JPH0669174A - 超純水加熱供給装置 - Google Patents
超純水加熱供給装置Info
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- JPH0669174A JPH0669174A JP21527892A JP21527892A JPH0669174A JP H0669174 A JPH0669174 A JP H0669174A JP 21527892 A JP21527892 A JP 21527892A JP 21527892 A JP21527892 A JP 21527892A JP H0669174 A JPH0669174 A JP H0669174A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 超純水加熱装置２と、加熱後の高温超純水を
貯留すると共に超純水ユースポイントに供給する高温超
純水貯留供給タンク３，４とを管接続して設けた超純水
加熱供給装置において、超純水及び高温超純水に接する
部材の全て又は一部が、清浄化処理した後、加熱処理し
てなる不動態皮膜を表面に有するステンレス鋼により構
成されていることを特徴とする超純水加熱供給装置。 【効果】 超純水加熱装置２の破壊を防止し得、超純水
及び高温超純水中での耐溶出性を向上し得てイオン等の
溶出混入が生じ難く、又、加熱装置２及びタンク３，４
の大型化を図ることができる。更には加熱装置２の入口
の超純水温度の上昇を検知し、直ちに遮蔽弁１を閉じる
ことにより、加熱装置２・超純水製造装置間の配管ａ内
への高温超純水の逆流を防止し得る。
貯留すると共に超純水ユースポイントに供給する高温超
純水貯留供給タンク３，４とを管接続して設けた超純水
加熱供給装置において、超純水及び高温超純水に接する
部材の全て又は一部が、清浄化処理した後、加熱処理し
てなる不動態皮膜を表面に有するステンレス鋼により構
成されていることを特徴とする超純水加熱供給装置。 【効果】 超純水加熱装置２の破壊を防止し得、超純水
及び高温超純水中での耐溶出性を向上し得てイオン等の
溶出混入が生じ難く、又、加熱装置２及びタンク３，４
の大型化を図ることができる。更には加熱装置２の入口
の超純水温度の上昇を検知し、直ちに遮蔽弁１を閉じる
ことにより、加熱装置２・超純水製造装置間の配管ａ内
への高温超純水の逆流を防止し得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超純水加熱供給装置に
関し、詳細には、超純水（高純度の水）を加熱し、半導
体工業等の電子工業、医薬品製造、食品産業等の分野に
おいて必要な高温の超純水にし、ユースポイントに供給
する超純水加熱供給装置に関する。
関し、詳細には、超純水（高純度の水）を加熱し、半導
体工業等の電子工業、医薬品製造、食品産業等の分野に
おいて必要な高温の超純水にし、ユースポイントに供給
する超純水加熱供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子工業等の技術分野において、超純水
を加熱した高温超純水が使用される。例えば、半導体の
製造の洗浄工程において、有機物等に対する洗浄効果を
上げるため、又、洗浄後のスピンドライや熱風による乾
燥工程の効率化を図るため、洗浄液として80〜90℃に加
温した高温超純水が使用される。この超純水は極めて純
度が高く、微量の不純物イオンの混入溶存も許されない
程の水質が要求される。
を加熱した高温超純水が使用される。例えば、半導体の
製造の洗浄工程において、有機物等に対する洗浄効果を
上げるため、又、洗浄後のスピンドライや熱風による乾
燥工程の効率化を図るため、洗浄液として80〜90℃に加
温した高温超純水が使用される。この超純水は極めて純
度が高く、微量の不純物イオンの混入溶存も許されない
程の水質が要求される。
【０００３】かかる超純水の加熱及びユースポイントへ
の供給のため使用される装置が超純水加熱供給装置であ
