JPH0669057A - 積層チップインダクタの製造方法 - Google Patents
積層チップインダクタの製造方法Info
- Publication number
- JPH0669057A JPH0669057A JP24265392A JP24265392A JPH0669057A JP H0669057 A JPH0669057 A JP H0669057A JP 24265392 A JP24265392 A JP 24265392A JP 24265392 A JP24265392 A JP 24265392A JP H0669057 A JPH0669057 A JP H0669057A
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- JP
- Japan
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- coil
- laminated
- coil conductor
- holes
- sheets
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- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
- Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁性フェライト素体内に埋設されるコイルの
短絡を防止し、小形化しても所望のインダクタンスを得
ることができる積層チップインダクタの製造方法の提
供。 【構成】 まず、Ni−Zn−Cu系の磁性フェライト
グリーンシート1に、 0.3mm径のスルーホール2を縦1.
92mm、横0.96mmの間隔で約3400個形成する。次いで、上
記スルーホール2を形成したグリーンシート1に、Ag
ペーストを用い、線幅0.16mmで両方の端部が直角に 180
度屈曲した略C字状のコイル導体パターン3を印刷す
る。次に、スルーホール2およびコイル導体パターン3
を形成したシート1を所定の構成で積層し、その上下に
ダミーシートをそれぞれ3枚づつ積層して圧着した後チ
ップ寸法に裁断する。次いで、これらのチップ素体を 9
00℃で焼成し、チップ素体におけるコイル末端が導出さ
れた対向する一対の端面に、外部端子電極を形成する。
短絡を防止し、小形化しても所望のインダクタンスを得
ることができる積層チップインダクタの製造方法の提
供。 【構成】 まず、Ni−Zn−Cu系の磁性フェライト
グリーンシート1に、 0.3mm径のスルーホール2を縦1.
92mm、横0.96mmの間隔で約3400個形成する。次いで、上
記スルーホール2を形成したグリーンシート1に、Ag
ペーストを用い、線幅0.16mmで両方の端部が直角に 180
度屈曲した略C字状のコイル導体パターン3を印刷す
る。次に、スルーホール2およびコイル導体パターン3
を形成したシート1を所定の構成で積層し、その上下に
ダミーシートをそれぞれ3枚づつ積層して圧着した後チ
ップ寸法に裁断する。次いで、これらのチップ素体を 9
00℃で焼成し、チップ素体におけるコイル末端が導出さ
れた対向する一対の端面に、外部端子電極を形成する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、積層チップインダクタ
の製造方法に関する。
の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】積層チップインダクタは、磁性フェライ
ト素体内にらせん状のコイルが埋設され、この磁性フェ
ライト素体におけるコイル末端が導出された一対の対向
する端面に、外部端子電極が形成されてなるものであっ
て、このような積層チップインダクタは、一般に次のよ
うな方法で製造されてきた。
ト素体内にらせん状のコイルが埋設され、この磁性フェ
ライト素体におけるコイル末端が導出された一対の対向
する端面に、外部端子電極が形成されてなるものであっ
て、このような積層チップインダクタは、一般に次のよ
うな方法で製造されてきた。
【0003】まず、フェライト磁性粉末原料と有機バイ
ンダーとを混練して得たスラリーと、例えばポリエチレ
ンテレフタレートフィルムからなる長尺なベースフィル
ムとを塗工機にセットし、ドクターブレード法によって
ベースフィルム上にスラリーを数十〜数百μmの厚さで
連続的に塗布した後、ベースフィルム上のスラリーを乾
