのポンプ機内へのオイルミストの侵入を防止するた
めに好適な真空ポンプ用軸封装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】本発明で対象とする真空ポンプの一例を
図６に示す。

【０００３】この図６に示す真空ポンプは、ハウジング
１と、これの上部の一半部に取り付けられたケーシング
２と、このケーシング２の内部に設けられた雄，雌一対
のスクリュー型のロータ３と、このロータ３に一体に取
り付けられかつ前記ハウジング１の内部に油潤滑軸受５
により支持された回転軸４と、前記ハウジング１の上部
の他半部側に設置された回転駆動源６と、これに取り付
けられた駆動軸７と、この駆動軸７と前記回転軸４とを
駆動連結している増速駆動ギヤ列８と、排気用のサイレ
ンサ１５と、前記ハウジング１内において回転軸４の下
部に設けられた自吸式の潤滑油ポンプ１６とを備えてい
る。

【０００４】そして、前記ケーシング２の上部には吸気
口９が設けられ、同ケーシング２の内部上方にはポンプ
機内１０が確保されている。前記吸気口９は、真空チャ
ンバ（図示せず）からポンプ機内１０に圧縮すべきガス
を導入するようになっている。

【０００５】前記雄，雌一対のロータ３は、回転駆動源
６→駆動軸７→増速駆動ギヤ列８→タイミングギヤ→回
転軸４にわたる駆動系を通じて、非接触で同期回転駆動
される。而して、ロータ３は真空チャンバから吸気口９
を通じて吸入したガスを圧縮しながら歯溝１１を通じて
ロータ吐出端部１３側に向かって送り出す。このロータ
吐出端部１３まで送られて来た圧縮空気は、大気圧まで
昇圧されている。

【０００６】前記ハウジング１には、排気口１４が設け
られている。この排気口１４は、前記大気圧まで圧縮さ
れたガスを前記ロータ吐出端部１３から前記サイレンサ
１５に導くようになっている。

【０００７】前記サイレンサ１５は、前記圧縮されたガ
スを消音したうえで、大気へ解放する。

【０００８】一方、前記回転軸４の内部には油供給路１
７が設けられている。この油供給路１７は、前記潤滑油
ポンプ１６から送り出された潤滑油１８を前記油潤滑軸
受５に供給し、潤滑するようになっている。

【０００９】他方、前記回転軸４における油潤滑軸受５
の直上にはスリーブ１９が装着されている。このスリー
ブ１９の外周面と前記ハウジング１の筒軸部２０の内周
面間には、オイルシール２１が装着されている。このオ
イルシール２１は、前記潤滑油１８がオイルフリーのポ
ンプ機内１０へ侵入しないようにシールしている。

【００１０】ところで、真空ポンプの従来の軸封装置
は、図６に示しかつ図７に拡大して示すように、スリー
ブ１９とハウジング１の筒軸部２０間にオイルシール２
１を装着して構成されている。この従来の軸封装置にお
いて、万一オイルシール２１から潤滑油１８が漏れる
と、その潤滑油１８が液状である場合にはその殆どが排
気口１４に導かれ、回収される。しかし、前記潤滑油１
８が図７に示すように、ミスト状になった場合には、そ
のオイルミスト１８′はポンプ機内１０へ逆拡散し、真
空チャンバへ侵入する恐れがある。

【００１１】なお、この種の装置として関連する技術に
は、例えば実開昭６３−１７５３５５号公報，実開平１
−８２３７１号公報などが挙げられる。

【００１２】前掲公報に記載の技術は、漏洩流体を螺旋
状の突起または溝などにより、流体力学的ポンプ作用を
もたらし、径方向内側へ移動させるものや、漏洩流体を
フェルトなどの吸収部材へ吸収させるものである。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、図７に示す従
来技術では万一オイルシール２１から油漏れが生じた場
合におけるポンプ機内１０へのオイルミスト１８′の侵
入防止手段を備えていない。したがって、オイルシール
２１から漏れたオイルミスト１８′がポンプ機内１０を
経て真空チャンバ内に侵入し、製品を汚染する恐れがあ
った。

