JPS5986277A - ガスレ−ザ発生装置 - Google Patents
ガスレ−ザ発生装置Info
- Publication number
- JPS5986277A JPS5986277A JP19591082A JP19591082A JPS5986277A JP S5986277 A JPS5986277 A JP S5986277A JP 19591082 A JP19591082 A JP 19591082A JP 19591082 A JP19591082 A JP 19591082A JP S5986277 A JPS5986277 A JP S5986277A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge tube
- suction port
- blower
- mixed gas
- laser generator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は送風機の配置を改良したガスレーザ発生装置に
関する。
関する。
一般に、ガスレーザ発生装置は、細い放電管内に混合ガ
スたとえばＣＯｚ ｒ Ｎ ｅｔ Ｈｅｔ−供給すると
共に、電極を配置している。電極間でグロー放電を行な
い 混合ガスを励起して、反転分布状態にし、レーザ光
を発生する。レーザ光は放電管両端の出力鏡と全反射鏡
との間で増幅し、出力鏡よシ外部に取出す。レーザ光出
力を高めるには、放電管内に多くの混合ガスを送シ込み
、励起状態を多くシ、レーザ光を多数発生させることで
ある。
スたとえばＣＯｚ ｒ Ｎ ｅｔ Ｈｅｔ−供給すると
共に、電極を配置している。電極間でグロー放電を行な
い 混合ガスを励起して、反転分布状態にし、レーザ光
を発生する。レーザ光は放電管両端の出力鏡と全反射鏡
との間で増幅し、出力鏡よシ外部に取出す。レーザ光出
力を高めるには、放電管内に多くの混合ガスを送シ込み
、励起状態を多くシ、レーザ光を多数発生させることで
ある。
そうすると、放電管内の温度は高くなシ、レーザ光が吸
収されたり、或いは膨張した混合ガスによって、新たな
混合ガスが放電管内に入るのを阻止したり、するので、
レーザ光出力は低下をする。
収されたり、或いは膨張した混合ガスによって、新たな
混合ガスが放電管内に入るのを阻止したり、するので、
レーザ光出力は低下をする。
そこで、放電管と連通ずる冷却路金膜けて、冷却路に熱
交換器、原動機送風機たとえば遠心ブロアを設置し、原
動機を駆動して遠心ブロアを回転させて、冷却した混合
ガスを放電管内に送り込み、放電管内の温度をある一定
温度に維持して、多数のレーザ光を発生している。
交換器、原動機送風機たとえば遠心ブロアを設置し、原
動機を駆動して遠心ブロアを回転させて、冷却した混合
ガスを放電管内に送り込み、放電管内の温度をある一定
温度に維持して、多数のレーザ光を発生している。
レーザ光は、多少不規則性を有するので、ガウス分布特
性を有するレーザ光が一般に望ましい。
性を有するレーザ光が一般に望ましい。
ガウス分布特性を有するレーザ光とは、放電管中心部で
レーザ光のエネルギーが一番強く、中心部より外周部に
行くに従いエネルギーが順次弱くなって行く、特性であ
るうこの特性を持つレーザ光を得るには、複数本の放電
管を直列接続し、レー管内に供給しにくくなる。このた
め、遠心ブロアは高速度回転になり、混合ガスの流速を
早めて、強制的に放電管に送り込むことになる。
レーザ光のエネルギーが一番強く、中心部より外周部に
行くに従いエネルギーが順次弱くなって行く、特性であ
るうこの特性を持つレーザ光を得るには、複数本の放電
管を直列接続し、レー管内に供給しにくくなる。このた
め、遠心ブロアは高速度回転になり、混合ガスの流速を
早めて、強制的に放電管に送り込むことになる。
このように、レーザ光出力を増したり、ガウス分布特性
を持った品質の良いレーザ光を得うとしたυ、すればす
るほどますます、遠心ブロアは、高速度回転になシ、遠
心ブロアの大型化は避けられず、結局、ガスレーザ装置
は大型化する。
を持った品質の良いレーザ光を得うとしたυ、すればす
るほどますます、遠心ブロアは、高速度回転になシ、遠
心ブロアの大型化は避けられず、結局、ガスレーザ装置
は大型化する。
本発明の目的は、放電管本体を小形化したガスレーザ発
