JPH0668098B2 - 平面研磨用ワ−ク接着装置 - Google Patents

平面研磨用ワ−ク接着装置

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JPH0668098B2
JPH0668098B2 JP61049260A JP4926086A JPH0668098B2 JP H0668098 B2 JPH0668098 B2 JP H0668098B2 JP 61049260 A JP61049260 A JP 61049260A JP 4926086 A JP4926086 A JP 4926086A JP H0668098 B2 JPH0668098 B2 JP H0668098B2
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JP
Japan
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work
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heating
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JP61049260A
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JPS62207381A (ja
Inventor
誠一 前田
勲 長橋
初雪 新井
Original Assignee
スピ−ドフアム株式会社
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  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、平面研磨装置によってブロックに保持された
ワークの研磨加工を行うに当り、該ブロックにワークを
接着するのに使用されるワーク接着装置に関するもので
ある。
[従来の技術] 平面研磨装置によってワークの片面研磨を行う場合、ブ
ロックにワークを接着保持させ、このブロックに保持さ
せたワークを定盤に押し付けながらその研磨を行うよう
にしている。
而して、上記ブロックに対するワークの接着は、一般に
ワックスなどの接着剤を使用して行うが、従来ではその
接着作業を主として手作業によって行うようにしてお
り、そのため、非能率的で人手と時間とを必要とするば
かりでなく、接着むらを生じたり、ワークの汚染や破損
を生じ易いという問題があった。
[発明が解決しようとする問題点] 本発明の課題は、ブロックに対するワークの接着を機械
的操作によって簡単且つ能率的に行うことができる接着
装置を提供することにある。
[問題点を解決するための手段] 上記課題を解決するため、本発明の接着装置は、ワーク
保持用のブロックを載置する台板と、該台板内に設けら
れたブロック用加熱手段とを備えてなる、該加熱手段で
加熱されたブロックにワックスなどの加熱溶融性接着剤
を塗布してワークを仮接着するための加熱ステーション
と、上記加熱ステーションから送られてきたブロックを
載置する台板と、該台板内に設けられたブロック用冷却
手段とを備えてなる冷却ステーションと、上記両ステー
ション間に移動自在に配設され、加熱ステーションにお
いてワークを仮接着されたブロックを冷却ステーション
に搬送するキャリヤと、冷却ステーションに搬送された
ブロックとワークとを加圧し、それらを接着させる加圧
手段と、を備えたものとして構成したものである。
上記加熱ステーション及び冷却ステーションにおける台
板には、ブロックを適正に載置させるためのストッパを
設けることが望ましい。
更に、上記キャリヤは、加熱ステーション及び冷却ステ
ーションを挟んで相対向する一対の搬送体によって構成
することができる。
[作 用] ブロックが加熱ステーション上にセットされて適宜温度
に加熱された後、その表面にワックスなどの加熱溶融性
接着剤が塗布され、ワークが重合仮接着される。
ワークが仮接着されると、キャリヤによりブロックが支
持され、冷却ステーションまで搬送される。
冷却ステーションにおいては、まず、加圧手段によるワ
ークの加圧が行われ、それがブロックに圧接される。続
いて、一定の時間をおいて冷却手段によるブロックの冷
却が行われ、接着が完了する。
上記作業を繰り返すことによってブロックに対するワー
クの接着が行われる。
[実施例] 以下、本発明の実施例を図面を参照しながら詳述する。
第1図及び第2図において、1は接着装置の機体であっ
て、該機体1の上面には、加熱ステーション2と冷却ス
テーション3とが間隔を置いて配設されている。
上記加熱ステーション2は、ワーク保持用のブロック7
(第4図参照)を加熱し、その表面にワックスなどの加
熱溶融性接着剤を用いてワーク8を仮接着するためのも
ので、上記ブロック7を載置するための円板形の台板10
を備え、該台板10内には、電熱や熱水、蒸気等による適
宜の加熱手段が内蔵され、台板10の側面には、上記ブロ
ック7を適正な位置に載置させるための複数のストッパ
11が適宜の間隔を置いて該台板10の上面に突出するよう
に取付けられると共に、キャリヤ4を構成する搬送体4a
の爪6が通過可能な大きさの切欠き12が切設されている
(第3図参照)。
また、上記冷却ステーション3は、ワーク8の加圧によ
るブロック7への圧接と、ブロック7の冷却による接着
剤の固化とを行うためのもので、上記ブロック7を載置
可能な円板形の台板15を備え、該台板15内には、ウオー
タジャケットに冷却水を流通させるように構成した冷却
手段が内蔵され、台板15の側面には、上記加熱ステーシ
ョン2の場合と同様に、複数のストッパ16が適宜の間隔
を置いて該台板15の上面に突出するように取付けられる
と共に、搬送体4aの爪6が通過可能な切欠き17が切設さ
れている。
上記両ステーション2,3の間に移動自在に配設されたキ
ャリヤ4は、加熱ステーション2において加熱されたブ