【００１４】本発明の目的は、万一オイルシールから潤
滑油が漏れた場合でも、ポンプ機内へのオイルミストの
侵入を防ぎ、またオイルシールの摺動部の冷却および長
寿命化を図り得る真空ポンプ用軸封装置を提供すること
にある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】前記目的は、ケーシング
に、このケーシングの内周面とロータの外周面間の隙間
に環状に連通する周溝と、前記ケーシングの外部から前
記周溝に大気ガスを導入する連通孔とを設けたことによ
り、達成される。

【００１６】また、前記目的はケーシングにはこのケー
シングの内周面とロータの外周面間の隙間に環状に連通
する周溝と、前記ケーシングの外部から前記周溝に大気
ガスを導入する連通孔とを設けるとともに、前記ハウジ
ングにはこれの外部からハウジングの内部を通ってオイ
ルシール背面室に大気ガスを導入する連通孔を設けたこ
とによっても、達成される。

【００１７】さらに、前記目的はケーシングにはこのケ
ーシングの内周面とロータの外周面間の隙間に環状に連
通する周溝と、前記ケーシングの外部から前記周溝に大
気ガスを導入する連通孔とを設けるとともに、前記ハウ
ジングにはこれの外部からハウジングの内部を通ってロ
ータ吐出端部とハウジングの端面間の隙間に大気ガスを
導入する連通孔を設けたことによって、より一層良好に
達成される。

【００１８】さらにまた、前記目的はケーシングにはこ
のケーシングの内周面とロータの外周面間の隙間に環状
に連通する周溝と、前記ケーシングの外部から前記周溝
に大気ガスを導入する連通孔とを設けるとともに、前記
ハウジングにはこれの外部からハウジングの内部を通っ
てオイルシール背面室に大気ガスを導入する連通孔と、
ハウジングの外部からこれの内部を通ってロータ吐出端
部とハウジングの端面間の隙間に大気ガスを導入する連
通孔とを設けたことにより、達成される。

【００１９】そして、前記目的は前記周溝を、ケーシン
グの内壁面におけるロータの吸気側端面から同ロータの
スクリューの１リード分以上、下流側に離れた位置に形
成したことによって、より良く達成される。

【００２０】

【作用】本発明では、ケーシングに、これの内周面とロ
ータの外周面間の隙間に環状に連通する周溝と、ケーシ
ングの外部から前記周溝に大気ガスを導入する連通孔
（以下、この連通孔を「第１の連通孔」という。）とを
設けている。

【００２１】そして、この発明では前記ケーシングの外
部から第１の連通孔を通じて周溝内に大気ガスを導入
し、その大気ガスを低真空域であるケーシングの内周面
とロータの外周面間の隙間に自吸で導入する。前記隙間
は、オイルシール背面室に連通しており、万一オイルシ
ールから潤滑油が漏洩してオイルミストが発生すると、
そのオイルミストは前記隙間に流れて来る。一方、前記
隙間内に導入された大気ガスの一部は、ロータの回転に
伴い上方から下方に向かって流れ、前記隙間に浮遊する
オイルミストを排気口に導く。また、前記隙間内に導入
された大気ガスの他の一部は、ポンプ機内の下部に周囲
均等に拡散し、ポンプ機内へのオイルミストの侵入を防
止する。さらに、前記隙間からオイルシール背面室に導
入される大気ガスにより、オイルシールの摺動部を冷却
することができる。したがって、オイルシールの摺動熱
によりオイルシールの摺動部付近の潤滑油が蒸発しオイ
ルシール背面室側へ漏洩する不具合を解消することがで
きる。しかも、前記第１の連通孔および周溝を通じて前
記隙間内に導入される大気ガスにより、オイルシール背
面室を大気圧に近づけることができる。これにより、オ
イルシールの内側と外側間の差圧を殆どなくすことがで
き、オイルシールの寿命を長く保つことが可能となる。