る。この装置は、超純水製造装置と超純水ユースポイン
トとの間に、超純水を加熱する超純水加熱装置と、該加
熱装置により加熱された高温超純水を貯留すると共に超
純水ユースポイントに供給する高温超純水貯留供給タン
クとを管接続して設けたものである。
の供給のため使用される装置が超純水加熱供給装置であ
る。この装置は、超純水製造装置と超純水ユースポイン
トとの間に、超純水を加熱する超純水加熱装置と、該加
熱装置により加熱された高温超純水を貯留すると共に超
純水ユースポイントに供給する高温超純水貯留供給タン
クとを管接続して設けたものである。
【０００４】超純水は溶存物質を殆ど又は全く含んでお
らず、溶解力が非常に強い。特に高温超純水は溶解力が
極めて強く、例えば90℃の高温超純水では室温時の約10
倍にもなる。そのため、超純水加熱供給装置の構成材料
としてステンレス鋼等の通常の金属材料を使用すると、
超純水及び高温超純水に接する部分（接液部）で金属イ
オン等のイオンの溶出混入が生じ、超純水の水質低下を
招くという問題点が発生する。そこで、イオンの溶出混
入を微量にとどめるため、超純水加熱供給装置の超純水
加熱装置の構成材料には石英ガラス、高温超純水貯留供
給タンクの構成材料には石英ガラスや弗素樹脂ライニン
グ材、配管等の構成材料には耐熱性、耐溶出性に優れた
弗素樹脂等の合成樹脂が用いられている。
らず、溶解力が非常に強い。特に高温超純水は溶解力が
極めて強く、例えば90℃の高温超純水では室温時の約10
倍にもなる。そのため、超純水加熱供給装置の構成材料
としてステンレス鋼等の通常の金属材料を使用すると、
超純水及び高温超純水に接する部分（接液部）で金属イ
オン等のイオンの溶出混入が生じ、超純水の水質低下を
招くという問題点が発生する。そこで、イオンの溶出混
入を微量にとどめるため、超純水加熱供給装置の超純水
加熱装置の構成材料には石英ガラス、高温超純水貯留供
給タンクの構成材料には石英ガラスや弗素樹脂ライニン
グ材、配管等の構成材料には耐熱性、耐溶出性に優れた
弗素樹脂等の合成樹脂が用いられている。
【０００５】上記高温超純水貯留供給タンクは通常複数
個設置される。それは、これらタンクを交互に使用する
ことにより、超純水加熱装置のヒータに対し一定流量の
超純水を負荷し、超純水ユースポイントでの間欠使用に
よる流量変動の吸収、及び、それによる熱負荷の変動の
減少を図るためである。
個設置される。それは、これらタンクを交互に使用する
ことにより、超純水加熱装置のヒータに対し一定流量の
超純水を負荷し、超純水ユースポイントでの間欠使用に
よる流量変動の吸収、及び、それによる熱負荷の変動の
減少を図るためである。
【０００６】尚、高温超純水貯留供給タンクから超純水
ユースポイントへの供給は、このタンク内の高温超純水
を高純度窒素ガス等のガスにより加圧して、供給管より
ユースポイントへ高温超純水を押し出す方法により行わ
れる。
ユースポイントへの供給は、このタンク内の高温超純水
を高純度窒素ガス等のガスにより加圧して、供給管より
ユースポイントへ高温超純水を押し出す方法により行わ
れる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記従来の
超純水加熱供給装置においては、超純水加熱装置が石英
ガラスよりなり、石英ガラスは金属に比して強度が弱い
ので、この石英ガラスが圧力変動、機械的衝撃、熱勾配
や熱衝撃により破壊することがあるという問題点があ
る。この破壊は、超純水加熱装置の機能停止を来す他、
高温超純水が飛散して周辺の人間や合成樹脂使用部品に
被害を与えるという深刻な事態を招くので、かかる破壊
の確実な防止対策の確立が望まれている。
超純水加熱供給装置においては、超純水加熱装置が石英
ガラスよりなり、石英ガラスは金属に比して強度が弱い
ので、この石英ガラスが圧力変動、機械的衝撃、熱勾配
や熱衝撃により破壊することがあるという問題点があ
る。この破壊は、超純水加熱装置の機能停止を来す他、
高温超純水が飛散して周辺の人間や合成樹脂使用部品に
