JPH0668806A - イオン源 - Google Patents
イオン源Info
- Publication number
- JPH0668806A JPH0668806A JP4222348A JP22234892A JPH0668806A JP H0668806 A JPH0668806 A JP H0668806A JP 4222348 A JP4222348 A JP 4222348A JP 22234892 A JP22234892 A JP 22234892A JP H0668806 A JPH0668806 A JP H0668806A
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- JP
- Japan
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- extraction electrode
- ion source
- flange
- rod
- operation rod
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 外部から引出電極の位置を調整可能なイオン
源を提供する。 【構成】 引出電極（１）を支持する引出電極サポート
（１ａ）のプラズマチャンバと反対側の端部付近にフラ
ンジ（１ｂ）を設け、そのフランジ（１ｂ）と係合する
係合部をもつ操作ロッド（２）を設け、その操作ロッド
（２）をフレーム（３）に螺合させて支持し、その操作
ロッド（２）の操作部（２ｄ）を気密に外部に導出し、
その操作部（２ｄ）を回すことにより操作ロッド（２）
およびフランジ（１ｂ）および引出電極サポート（１
ａ）を介して引出電極（１）を移動し、位置調整を行う
引出電極調整装置（１００）を具備する。 【効果】 作業性が向上する。
源を提供する。 【構成】 引出電極（１）を支持する引出電極サポート
（１ａ）のプラズマチャンバと反対側の端部付近にフラ
ンジ（１ｂ）を設け、そのフランジ（１ｂ）と係合する
係合部をもつ操作ロッド（２）を設け、その操作ロッド
（２）をフレーム（３）に螺合させて支持し、その操作
ロッド（２）の操作部（２ｄ）を気密に外部に導出し、
その操作部（２ｄ）を回すことにより操作ロッド（２）
およびフランジ（１ｂ）および引出電極サポート（１
ａ）を介して引出電極（１）を移動し、位置調整を行う
引出電極調整装置（１００）を具備する。 【効果】 作業性が向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、イオン源に関し、さ
らに詳しくは、外部から引出電極の位置を調整できるイ
オン源に関する。
らに詳しくは、外部から引出電極の位置を調整できるイ
オン源に関する。
【０００２】
【従来の技術】１９８８年１２月発行の理化学研究所報
告，第６４巻，第４号の第１４３頁には、電子サイクロ
トロン共振イオン源の構造が開示されている。その電子
サイクロトロン共振イオン源１３００の構造を図６に示
す。１３０１は、磁石１３０２およびコイル１３０３に
より包囲され、プラズマチャンバ１３０４を有するプラ
ズマ容器である。このプラズマ容器１３０１の前端部１
３０１ａには、イオンを引出すためのイオン引出電極１
３０５が設けられている。
告，第６４巻，第４号の第１４３頁には、電子サイクロ
トロン共振イオン源の構造が開示されている。その電子
サイクロトロン共振イオン源１３００の構造を図６に示
す。１３０１は、磁石１３０２およびコイル１３０３に
より包囲され、プラズマチャンバ１３０４を有するプラ
ズマ容器である。このプラズマ容器１３０１の前端部１
３０１ａには、イオンを引出すためのイオン引出電極１
３０５が設けられている。
【０００３】一方、プラズマ容器１３０１の後端部１３
０１ｂには、延長筒体１３０６が設けられている。この
延長筒体１３０６には、前記プラズマチャンバ１３０４
を高真空に保つための真空ポンプ１３０７と，マイクロ
波１３０８を導入するためのマイクロ波導入管部１３０
９が接続されている。また、延長筒体１３０６内には、
前記プラズマチャンバ１３０４内へガス１３１０を導入
するためのガス導入管１３１１が配設されている。
０１ｂには、延長筒体１３０６が設けられている。この
延長筒体１３０６には、前記プラズマチャンバ１３０４
を高真空に保つための真空ポンプ１３０７と，マイクロ
波１３０８を導入するためのマイクロ波導入管部１３０
９が接続されている。また、延長筒体１３０６内には、
前記プラズマチャンバ１３０４内へガス１３１０を導入
するためのガス導入管１３１１が配設されている。
【０００４】前記磁石１３０２の周囲には、冷水ジャケ
ット１３１２が形成されている。冷却水入口１３１３か
ら前記冷水ジャケット１３１２に導入された冷却水は、
前記延長筒体１３０６の外周位置に配設されている冷却
水出口１３１４から排出される。
