JPH0666487B2 - ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
ガスレ−ザ発振器Info
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- JPH0666487B2 JPH0666487B2 JP62195762A JP19576287A JPH0666487B2 JP H0666487 B2 JPH0666487 B2 JP H0666487B2 JP 62195762 A JP62195762 A JP 62195762A JP 19576287 A JP19576287 A JP 19576287A JP H0666487 B2 JPH0666487 B2 JP H0666487B2
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- duct
- discharge tube
- gas
- laser medium
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はガスレーザ発振器に関し、特に安定したレーザ
光を得ることのできるガスレーザ発振器に関する。
光を得ることのできるガスレーザ発振器に関する。
［従来の技術］ 第３図は従来のこの種のガスレーザ発振器を示す概略構
成図である。このガスレーザ発振器は、２本の放電管
１，１を備え、各放電管１の両端にはそれぞれ延長部と
して延長ダクト２が連接され、更に各延長ダクト２端に
はそれぞれ第１の反射鏡Ｍ１、第２の反射鏡Ｍ２，第３
の反射鏡Ｍ３，第４の反射鏡Ｍ４が取付けられている。
成図である。このガスレーザ発振器は、２本の放電管
１，１を備え、各放電管１の両端にはそれぞれ延長部と
して延長ダクト２が連接され、更に各延長ダクト２端に
はそれぞれ第１の反射鏡Ｍ１、第２の反射鏡Ｍ２，第３
の反射鏡Ｍ３，第４の反射鏡Ｍ４が取付けられている。
また、各放電管１は一端側（図の右側）の各延長部端相
互が第１のダクト２ａにより接合され、更にこの一端側
の各延長部には単一の第２のダクト３の一端側がこれら
に直交して接合されている。更にまた、各放電管１は他
端側（図の左側）の各延長部に単一の第３のダクト４の
一端側がこれらに直交して接合されている。第２，第３
のダクト３，４の各他端は、放電管１に平行した第４の
ダクトすなわち連絡ダクト５によって接合されている。
互が第１のダクト２ａにより接合され、更にこの一端側
の各延長部には単一の第２のダクト３の一端側がこれら
に直交して接合されている。更にまた、各放電管１は他
端側（図の左側）の各延長部に単一の第３のダクト４の
一端側がこれらに直交して接合されている。第２，第３
のダクト３，４の各他端は、放電管１に平行した第４の
ダクトすなわち連絡ダクト５によって接合されている。
連絡ダクト５の略中間には、単一の熱交換器６と単一の
ファン７が直列に配設されるとともに、連絡ダクト５の
ファン７の後方に、レーザ媒質ガスを連絡ダクト５内に
外部より導入するための単一の第１の外部連通手段すな
わちガス導入管８と、劣化したレーザ媒質ガスを連絡ダ
クト５内から外部に排出するための単一の第２の外部連
通手段すなわちガス排出管９が取付けられており、劣化
したレーザ媒質ガスを適宜更新できるようになってい
る。
ファン７が直列に配設されるとともに、連絡ダクト５の
ファン７の後方に、レーザ媒質ガスを連絡ダクト５内に
外部より導入するための単一の第１の外部連通手段すな
わちガス導入管８と、劣化したレーザ媒質ガスを連絡ダ
クト５内から外部に排出するための単一の第２の外部連
通手段すなわちガス排出管９が取付けられており、劣化
したレーザ媒質ガスを適宜更新できるようになってい
る。
したがって、ファン７を駆動すると、ガス導入管８から
供給されたレーザ媒質ガスは、第２のダクト３、各放電
管１、第３のダクト４、および連絡ダクト５からなる基