燥させる。次いで、乾燥したスラリーをベースフィルム
から剥離し、例えば 100mm角に切断して磁性フェライト
グリーンシート1を得る。
ンダーとを混練して得たスラリーと、例えばポリエチレ
ンテレフタレートフィルムからなる長尺なベースフィル
ムとを塗工機にセットし、ドクターブレード法によって
ベースフィルム上にスラリーを数十〜数百μmの厚さで
連続的に塗布した後、ベースフィルム上のスラリーを乾
燥させる。次いで、乾燥したスラリーをベースフィルム
から剥離し、例えば 100mm角に切断して磁性フェライト
グリーンシート1を得る。
【0004】次に、上記のようにして得たフェライトグ
リーンシート1における所定の位置にスルーホール2を
形成し、その表面に、導電ペーストによって図2に示す
ようなコイル導体パターン3を印刷形成する。なお、上
記グリーンシート上に印刷されるコイル導体パターン
は、スルーホールの径よりも広い幅を有するものであ
り、積層してスルーホール接続されることによってらせ
ん状のコイルが構成されるように、2種類の異なる方向
を向いた略コの字状をしており、スルーホールはその一
方の末端部に位置する。
リーンシート1における所定の位置にスルーホール2を
形成し、その表面に、導電ペーストによって図2に示す
ようなコイル導体パターン3を印刷形成する。なお、上
記グリーンシート上に印刷されるコイル導体パターン
は、スルーホールの径よりも広い幅を有するものであ
り、積層してスルーホール接続されることによってらせ
ん状のコイルが構成されるように、2種類の異なる方向
を向いた略コの字状をしており、スルーホールはその一
方の末端部に位置する。
【0005】次に、上記のようなスルーホールおよびコ
イル導体パターンが形成されたシートを所定枚数と、そ
の上下にスルーホールおよびコイル導体パターンが形成
されていないダミーシートとを積層して圧着し、所定の
巻数を有するらせん状のコイルが埋設された磁性フェラ
イト素体を得る。
イル導体パターンが形成されたシートを所定枚数と、そ
の上下にスルーホールおよびコイル導体パターンが形成
されていないダミーシートとを積層して圧着し、所定の
巻数を有するらせん状のコイルが埋設された磁性フェラ
イト素体を得る。
【0006】次いで、この素体をチップサイズに裁断す
ることによってチップ素体における一対の対向する端面
にコイル末端を導出させ、これを焼成する。焼成後、素
体におけるコイル末端が導出した端面に導電ペーストを
塗布し、これを焼き付けることによって外部端子電極を
形成し、積層チップインダクタを得る。
ることによってチップ素体における一対の対向する端面
にコイル末端を導出させ、これを焼成する。焼成後、素
体におけるコイル末端が導出した端面に導電ペーストを
塗布し、これを焼き付けることによって外部端子電極を
形成し、積層チップインダクタを得る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述従
来の積層チップインダクタの製造方法によると、スルー
ホールおよびコイル導体パターンが形成された磁性フェ
ライトグリーンシート1を積層すると、図4に示すよう
に、スルーホール2は積層方向に一直線状に並んでい
た。そのため、このような積層体を圧着すると、その圧
力がスルーホール部分で粗になり、グリーンシートの応
力がスルーホールに集中し、場合に因ってはスルーホー
ルを有するシートの下に重ねられたグリーンシートを破
壊して他の導体と接触し、コイルを短絡させ、所望のイ
ンダクタンスを得ることができないことがあった。な
お、この傾向は特にチップを小形化した際に顕著に見ら
れた。
来の積層チップインダクタの製造方法によると、スルー
ホールおよびコイル導体パターンが形成された磁性フェ
ライトグリーンシート1を積層すると、図4に示すよう
に、スルーホール2は積層方向に一直線状に並んでい
た。そのため、このような積層体を圧着すると、その圧
力がスルーホール部分で粗になり、グリーンシートの応
力がスルーホールに集中し、場合に因ってはスルーホー
ルを有するシートの下に重ねられたグリーンシートを破
壊して他の導体と接触し、コイルを短絡させ、所望のイ
ンダクタンスを得ることができないことがあった。な
お、この傾向は特にチップを小形化した際に顕著に見ら
れた。
【0008】そこで本発明は、上述従来の技術の問題点
を解決し、磁性フェライト素体内に埋設されるコイルの
短絡を防止し、小形化しても所望のインダクタンスを得