ット１３１２が形成されている。冷却水入口１３１３か
ら前記冷水ジャケット１３１２に導入された冷却水は、
前記延長筒体１３０６の外周位置に配設されている冷却
水出口１３１４から排出される。
【０００５】この電子サイクロトロン共振イオン源１３
００では、プラズマチャンバ１３０４内を真空ポンプ１
３０７にて例えば１０-4torrの真空状態にすると共に、
コイル１３０３を励磁し、且つ、マイクロ波１３０８お
よびガス１３１０をプラズマチャンバ１３０４内に導入
し、これによりプラズマチャンバ１３０４内でイオンを
生成する。そして、そのイオンを引出電極１３０５によ
り前方へ導出する。
００では、プラズマチャンバ１３０４内を真空ポンプ１
３０７にて例えば１０-4torrの真空状態にすると共に、
コイル１３０３を励磁し、且つ、マイクロ波１３０８お
よびガス１３１０をプラズマチャンバ１３０４内に導入
し、これによりプラズマチャンバ１３０４内でイオンを
生成する。そして、そのイオンを引出電極１３０５によ
り前方へ導出する。
【０００６】
【発明が解決しょうとする課題】引出電極の最適の位置
を予め知ることは一般に困難であるため、トライアンド
エラーにより最適の位置を決める必要がある。このた
め、上記電子サイクロトロン共振イオン源１３００で
は、引出電極１３０５の周辺部分を分解して、引出電極
１３０５の位置調整を行っている。しかし、分解／組立
てには時間と労力がかかる上、１回で済むとは限らず、
非常に作業効率が悪い問題点があった。そこで、この発
明の目的は、分解／組立てをせずに引出電極の位置調整
が可能なイオン源を提供することにある。
を予め知ることは一般に困難であるため、トライアンド
エラーにより最適の位置を決める必要がある。このた
め、上記電子サイクロトロン共振イオン源１３００で
は、引出電極１３０５の周辺部分を分解して、引出電極
１３０５の位置調整を行っている。しかし、分解／組立
てには時間と労力がかかる上、１回で済むとは限らず、
非常に作業効率が悪い問題点があった。そこで、この発
明の目的は、分解／組立てをせずに引出電極の位置調整
が可能なイオン源を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明のイオン源（１
０００）は、引出電極（１）を支持する引出電極サポー
ト（１ａ）のプラズマチャンバ（２０４）と反対側の端
部付近にフランジ（１ｂ）を設け、そのフランジ（１
ｂ）と係合する係合部をもつ操作ロッド（２）を設け、
その操作ロッド（２）をフレーム（３）に螺合させて支
持し、その操作ロッド（２）の操作部を気密に外部に導
出し、その操作部を回すことにより前記操作ロッド
（２）およびフランジ（１ｂ）および引出電極サポート
（１ａ）を介して引出電極（１）を移動し位置調整を行
う引出電極調整装置（１００）を具備したことを構成上
の特徴とするものである。
０００）は、引出電極（１）を支持する引出電極サポー
ト（１ａ）のプラズマチャンバ（２０４）と反対側の端
部付近にフランジ（１ｂ）を設け、そのフランジ（１
ｂ）と係合する係合部をもつ操作ロッド（２）を設け、
その操作ロッド（２）をフレーム（３）に螺合させて支
持し、その操作ロッド（２）の操作部を気密に外部に導
出し、その操作部を回すことにより前記操作ロッド
（２）およびフランジ（１ｂ）および引出電極サポート
（１ａ）を介して引出電極（１）を移動し位置調整を行
う引出電極調整装置（１００）を具備したことを構成上
の特徴とするものである。
【０００８】
【作用】この発明のイオン源では、作業者が、外部で操
作ロッドを回転させると、操作ロッドは軸方向に移動す
る。すると、フランジおよび引出電極サポートにより、
引出電極が軸方向に移動する。かくして、この発明のイ
オン源によれば、外部から引出電極を軸方向に移動し、
位置調整を容易に行うことが出来る。
作ロッドを回転させると、操作ロッドは軸方向に移動す
る。すると、フランジおよび引出電極サポートにより、
引出電極が軸方向に移動する。かくして、この発明のイ
オン源によれば、外部から引出電極を軸方向に移動し、
位置調整を容易に行うことが出来る。
【０００９】
【実施例】以下、図に示す実施例によりこの発明をさら
に詳細に説明する。なお、これによりこの発明が限定さ
れるものではない。
に詳細に説明する。なお、これによりこの発明が限定さ
れるものではない。
【００１０】−第１実施例− 図１は、この発明の第１実施例の電子サイクロトロン共
振イオン源１０００の要部断面図である。１００は、こ
の発明にかかる引出電極調整装置である。１は引出電
極、１ａは引出電極サポート、１ｂはフランジ、２は操
作ロッド、３はフレームである。２００は、電子サイク
ロトロン共振装置である。また、２０４は、プラズマチ
ャンバである。８０９は、マイクロ波導波管部である。
振イオン源１０００の要部断面図である。１００は、こ