【００２２】また、本発明ではケーシングに前記周溝と
第１の連通孔とを設けている外、ハウジングにこれの外
部からハウジングの内部を通ってオイルシール背面室に
大気ガスを導入する連通孔（以下、この連通孔を「第２
の連通孔」という。）を設けている。

【００２３】この発明では、前記ハウジングに設けられ
た第２の連通孔を通じて、ハウジングの外部から低真空
域のオイルシール背面室に大気ガスを自吸で導入し、こ
の大気ガスにより、浮遊状態にあるオイルミストを大気
ガスと一緒に排気口へ強制的に導く。さらに、前記ケー
シングに設けられた第１の連通孔および周溝を通じて、
ケーシングの内周面とロータの外周面間の隙間に大気ガ
スを自吸で導入する。そして、前記発明と同様、前記隙
間に導入された大気ガスの一部により、前記隙間に浮遊
するオイルミストを排気口に導き、大気ガスの他の一部
により、ポンプ機内へのオイルミストの侵入を防止す
る。また、主に前記第２の連通孔よりオイルシール背面
室に直接導入される大気ガスによりオイルシールの摺動
部を冷却することによって、オイルシールの摺動熱によ
り蒸発しオイルシールの摺動部から潤滑油が漏れる不具
合を解消することができる。しかも、前記第１，第２の
連通孔を通じて導入される大気ガスにより、オイルシー
ルの内側と外側間の差圧をなくし、オイルシールの寿命
を長く保つことができる。

【００２４】さらに、本発明ではケーシングに前記周溝
と第１の連通孔とを設けている外、ハウジングに、これ
の外部からハウジングの内部を通ってロータ吐出端部と
ハウジングの端面間の隙間に大気ガスを導入する連通孔
（以下、この連通孔を「第３の連通孔」という。）を設
けている。

【００２５】この発明では、前記ハウジングに設けられ
た第３の連通孔を通じて、ロータ吐出端部とハウジング
の端面間の、低真空域の隙間に自吸で大気ガスを導入す
る。前記隙間は、オイルシール背面室に連通しており、
この隙間を通じて前記オイルシール背面室に大気ガスが
導入される。そこで、オイルシール背面室付近に浮遊し
ているオイルミストを第３の連通孔→前記隙間→オイル
シール背面室に導入される大気ガスと一緒に排気口に導
く。さらに、前記ケーシングに設けられた第１の連通孔
および周溝を通じて、ケーシングの内周面とロータの外
周面間の隙間に大気ガスを自吸で導入する。そして、前
記発明と同様、前記隙間に導入された大気ガスの一部に
より、前記隙間に浮遊するオイルミストを排気口に導
き、大気ガスの他の一部により、ポンプ機内へのオイル
ミストの侵入を防止する。また、主に前記第２の連通孔
よりオイルシール背面室に導入される大気ガスによりオ
イルシールの摺動部を冷却することによって、オイルシ
ールの摺動熱により蒸発しオイルシールの摺動部から潤
滑油が漏れる不具合を解消することができる。しかも、
前記第１，第３の連通孔を通じて導入される大気ガスに
より、オイルシールの内側と外側間の差圧をなくし、オ
イルシールの寿命を長く保つことができる。

【００２６】さらにまた、本発明ではケーシングに前記
周溝と第１の連通孔とを設けている外に、ハウジングに
は前記第２，第３の連通孔を設けている。

【００２７】したがって、この発明ではポンプ機内への
オイルミストの侵入をより一層効果的に防止することが
できるし、オイルシールの摺動部を有効に冷却すること
ができるし、オイルシールの内側と外側間の差圧をなく
し、オイルシールの寿命をより一層長く保つことができ
る。

【００２８】ところで、前記周溝はロータの上流側に設
ける方が、ポンプ機内へのオイルミストの侵入をより良
く防止することができることは実験的に確認されてい
る。しかし、あまり上流側に寄った位置に設けると、吸
気側のガスと大気ガスとが接触し、ポンプ性能を低下さ
せる。