ることができる積層チップインダクタの製造方法を提供
することを目的とする。
を解決し、磁性フェライト素体内に埋設されるコイルの
短絡を防止し、小形化しても所望のインダクタンスを得
ることができる積層チップインダクタの製造方法を提供
することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記目的
を達成するために鋭意研究した結果、積層体におけるス
ルーホールの積層方向の並びを、積層方向と直交する方
向に分散させることにより、上記課題が解決されること
を見い出し、本発明に到達した。
を達成するために鋭意研究した結果、積層体におけるス
ルーホールの積層方向の並びを、積層方向と直交する方
向に分散させることにより、上記課題が解決されること
を見い出し、本発明に到達した。
【0010】すなわち、本発明は、複数枚の磁性体セラ
ミックグリーンシートにおける所定位置にスルーホール
およびコイル導体パターンを形成し、これらのシートを
積層および圧着することによって隣接するコイル導体パ
ターンをスルーホール接続し、得られたらせん状のコイ
ルが埋設された磁性フェライト素体を焼成した後、磁性
フェライト素体におけるコイル末端が導出された一対の
対向する端面に外部端子電極を形成する積層チップイン
ダクタの製造方法であって、シートを積層した際におけ
るシート積層方向のスルーホールの並びが、一直線状で
はなくシート積層方向と直交する方向に互いにずれるよ
うに、スルーホールをシートにおけるコイル導体パター
ンが印刷される部分内で分散させて形成することを特徴
とする積層チップインダクタの製造方法を提供するもの
である。
ミックグリーンシートにおける所定位置にスルーホール
およびコイル導体パターンを形成し、これらのシートを
積層および圧着することによって隣接するコイル導体パ
ターンをスルーホール接続し、得られたらせん状のコイ
ルが埋設された磁性フェライト素体を焼成した後、磁性
フェライト素体におけるコイル末端が導出された一対の
対向する端面に外部端子電極を形成する積層チップイン
ダクタの製造方法であって、シートを積層した際におけ
るシート積層方向のスルーホールの並びが、一直線状で
はなくシート積層方向と直交する方向に互いにずれるよ
うに、スルーホールをシートにおけるコイル導体パター
ンが印刷される部分内で分散させて形成することを特徴
とする積層チップインダクタの製造方法を提供するもの
である。
【0011】
【作用】本発明法によると、シートを積層した際、スル
ーホールがシート積層方向に一直線状に並ばず、積層方
向と直交する方向にずれるように、スルーホールをシー
トにおけるコイル導体パターンが印刷される部分内で分
散させている。
ーホールがシート積層方向に一直線状に並ばず、積層方
向と直交する方向にずれるように、スルーホールをシー
トにおけるコイル導体パターンが印刷される部分内で分
散させている。
【0012】例えば、あるシートには、シートにおける
コイル導体パターンが印刷される部分のうち、コイル導
体パターンの一方の末端部が印刷される位置にスルーホ
ールを形成し、別のシートには、シートにおけるコイル
導体パターンの一方の端部が印刷される部分のうち、コ
イル導体パターンの一方の末端部からスルーホール1個
分ずらした位置にスルーホールを形成し、さらに別のシ
ートには、シートにおけるコイル導体パターンの一方の
端部が印刷される部分のうち、コイル導体パターンの一
方の末端部からスルーホール2個分ずらした位置にスル
ーホールを形成することを繰り返すというように、スル
ーホールをシートにおけるコイル導体パターンが印刷さ
れる部分内でずらして形成することにより、これらのシ
ートを積層した際におけるスルーホールの積層方向の並
びを、積層方向と直交する方向に分散させることができ
る。
コイル導体パターンが印刷される部分のうち、コイル導
体パターンの一方の末端部が印刷される位置にスルーホ
ールを形成し、別のシートには、シートにおけるコイル
導体パターンの一方の端部が印刷される部分のうち、コ
イル導体パターンの一方の末端部からスルーホール1個
分ずらした位置にスルーホールを形成し、さらに別のシ
ートには、シートにおけるコイル導体パターンの一方の
端部が印刷される部分のうち、コイル導体パターンの一
方の末端部からスルーホール2個分ずらした位置にスル
ーホールを形成することを繰り返すというように、スル
ーホールをシートにおけるコイル導体パターンが印刷さ