の発明にかかる引出電極調整装置である。１は引出電
極、１ａは引出電極サポート、１ｂはフランジ、２は操
作ロッド、３はフレームである。２００は、電子サイク
ロトロン共振装置である。また、２０４は、プラズマチ
ャンバである。８０９は、マイクロ波導波管部である。
【００１１】図２は、引出電極調整装置１００の要部断
面図である。この引出電極調整装置１００において、１
は、引出電極であり，引出電極サポート１ａに取り付け
られている。１ｂは、フランジであり，前記引出電極サ
ポート１ａのプラズマチャンバ２０４と反対側の端部付
近に設けられている。前記フランジ１ｂは、引出電極取
付部材２ｂおよび操作ロッド嵌着部材２ａにより、操作
ロッド２，２，…に係合にされている。
面図である。この引出電極調整装置１００において、１
は、引出電極であり，引出電極サポート１ａに取り付け
られている。１ｂは、フランジであり，前記引出電極サ
ポート１ａのプラズマチャンバ２０４と反対側の端部付
近に設けられている。前記フランジ１ｂは、引出電極取
付部材２ｂおよび操作ロッド嵌着部材２ａにより、操作
ロッド２，２，…に係合にされている。
【００１２】前記操作ロッド２，２，…は、軸受け２
２，２２，…により、フレーム３に支持されている。前
記フレーム３は、コラム５，足８で、ベットに固定され
る。４は、気密を保つためのＯリングである。２０１
は、操作アームであり，操作ロッド２，２，…のうちの
一つの外部に突出した端部に取り付けられている。
２，２２，…により、フレーム３に支持されている。前
記フレーム３は、コラム５，足８で、ベットに固定され
る。４は、気密を保つためのＯリングである。２０１
は、操作アームであり，操作ロッド２，２，…のうちの
一つの外部に突出した端部に取り付けられている。
【００１３】図３は、図２のＡ部の拡大図である。操作
ロッド２には、操作ロッド嵌着部材２ａにより引出電極
取付部材２ｂが取り付けられている。また、操作ロッド
２は、軸受け２２で支持されている。２ｃは、ベローズ
である。２１は、操作ロッド２のネジ部２１である。２
３は、ソリッドスリーブベアリング２３である。２４
は、スプロケット２５を外嵌したボスである。ボス２４
は、スラストワッシャ２６を介して、押えフランジ３２
により押止されている。
ロッド２には、操作ロッド嵌着部材２ａにより引出電極
取付部材２ｂが取り付けられている。また、操作ロッド
２は、軸受け２２で支持されている。２ｃは、ベローズ
である。２１は、操作ロッド２のネジ部２１である。２
３は、ソリッドスリーブベアリング２３である。２４
は、スプロケット２５を外嵌したボスである。ボス２４
は、スラストワッシャ２６を介して、押えフランジ３２
により押止されている。
【００１４】図４は、図２のＢ矢視図である。６は、駆
動チェンであり，複数の操作ロッド２のスプロケット２
５が連動するように設けられている。７は、駆動チェン
６の張力を調節するアイドラである。
動チェンであり，複数の操作ロッド２のスプロケット２
５が連動するように設けられている。７は、駆動チェン
６の張力を調節するアイドラである。
【００１５】次に、引出電極調整装置１００の動作につ
いて説明する。作業者が、操作アーム２ｄを回転させて
一つの操作ロッド２を回転させると、他の複数の操作ロ
ッド２は、駆動チェン６により連動して回転する。スプ
ロケット２５はボス２４に嵌入されており，そのボス２
４は操作ロッド２と螺合状態にあるため、各操作ロッド
２は、軸方向に移動する。すると、操作ロッド嵌着部材
２ａ，引出電極取付部材２ｂ，フランジ１ｂおよび引出
電極サポート１ａにより、引出電極１が軸方向に移動す
る。
いて説明する。作業者が、操作アーム２ｄを回転させて
一つの操作ロッド２を回転させると、他の複数の操作ロ
ッド２は、駆動チェン６により連動して回転する。スプ
ロケット２５はボス２４に嵌入されており，そのボス２
４は操作ロッド２と螺合状態にあるため、各操作ロッド
２は、軸方向に移動する。すると、操作ロッド嵌着部材
２ａ，引出電極取付部材２ｂ，フランジ１ｂおよび引出
電極サポート１ａにより、引出電極１が軸方向に移動す
る。
【００１６】かくして、この電子サイクロトロン共振イ
オン源１０００によれば、外部から引出電極１を軸方向
に移動し、位置調整を容易に行うことが出来る。
オン源１０００によれば、外部から引出電極１を軸方向
に移動し、位置調整を容易に行うことが出来る。
【００１７】−第２実施例− 第２実施例は、図１の引出電極調整装置１００に代え
て、図５の引出電極調整装置５００を用いた電子サイク
ロトロン共振イオン源である。図５の引出電極調整装置
５００において、５０２，５０２，…は、操作ロッドで
あり，軸受け５２２，５２２，…によって支持される。
前記軸受け５２２，５２２，…は、フレーム５０３に固
定される。操作ロッド５０２，５０２，…は、操作ロッ
ド嵌着部材５０２ａおよび引出電極取付部材５０２ｂに