【００２９】そこで、本発明では前記周溝を、ケーシン
グの内壁面におけるロータの吸気側端面から同ロータの
スクリューの１リード分以上、下流側に離れた位置に形
成している。

【００３０】これにより、ロータの吸気側のガスと大気
ガスとが直接ふれないようにすることができるので、ポ
ンプ性能の低下を防止し、しかもオイルミストを排気口
側へ適切に導くことができる。

【００３１】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面により説明す
る。

【００３２】図１は本発明の第１の実施例を示す要部の
拡大断面図である。

【００３３】この図１に示す第１の実施例では、互いに
噛み合う雄，雌一対のスクリュー型のロータ３を収容し
ているケーシング２に、周溝２５と、第１の連通孔２６
とが設けられている。

【００３４】前記周溝２５は、ケーシング２の内周面に
環状に形成されていて、ケーシング２の内周面とロータ
３の外周面間の隙間２３に連通している。なお、前記隙
間２３はロータ３の内部とハウジング１の筒軸部２０間
の隙間を通って、オイルシール背面室２２に連通してい
る。

【００３５】前記第１の連通孔２６は、ケーシング２の
外部から前記周溝２５に連通していて、この周溝２５に
大気ガスを導入するようになっている。

【００３６】この第１の実施例の他の構成については、
前記図７に示す従来技術と同様であり、同じ部材には同
じ符号を付けて示し、これ以上の説明を省略する。

【００３７】次に、前記第１の実施例の動作について説
明する。

【００３８】この第１の実施例では、ケーシング２に設
けられた第１の連通孔２６を通じて、同ケーシング２の
内壁面に設けられた周溝２５内に大気ガスを導入する。
前記周溝２５内に導入された大気ガスは、周囲均等に流
れ、低真空域であるケーシング２の内周面とロータ３の
外周面間の隙間２３に自吸で導入される。

【００３９】一方、前記隙間２３は前述のごとくオイル
シール背面室２２に連通しており、万一オイルシール２
１から潤滑油が漏洩してオイルミスト１８′が発生する
と、そのオイルミスト１８′は前記隙間２３に流れて来
る。

【００４０】ここで、前記隙間２３に導入された大気ガ
スの一部は、ロータ３の回転に伴い上方から下方に向か
って流れ、前記隙間２３に浮遊するオイルミスト１８′
を排気口１４に導く。また、前記隙間２３に導入された
大気ガスの他の一部は、ポンプ機内１０の下部の周囲に
拡散し、ポンプ機内１０へのオイルミスト１８′の侵入
を阻止する。

【００４１】さらに、前記隙間２３からオイルシール背
面室２２に導入される大気ガスにより、オイルシール２
１の摺動部を冷却する。したがって、オイルシール２１
の摺動熱によりオイルシール２１の摺動部付近の潤滑油
が蒸発してオイルシール背面室２２側へ漏洩する不具合
を解消することができる。

【００４２】しかも、前記隙間２３内に導入される大気
ガスにより、オイルシール背面室２２を大気圧に近づけ
ることができる。その結果、オイルシール２１の内側と
外側間の差圧を殆どなくすことができ、オイルシール２
１の寿命を長く保つことができる。

【００４３】この第１の実施例の他の作用については、
前記図７に示す従来技術と同様である。

【００４４】ついで、図２は本発明の第２の実施例を示
す要部の拡大断面図である。

【００４５】この第２の実施例では、ケーシング２に前
記周溝２５および第１の連通孔２６が設けられている
外、ハウジング１に第２の連通孔２７が設けられてい
る。

【００４６】前記第２の連通孔２７は、ハウジング１の
外部から内部を通り、オイルシール背面室２２に大気ガ
スを導入し得るように穿設されている。

【００４７】この第２の実施例の他の構成については、
前記第１の実施例と同様である。

【００４８】次に、この第２の実施例の動作について説
明する。

【００４９】この第２の実施例では、ハウジング１に設
けられた第２の連通孔２７を通じて、ハウジング１の外
部から低真空域のオイルシール背面室２２に大気ガスを
自吸で導入する。