被害を与えるという深刻な事態を招くので、かかる破壊
の確実な防止対策の確立が望まれている。
【０００８】又、上記石英ガラスは高温超純水中では耐
溶出性が充分でなく、微量ながらSiイオンの溶出混入が
生じるという問題点がある。更には、小型の装置しか製
作出来ず、装置の大型化が図り難いという欠点がある。
溶出性が充分でなく、微量ながらSiイオンの溶出混入が
生じるという問題点がある。更には、小型の装置しか製
作出来ず、装置の大型化が図り難いという欠点がある。
【０００９】一方、高温超純水貯留供給タンクにおいて
は、その構成材として石英ガラスを用いた場合、上記同
様のイオンの溶出混入が生じる問題点、及び、タンクの
大型化が図り難いという欠点がある。弗素樹脂ライニン
グ材を用いた場合、有機物や弗素等の溶出混入が生じる
という問題点がある。
は、その構成材として石英ガラスを用いた場合、上記同
様のイオンの溶出混入が生じる問題点、及び、タンクの
大型化が図り難いという欠点がある。弗素樹脂ライニン
グ材を用いた場合、有機物や弗素等の溶出混入が生じる
という問題点がある。
【００１０】配管等においては、その構成材として弗化
樹脂を用いているので、有機物や弗素等の溶出混入が生
じるという問題点がある。
樹脂を用いているので、有機物や弗素等の溶出混入が生
じるという問題点がある。
【００１１】更には、高温超純水貯留供給タンク内の高
温超純水をガスにより加圧してユースポイントに供給す
る際、超純水加熱装置方向に加圧力が伝わり、高温超純
水が逆流することがあり、この高温超純水により超純水
加熱装置と超純水製造装置との間の樹脂製配管が損傷す
るという問題点もある。
温超純水をガスにより加圧してユースポイントに供給す
る際、超純水加熱装置方向に加圧力が伝わり、高温超純
水が逆流することがあり、この高温超純水により超純水
加熱装置と超純水製造装置との間の樹脂製配管が損傷す
るという問題点もある。
【００１２】本発明はこの様な事情に着目してなされた
ものであって、その目的は、前記従来のものが有する問
題点を解消し、超純水加熱装置の破壊を防止し得ると共
に、超純水及び高温超純水中での耐溶出性を向上し得て
イオンや有機物の溶出混入が生じ難く、又、超純水加熱
装置及び高温超純水貯留供給タンクの大型化を図ること
ができ、更には超純水加熱装置と超純水製造装置との間
の配管内への高温超純水の逆流を防止し得る超純水加熱
供給装置を提供しようとするものである。
ものであって、その目的は、前記従来のものが有する問
題点を解消し、超純水加熱装置の破壊を防止し得ると共
に、超純水及び高温超純水中での耐溶出性を向上し得て
イオンや有機物の溶出混入が生じ難く、又、超純水加熱
装置及び高温超純水貯留供給タンクの大型化を図ること
ができ、更には超純水加熱装置と超純水製造装置との間
の配管内への高温超純水の逆流を防止し得る超純水加熱
供給装置を提供しようとするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る超純水加熱供給装置は次のような構成
としている。即ち、請求項１記載の超純水加熱供給装置
は、超純水製造装置と超純水ユースポイントとの間に、
超純水を加熱する超純水加熱装置と、該加熱装置により
加熱された高温超純水を貯留すると共に超純水ユースポ
イントに供給する高温超純水貯留供給タンクとを管接続
して設けた超純水加熱供給装置において、超純水加熱装
置、高温超純水貯留供給タンク及び配管の超純水及び高
温超純水に接する部材の全て又は一部が、清浄化処理し
た後、加熱処理してなる不動態皮膜を表面に有するステ
ンレス鋼により構成されていることを特徴とする超純水
加熱供給装置である。
に、本発明に係る超純水加熱供給装置は次のような構成
としている。即ち、請求項１記載の超純水加熱供給装置
は、超純水製造装置と超純水ユースポイントとの間に、
超純水を加熱する超純水加熱装置と、該加熱装置により
加熱された高温超純水を貯留すると共に超純水ユースポ