より、引出電極サポート１ａを係合している。操作ロッ
ド５０２，５０２，…のうちの一つは、ボス５２４，ス
ラストワッシャ５２６，押えフランジ５３２により軸受
け５２２と螺合しているが、他は単なる摺動状態になっ
ている。５０２ｃは、ベローズ５０２ｃである。４は、
Ｏリングである。
て、図５の引出電極調整装置５００を用いた電子サイク
ロトロン共振イオン源である。図５の引出電極調整装置
５００において、５０２，５０２，…は、操作ロッドで
あり，軸受け５２２，５２２，…によって支持される。
前記軸受け５２２，５２２，…は、フレーム５０３に固
定される。操作ロッド５０２，５０２，…は、操作ロッ
ド嵌着部材５０２ａおよび引出電極取付部材５０２ｂに
より、引出電極サポート１ａを係合している。操作ロッ
ド５０２，５０２，…のうちの一つは、ボス５２４，ス
ラストワッシャ５２６，押えフランジ５３２により軸受
け５２２と螺合しているが、他は単なる摺動状態になっ
ている。５０２ｃは、ベローズ５０２ｃである。４は、
Ｏリングである。
【００１８】作業者が、操作ロッド５０２を回転させる
と、スプロケット５２５がボス５２４に嵌入されてお
り，該ボス５２４は操作ロッド５０２と螺合状態にある
ため、操作ロッド５０２は、軸方向に移動する。する
と、操作ロッド５０２は操作ロッド嵌着部材５０２ａお
よび引出電極取付部材５０２ｂにより引出電極サポート
１ａと係合しているため、引出電極１は軸方向に移動す
る。かくして、この電子サイクロトロン共振イオン源に
よれば、外部から引出電極１を軸方向に移動し、位置調
整を容易に行うことが出来る。
と、スプロケット５２５がボス５２４に嵌入されてお
り，該ボス５２４は操作ロッド５０２と螺合状態にある
ため、操作ロッド５０２は、軸方向に移動する。する
と、操作ロッド５０２は操作ロッド嵌着部材５０２ａお
よび引出電極取付部材５０２ｂにより引出電極サポート
１ａと係合しているため、引出電極１は軸方向に移動す
る。かくして、この電子サイクロトロン共振イオン源に
よれば、外部から引出電極１を軸方向に移動し、位置調
整を容易に行うことが出来る。
【００１９】
【発明の効果】この発明のイオン源によれば、分解／組
立てをせずに、外部から引出電極の位置調整が可能なた
め、作業性を向上することが出来る。
立てをせずに、外部から引出電極の位置調整が可能なた
め、作業性を向上することが出来る。
【図１】この発明の第１実施例の電子サイクロトロン共
振イオン源の要部断面図である。
振イオン源の要部断面図である。
【図２】図１に示す引出電極調整装置の要部断面図であ
る。
る。
【図３】図２のＡ部拡大図である。
【図４】図２のＢ矢視図である。
【図５】この発明の第２実施例にかかる引出電極調整装
置の要部断面図である。
置の要部断面図である。
【図６】従来の電子サイクロトロン共振イオン源の一例
を示す要部断面図である。
を示す要部断面図である。
１０００ 電子サイクロトロン共振イオン源 １００ 引出電極調整装置 １ 引出電極 １ａ 引出電極サポート １ｂ フランジ ２ 操作ロッド ２ａ 操作ロッド嵌着部材 ２ｂ 引出電極取付部材 ２ｄ 操作アーム ３ フレーム ２００ 電子サイクロトロン共振装置 ５００ 引出電極調整装置 ５０２ 操作ロッド ５０２ｂ 引出電極取付部材 ５０３ フレーム
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年９月１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１５】次に、引出電極調整装置１００の動作につ
いて説明する。作業者が、操作アーム２ｄを回転させて
一つのボス２４を回転させると、他の複数のボス２４
も、駆動チェン６により連動して回転する。スプロケッ
ト２５はボス２４に嵌入されており，そのボス２４は操
作ロッド２と螺合状態にあるため、各操作ロッド２は、
軸方向に移動する。すると、操作ロッド嵌着部材２ａ，
引出電極取付部材２ｂ，フランジ１ｂおよび引出電極サ
ポート１ａにより、引出電極１が軸方向に移動する。
いて説明する。作業者が、操作アーム２ｄを回転させて
一つのボス２４を回転させると、他の複数のボス２４
も、駆動チェン６により連動して回転する。スプロケッ
ト２５はボス２４に嵌入されており，そのボス２４は操
作ロッド２と螺合状態にあるため、各操作ロッド２は、
軸方向に移動する。すると、操作ロッド嵌着部材２ａ，
引出電極取付部材２ｂ，フランジ１ｂおよび引出電極サ
ポート１ａにより、引出電極１が軸方向に移動する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１８】作業者が、ボス５２４を回転させると、該
ボス５２４は操作ロッド５０２と螺合状態にあるため、
操作ロッド５０２は、軸方向に移動する。すると、操作
ロッド５０２は操作ロッド嵌着部材５０２ａおよび引出
