JPH066904A - クリーンルーム用無人搬送車の無人給電装置 - Google Patents

クリーンルーム用無人搬送車の無人給電装置

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JPH066904A
JPH066904A JP3061336A JP6133691A JPH066904A JP H066904 A JPH066904 A JP H066904A JP 3061336 A JP3061336 A JP 3061336A JP 6133691 A JP6133691 A JP 6133691A JP H066904 A JPH066904 A JP H066904A
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JP
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movable
current collector
power supply
unit
collector
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Yoshiaki Yamada
義明 山田
Masaki Kimura
匡輝 木村
Hiroshi Fujii
浩 藤井
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Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Original Assignee
Hitachi Kiden Kogyo Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 コンパクト化して容易に設置し得るようにし
たクリーンルーム用無人搬送車の無人給電装置の提供。 【構成】 無人搬送車に設けた集電ユニット50とステー
ションに設けた給電ユニット60よりなる。集電ユニット
50は交流と直流用各1 対の可動側接触子を有する可動集
電子51と、可動集電子51を移動させる移動手段52と、制
御部40と、搬送車側光通信器53を具備している。給電ユ
ニット60は集電ユニット50と対向して配置され、可動集
電子51の移動した終端で、これと電気的に接触する各1
対の固定側接触子を有する固定集電子61と、ステーショ
ン側光通信器63と給電ユニットコントローラ64を具備し
ている。無人搬送車がステーションに停止すると、両光
通信器53、63を介して制御部40と給電ユニットコントロ
ーラ間に充電開始、停止、及び可動集電子51の移動の信
号が授受され、両集電子51、61が接触して給電される。
可動集電子51と固定集電子61は相互の接触子の接触面が
直交又は傾斜して設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はクリーンルーム用無人搬
送車がステーションに停止中に前記無人搬送車に電力を
供給する無人給電装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体工場などで使用されている
クリーンルーム用無人搬送車について図面を参照して説
明する。図9はクリーンルーム内のレイアウトを示す斜
視図、図10は同平面図である。
【0003】無人搬送車1 は走行部11と走行部11に搭載
されたロボット部12と図外のマイコンなどよりなる制御
部を含んでいる。走行部11は操舵走行手段と、位置検出
手段を備えており、走行路に沿って配置された複数個所
のステーション20からカセットケースなどの被搬送物21
を予め設定された他のステーションまで搬送する機能を
持っている。すなわち、操舵走行手段によって床面に配
設された誘導用光学テープ31などを検知しながら走行
し、無人搬送車に搭載した磁気センサにより床面に設け
た磁気テープ30の検知等によって所定位置に停止する
ようになっている。
【0004】ロボット部12は前記ステーション20におい
て、被搬送物21を相手側より受取り、又は相手側に引き
渡すなどの機能を持っている。ステーション20はウエハ
などの製造装置であって、クリーンルームの天井から噴
出し流れ落ちる清浄空気内に設置されており、被搬送物
21に付着した微塵が流れ落ちる空気とともに流下し、床
面に敷設されたグレーチング32から床下に排出されるよ
うになっている。
【0005】無人搬送車1 の電力は、これに内蔵された
バッテリ41より供給されており、適宜バッテリを充電す
るか又は充電済のバッテリと交換するようになってい
る。しかし、バッテリの交換に手間がかかるので、ステ
ーションの近傍に給電装置22を備えておき、無人搬送車
1 が停止中にバッテリ41を充電するようにしている。
【0006】給電に際しては、無人搬送車1 に設けた可
動集電子13を矢印方向に下げ、給電装置22に設けた固定
集電子23に電気的に接触させ、給電装置22よりロボット
部12に給電するとともにバッテリ41を充電するようにな
っている。なお給電装置22はステーション20の近傍に設