本的に単一のループ状ガス循環系内を循環する。つま
り、第３のダクト４を介して各放電管１から高熱レーザ
媒質ガスが吸引され、熱交換器６により冷却されるとと
もに、第２のダクト３を介して冷却レーザ媒質ガスが各
放電管１に循環される。そして劣化したレーザ媒質ガス
は、ガス排出管９より外部に排出される。
供給されたレーザ媒質ガスは、第２のダクト３、各放電
管１、第３のダクト４、および連絡ダクト５からなる基
本的に単一のループ状ガス循環系内を循環する。つま
り、第３のダクト４を介して各放電管１から高熱レーザ
媒質ガスが吸引され、熱交換器６により冷却されるとと
もに、第２のダクト３を介して冷却レーザ媒質ガスが各
放電管１に循環される。そして劣化したレーザ媒質ガス
は、ガス排出管９より外部に排出される。
しかして、放電管１，１に電圧を印加して放電エネルギ
を発生させると、放電管１，１内にあるレーザ媒質ガス
が励起され、励起ガスからレーザ光が発生して放電管
１，１での両延長ダクト２の両端の反射鏡Ｍ１〜Ｍ４に
よりポンピングされることになる。つまり、反射鏡Ｍ１
及びＭ２は連絡ダクト５側の放電管１の両延長ダクト２
端に配設され、一方の反射鏡Ｍ１は放電管１の軸心に対
し直交した位置関係にあり、他方の反射鏡Ｍ２は第１の
ダクト２ａの内方に向け45°傾斜した位置関係にある。
更に反射鏡Ｍ３及びＭ４は連絡ダクト５から遠い側の放
電管１の両延長ダクト２端に配設され、一方の反射鏡Ｍ
３は第１のダクト２ａの内方に向け45°傾斜した位置関
係にあり、他方の反射鏡Ｍ４は放電管１側の軸心に対し
直交した位置関係にある。従って、例えば連絡ダクト５
側の放電管１において発生したレーザ光は、傾斜反射鏡
Ｍ２から連絡ダクト５から遠い側の放電管１に配設され
た傾斜反射鏡Ｍ３に伝送され、更に反射鏡Ｍ４に伝送さ
れる。かくして発生したレーザ光は、反射鏡Ｍ１〜Ｍ４
間を往復する間に逐次放電エネルギを得、所望のエネル
ギ値に達したレーザ光は部分反射鏡として形成された反
射鏡Ｍ４から外部へと射出される。
を発生させると、放電管１，１内にあるレーザ媒質ガス
が励起され、励起ガスからレーザ光が発生して放電管
１，１での両延長ダクト２の両端の反射鏡Ｍ１〜Ｍ４に
よりポンピングされることになる。つまり、反射鏡Ｍ１
及びＭ２は連絡ダクト５側の放電管１の両延長ダクト２
端に配設され、一方の反射鏡Ｍ１は放電管１の軸心に対
し直交した位置関係にあり、他方の反射鏡Ｍ２は第１の
ダクト２ａの内方に向け45°傾斜した位置関係にある。
更に反射鏡Ｍ３及びＭ４は連絡ダクト５から遠い側の放
電管１の両延長ダクト２端に配設され、一方の反射鏡Ｍ
３は第１のダクト２ａの内方に向け45°傾斜した位置関
係にあり、他方の反射鏡Ｍ４は放電管１側の軸心に対し
直交した位置関係にある。従って、例えば連絡ダクト５
側の放電管１において発生したレーザ光は、傾斜反射鏡
Ｍ２から連絡ダクト５から遠い側の放電管１に配設され
た傾斜反射鏡Ｍ３に伝送され、更に反射鏡Ｍ４に伝送さ
れる。かくして発生したレーザ光は、反射鏡Ｍ１〜Ｍ４
間を往復する間に逐次放電エネルギを得、所望のエネル
ギ値に達したレーザ光は部分反射鏡として形成された反
射鏡Ｍ４から外部へと射出される。
［発明が解決しようとする課題］ 上記構成によれば、レーザ媒質ガスは、第２のダクト
３、各放電管１、第３のダクト４、および連絡ダクト５
からなる基本的に単一のループ状ガス循環系内を循環す
る一方、各延長ダクト２に存するレーザ媒質ガスは循環
せずその殆どが滞留することになる。
３、各放電管１、第３のダクト４、および連絡ダクト５
からなる基本的に単一のループ状ガス循環系内を循環す
る一方、各延長ダクト２に存するレーザ媒質ガスは循環
せずその殆どが滞留することになる。
上記のようなガスの循環、滞留に関係なくレーザ光は各
部位にあるレーザ媒質ガスを通過することになる。する
と、レーザ光は、レーザ媒質ガス、特に滞留したガスに
