JPH0666829A - 加速度センサ - Google Patents
加速度センサInfo
- Publication number
- JPH0666829A JPH0666829A JP22270292A JP22270292A JPH0666829A JP H0666829 A JPH0666829 A JP H0666829A JP 22270292 A JP22270292 A JP 22270292A JP 22270292 A JP22270292 A JP 22270292A JP H0666829 A JPH0666829 A JP H0666829A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- case
- magnetic fluid
- acceleration sensor
- permanent magnet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁性流体を素早く準安定状態とすることの可
能な加速度センサを提供すること。 【構成】 非磁性材料により構成されて内部に密閉され
た空間を形成してなるケース１０と、ケース１０内に封
入された磁性流体１１と、磁性流体１１内に浮遊状態で
置かれた永久磁石１２と、ケース１０の外部に設けられ
て永久磁石１２の変位に伴う磁気強度を検出する磁気検
出素子１３とを備えた加速度センサにおいて、ケース１
０の少なくとも一ヶ所に磁性流体１１に微振動を加える
振動媒体１６を設けた。
能な加速度センサを提供すること。 【構成】 非磁性材料により構成されて内部に密閉され
た空間を形成してなるケース１０と、ケース１０内に封
入された磁性流体１１と、磁性流体１１内に浮遊状態で
置かれた永久磁石１２と、ケース１０の外部に設けられ
て永久磁石１２の変位に伴う磁気強度を検出する磁気検
出素子１３とを備えた加速度センサにおいて、ケース１
０の少なくとも一ヶ所に磁性流体１１に微振動を加える
振動媒体１６を設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は物体の加速度を検出する
加速度センサに関する。
加速度センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】加速度センサの一つとして、例えば特開
平２−９００６１号公報に示されているように、非磁性
材料で構成されると共に密閉されたケース内に、磁性流
体を封入すると共に、この磁性流体内に円形の径方向に
着磁された永久磁石を浮遊状態で置き、ケースの加速度
による永久磁石の変位力と永久磁石の着磁箇所に磁束密
度に比例した圧力分布で流動する磁性流体からの作用力
との釣り合いを利用して永久磁石を静止させ、この静止
位置をケースの外周上に設けたホール素子などの磁気検
出素子によって検出することにより、ケースが固定され
た物体の加速度を検出するようにしたものがある。
平２−９００６１号公報に示されているように、非磁性
材料で構成されると共に密閉されたケース内に、磁性流
体を封入すると共に、この磁性流体内に円形の径方向に
着磁された永久磁石を浮遊状態で置き、ケースの加速度
による永久磁石の変位力と永久磁石の着磁箇所に磁束密
度に比例した圧力分布で流動する磁性流体からの作用力
との釣り合いを利用して永久磁石を静止させ、この静止
位置をケースの外周上に設けたホール素子などの磁気検
出素子によって検出することにより、ケースが固定され
た物体の加速度を検出するようにしたものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の加速度
センサにおいては、磁性流体が例えばイソパラフィン中
にマンガン亜鉛フェライト等の超微粒子を分散させたも
のであって流動性が悪く、長時間静止状態に保持されて
磁性流体が安定した状態に流動した場合の出力値と、組
付直後或いは大きな振動を受けて磁性流体が安定した状
態に流動していない場合の出力値との間には大きな差が
生じる。このため、組付から検査に至る待ち時間が長く
て量産時には検査手持ち個数が非常に多くなるといった
問題があるとともに、大きな振動を受ける箇所での使用
に際しては検出精度に問題があった。本発明は上記した
問題に対処するためになされたもので、その目的は磁性
流体を素早く準安定状態とすることの可能な加速度セン
サを提供することにある。
センサにおいては、磁性流体が例えばイソパラフィン中
にマンガン亜鉛フェライト等の超微粒子を分散させたも
のであって流動性が悪く、長時間静止状態に保持されて
磁性流体が安定した状態に流動した場合の出力値と、組
付直後或いは大きな振動を受けて磁性流体が安定した状
態に流動していない場合の出力値との間には大きな差が