【００５０】そして、万一オイルシール２１から潤滑油
１８が漏洩し、そのオイルミスト１８′がオイルシール
背面室２２内に浮遊していると、前記大気ガスはオイル
シール背面室２２内のオイルミスト１８′を強制的に前
記ケーシング２の内周面とロータ３の外周面間の隙間２
３に導く。

【００５１】一方、前記隙間２３内には、前記第１の実
施例と同様、第１の連通孔２６および周溝２５を通じて
ケーシング２の外部から大気ガスが導入される。その結
果、前記隙間２３内に導かれたオイルミスト１８′は、
前記隙間２３内に導入されかつロータ３の回転に伴い上
方より下方に向かって流れる大気ガスの一部により排気
口１４に導かれる。さらに、前記隙間２３内に導入され
た大気ガスの他の一部により、ポンプ機内１０へのオイ
ルミスト１８′の侵入が阻止される。

【００５２】また、この第２の実施例では主に第２の連
通孔２７を通じて、オイルシール背面室２２に直接導入
された大気ガスによりオイルシール２１が冷却される。
これにより、オイルシール２１の摺動部の摺動熱によっ
て潤滑油が蒸発しオイルシール背面室２２側へ漏洩する
不具合をより一層効果的に防止することができる。

【００５３】しかも、前記第１の連通孔２６および周溝
２５を通じて前記隙間２３に導入される大気ガスと、前
記第２の連通孔２７を通じてオイルシール背面室２２に
導入される大気ガスとにより、オイルシール２１の内側
と外側間の差圧をなくし、オイルシール２１の寿命を長
く保つことができる。

【００５４】この第２の実施例の他の構成，作用につい
ては、前記第１の実施例と同様である。

【００５５】ついで、図３は本発明の第３の実施例を示
す要部の拡大断面図である。

【００５６】この図３に示す第３の実施例では、ケーシ
ング２に前記周溝２５および第１の連通孔２６が設けら
れている外、ハウジング１に第３の連通孔２８が設けら
れている。

【００５７】前記第３の連通孔２８は、ハウジング１の
外部から内部を通り、ロータ吐出端部１３とハウジング
１の端面間の隙間２４に大気ガスを導入し得るように設
けられている。前記隙間２４は、ロータ３とハウジング
１の筒軸部２０間の隙間を通ってオイルシール背面室２
２に連通している。

【００５８】この第３の実施例では、ハウジング１に設
けられた第３の連通孔２８を通じて、ハウジング１の外
部から低真空域であるロータ吐出端部１３とハウジング
１の端面間の隙間２４に大気ガスを自吸で導入する。前
記隙間２４に導入された大気ガスは、ロータ３とハウジ
ング１の筒軸部２０間の隙間を通り、オイルシール背面
室２２に流れ、万一オイルシール２１から潤滑油が漏洩
し、オイルシール背面室２２内にオイルミスト１８′が
発生した場合に、その浮遊状態のオイルミスト１８′を
ケーシング２の内周面とロータ３の外周面間の隙間２３
に導く。

【００５９】その後は、前記第２の実施例と同様、第１
の連通孔２６および周溝２５から前記隙間２３に導入さ
れる大気ガスにより、前記オイルミスト１８′は排気口
１４に導かれ、またポンプ機内１０への侵入が阻止され
る。

【００６０】この第３の実施例の他の構成，作用につい
ては、前記第２の実施例と同様である。

【００６１】続いて、図４は本発明の第４の実施例を示
す要部の拡大断面図である。

【００６２】この図４に示す第４の実施例では、ケーシ
ング２に第１の連通孔２６および周溝２５が設けられて
いる外、ハウジング１には第２の連通孔２７と第３の連
通孔２８とが設けられている。