吸収されてガス温度を上昇させる。ガス温度が上昇する
程にレーザ光の吸収効率が急激に高まることが一般に知
られているが、この現象は滞留しているからこそ漸次ガ
ス温度が上昇して増々レーザ光を効率よく吸収すること
になり、このことが安定したレーザ光を得るための障害
となり、かつ熱交換器の負担を増大させる要因となって
いた。
部位にあるレーザ媒質ガスを通過することになる。する
と、レーザ光は、レーザ媒質ガス、特に滞留したガスに
吸収されてガス温度を上昇させる。ガス温度が上昇する
程にレーザ光の吸収効率が急激に高まることが一般に知
られているが、この現象は滞留しているからこそ漸次ガ
ス温度が上昇して増々レーザ光を効率よく吸収すること
になり、このことが安定したレーザ光を得るための障害
となり、かつ熱交換器の負担を増大させる要因となって
いた。
本発明は叙上の課題を解決するためになされたもので、
各放電管の両端延長部に存するレーザ媒質ガスを滞留さ
せないようにすることによって両端延長部におけるレー
ザ光の吸収を軽減し、レーザ出力の安定化と熱交換器の
負担の軽減化を図れるガスレーザ発振器を提供すること
を目的とする。
各放電管の両端延長部に存するレーザ媒質ガスを滞留さ
せないようにすることによって両端延長部におけるレー
ザ光の吸収を軽減し、レーザ出力の安定化と熱交換器の
負担の軽減化を図れるガスレーザ発振器を提供すること
を目的とする。
［課題を解決するための手段］ 本発明に係るガスレーザ発振器は、並設された一対の放
電管と、各放電管の両端にそれぞれ設けた延長部と、各
放電管の一端側の延長部相互を接合する第１のダクト
と、一端側を各放電管の一端側延長部に直交させて接合
した単一の第２のダクトと、一端側を各放電管の他端側
延長部に直交させて接合した単一の第３のダクトと、第
２及び第３のダクトの各他端相互を接合する第４のダク
トと、一方の放電管の他端側の延長部端にこの放電管の
軸心に対し直交さて配置した第１の反射鏡と、一方の放
電管の一端側の延長部端に第１のダクトの内方に向けこ
の放電管の軸心に対し45°傾斜させて配置した第２の反
射鏡と、他方の放電管の一端側の延長部端に第１のダク
トの内方に向けこの放電管の軸心に対し45°傾斜させて
配置した第３の反射鏡と、他方の放電管の他端側の延長
部端に放電管の軸心に対し直交させて配置した第４の反
射鏡と、第４のダクトの途中に設けた単一の熱交換器
と、第４のダクトの途中に熱交換器と位置をずらせて配
置され、供給されたレーザ媒質ガスを、第２ダクト、各
放電管、第３のダクト、および第４のダクトからなる基
本的に単一のループ状ガス循環系内で循環させる単一の
ファンと、各放電管の両端延長部にそれぞれ設けられ、
ガス循環系内に新たにレーザ媒質ガスを導入する、また
はガス循環系内で劣化したレーザ媒質ガスを外部に排出
する、複数の第１の外部連通手段と、ガス循環系内のフ
ァン近傍の下流側に配置され、ガス循環系内で劣化した
レーザ媒質ガスを外部に排出する、またはガス循環系内
に新たにレーザ媒質ガスを導入する、第２の外部連通手
段とを備えたものである。
電管と、各放電管の両端にそれぞれ設けた延長部と、各
放電管の一端側の延長部相互を接合する第１のダクト
と、一端側を各放電管の一端側延長部に直交させて接合
した単一の第２のダクトと、一端側を各放電管の他端側
延長部に直交させて接合した単一の第３のダクトと、第
２及び第３のダクトの各他端相互を接合する第４のダク
トと、一方の放電管の他端側の延長部端にこの放電管の
軸心に対し直交さて配置した第１の反射鏡と、一方の放
電管の一端側の延長部端に第１のダクトの内方に向けこ
の放電管の軸心に対し45°傾斜させて配置した第２の反
射鏡と、他方の放電管の一端側の延長部端に第１のダク
トの内方に向けこの放電管の軸心に対し45°傾斜させて
配置した第３の反射鏡と、他方の放電管の他端側の延長
部端に放電管の軸心に対し直交させて配置した第４の反
射鏡と、第４のダクトの途中に設けた単一の熱交換器