れる部分内でずらして形成することにより、これらのシ
ートを積層した際におけるスルーホールの積層方向の並
びを、積層方向と直交する方向に分散させることができ
る。
【0013】このように、シート積層方向におけるスル
ーホールの並びをシート積層方向と直交する方向に分散
させることにより、積層体を圧着した際にスルーホール
位置にかかる応力が分散されるようになる。そのため、
積層体におけるスルーホールの並びがシート積層方向に
一直線になる従来の積層チップインダクタの製造方法に
おいて発生していたコイル導体パターンの延びや切れが
防止されるようになり、コイルの短絡によるL値の変動
がなくなる。
ーホールの並びをシート積層方向と直交する方向に分散
させることにより、積層体を圧着した際にスルーホール
位置にかかる応力が分散されるようになる。そのため、
積層体におけるスルーホールの並びがシート積層方向に
一直線になる従来の積層チップインダクタの製造方法に
おいて発生していたコイル導体パターンの延びや切れが
防止されるようになり、コイルの短絡によるL値の変動
がなくなる。
【0014】以下、実施例により本発明をさらに詳細に
説明する。しかし本発明の範囲は以下の実施例により制
限されるものではない。
説明する。しかし本発明の範囲は以下の実施例により制
限されるものではない。
【0015】
【実施例】本発明の積層チップインダクタの製造方法の
一例を以下に示す。
一例を以下に示す。
【0016】まず、Ni−Zn−Cu系の磁性フェライ
トグリーンシート1( 100mmW × 100mmL × 0.1mmT )
に、 0.3mm径のスルーホール2を縦1.92mm、横0.96mmの
間隔で約3400個形成した。このようにして、スルーホー
ル2の形成位置が異なるシートを6種類用意した。次い
で、上記スルーホール2を形成したグリーンシート1
に、Agペーストを用い、線幅0.16mmで図1に示すよう
な形状、すなわち両方の端部が直角に 180度屈曲した略
C字状のコイル導体パターン3を印刷した。なお、図1
はチップ1個分を示した図である。
トグリーンシート1( 100mmW × 100mmL × 0.1mmT )
に、 0.3mm径のスルーホール2を縦1.92mm、横0.96mmの
間隔で約3400個形成した。このようにして、スルーホー
ル2の形成位置が異なるシートを6種類用意した。次い
で、上記スルーホール2を形成したグリーンシート1
に、Agペーストを用い、線幅0.16mmで図1に示すよう
な形状、すなわち両方の端部が直角に 180度屈曲した略
C字状のコイル導体パターン3を印刷した。なお、図1
はチップ1個分を示した図である。
【0017】次に、スルーホール2およびコイル導体パ
ターン3を形成したシート1を、図1に示すような構成
で積層し、その上下にダミーシートをそれぞれ3枚づつ
積層して圧着した後、1.92mm×0.96mmのチップ寸法に裁
断し、一対の対向する端面にコイル末端が導出されたチ
ップ素体を得た。なお、図3に、上記得られたチップ素
体を積層方向に切断した断面図を示した。
ターン3を形成したシート1を、図1に示すような構成
で積層し、その上下にダミーシートをそれぞれ3枚づつ
積層して圧着した後、1.92mm×0.96mmのチップ寸法に裁
断し、一対の対向する端面にコイル末端が導出されたチ
ップ素体を得た。なお、図3に、上記得られたチップ素
体を積層方向に切断した断面図を示した。
【0018】次いで、これらのチップ素体を 900℃で焼
成し(チップ寸法 1.6mm× 0.8mm)、チップ素体におけ
るコイル末端が導出された対向する一対の端面に、外部
端子電極を形成し、積層チップインダクタを得た。
成し(チップ寸法 1.6mm× 0.8mm)、チップ素体におけ
るコイル末端が導出された対向する一対の端面に、外部
端子電極を形成し、積層チップインダクタを得た。
【0019】上記のようにして得た積層チップインダク
タから無作為に 100個を抜き取り、インダクタンス
(L)を測定したところ、Lの平均値は 0.068±0.007
μHであり、コイルの短絡によってL値が変動したもの
はなかった。
タから無作為に 100個を抜き取り、インダクタンス
(L)を測定したところ、Lの平均値は 0.068±0.007
μHであり、コイルの短絡によってL値が変動したもの
はなかった。
【0020】
【比較例】図2および図4に示すように、積層した際、
スルーホールが積層方向に一直線状に並ぶように、シー