【００６３】その結果、この第４の実施例では第１の連
通孔２６と周溝２５、第２，第３の連通孔２７，２８の
相乗作用により、ポンプ機内１０へのオイルミスト１
８′の侵入をより一層効果的に阻止することができる
外、オイルシール２１の摺動部を有効に冷却することが
できるし、オイルシール２１の内側と外側間の差圧をな
くし、オイルシール２１の寿命をより一層長く保つこと
ができる。

【００６４】この第４の実施例の他の構成，作用につい
ては、前記第１，第２および第３の実施例と同様であ
る。

【００６５】さらに、図５は本発明の第５の実施例を示
すもので、周溝および第１の連通孔の位置を説明するた
めのロータの展開図である。

【００６６】この第５の実施例では、周溝２５はケーシ
ング２の内壁面におけるロータ３の吸気側端面から排気
側（下流側）に、スクリューの１リード分の距離Ｌ以上
離れた位置に形成されている。そして、第１の連通孔２
６はケーシング２の外部から前記周溝２５の円周上の任
意の位置に設けられている。なお、図５において、ロー
タの歯形のランド部を、斜線を施しかつ符号１２で示
す。

【００６７】ところで、前記周溝２５はロータ３の吸気
側（上流側）に最も寄った位置に設ける方が、オイルミ
スト１８′のポンプ機内１０への侵入をより良く防止す
ることができることが実験的に確認されている。しか
し、あまり上流側寄りに設けると、吸気側のガスと大気
ガスとが接触し、ポンプ性能の低下を招く。

【００６８】そこで、この第５の実施例では周溝２５
を、ケーシング２の内壁面において、ロータ３の吸気側
である上流側の端面から下流側にスクリューの１リード
分の距離Ｌ以上離れた位置に形成しているので、ロータ
３の吸気側のガスと大気ガスとが直接ふれないようにす
ることができ、したがってポンプ性能の低下を招く不具
合を解消し、しかもオイルミスト１８′を排気口１４側
へ適切に導くことが可能となる。

【００６９】また、本発明では外部から前記第１，第
２，第３の連通孔２６，２７，２８を通じて、圧縮ガス
を押し込むようにしてもよい。

【００７０】さらに、排気口１４に小型の真空ポンプを
設け、オイルミスト１８′を吸引するようにしてもよ
い。

【００７１】また、本発明では真空ポンプの使用場所の
雰囲気や環境に応じて排気口１４および第１，第２，第
３の連通孔２６，２７，２８にフィルタを設けてもよ
い。

【００７２】さらに、前記第１，第２，第３の連通孔２
６，２７，２８に、大気ガスの流量調節用のオリフィス
またはバルブを設けてもよい。

【００７３】

【発明の効果】以上説明した本発明の請求項１記載の発
明によれば、ケーシングに、このケーシングの内周面と
ロータの外周面間の隙間に環状に連通する周溝と、前記
ケーシングの外部から前記周溝に大気ガスを導入する第
１の連通孔とを設けており、ケーシングの外部から前記
第１の連通孔および周溝を通じて、ケーシングの内周面
とロータの外周面間の隙間に大気ガスを自吸で導入し、
この大気ガスによりオイルミストを排気口側に導き、ま
たポンプ機内へのオイルミストの侵入を阻止するように
しているので、万一オイルシールから潤滑油が漏れた場
合でも、ポンプ機内へのオイルミストの侵入を防止し得
る効果があり、前記隙間内に導入された大気ガスにより
オイルシールの摺動部を冷却することができるので、オ
イルシールの摺動部の摺動熱により潤滑油が蒸発してオ
イルシール背面室側へ漏れて来る不具合を解消し得る効
果があり、前記隙間内に大気ガスを導入することによ
り、オイルシールの内側と外側間の差圧をなくし、オイ
ルシールの寿命を長く保ち得る効果もある。

