JPH0668467B2 - 発光分光分析用測光装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は高周波プラズマ発光のような発光分光分析に用
いる測光装置に関するものである。

（従来技術） 高周波誘導プラズマ等で試料を発光させ、試料中に含有
されている元素の定量分析を行う場合、各元素の発光強
度が異なっているので、各元素毎に推定含有量に合わせ
てそれぞれ異なった測定感度を設定する必要がある。例
えば特開昭59−99336号で提案された装置は、標準試料
における各元素の測定出力の目標値をあらかじめメモリ
に記憶させておき、順次プログラムによってメモリから
読み出したデータに基づいて光電子増倍管の感度を自動
調整するものであり、オペレータの作業負担を軽減する
という利点があるが、あらかじめ各試料について目標推
定値を設定しておく必要がある上に、実際の含有量が推
定範囲を超えると分析ができなくなるという欠点があ
る。

（発明が解決しようとする問題点） 本発明は、上述のようにあらかじめ目標値を設定してお
かなくても、常に光電子増倍管を最適感度に自動調整で
きる発光分光分析用測光装置を提供することを目的とす
るものである。

（問題点を解決するための手段） 上記の目的を達成するために本発明による測光装置は、
光電子増倍管の検出出力を一定値または一定範囲の値と
比較し、該比較出力を光電子増倍管の印加電圧にフィー
ドバックして光電子増倍管の増幅度を変化させる手段
と、上記印加電圧を検出し、これをあらかじめ記憶して
ある印加電圧と増幅度の相関データにより増幅度に変換
して、上記検出出力と増幅度の比として測光値を算出す
る手段を備えたものである。

（作用） 上記の構成によれば、光電子増倍管の増幅度が無段階に
制御されて、光入力に対して常に最適の感度に維持され
るので、従来のように入力レベルに応じて測定レンジを
切り替える必要がなく、またSN比も向上する。

（実施例） 第１図は本発明の一実施例を示したもので、光電子増倍
管１の出力を抵抗ＲとコンデンサＣとの並列回路により
電圧信号に変換したのち増幅器２で増幅し、得られた検
出出力Vaを差動増幅器３により基準電圧Vbと比較して、
差動増幅器３の出力を負高圧電源回路４に入力すること
により、光電子増倍管１の印加電圧Vdを制御して光電子
増倍管１の増幅度ｆ（Ｖ）を変化させている。また光電
子増倍管１の印加電圧Vdは、Ａ／Ｄ変換器５でディジタ
ル値に変換されてマイクロプロセッサ６に読み込まれ、
これがあらかじめメモリに記憶させてある印加電圧Vdと
増幅度ｆ（Ｖ）との相関データを用いて増幅度ｆ（Ｖ）
に変換され、この増幅度ｆ（Ｖ）で上記検出出力Vaが割
り算されて測光値が算出される。こうして得られた測光
値はCRTやペンレコーダ等の出力装置７に出力される。

第２図は印加電圧Vdと増幅度ｆ（Ｖ）との相関特性を示
したもので、この特性を関数式または換算テーブルとし
て、あらかじめマイクロプロセッサ６のメモリ内に記憶
させておくのである。

このように構成すれば、光入力の大きさに合わせて常に
検出出力Vaが一定となるように光電子増倍管１の感度が
連続的に制御されるので、従来のようにあらかじめ標準
試料によって各元素毎に測定レンジを定めておいたり、
あるいは検出出力のスケールオーバーを検出して測定レ
ンジを段階的に切り替えたりする必要がなく、またSN比
も常に最高の状態に保たれるという利点がある。

第３図は他の実施例を示したもので、光電子増倍管１の
出力をＡ／Ｄ変換器８を介してマイクロプロセッサ６に
入力し、光電子増倍管１に電圧を供給する負高圧電源４
にマイクロプロセッサ６からの出力データDoをＤ／Ａ変
換器９を介して入力し、更に上記出力データDoと光電子
増倍管１の増幅度ｆ（Ｖ）との相関テーブルをマイクロ
プロセッサ６に記憶させ、マイクロプロセッサ６におい
てＡ／Ｄ変換器８からの入力データDiが所定範囲に入る
まで出力データDoを変化させて、この時の光電子増倍管
１の増幅度ｆ（Ｖ）で上記入力データDiを割り算して測
光値を算出するようにしたものである。

このように構成すれば、測光値としてＡ／Ｄ変換器８と
Ｄ／Ａ変換器９とを加えたビット数の分解能が得られる
上に、光入力の大小に拘わらず常に同一の有効桁数でダ
イナミックレンジの広い測定ができるという利点があ
る。

（発明の効果） 上記のように本発明によれば、光電子増倍管の検出出力
を一定に保つように電子増倍管の印加電圧にフィードバ
ックをかけて、光電子増倍管の感度を制御すると共に、
この印加電圧を検出し、これを印加電圧と増幅度との相
関データを用いて増幅度に変換して、検出出力と増幅度
から測光値を算出するようにしたものであるから、従来
のように試料中の各元素の量を推定して、各元素毎にあ
らかじめ感度を設定しておく必要がなく、感度調整が完
全に自動化できる上に、広いダイナミックレンジで良好
なSN比を維持できるという利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
同上の動作を示す特性図、第３図は本発明の他の実施例
を示すブロック図である。 １……光電子増倍管、２……増幅器、３……差動増幅
器、４……負高圧電源、５……Ａ／Ｄ変換器、６……マ
イクロプロセッサ、７……出力装置、８……Ａ／Ｄ変換
器、９……Ｄ／Ａ変換器。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】光電子増倍管の検出出力を基準値と比較
   し、該比較出力を光電子増倍管の印加電圧にフィードバ
   ックして光電子増倍管の増幅度を変化させる手段と、上
   記印加電圧を検出し、これをあらかじめ記憶してある印
   加電圧と増幅度との相関データにより増幅度に変換し
   て、上記検出出力と増幅度の比として測光値を算出する
   手段を備えて成ることを特徴とする発光分光分析用測光
   装置。