ロック7を冷却ステーション3に搬送するためのもの
で、両ステーション2,3を挟んで配設された一対の搬送
体4a,4aによって構成されている。これらの搬送体4a,4a
は、第3図からも明らかなように、ブロック7を支持す
る一対の爪6,6をそれぞれ有し、これらの爪6の上面に
ブロック7を正しい位置に載置させるためのストッパ6a
を備えており、これらの搬送体4a,4aは、基板20の両端
に相対向状態に取付けられ、機体1に切設された溝21,2
1内において駆動機構22により昇降と横移動とを行うよ
うに構成されている。
上記キャリヤ4の駆動機構22は、昇降用シリンダ24と横
移動用シリンダ25とを備えており、昇降用シリンダ24
は、ガイド27に沿って移動自在のスライドプレート26に
取付けられ、該昇降用シリンダ24のロッドに上記基板20
が取付けられており、該基板20には、その昇降を安定さ
せるためのガイド28が固定され、該ガイド28を上記スラ
イドプレート26に摺動自在に案内させている。また、上
記横移動用シリンダ25は、機体1に固定され、そのロッ
ドに連結部材29を介して上記スライドプレート26が固定
されている。
上記冷却ステーション3の近傍には、該冷却ステーショ
ン3に搬送されたブロック7上のワーク8を加圧してそ
れをブロック7へ圧接する加圧手段5が配設されてい
る。この加圧手段5は、機体1上に立設した支軸32を中
心にして回動自在の支持アーム31を備え、該支持アーム
31の先端に加圧用シリンダ33を固定すると共に、該シリ
ンダ33のロッドにプレッシャプレート34を取付けること
により構成され、図示しない駆動機構によって第2図に
実線で示す加圧位置と、鎖線で示す退避位置とに駆動さ
れるようになっている。
また、上記機体1の上面及び側面には、このワーク接着
装置を操作するための操作表示部36が設けられており、
該操作表示部36には、上記加熱ステーション2や冷却ス
テーション3、キャリヤ4、加圧手段5などを操作する
ための各種スイッチや押釦、ランプやメータ、ブザーな
どの表示器、リレーやタイマ、その他の制御素子からな
る制御回路等が設けられている。
次に、上記構成を有するワーク接着装置の作用について
順次説明する。
(1)まず、第2図に示す如く加熱ステーション2側で
待機するキャリヤ4の搬送体4a,4aを昇降用シリンダ24
により上昇させ、該搬送体4a,4aの爪6上に、ブロック
7を載置する。
(2)搬送体4a,4aを下降させてブロック7を加熱ステ
ーション2の台板10上に載置し、その加熱を行う。
(3)ブロック7が加熱されると、その表面に加熱溶融
性接着剤が溶融状態で塗布され、該接着剤を介してブロ
ック上にワーク8が重合仮接着される。
(4)適正な加熱後、スタート釦の操作により、搬送体
4a,4aが上昇してブロック7を支持し、横移動用シリン
ダ25の作動によって冷却ステーション3までそれを搬送
する。
(5)冷却ステーション3の位置において搬送体4a,4a
が下降し、台板15上にブロック7を載置する。その後該
搬送体4a,4aは原点位置に復帰する。
(6)加圧用シリンダ33の作動によりプレッシャプレー
ト34が下降し、ワーク8が加圧されてブロック7に圧接
される。
(7)一定の時間をおいて台板15内に冷却水が流通し、
ブロック7の冷却が行われる。
(8)所定の加圧時間が経過すると接着が完了し、プレ
ッシャプレート34が上昇すると共に、支持アーム31が退
避位置に回動する。
(9)ワーク8が接着されたブロック7の搬出が行われ
る。
上記作業を繰り返すことによってブロック7に対するワ
ーク8の接着を行うものである。
[発明の効果] このように本発明によれば、ブロックに対するワークの
接着を機械的操作によって簡単且つ能率てきに行うこと
ができ、ワークの破損や接着むらを生じることもない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す正面図、第2図はその
平面図、第3図は同要部拡大断面図、第4図は接着され
るブロックとワークの平面図である。 2……加熱ステーション、 3……冷却ステーション、 4……キャリヤ、4a……搬送体、 5……加圧手段、7……ブロック、 8……ワーク、10,15……台板、 11,16……ストッパ。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ワーク保持用のブロックを載置する台板
    と、該台板内に設けられたブロック用加熱手段とを備え
    てなる、該加熱手段で加熱されたブロックにワックスな
    どの加熱溶融性接着剤を塗布してワークを仮接着するた
    めの加熱ステーションと、 上記加熱ステーションから送られてきたブロックを載置
    する台板と、該台板内に設けられたブロック用冷却手段
    とを備えてなる冷却ステーションと、 上記両ステーション間に移動自在に配設され、加熱ステ
    ーションにおいてワークを仮接着されたブロックを冷却
    ステーションに搬送するキャリヤと、 冷却ステーションに搬送されたブロックとワークとを加
    圧し、それらを接着させる加圧手段と、を備えたことを
    特徴とする平面研磨用ワーク接着装置。
  2. 【請求項2】加熱ステーション及び冷却ステーションに
    おける台板に、ブロックを適正に載置させるためのスト
    ッパを設けたことを特徴とする特許請求の範囲第1項記
    載の平面研磨用ワーク接着装置。
  3. 【請求項3】上記キャリヤを、加熱ステーション及び冷
    却ステーションを挟んで相対向する一対の搬送体によっ
    て構成したことを特徴とする特許請求の範囲第1項また
    は第2項記載の平面研磨用ワーク接着装置。
JP61049260A 1986-03-06 1986-03-06 平面研磨用ワ−ク接着装置 Expired - Fee Related JPH0668098B2 (ja)

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