けられている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、無人搬
送車の停止誤差は必ず伴うものであり、停止位置におい
て、固定集電子と可動集電子との中心が一致することは
稀である。このため、少々停止位置が狂っても影響しな
いようにするため、固定集電子の接触面積を大きくして
いる。従って、給電装置のスペースが大きくなる。また
給電装置はステーション近傍のグレーチング32を切欠い
た部分に埋め込んで設置するのが普通であるが、レイア
ウトの変更により製造装置の配置換えする際には、次の
ような難点があった。
【0008】すなわち、製造設備が設置されたあとでな
いと給電装置22が取付けられない。また給電装置を設置
するため、グレーチング32の切欠施工に多くの時間を要
し、梁33(図13参照)に干渉する場合には、さらに手
間がかかることになる。従って、工事期間が長くなり、
給電装置22の移設が簡単にできないという難点があっ
た。本発明は上記事情に鑑みて創案されたもので、コン
パクト化して容易に設置し得るようにしたクリーンルー
ム用無人搬送車の無人給電装置を提供することを目的と
している。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明に係るクリーンル
ーム用無人搬送車の無人給電装置は、ロボットを搭載
し、クリーンルームに設置された複数個所のステーショ
ンの間を走行し、所定のステーションで停止中にロボッ
トが所定の動作をするクリーンルーム用無人搬送車の無
人給電装置であって、無人搬送車に設けた集電ユニット
とステーションに設けた給電ユニットよりなり、前記集
電ユニットは直流と交流用各1対の可動側接触子を有す
る可動集電子と、可動集電子を移動させる移動手段と、
移動手段の動作に基づいて信号を出力する制御部と、制
御部の出力に基づいて給電ユニットとの間に情報を授受
する搬送車側光通信器を具備しており、一方給電ユニッ
トは集電ユニットに対向して配置され、前記可動集電子
の移動した終端で前記可動側接触子と電気的に接触する
固定側接触子を有する固定集電子と、移動手段の動作に
基づいて出力する給電ユニットコントローラと、給電ユ
ニットコントローラの出力に基づいて集電ユニットとの
間に情報を授受するステーション側光通信器を具備して
おり、かつ前記可動集電子は移動手段によって固定集電
子に直交又は傾斜せしめて接触するように配設されてい
ることを特徴としている。
【0010】
【実施例】以下、図面を参照して本発明に係る実施例を
説明する。図1は無人搬送車の外観斜視図、図2は無人
給電装置の構成説明図、図3は可動集電子の降下した下
端位置における固定集電子と可動集電子の配置を示す平
面図、図4は同位置における可動集電子の側面図、図5
は接触状態における固定集電子と可動集電子の側面視断
面図、図6は移動手段の構成説明図、図7は無人給電装
置のフローチャート、図8は光通信器のタイムチャート
である。図9から図11にかけては他の実施例を示す図
面であって、図9は可動集電子の側面図、図10は図8
のX−X線断面図、図11は固定集電子の側面視断面図
である。従来技術と同一の部分は同一の符号で示してい
る。
【0011】本発明の無人給電装置は無人搬送車に設け
た集電ユニット50とステーションに設けた給電ユニット
60からなっている。無人搬送車10は走行部11とロボット
部12と制御部40とバッテリ41と前記集電ユニット50を含
んでいる。制御部40は充電時電圧調整器401 とビークル
コントローラ402 とロボットコントローラ403 を含んで
いる。42はモータを含む無人搬送車10の動力部、43はモ
ータを含むロボットの動力部である。
【0012】充電時電圧調整器401 は、自動電圧調整機
能を有しており、バッテリ41の充電開始時にはバッテリ
電圧が出力され、充電電圧の上昇に伴い、出力電圧が所
定値に制御され充電完了時充電電圧喪失と同時に自動電
圧抑制を解放して電池電力を出力するように構成されて
いる。ビークルコントローラ402 は無人搬送車10の運行
を制御するもので、図外のマイコンを含んでいる。
【0013】ロボットコントローラ403 は無人搬送車10
の動作に連動してロボット部12の作動を制御するもので
あり、動作順序及び所要時間は予め設定されている。バ
ッテリ41は例えばニッカドバッテリで、本実施例におい
ては、容量は24V10AHのものを用いている。集電ユニ
ット50は可動集電子51と、可動集電子51を充電時と非充
電時に保持位置を変える移動手段52と、搬送車側光通信
器53と、充電コンタクタ54を含んでいる。
【0014】可動集電子51は単相交流電源等用である1
対の可動側接触子511A、511Bと、直流電源用である正負
1 対の可動側接触子512A、512Bと、円筒パイプ513 から
なっている。以下可動側接触子を総称する場合、511 、
512 という。前記可動側接触子511 、512 は燐青銅製で
平板状に形成されており、パイプ513 の下端に絶縁物51
4 を介して互いに反対方向に突出して設けられている。
515 は端子、516 はリード線である。
【0015】移動手段52は前記パイプ513 に連結された
旋回モータ521 と旋回モータ521 を取付けたベース板52