イントに供給する高温超純水貯留供給タンクとを管接続
して設けた超純水加熱供給装置において、超純水加熱装
置、高温超純水貯留供給タンク及び配管の超純水及び高
温超純水に接する部材の全て又は一部が、清浄化処理し
た後、加熱処理してなる不動態皮膜を表面に有するステ
ンレス鋼により構成されていることを特徴とする超純水
加熱供給装置である。
【００１４】請求項２記載の超純水加熱供給装置は、前
記不動態皮膜が、ステンレス鋼表面を電解研磨により清
浄化処理した後、酸化性雰囲気中で加熱処理してなる着
色酸化皮膜である請求項１記載の超純水加熱供給装置で
ある。請求項３記載の超純水加熱供給装置は、前記不動
態皮膜が、ステンレス鋼表面を電解研磨処理した後に酸
化性雰囲気中で加熱処理してなる着色酸化皮膜であり、
更に該着色酸化皮膜の溶解除去処理が施されている請求
項１記載の超純水加熱供給装置である。
記不動態皮膜が、ステンレス鋼表面を電解研磨により清
浄化処理した後、酸化性雰囲気中で加熱処理してなる着
色酸化皮膜である請求項１記載の超純水加熱供給装置で
ある。請求項３記載の超純水加熱供給装置は、前記不動
態皮膜が、ステンレス鋼表面を電解研磨処理した後に酸
化性雰囲気中で加熱処理してなる着色酸化皮膜であり、
更に該着色酸化皮膜の溶解除去処理が施されている請求
項１記載の超純水加熱供給装置である。
【００１５】又、請求項４記載の超純水加熱供給装置
は、超純水加熱装置の超純水入口での超純水の温度を測
定し、該超純水の温度に基づき超純水加熱装置と超純水
製造装置との間に設けた遮蔽弁を閉じる超純水逆流防止
手段を有する請求項１記載の超純水加熱供給装置であ
る。
は、超純水加熱装置の超純水入口での超純水の温度を測
定し、該超純水の温度に基づき超純水加熱装置と超純水
製造装置との間に設けた遮蔽弁を閉じる超純水逆流防止
手段を有する請求項１記載の超純水加熱供給装置であ
る。
【００１６】
【作用】本発明に係る超純水加熱供給装置は、前記の如
く、超純水加熱装置、高温超純水貯留供給タンク及び配
管の超純水及び高温超純水に接する部材の全て又は一部
を、清浄化処理した後、加熱処理してなる不動態皮膜を
表面に有するステンレス鋼により構成するようにしてい
る。
く、超純水加熱装置、高温超純水貯留供給タンク及び配
管の超純水及び高温超純水に接する部材の全て又は一部
を、清浄化処理した後、加熱処理してなる不動態皮膜を
表面に有するステンレス鋼により構成するようにしてい
る。
【００１７】このような不動態皮膜を表面に有するステ
ンレス鋼は、自然酸化皮膜を表面に有する通常のステン
レス鋼に比し、耐溶出性に優れ、超純水及び高温超純水
中においても金属イオンの溶出混入が生じ難く、又、有
機物の溶出が生じない。又、石英ガラスに比しても耐溶
出性に優れている。従って、かかる高耐溶出性を有する
ステンレス鋼を超純水加熱装置、高温超純水貯留供給タ
ンクや配管の超純水及び高温超純水に接する部材に用い
ることにより、超純水及び高温超純水中での耐溶出性が
向上し、イオンや有機物の溶出混入が生じ難くなる。
ンレス鋼は、自然酸化皮膜を表面に有する通常のステン
レス鋼に比し、耐溶出性に優れ、超純水及び高温超純水
中においても金属イオンの溶出混入が生じ難く、又、有
機物の溶出が生じない。又、石英ガラスに比しても耐溶
出性に優れている。従って、かかる高耐溶出性を有する
ステンレス鋼を超純水加熱装置、高温超純水貯留供給タ
ンクや配管の超純水及び高温超純水に接する部材に用い
ることにより、超純水及び高温超純水中での耐溶出性が
向上し、イオンや有機物の溶出混入が生じ難くなる。
【００１８】又、ステンレス鋼は石英ガラスに比し極め
て耐破壊性に優れているので、これを超純水加熱装置の
構成材に用いることにより、圧力変動、機械的衝撃、熱
勾配や熱衝撃による超純水加熱装置の破壊を防止し得
る。
て耐破壊性に優れているので、これを超純水加熱装置の
構成材に用いることにより、圧力変動、機械的衝撃、熱
勾配や熱衝撃による超純水加熱装置の破壊を防止し得
る。
【００１９】更に、ステンレス鋼は石英ガラスに比して