生装置を提供することにある。
生装置を提供することにある。
この目的を達成するために、本発明のガスレーザ発生装
置は、２本の放電管本体の各々に形成した混合ガス吸入
口に送風機全段け、吸入口と連通ずる各送風機の出口を
互いに接近Ｊ″るように傾斜させて配置し、送風機の幅
寸法を縮少し、ガスレーザ発生装置の幅寸法又は高Ｃ」
法を縮少する。
置は、２本の放電管本体の各々に形成した混合ガス吸入
口に送風機全段け、吸入口と連通ずる各送風機の出口を
互いに接近Ｊ″るように傾斜させて配置し、送風機の幅
寸法を縮少し、ガスレーザ発生装置の幅寸法又は高Ｃ」
法を縮少する。
以下、本発明の実施例を第１図に示すガスレーザ発生装
置１によシ説明する。
置１によシ説明する。
互いに平行に配置された２本の第１．２放電管本体２，
３は、内部に混合ガス４を充填すると共に、リング形状
の陰極５と陽極６とを配置する。
３は、内部に混合ガス４を充填すると共に、リング形状
の陰極５と陽極６とを配置する。
陰極５と陽極６との間に直流電力を印加して、両電極間
でグロー放電７を発生する。混合ガス４はグロー放’１
７によって、励起されて、反転分布状態となって、レー
ザ光８を発生する。レーザ光８は、第１放′亀管端の出
力鏡９よシ、第１および第２放電管本体端の折返鏡１０
より反射され、第２放電管本体端の全反射鏡１１に至る
。全反射鏡１１のレーザ光８は、再び出力鏡側方向に反
射して、増幅され、出力鏡９よシ外部に取出す。
でグロー放電７を発生する。混合ガス４はグロー放’１
７によって、励起されて、反転分布状態となって、レー
ザ光８を発生する。レーザ光８は、第１放′亀管端の出
力鏡９よシ、第１および第２放電管本体端の折返鏡１０
より反射され、第２放電管本体端の全反射鏡１１に至る
。全反射鏡１１のレーザ光８は、再び出力鏡側方向に反
射して、増幅され、出力鏡９よシ外部に取出す。
吸出口１３は第１放電管本体２および第２放電管本体の
両端に形成している。吸入口１４は吸出口１３間の両数
電管本体の中間に形成している。
両端に形成している。吸入口１４は吸出口１３間の両数
電管本体の中間に形成している。
吸出口１３および吸入口１４は、両放眠管本体に共通管
を設けて、共通管に少なくとも１個以上形成してもよい
。冷却路１５は吸出口１３と吸入口１４の間に配設され
、各冷却路たとえば冷却管に形成したフランジ１５Ａ同
志を当接し、ボルト・ナラトラ締付けて一体に接続して
いる。ボルト・ナツトｔ−緩めれば、各冷却管は分解で
きる。吸入口側の冷却管の１部には、絶縁管１６を設け
ている。冷却路１５には、熱交換器１７およびモータ１
８の出力軸１９に取付けられた第１遠心ブロア２０と第
２遠心プロ゛７２１を配設している。モータ１８を駆動
して、遠心ブロア２０，２１を回転すれば、混合ガス４
は矢印方向に流通する。第１遠心ブロア２０と第２遠心
ブロア２１の出口２２゜２３は、第２図に示すように、
互いに接近するように傾斜面２４を形成している。
を設けて、共通管に少なくとも１個以上形成してもよい
。冷却路１５は吸出口１３と吸入口１４の間に配設され
、各冷却路たとえば冷却管に形成したフランジ１５Ａ同
志を当接し、ボルト・ナラトラ締付けて一体に接続して
いる。ボルト・ナツトｔ−緩めれば、各冷却管は分解で
きる。吸入口側の冷却管の１部には、絶縁管１６を設け
ている。冷却路１５には、熱交換器１７およびモータ１
８の出力軸１９に取付けられた第１遠心ブロア２０と第
２遠心プロ゛７２１を配設している。モータ１８を駆動
して、遠心ブロア２０，２１を回転すれば、混合ガス４
は矢印方向に流通する。第１遠心ブロア２０と第２遠心
ブロア２１の出口２２゜２３は、第２図に示すように、
互いに接近するように傾斜面２４を形成している。
このように、第１遠心ブロア２０と第２遠心ブロア２１
の出口２２．２３は、お互に接近するつまり内側に傾斜
面２４を形成しているので、７ランジ１５Ａが遠心ブロ
ア２０，２１の外周面よシ外側に突出しなｈｏすなわち
、鎖線で示すように出口２２’ 、２３’を直線形状に
すれば、フランジ１５Ａ′が遠心ブロア２０，２１の外
周部よシ外側に突出するので、遠心ブロアの幅寸法は、
Ｌｌとなる。これに対して、本発明のフランジ１５Ａは
、遠心ブロア２０，２１の外周部よシ外側に突出してい
ないので、遠心ブロアの幅寸法はＬ２となる。幅寸法Ｌ