2 と、ベース板522 を上下に昇降させるエアシリンダ52
3 とコンプレッサ524 と電磁弁525 と1 対の引っ張りば
ね526 を含んでいる。527 はベース板522 を引っ張りば
ね526 を介して無人搬送車本体に固定するブラケットで
ある。
【0016】エアシリンダ523 の作動によってベース板
522 を昇降するように構成されており、ベース板522 の
上限、下限位置に可動集電子51の上げ下げを検知するリ
ミットスイッチ528A、528Bが設けられている。また旋回
モータ521 の駆動によってパイプ513 が1/4回転する
始端と終端位置に可動集電子51の90度旋回を検知するリ
ミットスイッチ529A、529Bが設けられている。搬送車側
光通信器53はステーション20に設けたステーション側光
通信器63と対をなすもので、移動手段52の動作や充電開
始や充電完了などの信号を双方で授受するものである。
充電コンタクタ54はバッテリ41と可動側接触子512 の間
に設けられている。
【0017】次に給電ユニット60について説明する。給
電ユニット60は固定集電子61と、ステーション側光通信
器63と、給電ユニットコントローラ64と電源部65と、側
面視断面がコ字状に形成された樹脂製の1 対のカバー62
からなっている。固定集電子61は単相交流電源用である
1 対の固定側接触子611A、611Bと直流電源用である1対
の固定側接触子612A、612Bからなっている。以下固定側
接触子を総称する場合611 、612 という。また周辺装置
として前記ステーション側光通信器63が設けられてい
る。
【0018】前記固定側接触子611 、621 は燐青銅製で
皿状に形成されており、カバー62の側壁に可動集電子51
の軸線すなわち、パイプ513 の軸心に対して所定間隔離
して対向して設置されている。613 は接触子611A、611B
をカバー62に固定するボルト、614 はボルト613 に挿着
されたばね、615 は絶縁物である。そして移動手段52に
よって降下した下端位置で90度旋回した可動集電子51が
固定集電子61に電気的に接触するように構成されてい
る。
【0019】ステーション側光通信器63は前記搬送車側
光通信器53と同じ構造のものである。給電ユニットコン
トローラ64はステーション側光通信器63の出力に基づい
て充電器651 に充電時間及び充電開始及び停止を指令す
るもので、充電時間のチェック機能を有している。電源
部65は充電器651 と給電コンタクタ652 からなってい
る。
【0019】つぎに本発明の給電方法について説明す
る。 無人搬送車10がステーション20に到着し、定位置に停
止する( 図7のS1、S2参照) 。 図外の位置検出手段の出力により、ビークルコントロ
ーラ402 を介してエアシリンダ523 が動作し可動集電子
51が降下(S3 参照) 、下端位置をリミットスイッチ528B
が検知する(S4 参照) 。
【0020】リミットスイッチ528Bの出力により、ビ
ークルコントローラ402 を介して旋回モータ521 が駆動
し(S5 参照) 、リミットスイッチ529Bで90度旋回したこ
とを検知する(S6 参照) 。 リミットスイッチ529Bの出力により、ビークルコント
ローラ402 を介して充電コンタクタ54がオンされる(S7
参照) 。またリミットスイッチ529Bの出力により、ビー
クルコントローラ402 、両光通信器53、63を介して給電
ユニットコントローラ64に『充電開始』信号が伝達し入
力される(S8 及び図8のA 参照) 。ついで、両集電子5
1、61の接触状態が適宜手段によって確認される接触不
良の場合にはエラー処理がされる(S9 参照) 。
【0021】給電ユニットコントローラ64の出力によ
って充電器651 及び給電コンタクタ652 がオンされ(S1
0 参照) 、バッテリ41の充電が開始される(S11参照) 。
またロボット部12に単相交流電力が供給される。 ロボット部12の動作が完了すると、ロボットコントロ
ーラ403 よりビークルコントローラ402 を介して充電停
止信号が出力される(S12参照) 。この充電停止信号は両
光通信器53、63を介して給電ユニットコントローラ64に
入力されて充電時間が予め設定された時間とチェックさ
れ(S13参照) 、充電停止指令を発する(S14及び図8のB
参照) 。これにより給電コンタクタ652 がオフし、充電
が停止する(S15、S16 参照) 。
【0022】前記充電停止指令信号は予め設定された
タイムアップ後(S17参照)、可動集電子移動信号とし
てステーション側光通信器63を介して搬送車側光通信器
53に送られ( 図8のC 参照) 、ビークルコントローラ40
2 を介して充電コンタクタ54がオフされる(S18参照) 。 ビークルコントローラ402 の出力により、前記と逆に
旋回モータ521 によって可動集電子51が90度逆に旋回し
て復帰し(S19、S20 参照) 、エアシリンダ523 によって
上限位置まで上がり(S21 、22参照) 、その後、無人搬
送車10が発進する(S23参照) 。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るクリ