【００７４】また、本発明の請求項２記載の発明によれ
ば、ケーシングに前記周溝および第１の連通孔を設けて
いる外、ハウジングにはこれの外部からハウジングの内
部を通ってオイルシール背面室に大気ガスを導入する第
２の連通孔を設けており、前記ハウジングに設けられた
第２の連通孔を通じてオイルシール背面室に大気ガスを
自吸で導入し、この大気ガスによりオイルミストをケー
シングの内周面とロータの外周面間の隙間に強制的に導
き、ついで第１の連通孔および周溝を通じて前記隙間内
に導入した大気ガスによりオイルミストを排気口側に導
き、またポンプ機内へのオイルミストの侵入を阻止する
ようにしているので、万一オイルミストが発生した場合
でも、ポンプ機内へのオイルミストの侵入をより一層確
実に防止し得る効果を有する外、前記第２の連通孔を通
じてオイルシール背面室に導入される大気ガスによりオ
イルシールの摺動部を直接冷却することができるので、
オイルシールの摺動部をより一層効果的に冷却し得る効
果があり、オイルシールの内側と外側間の差圧をなく
し、オイルシールの寿命をより一層長く保ち得る効果が
ある。

【００７５】さらに、本発明の請求項３記載の発明によ
れば、ケーシングに前記周溝および第１の連通孔を設け
ている外、ハウジングにはこれの外部よりロータ吐出端
部とハウジングの端面間の隙間に大気ガスを導入する第
３の連通孔を設けており、この第３の連通孔→前記隙間
→ロータとハウジングの筒軸部間の隙間を通じてオイル
シール背面室に自吸で大気ガスを導入するようにしてい
るので、この発明においても前記請求項２記載の発明と
同様、ポンプ機内へのオイルミストの侵入をより一層確
実に防止し得る効果があり、オイルシールをより一層効
果的に冷却し得る効果があり、オイルシールの内側と外
側間の差圧をなくし、オイルシールの寿命をより一層長
く保ち得る効果がある。

【００７６】さらにまた、本発明の請求項４記載の発明
によれば、ケーシングに前記周溝および第１の連通孔を
設けている外、ハウジングには前記第２の連通孔および
第３の連通孔を設けているので、前記周溝と第１の連通
孔、第２，第３の連通孔の相乗作用により、前記請求項
１〜３記載の発明に比較して、より一層効果的にポンプ
機内へのオイルミストの侵入を防止し、オイルシールを
冷却し、オイルシールの寿命を長く保ち得る効果があ
る。

【００７７】そして、本発明の請求項５記載の発明によ
れば、前記周溝を、ケーシングの内壁面におけるロータ
の吸気側端面から同ロータのスクリューの１リード分以
上、下流側に離れた位置に形成しているので、ロータの
吸気側のガスと大気ガスとが接触することによるポンプ
性能の低下を防止し、しかもオイルミストを排気口側へ
適切に導き得る効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示す要部の拡大断面図
である。

【図２】本発明の第２の実施例を示す要部の拡大断面図
である。

【図３】本発明の第３の実施例を示す要部の拡大断面図
である。

【図４】本発明の第４の実施例を示す要部の拡大断面図
である。

【図５】本発明の第５の実施例を示すもので、周溝およ
び第１の連通孔の位置を説明するためのロータの展開図
である。

【図６】真空ポンプの一例を示す一部破断側面図であ
る。

【図７】従来の軸封装置を示す拡大断面図である。

【符号の説明】

１…ハウジング、２…ケーシング、３…ロータ、４…ロ
ータの回転軸、５…回転軸の油潤滑軸受、９…吸気口、
１０…ポンプ機内、１４…排気口、１８…潤滑油、１
８′…オイルミスト、２１…オイルシール、２２…オイ
ルシール背面室、２３…ケーシングの内周面とロータの
外周面間の隙間、２４…ロータ吐出端部とハウジングの
端面間の隙間、２５…周溝、２６…第１の連通孔、２７
…第２の連通孔、２８…第３の連通孔、Ｌ…ロータのス
クリューの１リード分の距離。