！はＬｌよシ小さい。したがって、ガスレーザ発生装置
１を小形化できる。また、出口２２．２３は傾斜面２４
を形成しているので、混合ガス４を吸入口１４にスムー
ズに流通することもできる。したがって、両放屯′ａ本
体内は冷却をしやすい。
の出口２２．２３は、お互に接近するつまり内側に傾斜
面２４を形成しているので、７ランジ１５Ａが遠心ブロ
ア２０，２１の外周面よシ外側に突出しなｈｏすなわち
、鎖線で示すように出口２２’ 、２３’を直線形状に
すれば、フランジ１５Ａ′が遠心ブロア２０，２１の外
周部よシ外側に突出するので、遠心ブロアの幅寸法は、
Ｌｌとなる。これに対して、本発明のフランジ１５Ａは
、遠心ブロア２０，２１の外周部よシ外側に突出してい
ないので、遠心ブロアの幅寸法はＬ２となる。幅寸法Ｌ
！はＬｌよシ小さい。したがって、ガスレーザ発生装置
１を小形化できる。また、出口２２．２３は傾斜面２４
を形成しているので、混合ガス４を吸入口１４にスムー
ズに流通することもできる。したがって、両放屯′ａ本
体内は冷却をしやすい。
この実施例では、遠心ブロアは冷却路に対して水平方向
に配置したが、冷却路に対して遠ｌｕプロアを垂直方向
に配置すれば、遠心ブロアの高寸法を少なくともフラン
ジ分だけ縮少できる。
に配置したが、冷却路に対して遠ｌｕプロアを垂直方向
に配置すれば、遠心ブロアの高寸法を少なくともフラン
ジ分だけ縮少できる。
Claims (1)
- １、電極間のグロー放′亀によって、混合ガスを励起し
て発生したレーザ光を反射鏡間で共振させる少なくとも
２個以上の放電管本体全対応配置し、放電管本体の両端
および中間部に形成した吸出口および吸入口と、□一方
の吸出口と吸入口との間および他方の吸出口と吸入口と
の間に設けた第１冷却器および第２冷却路と、各冷却路
に設けた送風機の回転力で混合ガスを、各放電管本体と
両冷却路との間を循環冷却するものにおいて、各送風機
の出ロ金吸入ロ側で互い接近するように傾斜させたこと
を特徴とするガスレーザ発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19591082A JPS5986277A (ja) | 1982-11-10 | 1982-11-10 | ガスレ−ザ発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19591082A JPS5986277A (ja) | 1982-11-10 | 1982-11-10 | ガスレ−ザ発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5986277A true JPS5986277A (ja) | 1984-05-18 |
Family
ID=16349015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19591082A Pending JPS5986277A (ja) | 1982-11-10 | 1982-11-10 | ガスレ−ザ発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5986277A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3442898A1 (de) | 1984-11-24 | 1986-05-28 | Trumpf GmbH & Co, 7257 Ditzingen | Gas-laser mit quereinkopplung von hochfrequenzenergie |
-
1982
- 1982-11-10 JP JP19591082A patent/JPS5986277A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3442898A1 (de) | 1984-11-24 | 1986-05-28 | Trumpf GmbH & Co, 7257 Ditzingen | Gas-laser mit quereinkopplung von hochfrequenzenergie |
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