極めて加工性に優れ、大型の装置の製作が容易にできる
ので、これを超純水加熱装置や高温超純水貯留供給タン
クの構成材に用いることにより、これら装置やタンクの
大型化が図れる。
極めて加工性に優れ、大型の装置の製作が容易にできる
ので、これを超純水加熱装置や高温超純水貯留供給タン
クの構成材に用いることにより、これら装置やタンクの
大型化が図れる。
【００２０】前記超純水加熱装置の超純水入口での超純
水の温度を測定し、該超純水の温度に基づき超純水加熱
装置と超純水製造装置との間に設けた遮蔽弁を閉じる超
純水逆流防止手段を設けることにより、超純水加熱装置
と超純水製造装置との間の配管内への高温超純水の逆流
を防止し得る。即ち、高温超純水貯留供給タンク内の高
温超純水をガスにより加圧してユースポイントに供給す
る際、高温超純水の逆流が生じると、前記超純水加熱装
置の超純水入口における超純水の温度が上昇するので、
これを前記温度測定により検知し、直ちに前記遮蔽弁を
閉じることにより、前記超純水加熱装置・超純水製造装
置間の配管内への高温超純水の逆流を防止し得る。
水の温度を測定し、該超純水の温度に基づき超純水加熱
装置と超純水製造装置との間に設けた遮蔽弁を閉じる超
純水逆流防止手段を設けることにより、超純水加熱装置
と超純水製造装置との間の配管内への高温超純水の逆流
を防止し得る。即ち、高温超純水貯留供給タンク内の高
温超純水をガスにより加圧してユースポイントに供給す
る際、高温超純水の逆流が生じると、前記超純水加熱装
置の超純水入口における超純水の温度が上昇するので、
これを前記温度測定により検知し、直ちに前記遮蔽弁を
閉じることにより、前記超純水加熱装置・超純水製造装
置間の配管内への高温超純水の逆流を防止し得る。
【００２１】従って、本発明に係る超純水加熱供給装置
によれば、超純水加熱装置の破壊を防止し得ると共に、
超純水及び高温超純水中での耐溶出性を向上し得てイオ
ンや有機物の溶出混入が生じ難く、又、超純水加熱装置
及び高温超純水貯留供給タンクの大型化を図ることがで
き、更には超純水加熱装置と超純水製造装置との間の配
管内への高温超純水の逆流を防止し得るようになる。
によれば、超純水加熱装置の破壊を防止し得ると共に、
超純水及び高温超純水中での耐溶出性を向上し得てイオ
ンや有機物の溶出混入が生じ難く、又、超純水加熱装置
及び高温超純水貯留供給タンクの大型化を図ることがで
き、更には超純水加熱装置と超純水製造装置との間の配
管内への高温超純水の逆流を防止し得るようになる。
【００２２】前記ステンレス鋼表面の不動態皮膜として
は、ステンレス鋼表面を電解研磨により清浄化処理した
後、酸化性雰囲気中で加熱処理してなる着色酸化皮膜よ
りなるものにすると、より一層超純水及び高温超純水中
での耐溶出性が向上し、イオンや有機物の溶出混入が生
じ難くなる。さらに、上記着色酸化皮膜の溶解除去処理
を施すと、着色酸化皮膜と下層母材との界面層が露出
し、この界面層はCrの酸化物がより一層多い組成の層で
あるので、益々耐溶出性が向上してよい。
は、ステンレス鋼表面を電解研磨により清浄化処理した
後、酸化性雰囲気中で加熱処理してなる着色酸化皮膜よ
りなるものにすると、より一層超純水及び高温超純水中
での耐溶出性が向上し、イオンや有機物の溶出混入が生
じ難くなる。さらに、上記着色酸化皮膜の溶解除去処理
を施すと、着色酸化皮膜と下層母材との界面層が露出
し、この界面層はCrの酸化物がより一層多い組成の層で
あるので、益々耐溶出性が向上してよい。
【００２３】
【実施例】本発明の実施例を以下説明する。図１に本発
明の実施例に係る超純水加熱供給装置を示す。この装置
は超純水を加熱して高温超純水となし、これを半導体洗
浄のユースポイントに供給するものであって、図１に示
す如く超純水加熱装置２と、２つの高温超純水貯留供給
タンク３，４とを管接続して設けている。超純水加熱装
置２の超純水入口部には超純水の温度を測定する温度計
TIA を設け、該超純水の温度に基づき開閉する遮蔽弁１