ーンルーム用無人搬送車の無人給電装置は、無人搬送車
に設けた集電ユニットと、ステーションに設けた給電ユ
ニットからなっている。そして集電ユニットは直流及び
交流用の1対の接触子を有する可動集電子とこれを移動
させる昇降手段と搬送車側光通信器を具備している。
【0024】また給電ユニットは可動集電子に対向して
接触する固定集電子と、給電ユニットコントローラと、
ステーション側光通信器を具備している。そして給電ユ
ニットコントローラを介して搬送車側、ステーション側
光通信器によって充電の開始及び停止の各指令を授受す
るようになっている。
【0025】従って、無人給電装置の給電ユニットがコ
ンパクトであるため、床面特にグレーチングに取付ける
場合、施工が極めて簡単である。従って、半導体工場な
どにおいて、レイアウト変更に際しても、製造装置が設
置されてから現場取付が可能となり、施工期間を短縮す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る図面であって、無人搬送車の外観
斜視図である。
【図2】本発明に係る図面であって、無人給電装置の構
成説明図である。
【図3】本発明に係る図面であって、図3は可動集電子
の降下した下端位置における固定集電子と可動集電子の
配置を示す平面図である。
【図4】本発明に係る図面であって、図4は同位置にお
ける可動集電子の側面図である。
【図5】本発明に係る図面であって、接触状態における
固定集電子と可動集電子の側面視断面図である。
【図6】本発明に係る図面であって、移動手段の構成説
明図である。
【図7】本発明に係る図面であって、無人給電装置のフ
ローチャートである。
【図8】本発明に係る図面であって、光通信器のタイム
チャートである。
【図9】従来技術に係る図面であって、無人搬送車の外
観斜視図である。
【図10】従来技術に係る図面であって、無人搬送車の
平面図である。
【符号の説明】
10 無人搬送車 11 走行部 12 ロボット部 20 ステーション 32 グレーチング 40 制御部 41 バッテリ 50 集電ユニット 51 可動集電子 511 、512 可動側接触子 52 移動手段 53 搬送車側光通信器 54 充電コンタクタ 60 給電ユニット 61 固定集電子 611 、612 固定側接触子 63 ステーション側光通信器 64 給電ユニットコントローラ 65 電源部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H04Q 9/00 311 U 7170−5K

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ロボットを搭載し、クリーンルームに設
    置された複数個所のステーションの間を走行し、所定の
    ステーションで停止中にロボットが所定の動作をするク
    リーンルーム用無人搬送車の無人給電装置であって、無
    人搬送車に設けた集電ユニットとステーションに設けた
    給電ユニットよりなり、前記集電ユニットは直流と交流
    用各1対の可動側接触子を有する可動集電子と、可動集
    電子を移動させる移動手段と、移動手段の動作に基づい
    て信号を出力する制御部と、制御部の出力に基づいて給
    電ユニットとの間に情報を授受する搬送車側光通信器を
    具備しており、一方給電ユニットは集電ユニットに対向
    して配置され、前記可動集電子の移動した終端で前記可
    動側接触子と電気的に接触する固定側接触子を有する固
    定集電子と、移動手段の動作に基づいて出力する給電ユ
    ニットコントローラと、給電ユニットコントローラの出
    力に基づいて集電ユニットとの間に情報を授受するステ
    ーション側光通信器を具備しており、かつ前記可動集電
    子は移動手段によって固定集電子に直交又は傾斜せしめ
    て接触するように配設されていることを特徴とするクリ
    ーンルーム用無人搬送車の無人給電装置。
  2. 【請求項2】 前記可動側接触子は平板状に形成され、
    パイプの下端より互いに反対方向に突出して設けられて
    おり、一方固定側接触子は皿状に形成され可動集電子の
    軸線に対し所定の間隔を設けて対向して配置されてお
    り、かつ前記移動手段は可動集電子を上下に昇降させる
    とともに、降下した下端位置で90度旋回せしめ、可動
    側接触子が固定側接触子に直交して接触させるようにし
    た請求項1記載のクリーンルーム用無人搬送車の無人給
    電装置。
  3. 【請求項3】 前記搬送車側光通信器は可動集電子の終
    端を検知した制御部よりの信号に基づいてステーション
    側光通信器に『充電開始』及び『充電停止』を指令し、
    ステーション側光通信器は前記指令を給電ユニットコン
    トローラに伝達するとともに給電後『可動集電子移動』
    を指令するようにした請求項1記載のクリーンルーム用
    無人搬送車の無人給電装置。
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