と、第４のダクトの途中に熱交換器と位置をずらせて配
置され、供給されたレーザ媒質ガスを、第２ダクト、各
放電管、第３のダクト、および第４のダクトからなる基
本的に単一のループ状ガス循環系内で循環させる単一の
ファンと、各放電管の両端延長部にそれぞれ設けられ、
ガス循環系内に新たにレーザ媒質ガスを導入する、また
はガス循環系内で劣化したレーザ媒質ガスを外部に排出
する、複数の第１の外部連通手段と、ガス循環系内のフ
ァン近傍の下流側に配置され、ガス循環系内で劣化した
レーザ媒質ガスを外部に排出する、またはガス循環系内
に新たにレーザ媒質ガスを導入する、第２の外部連通手
段とを備えたものである。
［作用］ 本発明において、各放電管の両端延長部にそれぞれ設け
た複数の第１の外部連通手段を、導入管として用いた場
合には、これら第１の外部連通手段から新たにレーザ媒
質ガスを導入する度に、両端延長部に存するレーザ媒質
ガスを流動させて循環レーザ媒質ガスに合流させること
ができる。また、複数の第１の外部連通手段を、排出管
として用いた場合は、両端延長部よりガス循環系内の劣
化したレーザ媒質ガスを外部に排出できるので、両端延
長部にレーザ媒質ガスが滞留することがなくなる。この
ため、両端延長部のレーザ媒質ガスによるレーザ光の吸
収を格段に抑制することができるとともに、レーザ出力
を安定することができ、かつ熱交換器の負担を軽減する
ことができる。
た複数の第１の外部連通手段を、導入管として用いた場
合には、これら第１の外部連通手段から新たにレーザ媒
質ガスを導入する度に、両端延長部に存するレーザ媒質
ガスを流動させて循環レーザ媒質ガスに合流させること
ができる。また、複数の第１の外部連通手段を、排出管
として用いた場合は、両端延長部よりガス循環系内の劣
化したレーザ媒質ガスを外部に排出できるので、両端延
長部にレーザ媒質ガスが滞留することがなくなる。この
ため、両端延長部のレーザ媒質ガスによるレーザ光の吸
収を格段に抑制することができるとともに、レーザ出力
を安定することができ、かつ熱交換器の負担を軽減する
ことができる。
［実施例］ 以下、第１図に示す第１実施例に基づいて本発明を説明
する。なお、ここでは説明の都合上、従来と同一又は相
当部分には同一符号を付してその説明を省略し、本実施
例の特徴を中心に説明する。本実施例のガスレーザ発振
器は、各放電管１両端の各延長ダクト２に、それぞれ外
部より新たにレーザ媒質ガスを導入するための複数の第
１の外部連通手段すなわち導入管８ａ〜８ｄを取付ける
とともに、連絡ダクト５のファン７の後方に、基本的に
単一のループ状ガス循環系内で劣化したレーザ媒質ガス
を外部に排出するための単一の第２の外部連通手段すな
わち排出管９を取付けた点に特徴を有している。
する。なお、ここでは説明の都合上、従来と同一又は相
当部分には同一符号を付してその説明を省略し、本実施
例の特徴を中心に説明する。本実施例のガスレーザ発振
器は、各放電管１両端の各延長ダクト２に、それぞれ外
部より新たにレーザ媒質ガスを導入するための複数の第
１の外部連通手段すなわち導入管８ａ〜８ｄを取付ける
とともに、連絡ダクト５のファン７の後方に、基本的に
単一のループ状ガス循環系内で劣化したレーザ媒質ガス
を外部に排出するための単一の第２の外部連通手段すな
わち排出管９を取付けた点に特徴を有している。
即ち、傾斜した反射鏡Ｍ２，Ｍ３の配設された各放電管
１，１の一端側（図の右側）の延長ダクト２，２間を連
通する第１のダクト２ａに第１導入管８ａを取付け、連
絡ダクト５に対して遠い側の放電管１の両延長ダクト
２，２に対して第２，第３導入管８ｂ，８ｃを、そして
近い側であって放電管１の反射鏡Ｍ１の配設された延長
ダクト２に対して第４導入管８ｄを、それぞれ取付ける
一方、連絡ダクト５に従来設けていた導入管を省略して
レーザ発振器を構成したものである。
１，１の一端側（図の右側）の延長ダクト２，２間を連
通する第１のダクト２ａに第１導入管８ａを取付け、連