を配管ａの途中に設けている。上記タンク３，４の上部
には、これらタンク内の高温超純水を加圧するための不
活性ガスの供給管ｄが接続されている。
明の実施例に係る超純水加熱供給装置を示す。この装置
は超純水を加熱して高温超純水となし、これを半導体洗
浄のユースポイントに供給するものであって、図１に示
す如く超純水加熱装置２と、２つの高温超純水貯留供給
タンク３，４とを管接続して設けている。超純水加熱装
置２の超純水入口部には超純水の温度を測定する温度計
TIA を設け、該超純水の温度に基づき開閉する遮蔽弁１
を配管ａの途中に設けている。上記タンク３，４の上部
には、これらタンク内の高温超純水を加圧するための不
活性ガスの供給管ｄが接続されている。
【００２４】超純水加熱装置２、高温超純水貯留供給タ
ンク３，４及び配管ｂ，ｃ，ｄはステンレス鋼により構
成され、それらの超純水又は高温超純水に接する表面に
は、ステンレス鋼を電解研磨により清浄化処理した後、
加熱処理してなる不動態皮膜、又は、電解研磨後、酸化
性雰囲気中で加熱処理してなる着色酸化皮膜が形成され
ている。尚、超純水加熱装置２に至る迄の配管ａは３弗
化樹脂よりなる。
ンク３，４及び配管ｂ，ｃ，ｄはステンレス鋼により構
成され、それらの超純水又は高温超純水に接する表面に
は、ステンレス鋼を電解研磨により清浄化処理した後、
加熱処理してなる不動態皮膜、又は、電解研磨後、酸化
性雰囲気中で加熱処理してなる着色酸化皮膜が形成され
ている。尚、超純水加熱装置２に至る迄の配管ａは３弗
化樹脂よりなる。
【００２５】上記超純水加熱供給装置を用いて超純水加
熱供給運転を長期間連続して下記の如く行った。即ち、
上記超純水加熱装置２に20℃の超純水を５リットル／分
の流量で導入し、80℃に加熱し、加熱された高温超純水
を高温超純水貯留供給タンク３及び／又は４に導入する
と共に、高温超純水貯留供給タンク３及び／又は４内に
不活性ガスを導入し、タンク内の高温超純水を加圧して
配管ｃからユースポイントへ間欠的に供給した。又、超
純水加熱装置２の超純水入口部での超純水の温度が上昇
したときは、直ちに遮蔽弁１を閉じるようにした。
熱供給運転を長期間連続して下記の如く行った。即ち、
上記超純水加熱装置２に20℃の超純水を５リットル／分
の流量で導入し、80℃に加熱し、加熱された高温超純水
を高温超純水貯留供給タンク３及び／又は４に導入する
と共に、高温超純水貯留供給タンク３及び／又は４内に
不活性ガスを導入し、タンク内の高温超純水を加圧して
配管ｃからユースポイントへ間欠的に供給した。又、超
純水加熱装置２の超純水入口部での超純水の温度が上昇
したときは、直ちに遮蔽弁１を閉じるようにした。
【００２６】その結果、超純水加熱装置２の破壊を生じ
ることなく長期間連続運転し得た。又、超純水及び高温
超純水へのイオンや有機物の溶出混入が殆ど生じず、半
導体洗浄に好適な高純度の高温超純水を得ることができ
た。更には配管ａへの高温超純水の逆流を防止し得、３
弗化樹脂よりなる配管ａの損傷は全く生じなかった。
ることなく長期間連続運転し得た。又、超純水及び高温
超純水へのイオンや有機物の溶出混入が殆ど生じず、半
導体洗浄に好適な高純度の高温超純水を得ることができ
た。更には配管ａへの高温超純水の逆流を防止し得、３
弗化樹脂よりなる配管ａの損傷は全く生じなかった。
【００２７】
【発明の効果】本発明に係る超純水加熱供給装置は、超
純水加熱装置の破壊を防止し得ると共に、超純水及び高
温超純水中での耐溶出性を向上し得てイオンや有機物の
溶出混入が生じ難く、又、超純水加熱装置及び高温超純
水貯留供給タンクの大型化を図ることができ、更には超
純水加熱装置と超純水製造装置との間の配管内への高温
超純水の逆流を防止し得るようになるという効果を奏す
るものである。
純水加熱装置の破壊を防止し得ると共に、超純水及び高
温超純水中での耐溶出性を向上し得てイオンや有機物の
溶出混入が生じ難く、又、超純水加熱装置及び高温超純
水貯留供給タンクの大型化を図ることができ、更には超