ト1にスルーホール2を形成したこと以外は実施例と同
様にして積層チップインダクタを複数個作製し、その中
から無作為に 100個を抜き取り、インダクタンス(L)
を測定したところ、Lの平均値は0.062 ±0.022 μHで
あり、コイルの一部が短絡し、L値が変動してしまった
ものが複数個認められた。
スルーホールが積層方向に一直線状に並ぶように、シー
ト1にスルーホール2を形成したこと以外は実施例と同
様にして積層チップインダクタを複数個作製し、その中
から無作為に 100個を抜き取り、インダクタンス(L)
を測定したところ、Lの平均値は0.062 ±0.022 μHで
あり、コイルの一部が短絡し、L値が変動してしまった
ものが複数個認められた。
【0021】
【発明の効果】本発明の開発により、スルーホールに集
中していた応力が分散されるようになった。そのため、
応力の一部集中によるグリーンシートの破壊、コイル導
体パターンの延びや切れなどが防止され、コイルの短絡
によるL値の変動がなくなるばかりではなく、加速試験
における特性変化も少なくなり、信頼性を維持したまま
小形化することができるようになった。
中していた応力が分散されるようになった。そのため、
応力の一部集中によるグリーンシートの破壊、コイル導
体パターンの延びや切れなどが防止され、コイルの短絡
によるL値の変動がなくなるばかりではなく、加速試験
における特性変化も少なくなり、信頼性を維持したまま
小形化することができるようになった。
【図1】本発明の積層チップインダクタを構成するシー
トの積層態様を示す分解斜視図である。
トの積層態様を示す分解斜視図である。
【図2】従来の積層チップインダクタを構成するシート
の積層態様を示す分解斜視図である。
の積層態様を示す分解斜視図である。
【図3】図1に示すシートからなる積層体の側断面図で
ある。
ある。
【図4】図2に示すシートからなる積層体の側断面図で
ある。
ある。
1‥‥‥磁性フェライトグリーンシート 2‥‥‥スルーホール 3‥‥‥コイル導体パターン
Claims (1)
- 【請求項1】 複数枚の磁性体セラミックグリーンシー
トにおける所定位置にスルーホールおよびコイル導体パ
ターンを形成し、これらのシートを積層および圧着する
ことによって隣接するコイル導体パターンをスルーホー
ル接続し、得られたらせん状のコイルが埋設された磁性
フェライト素体を焼成した後、磁性フェライト素体にお
けるコイル末端が導出された一対の対向する端面に外部
端子電極を形成する積層チップインダクタの製造方法で
あって、シートを積層した際におけるシート積層方向の
スルーホールの並びがシート積層方向と直交する方向に
互いにずれるように、スルーホールをシートにおけるコ
イル導体パターンが印刷される部分内で分散させて形成
することを特徴とする積層チップインダクタの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24265392A JPH0669057A (ja) | 1992-08-19 | 1992-08-19 | 積層チップインダクタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24265392A JPH0669057A (ja) | 1992-08-19 | 1992-08-19 | 積層チップインダクタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0669057A true JPH0669057A (ja) | 1994-03-11 |
Family
ID=17092250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24265392A Pending JPH0669057A (ja) | 1992-08-19 | 1992-08-19 | 積層チップインダクタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0669057A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1992
- 1992-08-19 JP JP24265392A patent/JPH0669057A/ja active Pending
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