絡ダクト５に対して遠い側の放電管１の両延長ダクト
２，２に対して第２，第３導入管８ｂ，８ｃを、そして
近い側であって放電管１の反射鏡Ｍ１の配設された延長
ダクト２に対して第４導入管８ｄを、それぞれ取付ける
一方、連絡ダクト５に従来設けていた導入管を省略して
レーザ発振器を構成したものである。
従って、本実施例のガスレーザ発振器は、各導入管８ａ
〜８ｄから基本的に単一のループ状ガス循環系内に新た
にレーザ媒質ガスを導入し、かつ排出管９からループ状
ガス循環系内で劣化したレーザ媒質ガスを排出する度
に、つまりレーザ媒質ガスを更新する度毎に、各放電管
両端の各延長ダクト２に滞留するレーザ媒質ガスを流動
させて循環レーザ媒質ガスに合流させることができる。
このため、各延長ダクト２におけるレーザ媒質ガスのレ
ーザ光の吸収によるガス温度の上昇を抑制することがで
きる。この結果、ガス温度の上昇によるレーザ光の吸収
効率の急激な上昇を招くことがなくなって、常に安定し
たレーザ出力を確保することができるとともに、熱交換
器の負担を軽減することができる。
〜８ｄから基本的に単一のループ状ガス循環系内に新た
にレーザ媒質ガスを導入し、かつ排出管９からループ状
ガス循環系内で劣化したレーザ媒質ガスを排出する度
に、つまりレーザ媒質ガスを更新する度毎に、各放電管
両端の各延長ダクト２に滞留するレーザ媒質ガスを流動
させて循環レーザ媒質ガスに合流させることができる。
このため、各延長ダクト２におけるレーザ媒質ガスのレ
ーザ光の吸収によるガス温度の上昇を抑制することがで
きる。この結果、ガス温度の上昇によるレーザ光の吸収
効率の急激な上昇を招くことがなくなって、常に安定し
たレーザ出力を確保することができるとともに、熱交換
器の負担を軽減することができる。
第２図は本発明の他の実施例を示すものである。この実
施例のガスレーザ発振器は、上述の第１実施例でレーザ
媒質ガスの導入部として用いていた第１乃至第４導入管
をいずれもレーザ媒質ガスの排出管９ａ〜９ｄに、同じ
く第１実施例で置き代えて構成した点が第１実施例のも
のと異なっている。
施例のガスレーザ発振器は、上述の第１実施例でレーザ
媒質ガスの導入部として用いていた第１乃至第４導入管
をいずれもレーザ媒質ガスの排出管９ａ〜９ｄに、同じ
く第１実施例で置き代えて構成した点が第１実施例のも
のと異なっている。
即ち、傾斜した反射鏡Ｍ２，Ｍ３の配設された各放電管
１，１の一端側（図の右側）の延長ダクト２，２間を連
通する第１のダクト２ａに第１排出管９ａを取付け、連
絡ダクト５に対して遠い側の放電管１の両延長ダクト
２，２に対して第２，第３排出管９ｂ，９ｃを、そして
近い側であって放電管１の反射鏡Ｍ１の配設された延長
ダクト２に対して第４排出管９ｄを、それぞれ取付ける
一方、連絡ダクト５に従来設けていた排出管を省略して
レーザ発振器を構成したものである。
１，１の一端側（図の右側）の延長ダクト２，２間を連
通する第１のダクト２ａに第１排出管９ａを取付け、連
絡ダクト５に対して遠い側の放電管１の両延長ダクト
２，２に対して第２，第３排出管９ｂ，９ｃを、そして
近い側であって放電管１の反射鏡Ｍ１の配設された延長
ダクト２に対して第４排出管９ｄを、それぞれ取付ける
一方、連絡ダクト５に従来設けていた排出管を省略して
レーザ発振器を構成したものである。
この実施例においては、ガスレーザ発振器は、各放電管
両端の各延長ダクト２に滞留するレーザ媒質ガスを各排
出管９ａ〜９ｄから外部に排出できるので、上述の第１
実施例同様、各延長ダクト２におけるレーザ媒質ガスの
レーザ光の吸収によるガス温度の上昇を抑制することが
でき、常に安定したレーザ出力を確保することができる
とともに、熱交換器の負担を軽減することができる。
両端の各延長ダクト２に滞留するレーザ媒質ガスを各排
出管９ａ〜９ｄから外部に排出できるので、上述の第１
実施例同様、各延長ダクト２におけるレーザ媒質ガスの