生じる。このため、組付から検査に至る待ち時間が長く
て量産時には検査手持ち個数が非常に多くなるといった
問題があるとともに、大きな振動を受ける箇所での使用
に際しては検出精度に問題があった。本発明は上記した
問題に対処するためになされたもので、その目的は磁性
流体を素早く準安定状態とすることの可能な加速度セン
サを提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明においては、非磁性材料により構成され
て内部に密閉された空間を形成してなるケースと、前記
ケース内に封入された磁性流体と、前記磁性流体内に浮
遊状態で置かれた永久磁石と、前記ケースの外部に設け
られて前記永久磁石の変位に伴う磁気強度を検出する磁
気検出素子とを備えた加速度センサにおいて、前記ケー
スの少なくとも一ヶ所に前記磁性流体に微振動を加える
振動媒体を設けた。
ために、本発明においては、非磁性材料により構成され
て内部に密閉された空間を形成してなるケースと、前記
ケース内に封入された磁性流体と、前記磁性流体内に浮
遊状態で置かれた永久磁石と、前記ケースの外部に設け
られて前記永久磁石の変位に伴う磁気強度を検出する磁
気検出素子とを備えた加速度センサにおいて、前記ケー
スの少なくとも一ヶ所に前記磁性流体に微振動を加える
振動媒体を設けた。
【０００５】
【発明の作用・効果】本発明による加速度センサにおい
ては、振動媒体を作動させると、ケースを介して磁性流
体に微振動が加えられて磁性流体が素早く準安定状態に
流動する。したがって、当該加速度センサは組付直後で
あっても大きな振動を受けた直後の使用であっても、そ
の出力値は長時間静止状態に保持されて磁性流体が安定
した状態に流動した場合の出力値に近似し、組付から検
査に至る待ち時間を短くできて量産時の検査手持ち個数
を大幅に減少させることができるとともに、大きな振動
を受けた直後の検出精度を従来に比して向上させること
ができる。
ては、振動媒体を作動させると、ケースを介して磁性流
体に微振動が加えられて磁性流体が素早く準安定状態に
流動する。したがって、当該加速度センサは組付直後で
あっても大きな振動を受けた直後の使用であっても、そ
の出力値は長時間静止状態に保持されて磁性流体が安定
した状態に流動した場合の出力値に近似し、組付から検
査に至る待ち時間を短くできて量産時の検査手持ち個数
を大幅に減少させることができるとともに、大きな振動
を受けた直後の検出精度を従来に比して向上させること
ができる。
【０００６】
【実施例】以下に、本発明の一実施例を図面に基づいて
説明する。図１は本発明による加速度センサを示してい
て、この加速度センサは、入力加速度に略比例した電圧
信号を出力するものであり、アルミニウムなどの非磁性
材料により構成されて内部に密閉された空間を形成する
ケース１０と、このケース１０内に封入された磁性流体
１１と、磁性流体１１内に浮遊状態で置かれた永久磁石
１２と、ケース１１の外部に設けられて永久磁石１２の
変位に伴う磁気強度を検出する磁気検出素子（ホール素
子）１３を備えている。磁性流体１１はイソパラフィン
中にマンガン亜鉛フェライト等の超微粒子を分散させた
ものであり、また永久磁石１２は円筒形で９０度毎に径
方向に着磁された４極磁石であり、各磁極に対応して磁
気検出素子１３がそれぞれ配設されていて、ケース１
０，磁性流体１１，永久磁石１２及び磁気検出素子１３
等は特開平２−９００６１号公報にて提案されているも
のと実質的に同様に構成されて、電気回路を構成するプ
リント基板１４にねじ止めされた樹脂製の保持ベース１
５に組付けられている。
説明する。図１は本発明による加速度センサを示してい
て、この加速度センサは、入力加速度に略比例した電圧
信号を出力するものであり、アルミニウムなどの非磁性
材料により構成されて内部に密閉された空間を形成する
ケース１０と、このケース１０内に封入された磁性流体
１１と、磁性流体１１内に浮遊状態で置かれた永久磁石
１２と、ケース１１の外部に設けられて永久磁石１２の
変位に伴う磁気強度を検出する磁気検出素子（ホール素
子）１３を備えている。磁性流体１１はイソパラフィン
中にマンガン亜鉛フェライト等の超微粒子を分散させた
ものであり、また永久磁石１２は円筒形で９０度毎に径
方向に着磁された４極磁石であり、各磁極に対応して磁
気検出素子１３がそれぞれ配設されていて、ケース１
０，磁性流体１１，永久磁石１２及び磁気検出素子１３
等は特開平２−９００６１号公報にて提案されているも
のと実質的に同様に構成されて、電気回路を構成するプ
リント基板１４にねじ止めされた樹脂製の保持ベース１
５に組付けられている。
【０００７】また、この加速度センサにおいては、ケー
ス１０の上面と下面に磁性流体１１に微振動を加える振
動媒体としての圧電素子１６がそれぞれ接着されてい