純水加熱装置と超純水製造装置との間の配管内への高温
超純水の逆流を防止し得るようになるという効果を奏す
るものである。
【図１】本発明の実施例に係る超純水加熱供給装置の概
要を示す図である。
要を示す図である。
１--遮蔽弁、 ２--超純水加熱装置、 ３，４--高温超
純水貯留供給タンク、ａ--配管、 ｂ，ｃ--配管、
ｄ--不活性ガスの供給管。
純水貯留供給タンク、ａ--配管、 ｂ，ｃ--配管、
ｄ--不活性ガスの供給管。
Claims (4)
- 【請求項１】 超純水製造装置と超純水ユースポイント
との間に、超純水を加熱する超純水加熱装置と、該加熱
装置により加熱された高温超純水を貯留すると共に超純
水ユースポイントに供給する高温超純水貯留供給タンク
とを管接続して設けた超純水加熱供給装置において、超
純水加熱装置、高温超純水貯留供給タンク及び配管の超
純水及び高温超純水に接する部材の全て又は一部が、清
浄化処理した後、加熱処理してなる不動態皮膜を表面に
有するステンレス鋼により構成されていることを特徴と
する超純水加熱供給装置。 - 【請求項２】 前記不動態皮膜が、ステンレス鋼表面を
電解研磨により清浄化処理した後、酸化性雰囲気中で加
熱処理してなる着色酸化皮膜である請求項１記載の超純
水加熱供給装置。 - 【請求項３】 前記不動態皮膜が、ステンレス鋼表面を
電解研磨処理した後に酸化性雰囲気中で加熱処理してな
る着色酸化皮膜であり、更に該着色酸化皮膜の溶解除去
処理が施されている請求項１記載の超純水加熱供給装
置。 - 【請求項４】 超純水加熱装置の超純水入口での超純水
の温度を測定し、該超純水の温度に基づき超純水加熱装
置と超純水製造装置との間に設けた遮蔽弁を閉じる超純
水逆流防止手段を有する請求項１記載の超純水加熱供給
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21527892A JPH0669174A (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | 超純水加熱供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21527892A JPH0669174A (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | 超純水加熱供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0669174A true JPH0669174A (ja) | 1994-03-11 |
Family
ID=16669671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21527892A Pending JPH0669174A (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | 超純水加熱供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0669174A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110614245A (zh) * | 2019-09-27 | 2019-12-27 | 南京中电熊猫液晶材料科技有限公司 | 一种返修设备制程腔的风刀防结晶装置及其工作方法 |
-
1992
- 1992-08-12 JP JP21527892A patent/JPH0669174A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110614245A (zh) * | 2019-09-27 | 2019-12-27 | 南京中电熊猫液晶材料科技有限公司 | 一种返修设备制程腔的风刀防结晶装置及其工作方法 |
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