レーザ光の吸収によるガス温度の上昇を抑制することが
でき、常に安定したレーザ出力を確保することができる
とともに、熱交換器の負担を軽減することができる。
［発明の効果］ 以上述べたように、本発明のよれば、各放電管の両端延
長部に、基本的に単一のループ状ガス循環系内に新たに
レーザ媒質ガスを導入する、またはガス循環系内で劣化
したレーザ媒質ガスを外部に排出する、複数の第１の外
部連通手段をそれぞれ設けるとともに、ガス循環系内の
ファン近傍の下流側にガス循環系内で劣化したレーザ媒
質ガスを外部に排出する、またはガス循環系内に新たに
レーザ媒質ガスを導入する、第２の外部連通手段を配置
したので、第１の外部連通手段から新たにレーザ媒質ガ
スを導入する度毎に、または第１の外部連通手段からガ
ス循環系内で劣化したレーザ媒質ガスを外部に排出する
度毎に、両端延長部に滞留するレーザ媒質ガスを流動さ
せることができ、両端延長部のレーザ媒質ガスによるレ
ーザ光の吸収を格段に抑制することができる。このた
め、レーザ出力を安定化することができるとともに、熱
交換器の負担を軽減することができる。
長部に、基本的に単一のループ状ガス循環系内に新たに
レーザ媒質ガスを導入する、またはガス循環系内で劣化
したレーザ媒質ガスを外部に排出する、複数の第１の外
部連通手段をそれぞれ設けるとともに、ガス循環系内の
ファン近傍の下流側にガス循環系内で劣化したレーザ媒
質ガスを外部に排出する、またはガス循環系内に新たに
レーザ媒質ガスを導入する、第２の外部連通手段を配置
したので、第１の外部連通手段から新たにレーザ媒質ガ
スを導入する度毎に、または第１の外部連通手段からガ
ス循環系内で劣化したレーザ媒質ガスを外部に排出する
度毎に、両端延長部に滞留するレーザ媒質ガスを流動さ
せることができ、両端延長部のレーザ媒質ガスによるレ
ーザ光の吸収を格段に抑制することができる。このた
め、レーザ出力を安定化することができるとともに、熱
交換器の負担を軽減することができる。
第１図では本発明の第１実施例を示すガスレーザ発振器
の概略構成図、第２図は本発明の第２実施例を示す第１
図相当図、第３図は従来のガスレーザ発振器を示す第１
図相当図である。 図において、 １は放電管、 ２は延長ダクト（延長部）、 ２ａは第１のダクト、 ３は第２のダクト、 ４は第３のダクト、 ５は連絡ダクト（第４のダクト）、 ６は熱交換器、 ７はファン、 ８は導入管（第２の外部連通手段）、 ８ａ〜８ｄは導入管（第１の外部連通手段）、 ９は排出管（第２の外部連通手段）、 ９ａ〜９ｄは排出管（第１の外部連通手段）、 Ｍ１は第１の反射鏡、 Ｍ２は第２の反射鏡、 Ｍ３は第３の反射鏡、 Ｍ４は第４の反射鏡、 なお、各図中、同一符号は同一又は相当部分を示す。
の概略構成図、第２図は本発明の第２実施例を示す第１
図相当図、第３図は従来のガスレーザ発振器を示す第１
図相当図である。 図において、 １は放電管、 ２は延長ダクト（延長部）、 ２ａは第１のダクト、 ３は第２のダクト、 ４は第３のダクト、 ５は連絡ダクト（第４のダクト）、 ６は熱交換器、 ７はファン、 ８は導入管（第２の外部連通手段）、 ８ａ〜８ｄは導入管（第１の外部連通手段）、 ９は排出管（第２の外部連通手段）、 ９ａ〜９ｄは排出管（第１の外部連通手段）、 Ｍ１は第１の反射鏡、 Ｍ２は第２の反射鏡、 Ｍ３は第３の反射鏡、 Ｍ４は第４の反射鏡、 なお、各図中、同一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【請求項１】並設された一対の放電管と、 該各放電管の両端にそれぞれ設けた延長部と、 上記各放電管の一端側の延長部相互を接合する第１のダ
クトと、 一端側を上記各放電管の一端側延長部に直交させて接合
した単一の第２のダクトと、 一端側を上記各放電管の他端側延長部に直交させて接合
した単一の第３のダクトと、 上記第２及び第３のダクトの各他端相互を接合する第４
のダクトと、 上記一方の放電管の他端側の延長部端に該放電管の軸心