て、上側の圧電素子１６にはプリント基板１４に設けた
発振回路からリード線１７を介して交流電流が常に送ら
れるようになっている。なお、プリント基板１４はシー
ルド容器２１，２２に台座２３を介してねじ止めされて
いて、シールド容器２１に取付けたゴムブッシュ２４を
貫通するリード線２５によってプリント基板１４に入出
力信号が送られるように構成されている。
ス１０の上面と下面に磁性流体１１に微振動を加える振
動媒体としての圧電素子１６がそれぞれ接着されてい
て、上側の圧電素子１６にはプリント基板１４に設けた
発振回路からリード線１７を介して交流電流が常に送ら
れるようになっている。なお、プリント基板１４はシー
ルド容器２１，２２に台座２３を介してねじ止めされて
いて、シールド容器２１に取付けたゴムブッシュ２４を
貫通するリード線２５によってプリント基板１４に入出
力信号が送られるように構成されている。
【０００８】上記のように構成した本実施例の加速度セ
ンサにおいては、交流電流で作動する圧電素子１６がケ
ース１０を介して磁性流体１１に微振動を常に加えてい
るため、図２にて示した永久磁石１２と磁気検出素子１
３間にある磁性流体１１は素早く準安定状態に流動して
図３の実線ｂにて示したような圧力分布を形成する。な
お、図３の仮想線ａは１００時間静止状態に保持した場
合の圧力分布であり、また図３の破線ｃは大きな振動を
受けた直後の圧力分布である。したがって、当該加速度
センサは組付直後であっても大きな振動を受けた直後の
使用であっても、その出力値（図４の特性線Ｂ参照）は
長時間（１００時間）静止状態に保持されて磁性流体１
１が安定した状態に流動した場合の出力値（図４の特性
線Ａ参照）に近似し、組付から検査に至る待ち時間を短
くできて量産時の検査手持ち個数を大幅に減少させるこ
とができるとともに、大きな振動を受けた直後の検出精
度を従来（振動媒体を備えず大きな振動を受けた直後の
圧力分布が図３の破線ｃのようになり出力値が図４の特
性線Ｃのようになる）に比して向上させることができ
る。
ンサにおいては、交流電流で作動する圧電素子１６がケ
ース１０を介して磁性流体１１に微振動を常に加えてい
るため、図２にて示した永久磁石１２と磁気検出素子１
３間にある磁性流体１１は素早く準安定状態に流動して
図３の実線ｂにて示したような圧力分布を形成する。な
お、図３の仮想線ａは１００時間静止状態に保持した場
合の圧力分布であり、また図３の破線ｃは大きな振動を
受けた直後の圧力分布である。したがって、当該加速度
センサは組付直後であっても大きな振動を受けた直後の
使用であっても、その出力値（図４の特性線Ｂ参照）は
長時間（１００時間）静止状態に保持されて磁性流体１
１が安定した状態に流動した場合の出力値（図４の特性
線Ａ参照）に近似し、組付から検査に至る待ち時間を短
くできて量産時の検査手持ち個数を大幅に減少させるこ
とができるとともに、大きな振動を受けた直後の検出精
度を従来（振動媒体を備えず大きな振動を受けた直後の
圧力分布が図３の破線ｃのようになり出力値が図４の特
性線Ｃのようになる）に比して向上させることができ
る。
【０００９】なお、上記実施例においては、ケース１０
の上面に接着した振動媒体としての圧電素子１６のみを
作動させて本発明を実施したが、ケース１０の下面に接
着した圧電素子１６を作動させて本発明を実施するこ
と、或いはケース１０の周面に振動媒体を設けこれを作
動させるようにして本発明を実施することも可能であ
る。また、上記実施例においては、直交する２方向の加
速度を検出できるようにした例について説明したが、１
方向の加速度のみを検出すれば足りる場合には、永久磁
石１２の着磁箇所を相対向する一対の箇所にすると共
に、相対向する一対のホール素子のみを用いればよい。
の上面に接着した振動媒体としての圧電素子１６のみを
作動させて本発明を実施したが、ケース１０の下面に接
着した圧電素子１６を作動させて本発明を実施するこ
と、或いはケース１０の周面に振動媒体を設けこれを作
動させるようにして本発明を実施することも可能であ
る。また、上記実施例においては、直交する２方向の加
速度を検出できるようにした例について説明したが、１
方向の加速度のみを検出すれば足りる場合には、永久磁
石１２の着磁箇所を相対向する一対の箇所にすると共
に、相対向する一対のホール素子のみを用いればよい。
【図１】 本発明による加速度センサの一実施例を示す
縦断側面図である。
縦断側面図である。
【図２】 図１の要部を磁性流体の圧力分布座標ととも
に示した図である。
に示した図である。
【図３】 磁性流体の圧力分布を示す図である。
【図４】 加速度センサの出力特性を示す図である。
１０…ケース、１１…磁性流体、１２…永久磁石、１３
…ホール素子（磁気検出素子）、１６…圧電素子（振動
媒体）。
…ホール素子（磁気検出素子）、１６…圧電素子（振動