電極取付部材５０２ｂにより引出電極サポート１ａと係
合しているため、引出電極１は軸方向に移動する。かく
して、この電子サイクロトロン共振イオン源によれば、
外部から引出電極１を軸方向に移動し、位置調整を容易
に行うことが出来る。
ボス５２４は操作ロッド５０２と螺合状態にあるため、
操作ロッド５０２は、軸方向に移動する。すると、操作
ロッド５０２は操作ロッド嵌着部材５０２ａおよび引出
電極取付部材５０２ｂにより引出電極サポート１ａと係
合しているため、引出電極１は軸方向に移動する。かく
して、この電子サイクロトロン共振イオン源によれば、
外部から引出電極１を軸方向に移動し、位置調整を容易
に行うことが出来る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
Claims (1)
- 【請求項１】 引出電極を支持する引出電極サポートの
プラズマチャンバと反対側の端部付近にフランジを設
け、そのフランジと係合する係合部をもつ操作ロッドを
設け、その操作ロッドをフレームに螺合させて支持し、
その操作ロッドの操作部を気密に外部に導出し、その操
作部を回すことにより前記操作ロッドおよびフランジお
よび引出電極サポートを介して引出電極を移動し位置調
整を行う引出電極調整装置を具備したことを特徴とする
イオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4222348A JPH0668806A (ja) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4222348A JPH0668806A (ja) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | イオン源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0668806A true JPH0668806A (ja) | 1994-03-11 |
Family
ID=16780937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4222348A Pending JPH0668806A (ja) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | イオン源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0668806A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006004941A (ja) * | 2004-06-18 | 2006-01-05 | General Electric Co <Ge> | イオン源の配置及び調節のための方法並びに装置 |
| WO2008099218A1 (en) * | 2007-02-16 | 2008-08-21 | Nordiko Technical Services Limited | Ion beam accelerating apparatus with electrodes mounted in a movable mount |
| US8471452B2 (en) | 2006-06-30 | 2013-06-25 | Nordiko Technical Services Limited | Apparatus |
-
1992
- 1992-08-21 JP JP4222348A patent/JPH0668806A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006004941A (ja) * | 2004-06-18 | 2006-01-05 | General Electric Co <Ge> | イオン源の配置及び調節のための方法並びに装置 |
| US8471452B2 (en) | 2006-06-30 | 2013-06-25 | Nordiko Technical Services Limited | Apparatus |
| WO2008099218A1 (en) * | 2007-02-16 | 2008-08-21 | Nordiko Technical Services Limited | Ion beam accelerating apparatus with electrodes mounted in a movable mount |
| JP2010519681A (ja) * | 2007-02-16 | 2010-06-03 | ノルディコ テクニカル サーヴィシズ リミテッド | 可動マウントに取り付けられた電極を備えるイオンビーム加速装置 |
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