に対し直交させて配置した第１の反射鏡と、 上記一方の放電管の一端側の延長部端に上記第１のダク
トの内方に向け該放電管の軸心に対し45°傾斜させて配
置した第２の反射鏡と、 上記他方の放電管の一端側の延長部端に上記第１のダク
トの内方に向け該放電管の軸心に対し45°傾斜させて配
置した第３の反射鏡と、 上記他方の放電管の他端側の延長部端に該放電管の軸心
に対し直交させて配置した第４の反射鏡と、 上記第４のダクトの途中に設けた単一の熱交換器と、 上記第４のダクトの途中に上記熱交換器と位置をずらせ
て配置され、供給されたレーザ媒質ガスを、第２ダク
ト、各放電管、第３のダクト、および第４のダクトから
なる基本的に単一のループ状ガス循環系内で循環させる
単一のファンと、 上記各放電管の両端延長部にそれぞれ設けられ、上記ガ
ス循環系内に新たにレーザ媒質ガスを導入する、または
該ガス循環系内で劣化したレーザ媒質ガスを外部に排出
する、複数の第１の外部連通手段と、 上記ガス循環系内の上記ファン近傍の下流側に配置さ
れ、該ガス循環系内で劣化したレーザ媒質ガスを外部に
排出する、または該ガス循環系内に新たにレーザ媒質ガ
スを導入する、第２の外部連通手段とを備えたことを特
徴とするガスレーザ発振器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26446986 | 1986-11-06 | ||
| JP61-264469 | 1986-11-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63239888A JPS63239888A (ja) | 1988-10-05 |
| JPH0666487B2 true JPH0666487B2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=17403652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62195762A Expired - Lifetime JPH0666487B2 (ja) | 1986-11-06 | 1987-08-05 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0666487B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2706557B2 (ja) * | 1990-06-07 | 1998-01-28 | ファナック株式会社 | レーザ発振装置 |
| JPH0766473A (ja) * | 1993-08-26 | 1995-03-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレーザ発振器 |
| JP5037540B2 (ja) * | 2009-01-21 | 2012-09-26 | ファナック株式会社 | ガスレーザ発振器 |
| JP5832609B1 (ja) | 2014-08-25 | 2015-12-16 | ファナック株式会社 | レーザ媒質流路を備えたレーザ発振器 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55165690A (en) * | 1979-06-11 | 1980-12-24 | Hitachi Ltd | Laser oscillator |
-
1987
- 1987-08-05 JP JP62195762A patent/JPH0666487B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63239888A (ja) | 1988-10-05 |
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