フロントページの続き (72)発明者内田利一茨城県土浦市神立町502番地株式会社日立製作所機械研究所内 (72)発明者佐藤栄一茨城県土浦市神立町502番地株式会社日立製作所機械研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ハウジング上にケーシングを取り付け、
前記ハウジング内に油潤滑軸受を介して回転軸を支持
し、この回転軸に、互いに噛み合う雄，雌一対のスクリ
ュー型のロータを取り付け、このロータを前記ケーシン
グ内に収容し、前記回転軸とハウジング間に、ケーシン
グ内におけるポンプ機内への潤滑油の侵入を防止するオ
イルシールを装着した真空ポンプ用軸封装置において、
前記ケーシングに、このケーシングの内周面とロータの
外周面間の隙間に環状に連通する周溝と、前記ケーシン
グの外部から前記周溝に大気ガスを導入する連通孔とを
設けたことを特徴とする真空ポンプ用軸封装置。
【請求項２】ハウジング上にケーシングを取り付け、
前記ハウジング内に油潤滑軸受を介して回転軸を支持
し、この回転軸に、互いに噛み合う雄，雌一対のスクリ
ュー型のロータを取り付け、このロータを前記ケーシン
グ内に収容し、前記回転軸とハウジング間に、ケーシン
グ内におけるポンプ機内への潤滑油の侵入を防止するオ
イルシールを装着した真空ポンプ用軸封装置において、
前記ケーシングにはこのケーシングの内周面とロータの
外周面間の隙間に環状に連通する周溝と、前記ケーシン
グの外部から前記周溝に大気ガスを導入する連通孔とを
設けるとともに、前記ハウジングにはこれの外部からハ
ウジングの内部を通ってオイルシール背面室に大気ガス
を導入する連通孔を設けたことを特徴とする真空ポンプ
用軸封装置。
【請求項３】ハウジング上にケーシングを取り付け、
前記ハウジング内に油潤滑軸受を介して回転軸を支持
し、この回転軸に、互いに噛み合う雄，雌一対のスクリ
ュー型のロータを取り付け、このロータを前記ケーシン
グ内に収容し、前記回転軸とハウジング間に、ケーシン
グ内におけるポンプ機内への潤滑油の侵入を防止するオ
イルシールを装着した真空ポンプ用軸封装置において、
前記ケーシングにはこのケーシングの内周面とロータの
外周面間の隙間に環状に連通する周溝と、前記ケーシン
グの外部から前記周溝に大気ガスを導入する連通孔とを
設けるとともに、前記ハウジングにはこれの外部からハ
ウジングの内部を通ってロータ吐出端部とハウジングの
端面間の隙間に大気ガスを導入する連通孔を設けたこと
を特徴とする真空ポンプ用軸封装置。
【請求項４】ハウジング上にケーシングを取り付け、
前記ハウジング内に油潤滑軸受を介して回転軸を支持
し、この回転軸に、互いに噛み合う雄，雌一対のスクリ
ュー型のロータを取り付け、このロータを前記ケーシン
グ内に収容し、前記回転軸とハウジング間に、ケーシン
グ内におけるポンプ機内への潤滑油の侵入を防止するオ
イルシールを装着した真空ポンプ用軸封装置において、
前記ケーシングにはこのケーシングの内周面とロータの
外周面間の隙間に環状に連通する周溝と、前記ケーシン
グの外部から前記周溝に大気ガスを導入する連通孔とを
設けるとともに、前記ハウジングにはこれの外部からハ
ウジングの内部を通ってオイルシール背面室に大気ガス
を導入する連通孔と、ハウジングの外部からこれの内部
を通ってロータ吐出端部とハウジングの端面間の隙間に
大気ガスを導入する連通孔とを設けたことを特徴とする
真空ポンプ用軸封装置。
【請求項５】前記周溝を、ケーシングの内壁面におけ
るロータの吸気側端面から同ロータのスクリューの１リ
ード分以上、下流側に離れた位置に形成したことを特徴
とする請求項１〜４のいずれかに記載の真空ポンプ用軸
封装置。