媒体）。
Claims (1)
- 【請求項１】 非磁性材料により構成されて内部に密閉
された空間を形成してなるケースと、前記ケース内に封
入された磁性流体と、前記磁性流体内に浮遊状態で置か
れた永久磁石と、前記ケースの外部に設けられて前記永
久磁石の変位に伴う磁気強度を検出する磁気検出素子と
を備えた加速度センサにおいて、前記ケースの少なくと
も一ヶ所に前記磁性流体に微振動を加える振動媒体を設
けたことを特徴とする加速度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22270292A JPH0666829A (ja) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | 加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22270292A JPH0666829A (ja) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | 加速度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0666829A true JPH0666829A (ja) | 1994-03-11 |
Family
ID=16786574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22270292A Pending JPH0666829A (ja) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | 加速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0666829A (ja) |
-
1992
- 1992-08-21 JP JP22270292A patent/JPH0666829A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4676103A (en) | Acceleration or inclination sensors | |
| US4751459A (en) | Magnetic tachometer or accelerometer having highly permeable eddy current flux circuit | |
| JP3404624B2 (ja) | 磁気センサ | |
| EP0690296A3 (en) | Magnetostrictive sensor | |
| JPH04344467A (ja) | 加速度センサ | |
| CN1441246A (zh) | 奥氏体不锈钢管内氧化物的磁性无损检测方法及装置 | |
| JPH10160459A5 (ja) | ||
| JP2510275B2 (ja) | 加速度センサ | |
| JPH07128132A (ja) | 振動測定用のセンサー | |
| JPH11287725A (ja) | 圧力センサユニット及びこの圧力センサユニットを用いたタイヤ圧検出装置 | |
| JP3474026B2 (ja) | 磁性体検出装置 | |
| JP4842658B2 (ja) | 磁気センサ装置 | |
| JPH0666830A (ja) | 動電型加速度センサ | |
| JPH0612540Y2 (ja) | センサ | |
| JPS60233564A (ja) | 加速度センサ | |
| JPS6042340Y2 (ja) | 振動検出装置 | |
| JP2626055B2 (ja) | 加速度センサ | |
| RU2239182C1 (ru) | Устройство для определения содержания феррита в материале | |
| JPS6318927Y2 (ja) | ||
| JPH1114444A (ja) | 振動検知装置 | |
| SU666483A1 (ru) | Двухстепенный акселерометр | |
| JPS5825382Y2 (ja) | 磁性トナ−検出装置 | |
| JPH03239964A (ja) | 圧電型加速度センサ | |
| SE468705C (sv) | Förfarande och anordning för att medelst reluktansmetoden mäta avståndet mellan två varandra motstående ytor | |
| EP0652446A2 (en) | Apparatus and method for a magnetic image detector |